TW202212721A - 壓電式閥 - Google Patents

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伊藤隆文
世傑 徐
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日商佐竹股份有限公司
日商機械變壓器有限公司
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Abstract

一種包含以下構件之壓電式閥：致動器，驅動閥體；閥座板，包含與閥體接觸分離之閥座以及排出通路；以及，本體殼，收納閥座板；其中，致動器包含：基部，受固定於閥座板；壓電元件，在第一長邊方向上延伸，且其一端部連接於基部的安裝面；支撐部，與基部一體成形，並與壓電元件並排而在與第一長邊方向交叉之第二長邊方向上延伸；作用部，與壓電元件的另一端部以及支撐部的前端部連接，且伴隨壓電元件的伸縮而在分別與第一長邊方向及第二長邊方向相異的方向上位移；以及，閥體，藉由作用部的位移而受到驅動；且本體殼包含：氣體供給口，供給壓縮氣體；以及，氣體排出口，藉由閥體與閥座的分離而透過閥座板的排出通路將從氣體供給口所供給之壓縮氣體排出。

Description

壓電式閥
本發明係關於利用壓電元件的位移進行閥的開關之壓電式閥。
過去，利用壓電元件的位移進行閥的開關而噴出壓縮氣體之壓電式閥，係如例如專利文獻1所記載般為眾人所知。
專利文獻1所記載之壓電式閥，具備利用了高速響應性能優異之壓電元件的特性之致動器。又，專利文獻1所記載之壓電式閥，在致動器具備根據槓桿原理將壓電元件之小的位移放大之位移放大機構。
壓電式閥，其響應性優異。因此，其做為以米粒等粒狀物為對象之光學式分類機的噴射閥，而被使用於將不良品去除。在此情況下，由測試還有在經驗法則上，可得到「良品較不會連帶地被去除，使得經去除之不良品側的不良品攙入率，較電磁式閥高」之結果。
此外，壓電式閥在作為光學式分類機的噴射閥等而使用的情況下，係如例如專利文獻2所記載般，被直接接續地裝設於在內部具有從壓縮空氣源供給壓縮空氣的空間之歧管。在此情況下，許多的噴嘴孔開口於噴射器的前端。
但是，專利文獻1所記載之壓電式閥，將固定致動器之閥座板收納於閥本體的殼體內，且致動器具備了「包含臂部及板片彈簧等之複雜的構造之位移放大機構」。因此，由於無法將致動器之厚度的寬幅的尺寸縮小，故有在設置複數的空氣排出口的情況下難以將空氣排出口的間距縮小的問題。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2017-51894號公報 [專利文獻2]日本特開2015-137664號公報
[發明所欲解決之問題]
因此，本發明係以提供可將氣體排出口的間距縮小之壓電式閥為目的。 [解決問題之技術手段]
為了達成上述目的，本發明之一實施態樣為包含以下構件之壓電式閥： 複數之致動器，將複數之閥體各自獨立地在平行的面內驅動； 閥座板，包含複數個與複數之閥體各自獨立地接觸分離之閥座以及複數個排出通路，並固定複數之致動器；以及 本體殼，收納閥座板； 該壓電式閥之特徵在於： 複數之致動器各自包含： 基部，受固定於閥座板； 壓電元件，在第一長邊方向上延伸，且其一端部連接於基部的安裝面； 支撐部，與基部一體成形，並與壓電元件並排而在與第一長邊方向交叉之第二長邊方向上延伸； 作用部，與壓電元件的另一端部以及支撐部的前端部連接，且伴隨壓電元件的伸縮而在分別與第一長邊方向及第二長邊方向相異的位移方向上位移；以及 閥體，設置於作用部之位移的方向之一側，並藉由作用部的位移而受到驅動； 本體殼包含： 氣體供給口，向該本體殼內供給壓縮氣體；以及 複數之氣體排出口，藉由複數之閥體與複數之閥座的分離，而透過閥座板的各排出通路各自獨立地將從氣體供給口所供給之壓縮氣體排出。
本發明之一實施態樣，較佳為 將閥座板以使排出通路與本體殼的氣體排出口連通的方式固定於本體殼內。
本發明之一實施態樣，較佳為 複數之致動器各者，其作用部伴隨壓電元件的伸縮，而在分別與第一長邊方向及第二長邊方向相異的方向上，且為在「與包含第一長邊方向及第二長邊方向之平面平行的面內」的位移方向上位移。
本發明之一實施態樣，較佳為 閥座板包含閥座及形成排出通路之閥座部，且複數之閥座係設置於閥座部之相背對的兩個側部； 複數之致動器，於閥座板固定成各閥體各自面對各閥座。
本發明之一實施態樣，較佳為 閥座板包含閥座及形成排出通路之閥座部，且複數之閥座係以寬度方向部分重合的方式在閥座部之相背對的兩個側部相互錯開而設置； 複數之致動器，於閥座板固定成各閥體各自面對各閥座。
本發明之一實施態樣，較佳為 複數之閥座，係於閥座部的各側在寬度方向(閥座板之厚度的寬幅的方向)上並列設置。
又，為了達成上述目的，本發明之一實施態樣為包含以下構件之壓電式閥： 致動器，驅動閥體； 閥座板，包含與閥體接觸分離之閥座以及排出通路，並固定致動器；以及 本體殼，收納閥座板； 該壓電式閥之特徵在於： 致動器包含： 基部，受固定於閥座板； 壓電元件，在第一長邊方向上延伸，且其一端部連接於基部的安裝面； 支撐部，與基部一體成形，並與壓電元件並排而在與第一長邊方向交叉之第二長邊方向上延伸； 作用部，與壓電元件的另一端部以及支撐部的前端部連接，且伴隨壓電元件的伸縮而在分別與第一長邊方向及第二長邊方向相異的方向上位移；以及 閥體，設置於作用部之位移的方向之一側，並藉由作用部的位移而受到驅動； 本體殼包含： 氣體供給口，向該本體殼內供給壓縮氣體；以及 氣體排出口，藉由閥體與閥座的分離，而透過閥座板的排出通路將從氣體供給口所供給之壓縮氣體排出。
本發明之一實施態樣，較佳為 將閥座板以使排出通路與本體殼的氣體排出口連通的方式固定於本體殼內。
本發明之一實施態樣，較佳為 致動器，其作用部伴隨壓電元件的伸縮，而在分別與第一長邊方向及第二長邊方向相異的方向上，且為在「與包含第一長邊方向及第二長邊方向之平面平行的面內」的位移方向上位移。
本發明之一實施態樣，較佳為 支撐部於在第二長邊方向上延伸之中間部分具有縮窄部。
本發明之一實施態樣，較佳為 閥座包含：排出通路在複數之環狀凸部內開口之閥座面； 閥體與閥座面的複數之環狀凸部接觸分離。 [發明之效果]
由於本發明之一實施態樣的壓電式閥，其複數之致動器的各自包含以下構件：基部，受固定於閥座板；壓電元件，在第一長邊方向上延伸，且其一端部連接於基部的安裝面；支撐部，與基部一體成形，並與壓電元件並排而在與第一長邊方向交叉之第二長邊方向上延伸；作用部，與壓電元件之另一端部以及支撐部的前端部連接，且伴隨壓電元件的伸縮而在分別與第一長邊方向及第二長邊方向相異的位移方向上位移；以及，閥體，設置於作用部之位移的方向之一側，並藉由作用部的位移而受到驅動；故致動器具備簡單的構造之位移放大機構而能將致動器之厚度的寬幅的尺寸縮得比以往更小。 因此，依本發明之一實施態樣的壓電式閥，能相較於以往的壓電式閥將氣體排出口的間距縮小。
又，由於本發明之一實施態樣的壓電式閥，其致動器包含與基部一體成形之支撐部，故元件數量受到削減，而致動器的組裝變得容易。
由於本發明之一實施態樣的壓電式閥，若做成其閥座板包含閥座以及形成排出通路之閥座部，且複數之閥座係設置於閥座部之相背對的兩個側部，而複數之致動器於閥座板固定成各閥體各自面對各閥座的話，則能將固定了複數之致動器之閥座板之厚度的寬幅的尺寸縮小，故能相較於以往的壓電式閥將氣體排出口的間距縮小。
由於本發明之一實施態樣的壓電式閥，若做成其閥座板包含閥座以及形成排出通路之閥座部，且複數之閥座係以寬度方向部分重合的方式在閥座部之相背對的兩個側部相互錯開而設置，而複數之致動器於閥座板固定成各閥體各自面對各閥座的話，在閥座板，於閥座部的兩個側部複數之致動器會以在閥座板之厚度的寬幅的方向上部分重合的狀態受到固定，而能進而縮小固定了複數之致動器的閥座板之厚度的寬幅的尺寸，故能相較於以往的壓電式閥進而將氣體排出口的間距縮小。
由於本發明之一實施態樣的壓電式閥，若做成於閥座部的兩個側部，分別將複數之閥座在閥座板之厚度的寬幅的方向上並列設置的話，能在一個閥座板固定至少四個致動器，故能將平均一個致動器的閥座板之厚度的寬幅的尺寸縮小，而能相較於以往的壓電式閥將氣體排出口的間距縮小。
由於本發明之一實施態樣的壓電式閥，其致動器包含以下構件：基部，受固定於閥座板；壓電元件，在第一長邊方向上延伸，且其一端部連接於基部的安裝面；支撐部，與基部一體成形，並與壓電元件並排而在與第一長邊方向交叉之第二長邊方向上延伸；作用部，與壓電元件之另一端部以及支撐部的前端部連接，且伴隨壓電元件的伸縮而在分別與第一長邊方向及第二長邊方向相異的方向上位移；以及，閥體，設置於作用部之位移的方向之一側，並藉由作用部的位移而受到驅動；故致動器具備簡單的構造之位移放大機構而能將致動器之厚度的寬幅的尺寸縮得比以往更小。 因此，依本發明之壓電式閥，在做成包含複數之致動器的情況下，能相較於以往的壓電式閥將氣體排出口的間距縮小。
本發明之一實施態樣的壓電式閥，若做成支撐部於在第二長邊方向上延伸之中間部分具有縮窄部的話，則能放大作用部的位移。
本發明之一實施態樣的壓電式閥，若做成閥座包含排出通路在複數之環狀凸部內開口之閥座面，且閥體與閥座面的複數之環狀凸部接觸分離的話，藉由將排出通路中的開口之整體的周長加長，能在閥體與閥座分離時，使透過排出通路而從本體殼的氣體排出口排出之氣體的排出量增加。
以下，根據圖式對本發明之實施態樣加以說明。 ＜實施態樣1＞ 圖1顯示壓電式閥之立體圖。圖2係壓電式閥之說明圖，並顯示從側面側觀看之圖式。 在本發明之實施態樣1中，壓電式閥1包含：閥本體2；後述之致動器3；以及後述之閥座板4，閥座板4係以將致動器3固定之狀態受配置於閥本體2的內部。
閥本體2，係背面(在圖1及圖2為底面)開口之殼體，且在內部包含氣體壓力室，該氣體壓力室從外部的壓縮氣體供給源(未圖示)接受壓縮氣體的供給。 又，在閥本體2的正面(在圖1及圖2為頂面)設置了接頭部5，接頭部5係用以裝設於在內部具有從壓縮氣體源供給壓縮氣體的空間之歧管(未圖示)。
在接頭部5的正面，向閥本體2內吸入壓縮氣體之氣體吸入口51以及將壓縮氣體排出之複數的氣體排出口52形成開口。 又，在閥本體2的正面，與接頭部5的氣體吸入口51連通之氣體供給口(未圖示)以及與各氣體排出口52連通之複數的氣體排出口(未圖示)形成開口。 閥本體2的背面係藉由蓋體6封閉。在蓋體6配置了用以向壓電元件供電之配線接頭61。
圖3顯示致動器之說明圖。 致動器3包含：基部31，受固定於閥座板；壓電元件32，在第一長邊方向上延伸，且其一端部連接於基部31的安裝面；以及，支撐部33，與基部31一體成形，並與壓電元件32並排而在與第一長邊方向交叉之第二長邊方向上延伸。
又，致動器3更包含：作用部34，與壓電元件32的另一端部以及支撐部33的前端部連接，並伴隨壓電元件32的伸縮，在分別與第一長邊方向及第二長邊方向相異的方向上位移。又，致動器3更包含：閥體35，設置於作用部34的前端側且為位移之方向的一個側面，並藉由作用部34的位移所驅動。
致動器3中，伴隨壓電元件32的伸縮，作用部34在與包含第一長邊方向及第二長邊方向之平面略平行的面內，在分別與第一長邊方向及第二長邊方向相異的位移方向上位移。 又，藉由於支撐部33之在第二長邊方向上延伸的中間部分設置縮窄部331，能將伴隨壓電元件32的伸縮之作用部34的位移放大。
此處，基部31及支撐部33，能藉由例如將含有恆範鋼材之不鏽鋼材等金屬材料沖切而一體成形。 若將基部31及支撐部33以沖切金屬材料而一體成形的話，則元件數量受到削減，而使致動器3的組裝變得容易。
又，能在基部31的安裝面安裝例如由鋁塊等所構成之連結構件311。 若做成在基部31的安裝面安裝由相較於支撐部33線膨張係數更大的材料所構成之連結構件311，並透過連結構件311將壓電元件32安裝至基部31的話，能減輕或是消除因溫度變化所造成的壓電元件32之熱膨張或是熱收縮的影響。 又，連結構件311亦能安裝在壓電元件32與作用部34之間而非基部31的安裝面。
作用部34能藉由例如鋁材等輕量材料形成。若是藉由鋁材等輕量材料形成作用部34的話，在使作用部34位移之方面較佳。 又，閥體35可為橡膠製等，且較佳為滑性橡膠。
又，致動器3能以壓縮構件36將基部31與作用部34之間連結。 壓電元件對拉伸方向的負載容易損傷。然而，若做成以壓縮構件36將基部31與作用部34之間連結的話，能將壓電元件32在第一長邊方向上壓縮。因此，能防止壓電元件32的損傷。
圖4顯示將致動器固定於第一閥座板後的狀態之立體圖。圖5係將致動器固定於第一閥座板後的狀態之說明圖，並顯示從第一閥座板的側面側觀看之圖式。圖6係將致動器固定於第一閥座板後的狀態之說明圖，並顯示從第一閥座板的正面側觀看之圖式。 在本發明之實施態樣1中的壓電式閥1，將固定了致動器3之第一閥座板4收納於閥本體2的內部。 第一閥座板4係可安裝兩個致動器的閥座板之一例。第一閥座板4在中央部分具有閥座部41。在閥座部41之相背對的兩個側面各自設置致動器3的閥體35所抵接之閥座42。
於第一閥座板4的一面，在與閥座部41之一邊的側面相向的位置形成致動器3的安裝部43。 又，於第一閥座板4的另一面，在與閥座部41之另一邊的側面相向的位置形成致動器3的安裝部44。 兩個致動器3係以各閥體35面對各閥座42的方式，受配置於第一閥座板4的各安裝部43、44並藉由螺絲所固定。
於閥座部41形成有在各閥座42的閥座面開口之複數的排出通路45。各排出通路45在第一閥座板4的正面(在圖5為頂面)形成開口。 第一閥座板4係以固定了兩個致動器3的狀態受配置於閥本體2的內部。第一閥座板4，係藉由其正面被從閥本體2的正面側以螺絲固定，使各排出通路45與在閥本體2的正面開口之各氣體排出口連通。
壓電式閥1，在關閥狀態向致動器3的壓電元件32通電的話，壓電元件32伸長而作用部34位移，而閥體35從閥座42分離而開閥。藉此，壓電式閥1將從氣體供給口供給至閥本體2的壓縮氣體，透過形成於第一閥座板4的閥座部41的排出通路45，而從在閥本體2的正面開口之氣體排出口排出。 另一方面，壓電式閥1，解除向致動器3的壓電元件32之通電的話，壓電元件32收縮而作用部34向相反方向位移，而閥體35會落座於閥座42而關閥。
在本發明之實施態樣1中的壓電式閥1，於閥本體2的殼體內在寬度方向上並排收納兩個第一閥座板4，且四個氣體排出口在閥本體2的正面形成開口。
在本發明之實施態樣1中的壓電式閥1，致動器3具備簡單的構造之位移放大機構，而能將致動器3之厚度的寬幅的尺寸縮得比以往更小。 因此，依本發明之實施態樣1中的壓電式閥1，能相較於以往的壓電式閥將開口於閥本體2的正面之氣體排出口的間距縮小。
又，在本發明之實施態樣1中的壓電式閥1，由於致動器3包含與基部31一體成形之支撐部33，故元件數量受到削減，而致動器3的組裝變得容易。
在本發明之實施態樣1中的壓電式閥1，第一閥座板4包含閥座部41，且在閥座部41的兩個側面設置閥座42，而兩個致動器3係以各閥體35各自面對各閥座42的方式受固定於第一閥座板4。因此，能將固定了兩個致動器3的第一閥座板4之厚度的寬幅的尺寸縮小。 因此，依本發明之實施態樣1中的壓電式閥1，能相較於以往的壓電式閥將開口於閥本體2的正面之氣體排出口的間距縮小。
此處，第一閥座板4，其各閥座42係以寬度方向部分重合的方式在閥座部41的兩個側面相互錯開而設置。兩個致動器3係以各閥體35各自面對各閥座42的方式受固定於第一閥座板4。
因此，在本發明之實施態樣1中的壓電式閥1，於第一閥座板4，係在閥座部41的兩個側面以在第一閥座板4之厚度的寬幅的方向上部分重合的狀態將兩個致動器3固定。因此，由於能進而將固定了兩個致動器3的第一閥座板4之厚度的寬幅的尺寸縮小，故能相較於以往的壓電式閥進而將開口於閥本體2的正面之氣體排出口的間距縮小。
又，如圖6所示，於第一閥座板4的正面形成開口之各排出通路45，並非在第一閥座板4之厚度的寬幅的方向(圖6的上下方向)上形成一列開口。然而，藉由利用在內部具有「在一面與各排出通路45的開口連通且在另一面形成一列開口之複數個流道」之中間構件，能將開口於閥本體2的正面的複數之氣體排出口對齊成橫向一列。
又，在開口於閥本體2的正面的複數之氣體排出口並非在閥本體2之厚度的寬幅的方向上開口成一列的情況下，藉由利用在內部具有「在一面與各氣體排出口的開口連通且在另一面開口成一列之複數個流道」之中間構件，能將開口於接頭部5的複數之氣體排出口52對齊成橫向一列。
圖7係閥座面的說明圖，並顯示從正面側觀看閥座面之圖式。 在設置於第一閥座板4的閥座部41之閥座42，設置了複數之環狀凸部421。閥座42可包含排出通路45在各環狀凸部421內形成開口之閥座面。此處，顯示在閥座面設置了兩個環狀凸部421的例子。又，在環狀凸部421內開口之各排出通路45，在閥座部41的內部匯流成一個排出通路45。
雖然致動器3為了使作用部34穩定地位移動作，宜將作用部34及閥體35的長度縮短，但在此情況下，有需要亦將閥座42的長度縮短。 因此，若做成致動器3的閥體35係與閥座面的複數之環狀凸部421接觸分離的話，則能加長從閥本體2內排出壓縮氣體的排出通路45之開口的整體的周長，而確保需要的周長。其結果，能在閥體35與閥座42分離時，使來自排出通路45的壓縮氣體的排出量增加，而確保需要的壓縮氣體的排出量。
＜實施態樣2＞ 圖8顯示將致動器固定於第二閥座板後的狀態之立體圖。圖9係將致動器固定於第二閥座板後的狀態之說明圖，並顯示從第二閥座板的側面側觀看之圖式。圖10係將致動器固定於第二閥座板後的狀態之說明圖，並顯示從第二閥座板的正面側觀看之圖式。 在本發明之實施態樣2中的壓電式閥1，將固定了致動器3之第二閥座板8收納於閥本體2的內部。 第二閥座板8係可安裝四個致動器的閥座板之一例。第二閥座板8在中央部分具有閥座部81，並在閥座部81之相背對的兩個側面各自設置致動器3的閥體35所抵接之閥座82。
於第二閥座板8的一面，在與閥座部81之兩邊的側面相向的位置各自形成致動器3的安裝部83。 又，於第二閥座板8的另一面，在與閥座部81之兩邊的側面相向的位置各自形成致動器3的安裝部84。 四個致動器3係以各閥體35面對各閥座82的方式，受配置於第二閥座板8的各安裝部83、84並藉由螺絲所固定。
於閥座部81，形成有在閥座82的閥座面開口的複數之排出通路85。各排出通路85於第二閥座板8的正面(在圖9為頂面)形成開口。 第二閥座板8，係以固定了四個致動器3的狀態配置於閥本體2的內部，且其正面被從閥本體2的正面側以螺絲固定。藉此，各排出通路85與開口於閥本體2的正面之各氣體排出口連通。
在本發明之實施態樣2中的壓電式閥1，將一個第二閥座板8收納於閥本體2的殼體內，且四個氣體排出口開口於閥本體2的正面。
在本發明之實施態樣2中的壓電式閥1亦與在實施態樣1中之壓電式閥1相同，包含致動器3，並能相較於以往的壓電式閥將開口於閥本體2的正面之氣體排出口的間距縮小。
又，在本發明之實施態樣2中的壓電式閥1，致動器3的組裝亦變得容易。
在本發明之實施態樣2中的壓電式閥1，第二閥座板8包含閥座部81，且在閥座部81的兩個側面設置閥座82；並將四個致動器3，以各閥體35各自面對各閥座82的方式在第二閥座板8的兩面各固定兩個。因此，能將固定了四個致動器3之第二閥座板8之厚度的寬幅的尺寸縮小。 因此，藉由本發明之實施態樣2中的壓電式閥1，亦能相較於以往的壓電式閥將開口於閥本體2的正面之氣體排出口的間距縮小。
此處，於第二閥座板8，亦與第一閥座板4相同地，能將各閥座82以寬度方向部分重合的方式在閥座部81的兩個側面相互錯開而並列設置，並將四個致動器3以各閥體35各自面對各閥座82的方式固定於第二閥座板8。
藉由本發明之實施態樣2中的壓電式閥1，亦能在第二閥座板8，於閥座部81的兩個側面以在第二閥座板8之厚度的寬幅的方向上部分重合的狀態將四個致動器3固定。因此，能進而將固定了四個致動器3的第二閥座板8之厚度的寬幅的尺寸縮小，而能相較於以往的壓電式閥進而將開口於閥本體2的正面之氣體排出口的間距縮小。
又，在此情況下，開口於第二閥座板8的正面之各排出通路85不會在第二閥座板8之厚度的寬幅的方向(圖10的上下方向)上開口成一列。然而，與第一閥座板4相同，藉由利用中間構件，能將開口於閥本體2的正面之各氣體排出口或是開口於接頭部5之各氣體排出口52對齊成橫向一列。
在上述本發明之實施態樣中，壓電式閥係設定成在未向壓電元件施加電壓的狀態下閥體係落座於閥座。然而，亦能藉由變更從驅動部所供給之電壓等的極性，設定成在未向壓電元件施加電壓的狀態下，閥體係從閥座分離的狀態。
在上述本發明之實施態樣中，壓電式閥係做成在閥本體的殼體內配置四個致動器，且四個氣體排出口開口於閥本體的正面。然而，可不受限於此而在閥本體內配置一個以上的致動器。
雖然在上述本發明之實施態樣中，以兩個閥座板為例進行了說明，但閥座板並不受此所限定，例如，亦能在第二閥座板8中，僅在一面形成兩個致動器的安裝部。
以上，雖針對本發明之實施態樣進行了說明，但本發明並不受上述實施態樣所限定，只要在不超出發明的範圍下可適當變更其構成。 [產業利用性]
本發明之一實施態樣的壓電式閥，可相較於以往的壓電式閥縮小本體殼所具備之氣體排出口的間距，且能利用在例如將粒狀物作為對象之光學式分類機的噴射閥等各種的用途。
1:壓電式閥 2:閥本體 3:致動器 31:基部 311:連結構件 32:壓電元件 33:支撐部 331:縮窄部 34:作用部 35:閥體 36:壓縮構件 4:第一閥座板 41:閥座部 42:閥座 421:環狀凸部 43:安裝部 44:安裝部 45:排出通路 5:接頭部 51:氣體吸入口 52:氣體排出口 6:蓋體 61:配線接頭 8:第二閥座板 81:閥座部 82:閥座 83:安裝部 84:安裝部 85:排出通路
[圖1]係壓電式閥之立體圖。 [圖2]係壓電式閥之說明圖。 [圖3]係致動器之說明圖。 [圖4]係將致動器固定於第一閥座板後的狀態之立體圖。 [圖5]係將致動器固定於第一閥座板後的狀態之說明圖。 [圖6]係將致動器固定於第一閥座板後的狀態之說明圖。 [圖7]係閥座面之說明圖。 [圖8]係將致動器固定於第二閥座板後的狀態之立體圖。 [圖9]係將致動器固定於第二閥座板後的狀態之說明圖。 [圖10]係將致動器固定於第二閥座板後的狀態之說明圖。
3:致動器
35:閥體
4:第一閥座板
41:閥座部
42:閥座
43:安裝部
44:安裝部
45:排出通路

Claims (7)

  1. 一種壓電式閥，包含： 複數之致動器，將複數之閥體各自獨立地在平行的面內驅動； 閥座板，包含複數個與該複數之閥體各自獨立地接觸分離之閥座以及複數個排出通路，並固定該複數之致動器；以及 本體殼，收納該閥座板； 該壓電式閥之特徵在於： 該複數之致動器各自包含： 基部，受固定於該閥座板； 壓電元件，在第一長邊方向上延伸，且其一端部連接於該基部的安裝面； 支撐部，與該基部一體成形，並與該壓電元件並排而在與該第一長邊方向交叉之第二長邊方向上延伸； 作用部，與該壓電元件的另一端部以及該支撐部的前端部連接，且伴隨該壓電元件的伸縮而在分別與該第一長邊方向及該第二長邊方向相異的位移方向上位移；以及 該閥體，設置於該作用部之該位移的方向之一側，並藉由該作用部的位移而受到驅動；並且 該本體殼包含： 氣體供給口，供給壓縮氣體；以及 複數之氣體排出口，藉由該複數之閥體與該複數之閥座的分離，而透過該閥座板的該各排出通路各自獨立地將從該氣體供給口所供給之壓縮氣體排出。
  2. 如請求項1所述之壓電式閥，其中， 該閥座板包含該閥座以及形成該排出通路之閥座部，且該複數之閥座係設置於該閥座部之兩個側部； 該複數之致動器，於該閥座板固定成該各閥體各自面對該各閥座。
  3. 如請求項2所述之壓電式閥，其中， 該閥座板包含該閥座以及形成該排出通路之閥座部，且該複數之閥座係以寬度方向部分重合的方式在該閥座部的兩個側部相互錯開而設置； 該複數之致動器，於該閥座板固定成該各閥體各自面對該各閥座。
  4. 一種壓電式閥，包含： 致動器，用以驅動閥體； 閥座板，包含與該閥體接觸分離之閥座以及排出通路，並固定該致動器；以及 本體殼，收納該閥座板； 該壓電式閥之特徵在於： 該致動器包含： 基部，受固定於該閥座板； 壓電元件，在第一長邊方向上延伸，且其一端部連接於該基部的安裝面； 支撐部，與該基部一體成形，並與該壓電元件並排而在與該第一長邊方向交叉之第二長邊方向上延伸； 作用部，與該壓電元件的另一端部以及該支撐部的前端部連接，且伴隨該壓電元件的伸縮而在分別與該第一長邊方向及該第二長邊方向相異的方向上位移；以及 該閥體，設置於該作用部之該位移的方向之一側，並藉由該作用部的位移而受到驅動；並且 該本體殼包含： 氣體供給口，供給壓縮氣體；以及 氣體排出口，藉由該閥體與該閥座的分離，而透過該閥座板的該排出通路將從該氣體供給口所供給之壓縮氣體排出。
  5. 如請求項1至4中任一項所述之壓電式閥，其中， 該支撐部，於在該第二長邊方向上延伸之中間部分具有縮窄部。
  6. 如請求項1至4中任一項所述之壓電式閥，其中， 該閥座包含：該排出通路在複數之環狀凸部內形成開口之閥座面； 該閥體，與該閥座面的該複數之環狀凸部接觸分離。
  7. 如請求項5所述之壓電式閥，其中， 該閥座包含：由該排出通路在複數之環狀凸部內形成開口之閥座面： 該閥體，與該閥座面的該複數之環狀凸部接觸分離。
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