TW202309425A - 壓電式閥 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種壓電式閥，包含：致動器，其具有閥體並驅動閥體；閥座板，其具有與閥體接觸分離之閥座及排出路並固定致動器；及本體殼體，其收納閥座板，設置於致動器之閥體對設置於閥座板之閥座進行接觸分離，閥座具有排出口之一端在1個環狀凸部內或多數環狀凸部內分別地開口的閥座面，1或多數環狀凸部之排出路的一端在1個錐台或多數錐台之頂面分別地開口，閥體與閥座面之1或多數環狀凸部接觸分離。

Description

壓電式閥

本發明係關於利用壓電元件之位移來進行閥之開關的壓電式閥。

以往，利用壓電元件之位移來進行閥之開關並噴出壓縮氣體的壓電式閥是習知的(請參照下述專利文獻1、2)。

專利文獻1、2記載之壓電式閥，包含利用具有優異之高速回應性能之壓電元件特性的致動器。其所揭示之壓電式閥，更具有在致動器中依據槓桿原理放大壓電元件之小位移的位移放大機構。

因為其所揭示之壓電式閥具有優異回應性，所以用於以米粒等粒狀物作為對象之光學式分粒機的排出閥來去除不良品時，很少良品被連帶地去除，由試驗且就經驗法則而言亦可知被去除之不良品側之不良品混入率比電磁式閥更高。

此外，本申請案之發明人等先前提出了致動器具有簡單構造之位移放大機構的壓電式閥(請參照下述專利文獻3)。專利文獻3記載之壓電式閥在於致動器之作用部設置閥體且前述閥體以設置於支持部之縮頸部為支點進行圓弧運動。因此，相較於專利文獻1或2記載之習知壓電式閥，可更高速地進行閥之開關動作。

但是，專利文獻3記載之壓電式閥的前述閥體藉由圓弧運動對設置於閥座板之閥座進行接觸分離，恐有在閥體之長度方向上在遠離前述支點之前端側及靠近前述支點之基端側前述閥體與前述閥座接觸分離之時點不同(產生時間差)之虞。因此，壓電式閥必須縮短前述閥座之長度，但有因為縮短前述閥座之長度所以開閥時壓縮氣體之排出量變少的問題。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1] 日本專利第5764049號公報 [專利文獻2] 日本特開2021－8892號公報 [專利文獻3] 日本特開2022－48474號公報

因此，本發明之目的係提供一種壓電式閥，其在閥體藉由圓弧運動對閥座進行接觸分離時，即使縮短前述閥體及前述閥座之長度時，亦可確保開閥時必要之壓縮氣體的排出量。

為了達成上述目的，本發明之壓電式閥具有： 致動器，其具有閥體並驅動閥體； 閥座板，其具有與閥體接觸分離之閥座及排出路並固定致動器；及 本體殼體，其收納閥座板， 致動器具有： 基部，其固定在閥座板上； 壓電元件，其一端部連接於基部之安裝面並朝第一長邊方向延伸； 支持部，其一體地設置於基部並與壓電元件並排地朝向與第一長邊方向交叉之第二長邊方向延伸；及 作用部，其與壓電元件之另一端部及支持部之前端部連接並隨著壓電元件之伸縮朝向分別與第一長邊方向及第二長邊方向不同之方向位移， 本體殼體具有： 氣體供給口，其供給壓縮氣體；及 氣體排出口，其藉由閥體及閥座之分離透過閥座板之排出路將由氣體供給口所供給之壓縮氣體排出， 閥座具有排出路之一端在多數環狀凸部內分別地開口的閥座面， 多數環狀凸部之排出路的一端在多數錐台之頂面分別地開口， 閥體係設置在作用部之位移的方向側且被作用部之位移所驅動而與閥座面之多數環狀凸部接觸分離。

本發明之壓電式閥的較佳態樣係致動器之作用部隨著壓電元件之伸縮，在分別與第一長邊方向及第二長邊方向不同之方向上，朝於與包含第一長邊方向及第二長邊方向之平面平行之面內的位移方向位移。

本發明之壓電式閥的較佳態樣係多數環狀凸部並排設置在閥座之寬度方向上，排出路之一端沿著與閥座之寬度方向直交的長度方向在多數環狀凸部內分別地開口呈狹縫狀。

本發明之壓電式閥的較佳態樣係排出路具有：在多數環狀凸部內分別地開口之多數閥座側流路；及各閥座側流路交叉地連通並在閥座板之表面開口的1條主流路， 主流路之內面具有在各閥座側流路交叉之連通部中在閥座面側形成凸狀且在各連通部間形成凹狀的形狀。

本發明之壓電式閥的較佳態樣係主流路具有比各閥座側流路之流路截面的總和大的流路截面。

此外，為了達成上述目的，本發明之壓電式閥具有： 致動器，其具有閥體並驅動閥體； 閥座板，其具有與閥體接觸分離之閥座及排出路並固定致動器；及 本體殼體，其收納閥座板， 致動器具有： 基部，其固定在閥座板上； 壓電元件，其一端部連接於基部之安裝面並朝第一長邊方向延伸； 支持部，其一體地設置於基部並與壓電元件並排地朝向與第一長邊方向交叉之第二長邊方向延伸；及 作用部，其與壓電元件之另一端部及支持部之前端部連接並隨著壓電元件之伸縮朝向分別與第一長邊方向及第二長邊方向不同之方向位移， 壓電式閥之本體殼體具有： 氣體供給口，其供給壓縮氣體；及 氣體排出口，其藉由閥體及閥座之分離透過閥座板之排出路排出由氣體供給口所供給之壓縮氣體，其中： 閥座具有排出路之一端在環狀凸部內開口的閥座面， 環狀凸部之排出路的一端在錐台之頂面開口， 閥體係設置在作用部之位移的方向側且被作用部之位移所驅動而與閥座面之前述環狀凸部接觸分離。

本發明之壓電式閥的較佳態樣係致動器之支持部在朝第二長邊方向延伸之中間部分具有縮頸部。

本發明之壓電式閥的較佳態樣係閥座板具有形成閥座及排出路之閥座部且閥座設置在閥座部之正面側或背面側之至少一面上， 致動器係固定在閥座板之至少一側面上以使閥體面對閥座。

本發明之壓電式閥的較佳態樣係閥座板具有形成閥座及排出路之閥座部並在閥座部之正面側及背面側的相對兩面上設置閥座， 多數致動器係固定在閥座板上以使各閥體分別地面對各閥座。

依據本發明之壓電式閥，即使縮短閥座之長度時，亦可藉由多數環狀凸部整體地增加於排出路之開口的周長。 此外，依據本發明之壓電式閥，閥座面的多數環狀凸部之周圍成為傾斜面，可減少開閥時將壓縮氣體由多數環狀凸部之周圍引入排出路之開口時的阻力。 因此，依據本發明之壓電式閥，在閥體藉由圓弧運動對閥座進行接觸分離時，即使縮短閥體及閥座之長度時，亦可確保開閥時必要之壓縮氣體的排出量。

依據本發明之壓電式閥的較佳態樣，即使縮短閥座之長度時，亦可藉由多數環狀凸部整體地增加於各閥座側流路之開口的周長。

依據本發明之壓電式閥的較佳態樣，各閥座側流路之長度變短，可減少開閥時將壓縮氣體引入排出路時之於閥座側流路內的阻力。 此外，依據本發明之壓電式閥之較佳態樣，可增加各環狀凸部間之溝的深度而形成大氣隙，因此可確保開閥時引入閥座側流路之壓縮氣體的容量。 因此，依據本發明之壓電式閥的較佳態樣，在閥體藉由圓弧運動對閥座進行接觸分離時，即使縮短閥體及閥座之長度時，亦可確保開閥時必要之壓縮氣體的排出量。

依據本發明之壓電式閥，閥座面之多數環狀凸部的周圍成為傾斜面，可減少開閥時將壓縮氣體由環狀凸部之周圍引入排出路之開口時的阻力。 因此，依據本發明之壓電式閥，在閥體藉由圓弧運動對閥座進行接觸分離時，即使縮短閥體及閥座之長度時，亦可確保開閥時必要之壓縮氣體的排出量。

依據本發明之壓電式閥的較佳態樣，可放大作用部之位移。 此外，依據本發明之壓電式閥之較佳態樣，設置於致動器之閥體對設置於閥座板之閥座以縮頸部為支點進行圓弧運動，因此閥體之軌道穩定。

依據圖式說明本發明之實施形態。圖1顯示本發明一實施形態之壓電式閥的立體圖。圖2顯示圖1之壓電式閥的正面圖。在本發明之實施形態中，壓電式閥1具有壓電式閥1、閥本體2、後述致動器3及後述閥座板4，該閥座板4係在固定致動器3之狀態下配設在閥本體2之內部。

前述閥本體2係後面(在圖1及圖2中相當於下面)開口之殼體。閥本體2在其內部具有由外部之壓縮氣體供給源(未圖示)接受壓縮氣體之供給的氣體壓力室。此外，在閥本體2之前面(在圖1及圖2中相當於上面)設置可安裝歧管(未圖示)之連接部(未圖示)，該歧管在內部具有由壓縮氣體源供給壓縮氣體之空間。

將壓縮氣體吸入閥本體2內之氣體吸入口及排出壓縮氣體之多數氣體排出口在連接部之前面開口。此外，與連接部之氣體吸入口連通的氣體供給口21及與連接部之各氣體排出口分別地連通之多數氣體排出口22在閥本體2之前面開口。如圖1及圖2所示地，蓋體6安裝在閥本體2之後面。用於供電至後述壓電元件32的配線連接器形成在蓋體6之後面。

圖3顯示致動器之一實施形態的立體圖。圖4顯示由側面側觀察圖3之致動器的說明圖。致動器3具有：基部31，其固定在後述閥座板4上；及壓電元件32，其一端部連接於基部31之安裝面並朝第一長邊方向延伸。致動器3更具有配設成與基部31一體地形成並且與壓電元件32並排的支持部33。支持部33朝向與第一長邊方向交叉之第二長邊方向延伸。

致動器3具有與壓電元件32之另一端部及支持部33之前端部連接的作用部34。作用部34隨著壓電元件32之伸縮朝向分別與第一長邊方向及第二長邊方向不同之方向位移。致動器3更具有在作用部34之前端側設置在位移方向之一側面的閥體35。閥體35被作用部34之位移所驅動。

基部31具有至少一個安裝孔381且安裝孔381中之至少一個配置在第二長邊方向上一體地設置支持部33之側。基部31利用至少配置在一體地設置前述支持部33之側的安裝孔381並藉由螺絲固定在閥座板4上。

支持部33在朝第二長邊方向延伸之中間部分具有縮頸部331。支持部33在基部31靠近縮頸部331之側更具有安裝孔382。支持部33利用安裝孔382並藉由螺絲固定在閥座板4上。

致動器3之支持部33及作用部34可理解為構成放大壓電元件32之位移並使其作用於閥體35的位移放大機構的元件。即，隨著壓電元件32之伸縮，作用部34在與包含第一長邊方向及第二長邊方向之平面大致平行之面內朝向分別與第一長邊方向及第二長邊方向不同之位移方向(圖4所示之X方向)位移。此時，因為在朝支持部33之第二長邊方向延伸的中間部分設置了縮頸部331，所以致動器3可隨著壓電元件32之伸縮放大作用部34之位移。

此外，致動器3在作用部34之位移方向的一側面設置閥體35。因此，閥體35以設置於支持部33之縮頸部331作為支點與作用部34一起朝位移方向(X方向)進行圓弧運動。因為閥體35對後述之閥座以縮頸部331作為支點進行圓弧運動，所以軌道穩定。

此外，在致動器3中，應留意的是設置於支持部33之縮頸部331不是必要的。即使未於支持部33設置縮頸部331時，作用部34及閥體35亦可朝位移方向(X方向)位移。

在此，基部31及支持部33可衝壓金屬材料而成形為一體化之構件。作為將基部31及支持部33一體化之構件材料的理想金屬材料係例如包含銦鋼材之不鏽鋼材。若藉由衝壓金屬材料將基部31及支持部33一體成形，可減少部件數且致動器3之組裝容易。

此外，基部31及支持部33亦可由分開構件形成。此時，藉由將分開構件之支持部33安裝在基部31上，可將支持部33一體地設置在基部31上。

在基部31具有之與壓電元件32的安裝面可安裝由鋁塊等形成之連結構件(未圖示)。如此，形成連結構件之材料宜由線膨脹係數比支持部33大之材料形成。若透過用線膨脹係數比支持部33大之材料形成的連結構件將壓電元件32安裝在基部31上，可減輕或消除壓電元件32因溫度變化所致之熱膨脹或熱收縮的影響。連結構件可安裝在壓電元件32與作用部34之間而非基部31之安裝面。

作用部34可由鋁材等輕量材料形成。若由輕量材料形成作用部34，在使作用部34位移方面是理想的。此外，閥體35可為橡膠製，最好可由滑性橡膠形成。

致動器3可用壓縮構件36連結在基部31與作用部34之間。一般而言壓電元件對拉伸方向之負載容易產生損傷，但是，若用壓縮構件36連結在基部31與作用部34之間，可朝第一長邊方向壓縮壓電元件32，因此可防止壓電元件32之損傷。

圖5顯示閥座板之一實施形態的立體圖。圖6顯示於固定致動器之狀態之圖5的閥座板的立體圖。圖7顯示圖6之閥座板之側面圖。圖5所示之閥座板4係可安裝4個致動器之閥座板的一例。閥座板4在中央部分具有閥座部41。在位於閥座部41之正面側及背面側的相對兩面分別地各設置致動器3之閥體35抵接的2個閥座42。在本實施形態中，各閥座42對閥座部41之兩面對向地設置成一部分於正面圖之寬度方向上重疊。

在閥座板4之其中一側面形成致動器3之安裝部43、43。更具體而言，安裝部43、43在閥座板4之其中一側面上分別地形成在與閥座部41之兩面，即閥座部41之正面側及背面側對向的位置。此外，在閥座板4之另一側面上亦同樣地在與閥座部41之兩面對向的位置分別地形成致動器3之安裝部44。

多數排出路45形成在閥座部41中且各排出路45之一端在各閥座42之閥座面開口。此外，各排出路45之另一端在閥座板4之前面(在圖5至圖7中相當於上面)開口。另外，閉鎖閥本體2後面之開口的蓋材46與閥座板4一體地設置於閥座板4。

在本實施形態中，4個致動器3之各閥體35對閥座板4之各安裝部43、44配設成面對各閥座42。在本實施形態中各致動器3係對閥座板4藉由螺絲固定。

閥座板4在固定4個致動器3之狀態下由閥本體2後面之開口配設於內部，另一方面，由閥本體2之前面側藉由螺絲固定閥座板4之前面。固定閥座板4之前面時，在該前面開口之各排出路45與在閥本體2之前面開口的各氣體排出口22連通。此外，閥座板4之蓋材46係對閥本體2由後方藉由螺絲固定。藉此，閉鎖閥本體2後面之開口。

於上述本發明之實施形態的壓電式閥1在關閥狀態中通電至致動器3之壓電元件32時，壓電元件32伸長。隨著壓電元件32之伸長，作用部34位移使閥體35由閥座42分開而開閥。藉此壓電式閥1將由氣體供給口所供給至閥本體2之壓縮氣體透過形成於閥座板4之閥座部41的排出路45由在閥本體2之前面開口的氣體排出口22排出。另一方面，壓電式閥1在解除對致動器3之壓電元件32的通電時，壓電元件32收縮且作用部34朝相反方向位移使閥體35安放在閥座42上而關閥。

圖8顯示由正面側觀察構成閥座板之一實施形態的閥座部的說明圖。圖9顯示由側面側觀察圖8之閥座部的說明圖。在本實施形態中，設置於閥座板4之閥座部41的各閥座42分別地具有2個環狀凸部421且具有排出路45在各環狀凸部421內分別地開口之閥座面。

2個環狀凸部421之排出路45在橢圓錐台之各頂面分別地開口。橢圓錐台之傾斜角度可為例如60度。此外，2個環狀凸部421並排設置在閥座42之寬度方向上且排出路45沿著與閥座42之寬度方向直交的長度方向在2個環狀凸部421內分別地開口呈狹縫狀。

於本實施形態之壓電式閥1之閥座42具有排出路45在2個環狀凸部421內分別地開口之閥座面。因此，即使縮短閥座42之長度時，壓電式閥1亦可藉由2個環狀凸部421整體地增加於排出路45之開口的周長。

此外，於本實施形態之壓電式閥1的2個環狀凸部421並排設置在閥座42之寬度方向上且各排出路45沿著與閥座42之寬度方向直交的長度方向在2個環狀凸部421內分別地開口呈狹縫狀。因此，即使縮短閥座42之長度時，壓電式閥1亦可藉由2個環狀凸部421整體地增加於各排出路45之開口的周長。

因此，依據於本實施形態之壓電式閥1，設置於致動器3之閥體35藉由圓弧運動對設置於閥座板4之閥座42進行接觸分離時，即使縮短閥座42之長度時，亦可確保開閥時必要之壓縮氣體的排出量。

此外，於本實施形態之壓電式閥1之閥座42具有排出路45在2個環狀凸部421內分別地開口之閥座面且2個環狀凸部421之排出路45在橢圓錐台之各頂面分別地開口。因此，閥座面的2個環狀凸部421之周圍成為傾斜面且壓電式閥1可減少開閥時將壓縮氣體由2個環狀凸部421之周圍引入排出路45之開口時的阻力。

因此，依據於本實施形態之壓電式閥1，設置於致動器3之閥體35藉由圓弧運動對設置於閥座板4之閥座42進行接觸分離時，即使縮短閥座42之長度時，亦可確保開閥時必要之壓縮氣體的排出量。

圖10顯示由圖8之截面A-A觀察之閥座部41的截面圖。圖11顯示由圖9之截面B-B觀察之閥座部41的另一截面圖。排出路45具有：在2個環狀凸部421內分別地開口呈狹縫狀之閥座側流路451；及各閥座側流路451交叉地連通呈直交狀並在閥座板4之前面開口的1條前面側流路452。前面側流路452具有比各閥座側流路451之流路截面積(軸直交截面積)的總和大的流路截面積。在此，雖然例示各閥座側流路451及前面側流路452交叉呈直交狀之情形，但兩者只要交叉地連通即可，不一定要交叉呈直交狀。

如圖11所示地，前面側流路452之內面係作成在各閥座側流路451交叉之連通部48中在閥座面側形成凸狀且在各連通部48間形成凹狀的形狀。

於本實施形態之壓電式閥1的排出路45具有：在2個環狀凸部421內分別地開口呈狹縫狀之閥座側流路451；及各閥座側流路451交叉地連通並在閥座板4之前面開口的1條前面側流路452，且前面側流路452之內面係作成在各閥座側流路451交叉之連通部48中在閥座面側形成凸狀的形狀。因此，各閥座側流路451之長度L1變短且壓電式閥1可減少開閥時將壓縮氣體引入排出路45時之於閥座側流路451內的阻力。

此外，於本實施形態之壓電式閥1的前面側流路452的內面係作成在各連通部48間由閥座面側形成凹狀的形狀。藉此，可增加各環狀凸部421間之溝47的深度L2而形成大氣隙，因此壓電式閥1可確保開閥時引入閥座側流路451之壓縮氣體的容量。

因此，依據於本實施形態之壓電式閥1，在設置於致動器3之閥體35藉由圓弧運動對設置於閥座板4之閥座42進行接觸分離時，即使縮短閥座42之長度時，亦可確保開閥時必要之壓縮氣體的排出量。

在上述實施形態中，2個環狀凸部421之閥座側流路451(排出路45)在橢圓錐台之各頂面開口。但是，不限於如此之結構，環狀凸部421可作成閥座側流路451(排出路45)在角錐台等其他形狀之錐台的各頂面開口。

在上述實施形態中，雖然2個環狀凸部421設置於前述閥座42，但不限於此，可設置3個以上之環狀凸部。

在本發明之實施形態中，亦可作成在閥座42中設置1個環狀凸部421。即使在閥座42中只設置1個環狀凸部421時，亦可減少開閥時將壓縮氣體由環狀凸部421之周圍引入於排出路45之開口時的阻力。因此，在設置於致動器3之閥體35藉由圓弧運動對設置於閥座板4之閥座42進行接觸分離時，即使縮短前述閥體及前述閥座之長度時，壓電式閥1亦可確保開閥時必要之壓縮氣體的排出量。

在上述實施形態中，壓電式閥1係作成在未施加電壓至壓電元件32之狀態下，閥體35安放在閥座42中。但是，不限於如此之結構，壓電式閥1亦可藉由變更由驅動部供給之電壓等的極性，在未施加電壓至壓電元件32之狀態下，使閥體35呈由閥座42分離之狀態。

在上述實施形態中，壓電式閥1係作成在閥本體2之內部配設固定4個致動器3之閥座板4且4個氣體排出口22在閥本體2之前面開口。但是，不限於如此之結構，壓電式閥1可在閥本體2中配設固定1個以上之致動器的閥座板。

雖然在上述實施形態中說明了可在兩面安裝各2個，合計4個致動器3之閥座板4作為例子，但是，不限於如此之結構，例如可在壓電式閥1中使用可只在一面側安裝2個致動器3之閥座板或可只在一面側安裝1個致動器3之閥座板。

以上，雖然說明了本發明之實施形態，但本發明不限於上述實施形態，只要不脫離發明之範圍就可適當變更其結構來實施本發明。

本發明之壓電式閥可使用於具有：致動器，其具有閥體並驅動該閥體；閥座板，其具有與閥體接觸分離之閥座及排出路並固定致動器；及閥本體，即本體殼體，其收納閥座板的壓電式閥。

1:壓電式閥 2:閥本體 3:致動器 4:閥座板 6:蓋體 21:氣體供給口 22:氣體排出口 31:基部 32:壓電元件 33:支持部 34:作用部 35:閥體 36:壓縮構件 41:閥座部 42:閥座 43,44:安裝部 45:排出路 46:蓋材 47:溝 48:連通部 331:縮頸部 381,382:安裝孔 421:環狀凸部 451:閥座側流路 452:前面側流路 L1:長度 L2:深度 X:位移方向

[圖1]係利用本發明一實施形態所為之壓電式閥的立體圖。 [圖2]係圖1之壓電式閥的正面圖。 [圖3]係本發明之壓電式閥具有之致動器的一實施形態的立體圖。 [圖4]係由側面側觀察圖3之致動器的說明圖。 [圖5]係本發明之壓電式閥具有之閥座板的一實施形態的立體圖。 [圖6]係於固定圖3及圖4所示之致動器之狀態的圖5之閥座板的立體圖。 [圖7]係圖6之狀態之閥座板的側面圖。 [圖8]係由正面側觀察圖5之實施形態之閥座板的閥座部的說明圖。 [圖9]係由側面側觀察之圖8之閥座部的說明圖。 [圖10]係顯示由圖8之截面A-A觀察之閥座部的截面圖。 [圖11]係顯示由圖9之截面B-B觀察之閥座部的截面圖。

41:閥座部

42:閥座

421:環狀凸部

Claims (8)

1. 一種壓電式閥，包含： 致動器，其具有閥體並驅動該閥體； 閥座板，其具有與該閥體接觸分離之閥座及排出路並固定該致動器；及 本體殼體，其收納該閥座板， 該致動器包含： 基部，其固定在該閥座板上； 壓電元件，其一端部連接於該基部之安裝面並朝第一長邊方向延伸； 支持部，其一體地設置於該基部，並與該壓電元件並排地朝向與該第一長邊方向交叉之第二長邊方向延伸；及 作用部，其與該壓電元件之另一端部及該支持部之前端部連接，並隨著該壓電元件之伸縮朝向分別與該第一長邊方向及該第二長邊方向不同之方向位移， 該本體殼體具有： 氣體供給口，其供給壓縮氣體；及 氣體排出口，其藉由該閥體及該閥座之分離透過該閥座板之該排出路將由該氣體供給口所供給之壓縮氣體排出， 該閥座具有該排出路之一端在多數環狀凸部內分別地開口的閥座面， 該多數環狀凸部之該排出路的一端在多數錐台之頂面分別地開口， 該閥體係設置在該作用部之該位移的方向側，且被該作用部之位移所驅動而與該閥座面之該多數環狀凸部接觸分離。
2. 如請求項1之壓電式閥，其中，該多數環狀凸部並排設置在該閥座之寬度方向上，該排出路之一端沿著該閥座之長度方向在該多數環狀凸部內分別地開口呈狹縫狀。
3. 如請求項1或2之壓電式閥，其中： 該排出路具有：多數閥座側流路，在該多數環狀凸部內分別地開口；及1條主流路，該各閥座側流路交叉地連通，並在該閥座板之表面開口， 該主流路之內面係在該各閥座側流路交叉之連通部處，朝該閥座面側形成凸狀，且在該各連通部間形成凹狀的形狀。
4. 如請求項1或2之壓電式閥，其中，該支持部在朝該第二長邊方向延伸之中間部分具有縮頸部。
5. 如請求項1或2之壓電式閥，其中， 該閥座板具有形成該閥座及該排出路之閥座部，且該閥座設置在該閥座部之正面側或背面側之至少一面上， 該致動器係固定在閥座板上以使該閥體面對該閥座。
6. 一種壓電式閥，包含： 致動器，其具有閥體並驅動該閥體； 閥座板，其具有與該閥體接觸分離之閥座及排出路，並固定該致動器；及 本體殼體，其收納該閥座板， 該致動器包含： 基部，其固定在該閥座板上； 壓電元件，其一端部連接於該基部之安裝面並朝第一長邊方向延伸； 支持部，其一體地設置於該基部，並與該壓電元件並排地朝向與該第一長邊方向交叉之第二長邊方向延伸；及 作用部，其與該壓電元件之另一端部及該支持部之前端部連接，並隨著該壓電元件之伸縮朝向分別與該第一長邊方向及該第二長邊方向不同之方向位移， 該本體殼體包含： 氣體供給口，其供給壓縮氣體；及 氣體排出口，其藉由該閥體及該閥座之分離且透過該閥座板之該排出路，將由該氣體供給口所供給之壓縮氣體排出， 該閥座具有該排出路之一端在環狀凸部內開口的閥座面， 該環狀凸部之該排出路的一端在錐台之頂面開口， 該閥體係設置在該作用部之該位移的方向側，且被該作用部之位移所驅動而與該閥座面之該環狀凸部接觸分離。
7. 如請求項6之壓電式閥，其中，該支持部在朝該第二長邊方向延伸之中間部分具有縮頸部。
8. 如請求項6或7之壓電式閥，其中， 該閥座板具有形成該閥座及該排出路之閥座部，且該閥座設置在該閥座部之正面側或背面側之至少一面上， 該致動器係固定在閥座板上以使該閥體面對該閥座。

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