CN116490711A - 压电式阀 - Google Patents

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CN116490711A CN202180063183.XA CN202180063183A CN116490711A CN 116490711 A CN116490711 A CN 116490711A CN 202180063183 A CN202180063183 A CN 202180063183A CN 116490711 A CN116490711 A CN 116490711A
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伊藤隆文
徐世杰
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Satake Corp
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Abstract

本发明提供压电式阀，包括：致动器，驱动阀芯；阀座板，包括与阀芯接触或分离的阀座以及排出通路；以及本体壳，收纳阀座板，其特征在于，致动器包括：基部，被固定于阀座板；压电元件，其一端部连接于基部的安装面，且在第一长边方向延伸；支撑部，与基部一体成形，并与压电元件并排而在与第一长边方向交叉的第二长边方向延伸；作用部，与压电元件的另一端部以及支撑部的前端部连接，且伴随压电元件的伸缩而在分别与第一长边方向及第二长边方向不同的方向位移；以及阀芯，通过作用部的位移而被驱动，本体壳包括：气体供给口，供给压缩气体；以及气体排出口，通过阀芯与阀座的分离而经由阀座板的排出通路将从气体供给口所供给的压缩气体排出。

Description

压电式阀
技术领域
本发明涉及利用压电元件的位移进行阀的开关的压电式阀。
背景技术
以往，利用压电元件的位移进行阀的开关而喷出压缩气体的压电式阀，如例如专利文献1所记载那样是周知的。
专利文献1所记载的压电式阀，具备利用高速响应性能优异的压电元件的特性的致动器。另外，专利文献1所记载的压电式阀，在致动器具备根据杠杆原理将压电元件的小的位移扩大的位移扩大机构。
压电式阀响应性优异。因此，其作为以米粒等粒状物为对象的光学式分选机的喷射阀，被使用于将不良品去除。在此情况下，由测试还有在经验法则上，可得到“良品较少连带地被去除，使得经去除的不良品侧的不良品混入率，比电磁式阀高”的结果。
然而，压电式阀在作为光学式分选机的喷射阀等而使用的情况下，如例如专利文献2所记载那样，被直接连续状地装设于在内部具有从压缩空气源供给压缩空气的空间的歧管。在此情况下，许多的喷嘴孔变为开口于喷射器的前端。
但是，专利文献1所记载的压电式阀，将固定致动器的阀座板收纳于阀本体的壳体内，且致动器具备包括臂部及板片弹簧等的复杂的构造的位移扩大机构。因此，由于无法将致动器的厚度的宽度的尺寸缩小，所以有在设置多个空气排出口的情况下难以将空气排出口的间距缩小的问题。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2017-51894号公报
专利文献2：日本特开2015-137664号公报
发明内容
发明所要解决的问题
因此，本发明的目的在于提供可将气体排出口的间距缩小的压电式阀。
用于解决问题的技术手段
为了达成上述目的，本发明的一实施方式为一种压电式阀，包括：
多个致动器，其分别独立地在平行的面内驱动多个阀芯；
阀座板，其具有与多个阀芯分别独立地接触或分离的多个阀座以及多个排出通路，并固定多个致动器；以及
本体壳，其收纳阀座板，
上述压电式阀的特征在于，
多个致动器分别包括：
基部，其被固定于阀座板；
压电元件，其一端部连接于基部的安装面，且在第一长边方向延伸；
支撑部，其与基部一体成形，并与压电元件并排而在与第一长边方向交叉的第二长边方向延伸；
作用部，其与压电元件的另一端部以及支撑部的前端部连接，伴随压电元件的伸缩而在分别与第一长边方向及第二长边方向不同的位移方向位移；以及
阀芯，其设置于作用部的位移的方向的一侧，并通过作用部的位移而被驱动，
本体壳包括：
气体供给口，其供给压缩气体；以及
多个气体排出口，其通过多个阀芯与多个阀座的分离而经由阀座板的各排出通路分别独立地将从气体供给口所供给的压缩气体排出。
本发明的一实施方式，优选为将阀座板以使排出通路与本体壳的气体排出口连通的方式固定于本体壳内。
本发明的一实施方式，优选为多个致动器的各个，其作用部伴随压电元件的伸缩，而在分别与第一长边方向及第二长边方向不同的方向，且为在与包括第一长边方向及第二长边方向的平面平行的面内的位移方向位移。
本发明的一实施方式，优选阀座板具有阀座以及形成排出通路的阀座部，多个阀座设置于阀座部的相对的两侧部，
多个致动器固定于阀座板，以使各阀芯分别面对各阀座。
本发明的一实施方式，优选为阀座板具有阀座以及形成排出通路的阀座部，多个阀座以宽度方向一部分重合的方式在阀座部的相对的两侧部相互错开而设置，
多个致动器固定于阀座板，以使各阀芯分别面对各阀座。
本发明的一实施方式，优选为多个阀座在阀座部的各侧在宽度方向(阀座板的厚度的宽度的方向)并排设置。
另外，为了达成上述目的，本发明的一实施方式为一种压电式阀，包括：
致动器，其驱动阀芯；
阀座板，其具有与阀芯接触或分离的阀座以及排出通路，并固定致动器；以及
本体壳，其收纳阀座板，
上述压电式阀的特征在于，
致动器包括：
基部，其被固定于阀座板；
压电元件，其一端部连接于基部的安装面，且在第一长边方向延伸；
支撑部，其与基部一体成形，并与压电元件并排而在与第一长边方向交叉的第二长边方向延伸；
作用部，其与压电元件的另一端部以及支撑部的前端部连接，伴随压电元件的伸缩而在分别与第一长边方向及第二长边方向不同的方向位移；以及
阀芯，其设置于作用部的位移的方向的一侧，并通过作用部的位移而被驱动，
本体壳包括：
气体供给口，其供给压缩气体；以及
气体排出口，通过阀芯与阀座的分离而经由阀座板的排出通路将从气体供给口所供给的压缩气体排出。
本发明的一实施方式，优选为将阀座板以使排出通路与本体壳的气体排出口连通的方式固定于本体壳内。
本发明的一实施方式，优选为致动器，其作用部伴随压电元件的伸缩，而在分别与第一长边方向及第二长边方向不同的方向，且为在与包括第一长边方向及第二长边方向的平面平行的面内的位移方向位移。
本发明的一实施方式，优选为支撑部在沿第二长边方向延伸的中间部分具有缩窄部。
本发明的一实施方式，优选为阀座具有排出通路在多个环状凸部内开口的阀座面，
阀芯与阀座面的多个环状凸部接触或分离。
[发明的效果]
由于本发明的一实施方式的压电式阀，其多个致动器分别包括：基部，其被固定于阀座板；压电元件，其一端部连接于基部的安装面，且在第一长边方向延伸；支撑部，其与基部一体成形，并与压电元件并排而在与第一长边方向交叉的第二长边方向延伸；作用部，其与压电元件的另一端部以及支撑部的前端部连接，伴随压电元件的伸缩而在分别与第一长边方向及第二长边方向不同的位移方向位移；以及阀芯，其设置于作用部的位移的方向的一侧，并通过作用部的位移而被驱动，因此致动器具备简单的构造的位移扩大机构，能将致动器的厚度的宽度的尺寸缩得比以往更小。
因此，根据本发明的一实施方式的压电式阀，能相较于以往的压电式阀将气体排出口的间距缩小。
另外，由于本发明的一实施方式的压电式阀，其致动器包括与基部一体成形的支撑部，所以元件数量被削减，致动器的组装变得容易。
由于本发明的一实施方式的压电式阀，若做成其阀座板具有阀座以及形成排出通路的阀座部，多个阀座设置于阀座部的相对的两侧部，且多个致动器固定于阀座板，以使各阀芯分别面对各阀座，则能将固定了多个致动器的阀座板的厚度的宽度的尺寸缩小，所以能相较于以往的压电式阀将气体排出口的间距缩小。
由于本发明的一实施方式的压电式阀，若做成其阀座板具有阀座以及形成排出通路的阀座部，多个阀座以宽度方向一部分重合的方式在阀座部的相对的两侧部相互错开而设置，多个致动器固定于阀座板，以使各阀芯分别面对各阀座，则在阀座板，在阀座部的两侧部，多个致动器会以在阀座板的厚度的宽度的方向部分重合的状态被固定，能进一步缩小固定了多个致动器的阀座板的厚度的宽度的尺寸，因此能相较于以往的压电式阀进一步将气体排出口的间距缩小。
由于本发明的一实施方式的压电式阀，若做成在阀座部的两侧部，分别将多个阀座在阀座板的厚度的宽度的方向并列设置，则能在一个阀座板固定至少四个致动器，因此能将平均一个致动器的阀座板的厚度的宽度的尺寸缩小，而能相较于以往的压电式阀将气体排出口的间距缩小。
由于本发明的一实施方式的压电式阀，其致动器包括：基部，其被固定于阀座板；压电元件，其一端部连接于基部的安装面，且在第一长边方向延伸；支撑部，其与基部一体成形，并与压电元件并排而在与第一长边方向交叉的第二长边方向延伸；作用部，其与压电元件的另一端部以及支撑部的前端部连接，伴随压电元件的伸缩而在分别与第一长边方向及第二长边方向不同的方向位移；以及阀芯，其设置于作用部的位移的方向的一侧，并通过作用部的位移而被驱动，因此致动器具备简单的构造的位移扩大机构，能将致动器的厚度的宽度的尺寸缩得比以往更小。
因此，根据本发明的压电式阀，在做成包括多个致动器的情况下，能相较于以往的压电式阀将气体排出口的间距缩小。
本发明的一实施方式的压电式阀，若做成支撑部在沿第二长边方向延伸的中间部分具有缩窄部，则能扩大作用部的位移。
本发明的一实施方式的压电式阀，若做成阀座包括排出通路在多个环状凸部内开口的阀座面，且阀芯与阀座面的多个环状凸部接触分离，则通过将排出通路中的开口的整体的周长加长，能在阀芯与阀座分离时，使经由排出通路而从本体壳的气体排出口排出的气体的排出量增加。
附图说明
图1是压电式阀的立体图。
图2是压电式阀的说明图。
图3是致动器的说明图。
图4是将致动器固定于第一阀座板后的状态的立体图。
图5是将致动器固定于第一阀座板后的状态的说明图。
图6是将致动器固定于第一阀座板后的状态的说明图。
图7是阀座面的说明图。
图8是将致动器固定于第二阀座板后的状态的立体图。
图9是将致动器固定于第二阀座板后的状态的说明图。
图10是将致动器固定于第二阀座板后的状态的说明图。
具体实施方式
以下，根据附图对本发明的实施方式加以说明。
＜实施方式1＞
图1示出压电式阀的立体图。图2是压电式阀的说明图，并示出从侧面侧观察的图。
在本发明的实施方式1中，压电式阀1包括：阀本体2；后述的致动器3；以及后述的阀座板4，阀座板4以将致动器3固定的状态被配置于阀本体2的内部。
阀本体2是背面(在图1及图2中为底面)开口的壳体，且在内部包括气体压力室，该气体压力室从外部的压缩气体供给源(未图示)接受被压缩气体的供给。
另外，在阀本体2的正面(在图1及图2为顶面)设置有连接器部5，连接器部5用于装设于在内部具有从压缩气体源供给压缩气体的空间的歧管(未图示)。
向阀本体2内吸入压缩气体的气体吸入口51以及将压缩气体排出的多个的气体排出口52在连接器部5的正面开口。
另外，与连接器部5的气体吸入口51连通的气体供给口(未图示)以及与各气体排出口52连通的多个的气体排出口(未图示)在阀本体2的正面开口。
阀本体2的背面通过盖体6封闭。在盖体6配置用于向压电元件供电的配线连接器61。
图3示出致动器的说明图。
致动器3包括：基部31，被固定于阀座板；压电元件32，在第一长边方向延伸，且其一端部连接于基部31的安装面；以及支撑部33，与基部31一体成形，并与压电元件32并排而在与第一长边方向交叉的第二长边方向延伸。
另外，致动器3具备作用部34，该作用部34与压电元件32的另一端部以及支撑部33的前端部连接，并伴随压电元件32的伸缩，在分别与第一长边方向及第二长边方向不同的方向位移。另外，致动器3具备阀芯35，该阀芯35设置于作用部34的前端侧且为位移的方向的一侧面，并通过作用部34的位移所驱动。
致动器3伴随压电元件32的伸缩，作用部34在与包括第一长边方向及第二长边方向的平面大致平行的面内，在分别与第一长边方向及第二长边方向不同的位移方向位移。
另外，通过在支撑部33的在第二长边方向延伸的中间部分设置缩窄部331，从而能将伴随压电元件32的伸缩的作用部34的位移扩大。
此处，基部31及支撑部33，能通过例如将含有殷钢材料的不锈钢材等金属材料冲切而一体成形。
若将基部31及支撑部33以冲切金属材料而一体成形的话，则元件数量被削减，使致动器3的组装变得容易。
另外，能在基部31的安装面安装例如由铝块等所构成的连结部件311。
若做成在基部31的安装面安装由相较于支撑部33线膨张系数更大的材料所构成的连结部件311，并经由连结部件311将压电元件32安装于基部31的话，则能减轻或消除因温度变化所造成的压电元件32的热膨张或热收缩的影响。
另外，连结部件311也能安装在压电元件32与作用部34之间而非基部31的安装面。
作用部34能通过例如铝材等轻量材料形成。若是通过铝材等轻量材料形成作用部34的话，在使作用部34位移的方面优选。
另外，阀芯35可为橡胶制等，且优选为滑性橡胶。
另外，致动器3能以压缩部件36将基部31与作用部34之间连结。
压电元件相对拉伸方向的负载容易损伤。然而，若做成以压缩部件36将基部31与作用部34之间连结的话，则能将压电元件32在第一长边方向压缩。因此，能防止压电元件32的损伤。
图4示出将致动器固定于第一阀座板后的状态的立体图。图5是将致动器固定于第一阀座板后的状态的说明图，并示出从第一阀座板的侧面侧观察的图。图6是将致动器固定于第一阀座板后的状态的说明图，并示出从第一阀座板的正面侧观察的图。
本发明的实施方式1中的压电式阀1，将固定了致动器3的第一阀座板4收纳于阀本体2的内部。
第一阀座板4是可安装两个致动器的阀座板的一例。第一阀座板4在中央部分具有阀座部41。在阀座部41的相对的两个侧面各自设置致动器3的阀芯35所抵接的阀座42。
在第一阀座板4的一面侧，在与阀座部41的一边的侧面相对的位置形成致动器3的安装部43。
另外，在第一阀座板4的另一面侧，在与阀座部41的另一边的侧面相对的位置形成致动器3的安装部44。
两个致动器3是以各阀芯35面对各阀座42的方式，被配置于第一阀座板4的各安装部43、44并通过螺栓固定。
在阀座部41形成有在各阀座42的阀座面开口的多个排出通路45。各排出通路45在第一阀座板4的正面(在图5为顶面)开口。
第一阀座板4以固定了两个致动器3的状态被配置于阀本体2的内部。第一阀座板4，是通过其正面被从阀本体2的正面侧以螺栓固定，从而使各排出通路45与在阀本体2的正面开口的各气体排出口连通。
压电式阀1，当在关阀状态向致动器3的压电元件32通电时，则压电元件32伸长，作用部34位移，而阀芯35从阀座42分离而开阀。由此，压电式阀1将从气体供给口供给至阀本体2的压缩气体，经由形成于第一阀座板4的阀座部41的排出通路45而从在阀本体2的正面开口的气体排出口排出。
另一方面，压电式阀1，当解除向致动器3的压电元件32的通电时，则压电元件32收缩，作用部34向相反方向位移，而阀芯35会落座于阀座42而关阀。
在本发明的实施方式1中的压电式阀1，在阀本体2的壳体内在宽度方向并排收纳两个第一阀座板4，且四个气体排出口在阀本体2的正面开口。
在本发明的实施方式1中的压电式阀1，致动器3具备简单的构造的位移扩大机构，能使致动器3的厚度的宽度的尺寸比以往更小。
因此，根据本发明的实施方式1中的压电式阀1，能相较于以往的压电式阀将在阀本体2的正面开口的气体排出口的间距缩小。
另外，在本发明的实施方式1中的压电式阀1，由于致动器3包括与基部31一体成形的支撑部33，所以元件数量被削减，致动器3的组装变得容易。
在本发明的实施方式1中的压电式阀1，第一阀座板4包括阀座部41，且在阀座部41的两侧面设置阀座42，而两个致动器3是以各阀芯35各自面对各阀座42的方式被固定于第一阀座板4。因此，能将固定了两个致动器3的第一阀座板4的厚度的宽度的尺寸缩小。
因此，根据本发明的实施方式1中的压电式阀1，能相较于以往的压电式阀将在阀本体2的正面开口的气体排出口的间距缩小。
此处，第一阀座板4，其各阀座42是以宽度方向部分重合的方式在阀座部41的两侧面相互错开而设置。两个致动器3以各阀芯35各自面对各阀座42的方式被固定于第一阀座板4。
因此，在本发明的实施方式1中的压电式阀1，在第一阀座板4，在阀座部41的两侧面，以在第一阀座板4的厚度的宽度的方向部分重合的状态将两个致动器3固定。因此，由于能进一部将固定了两个致动器3的第一阀座板4的厚度的宽度的尺寸缩小，所以能相较于以往的压电式阀进一步将开口在阀本体2的正面的气体排出口的间距缩小。
另外，如图6所示，在第一阀座板4的正面开口的各排出通路45，并非在第一阀座板4的厚度的宽度的方向(图6的上下方向)形成一列开口。然而，通过利用在内部具有在一面与各排出通路45的开口连通且在另一面形成一列开口的多个流道的中间部件，能将开口在阀本体2的正面的多个气体排出口对齐成横向一列。
另外，在开口于阀本体2的正面的多个气体排出口并非在阀本体2的厚度的宽度的方向开口成一列的情况下，通过利用在内部具有在一面与各气体排出口的开口连通且在另一面开口成一列的多个流道的中间部件，能将开口于连接器部5的多个气体排出口52对齐成横向一列。
图7是阀座面的说明图，并示出从正面侧观察阀座面的图。
在设置于第一阀座板4的阀座部41的阀座42，设置了多个环状凸部421。阀座42可包括排出通路45在各环状凸部421内开口的阀座面。此处，示出在阀座面设置了两个环状凸部421的例子。另外，在环状凸部421内开口的各排出通路45，在阀座部41的内部合流成一个排出通路45。
虽然致动器3为了使作用部34稳定地位移动作，优选将作用部34及阀芯35的长度缩短，但在此情况下，有必要也将阀座42的长度缩短。
因此，若做成致动器3的阀芯35与阀座面的多个环状凸部421接触或分离，则能加长从阀本体2内排出压缩气体的排出通路45的开口的整体的周长，而确保需要的周长。其结果，能在阀芯35与阀座42分离时，使来自排出通路45的压缩气体的排出量增加，而确保需要的压缩气体的排出量。
＜实施方式2＞
图8示出将致动器固定于第二阀座板后的状态的立体图。图9是将致动器固定于第二阀座板后的状态的说明图，并示出从第二阀座板的侧面侧观察的图。图10是将致动器固定于第二阀座板后的状态的说明图，并示出从第二阀座板的正面侧观察的图。
在本发明的实施方式2中的压电式阀1，将固定了致动器3的第二阀座板8收纳于阀本体2的内部。
第二阀座板8是可安装四个致动器的阀座板的一例。第二阀座板8在中央部分具有阀座部81，并在阀座部81的相对的两侧面各自设置致动器3的阀芯35所抵接的阀座82。
在第二阀座板8的一面侧，在与阀座部81的两边的侧面相对的位置各自形成致动器3的安装部83。
另外，在第二阀座板8的另一面，在与阀座部81的两边的侧面相对的位置各自形成致动器3的安装部84。
四个致动器3以各阀芯35面对各阀座82的方式，被配置于第二阀座板8的各安装部83、84并通过螺栓所固定。
在阀座部81，形成有在阀座82的阀座面开口的多个排出通路85。各排出通路85开口于第二阀座板8的正面(在图9为顶面)。
第二阀座板8以固定了四个致动器3的状态配置于阀本体2的内部，且其正面被从阀本体2的正面侧通过螺栓固定。由此，各排出通路85与开口于阀本体2的正面的各气体排出口连通。
在本发明的实施方式2中的压电式阀1，将一个第二阀座板8收纳于阀本体2的壳体内，且四个气体排出口开口于阀本体2的正面。
在本发明的实施方式2中的压电式阀1也与在实施方式1中的压电式阀1相同，包括致动器3，并能相较于以往的压电式阀将开口于阀本体2的正面的气体排出口的间距缩小。
另外，在本发明的实施方式2中的压电式阀1，致动器3的组装也变得容易。
在本发明的实施方式2中的压电式阀1，第二阀座板8包括阀座部81，且在阀座部81的两侧面设置阀座82，并将四个致动器3，以各阀芯35各自面对各阀座82的方式在第二阀座板8的两面各固定两个。因此，能将固定了四个致动器3的第二阀座板8的厚度的宽度的尺寸缩小。
因此，通过本发明的实施方式2中的压电式阀1，也能相较于以往的压电式阀将开口于阀本体2的正面的气体排出口的间距缩小。
此处，在第二阀座板8，也与第一阀座板4相同地，能将各阀座82以宽度方向部分重合的方式在阀座部81的两侧面相互错开而并列设置，并将四个致动器3以各阀芯35各自面对各阀座82的方式固定于第二阀座板8。
根据本发明的实施方式2中的压电式阀1，也能在第二阀座板8，在阀座部81的两侧面以在第二阀座板8的厚度的宽度的方向部分重合的状态将四个致动器3固定。因此，能进一步将固定了四个致动器3的第二阀座板8的厚度的宽度的尺寸缩小，而能相较于以往的压电式阀进一步将开口于阀本体2的正面的气体排出口的间距缩小。
另外，在此情况下，开口于第二阀座板8的正面的各排出通路85不会在第二阀座板8的厚度的宽度的方向(图10的上下方向)开口成一列。然而，与第一阀座板4相同，通过利用中间部件，能将开口于阀本体2的正面的各气体排出口或开口于连接器部5的各气体排出口52对齐成横向一列。
在上述本发明的实施方式中，压电式阀设定成在未向压电元件施加电压的状态下阀芯落座于阀座。然而，也能通过变更从驱动部所供给的电压等的极性，设定成在未向压电元件施加电压的状态下，阀芯从阀座分离的状态。
在上述本发明的实施方式中，压电式阀做成在阀本体的壳体内配置四个致动器，且四个气体排出口开口于阀本体的正面。然而，可不受限于此而在阀本体内配置一个以上的致动器。
虽然在上述本发明的实施方式中，以两个阀座板为例进行了说明，但阀座板并不受此所限定，例如，也能在第二阀座板8中，仅在一面侧形成两个致动器的安装部。
以上，虽针对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不受上述实施方式所限定，只要在不超出发明的范围下可适当变更其构成。
产业上的利用性
本发明的一实施方式的压电式阀，可相较于以往的压电式阀缩小本体壳所具备的气体排出口的间距，且能利用在例如将粒状物作为对象的光学式分选机的喷射阀等各种的用途。
【符号说明】
1：压电式阀
2：阀本体
3：致动器
31：基部
311：连结部件
32：压电元件
33：支撑部
331：缩窄部
34：作用部
35：阀芯
36：压缩部件
4：第一阀座板
41：阀座部
42：阀座
421：环状凸部
43：安装部
44：安装部
45：排出通路
5：连接器部
51：气体吸入口
52：气体排出口
6：盖体
61：配线连接器
8：第二阀座板
81：阀座部
82：阀座
83：安装部
84：安装部
85：排出通路

Claims (6)

1.一种压电式阀，包括：
多个致动器，其分别独立地在平行的面内驱动多个阀芯；
阀座板，其具有与上述多个阀芯分别独立地接触或分离的多个阀座以及多个排出通路，并固定上述多个致动器；以及
本体壳，其收纳上述阀座板，
上述压电式阀的特征在于，
上述多个致动器分别包括：基部，其被固定于上述阀座板；
压电元件，其一端部连接于上述基部的安装面，且在第一长边方向延伸；
支撑部，其与上述基部一体成形，并与上述压电元件并排而在与上述第一长边方向交叉的第二长边方向延伸；
作用部，其与上述压电元件的另一端部以及上述支撑部的前端部连接，伴随上述压电元件的伸缩而在分别与上述第一长边方向及上述第二长边方向不同的位移方向位移；以及
上述阀芯，其设置于上述作用部的上述位移的方向的一侧，并通过上述作用部的位移而被驱动，
上述本体壳包括：
气体供给口，其供给压缩气体；以及
多个气体排出口，其通过上述多个阀芯与上述多个阀座的分离而经由上述阀座板的上述各排出通路分别独立地将从上述气体供给口所供给的压缩气体排出。
2.根据权利要求1所述的压电式阀，其特征在于，
上述阀座板具有上述阀座以及形成上述排出通路的阀座部，上述多个阀座设置于上述阀座部的两侧部，
上述多个致动器固定于上述阀座板，以使各上述阀芯分别面对各上述阀座。
3.根据权利要求2所述的压电式阀，其特征在于，
上述阀座板具有上述阀座以及形成上述排出通路的阀座部，上述多个阀座以宽度方向一部分重合的方式在上述阀座部的两侧部相互错开而设置，
上述多个致动器固定于上述阀座板，以使各上述阀芯分别面对各上述阀座。
4.一种压电式阀，包括：
致动器，其驱动阀芯；
阀座板，其具有与上述阀芯接触或分离的阀座以及排出通路，并固定上述致动器；以及
本体壳，其收纳上述阀座板，
上述压电式阀的特征在于，
上述致动器包括：基部，其被固定于上述阀座板；
压电元件，其一端部连接于上述基部的安装面，且在第一长边方向延伸；
支撑部，其与上述基部一体成形，并与上述压电元件并排而在与上述第一长边方向交叉的第二长边方向延伸；
作用部，其与上述压电元件的另一端部以及上述支撑部的前端部连接，伴随上述压电元件的伸缩而在分别与上述第一长边方向及上述第二长边方向不同的方向位移；以及
上述阀芯，其设置于上述作用部的上述位移的方向的一侧，并通过上述作用部的位移而被驱动，
上述本体壳包括：
气体供给口，其供给压缩气体；以及
气体排出口，通过上述阀芯与上述阀座的分离而经由上述阀座板的上述排出通路将从上述气体供给口所供给的压缩气体排出。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的压电式阀，其特征在于，
上述支撑部在沿上述第二长边方向延伸的中间部分具有缩窄部。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的压电式阀，其特征在于，
上述阀座具有上述排出通路在多个环状凸部内开口的阀座面，
上述阀芯与上述阀座面的上述多个环状凸部接触或分离。
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