CN118176379A - 压电式阀门 - Google Patents

Abstract

压电式阀门(1)具备：多个致动器(3)，其具有多个阀芯(35)并对它们独立地进行驱动；阀座板(4)，其具有与各阀芯独立地接触或分离的多个阀座(42)以及多个排出路(45)；以及主体壳体(2)，其收纳阀座板，各致动器以使各阀芯与各阀座对置的方式固定于阀座板的侧面，并能够经由设置于主体壳体的前表面的连接器部(5)而相对于流体设备拆装，各阀座以在宽度方向重叠的方式成对地设置于阀座部(41)的两面，在成对地设置的各阀座开口的各排出路，以至少一部分在宽度方向上重叠的方式形成于阀座板，在主体壳体的前表面，多个气体排出口(22)在宽度方向非一列地开口，在连接器部的前表面，多个排出通路的排出口(52)在宽度方向一列地开口。

Description

压电式阀门

技术领域

本发明涉及一种利用压电元件的位移来进行阀门的开闭的压电式阀门。

背景技术

以往，公知一种压电式阀门，其利用压电元件的位移来进行阀门的开闭并喷出压缩气体(参照下述专利文献1～3)。

专利文献1～3所公开的压电式阀门具备利用高速响应性能优异的压电元件的特性的致动器。公开的压电式阀门还具备使致动器基于杠杆原理放大压电元件的小的位移的位移放大机构。

公开的压电式阀门的响应性优异，因此在将米粒等粒状物作为对象的光学式分选机的喷射器阀门中使用而除去不合格品的情况下，合格品被卷绕而被除去的情况较少，被除去的不合格品侧的不合格品混入率比电磁式阀门高，根据试验，另外根据经验也得到了这样的见解。

压电式阀门在作为光学式分选机的喷射器阀门等使用的情况下，例如如下述专利文献3所公开的那样，直接连续地安装于在内部具有从压缩空气源供给压缩空气的空间的歧管，在喷射器的前端开口有多个喷嘴孔。

然而，后述的本发明的发明者们之前提出了一种压电式阀门，其具备致动器为简单的构造的位移放大机构(参照下述专利文献4)。

专利文献4所公开的压电式阀门具备阀座板，其具有形成有阀座以及排出路的阀座部，在阀座部的正面侧以及背面侧的两面设置有阀座，多个致动器以使各阀芯与各阀座对置的方式固定于阀座板的隔着阀座部的两侧。

专利文献4所记载的压电式阀门将固定有致动器的所述阀座板收纳于阀门主体的壳体内，与专利文献1～3所记载的压电式阀门相比，能够减小主视时的宽度方向的尺寸。因此，专利文献4所公开的压电式阀门能够减小在阀门主体的前表面开口的空气排出口的宽度方向的间距。

然而，在专利文献4所公开的压电式阀门中，在阀座板中的向阀座部的两面的各阀座开口的各排出路形成为在宽度方向上重合的情况下，各排出路无法在阀座板的前表面在宽度方向上一列地开口，存在难以在阀门主体的前表面使空气排出口在宽度方向上对齐成一列地开口的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2013/088661号

专利文献2：日本特开2021-8892号公报

专利文献3：日本特开2015-137664号公报

专利文献4：日本特开2022-48474号公报

发明内容

发明所要解决的课题

因此，本发明的目的在于提供一种压电式阀门，其能够在阀门的前表面使气体的排出口在宽度方向上对齐成一列地开口。

用于解决课题的手段

为了实现上述目的，本发明的压电式阀门，其特征在于，具备：

多个致动器，其具有多个阀芯并分别独立地在平行的面内驱动该多个阀芯；

阀座板，其具有与多个阀芯分别独立地接触或分离的多个阀座以及多个排出路，并固定多个致动器；以及

主体壳体，其收纳阀座板，

多个致动器分别具备：

基部，其固定于阀座板；

压电元件，其一端部与基部的安装面连接，并沿第一长度方向延伸；

支撑部，其一体地设置于基部，并与压电元件并排地沿与第一长度方向交叉的第二长度方向延伸；以及

作用部，其与压电元件的另一端部以及支撑部的前端部连接，伴随压电元件的伸缩而向与第一长度方向以及第二长度方向分别不同的方向位移，

阀芯设置在作用部的位移的方向的一侧，并通过作用部的位移而被驱动，

阀座板具有形成阀座以及排出路的阀座部，多个阀座设置于阀座部的正面侧以及背面侧的两面，

多个致动器以使各阀芯分别与各阀座对置的方式固定于阀座板的侧面，

主体壳体具备：

气体供给口，其供给压缩气体；以及

多个气体排出口，其将从气体供给口供给的压缩气体通过多个阀芯与多个阀座的分离而经由阀座板的多个排出路分别独立地排出，

经由设置于主体壳体的前表面的连接器部而能够相对于流体设备拆装，

连接器部具有：吸入通路，其一端与在主体壳体的前表面开口的气体供给口连通，另一方面，另一端能够与形成于流体设备的供气通路连通；以及多个排出通路，其一端与在主体壳体的前表面开口的多个气体排出口分别连通，另一方面，另一端能够与形成于流体设备的多个排气通路分别连通，

阀座板的各阀座以在主视时的宽度方向上至少一部分重叠的方式成对地设置于阀座部的两面，

一端在成对地设置于阀座部的两面的各阀座开口的各排出路，以至少一部分在宽度方向上重叠的方式形成于阀座板，

在阀座板的前表面，多个排出路的另一端在宽度方向非一列地开口，

在主体壳体的前表面，多个气体排出口在宽度方向非一列地开口，另一方面，

在连接器部的前表面，多个排出通路的排出口在宽度方向一列地开口。

这里，在本发明中，只要没有特别说明，“宽度方向”是指压电式阀门的主视时的宽度方向。

本发明的压电式阀门的优选方式为，

连接器部所具有的多个排出通路分别具有相同容积的空间，并且，在连接器部的前表面具有相同开口面积的开口。

本发明的压电式阀门的优选方式为，

主体壳体所具备的多个气体排出口在主体壳体的前表面具有相同开口面积的开口。

本发明的压电式阀门的优选方式为，

连接器部所具有的多个排出通路将在主体壳体的前表面开口的多个气体排出口以及在连接器部的前表面开口的多个排出通路的排出口各自的开口向连接器部的后表面投影，在连接器部的后表面具有将两开口连结的长孔形状的开口。

本发明的压电式阀门的优选方式为，

流体设备是歧管，将从压缩气体源供给的压缩气体从供气通路经由连接器部的吸入通路向主体壳体的内部供气，另一方面，将从主体壳体的内部排出的压缩气体经由连接器部的多个排出通路而从多个排气通路排气。

发明的效果

根据本发明的压电式阀门，在主体壳体的前表面，即使多个气体排出口在宽度方向上不一列地开口的情况下，也能够在阀门的前表面使气体的排出口在宽度方向上对齐成一列地开口。

根据本发明的压电式阀门的优选的方式，能够使来自阀门的前表面的气体喷出量、喷出速度、响应性等各种特性在多个排出通路间为相同程度，成为与不设置连接器部的情况相比毫不逊色的良好的状态。

根据本发明的压电式阀门的优选的方式，通过安装于歧管，例如能够将压电式阀门用于光学式分选机中的喷射器。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式的压电式阀门的立体图。

图2是图1的压电式阀门的主视图。

图3是图1的压电式阀门的俯视图。

图4是本发明的压电式阀门所具备的阀门主体的一个实施方式的立体图。

图5是本发明的压电式阀门所具备的致动器的一个实施方式的立体图。

图6是本发明的压电式阀门所具备的阀座板的一个实施方式的立体图。

图7是图6的阀座板的主视图。

图8是图6的阀座板的侧视图。

图9是将图5的致动器固定的状态下的图6至图8所示的阀座板的立体图。

图10是图9的状态的阀座板的主视图。

图11是图9的状态的阀座板的侧视图。

图12是图9的状态的阀座板的仰视图。

图13是从正面侧观察安装有本发明的压电式阀门的一个实施方式的喷射器的说明图。

图14是表示从图13的截面F-F观察的喷射器的剖视图。

图15是本发明的压电式阀门所具备的连接器部的一个实施方式的左侧视图。

图16是图15的连接器部的俯视图。

图17是图15的连接器部的仰视图。

图18是图1所示的压电式阀门的组装分解图。

具体实施方式

基于附图对本发明的实施方式进行说明。

图1表示本发明的一个实施方式的压电式阀门的立体图。图2表示图1的压电式阀门的主视图。图3表示图1的压电式阀门的俯视图。图4表示阀门主体的立体图。

在本发明的实施方式中，压电式阀门1具备阀门主体2、后述的致动器3、以及以固定有致动器3的状态配设于阀门主体2的内部的后述的阀座板4。

阀门主体2是后表面(在图4中相当于下表面)开口的壳体。阀门主体2在其内部具备从外部的压缩气体供给源(未图示)接受压缩气体的供给的气体压力室。

另外，如图1所示，在阀门主体2的前表面(在图4中相当于上表面)设置有连接器部5，其能够安装在内部具有从压缩气体源供给压缩气体的空间的歧管(未图示)。

在连接器部5的前表面(在图1中相当于上表面)，开口有向阀门主体2内吸入压缩气体的吸入口51以及排出压缩气体的多个排出口52。

另外，在阀门主体2的前表面开口有与连接器部5的吸入口51连通的气体供给口21、以及与连接器部5的各排出口52分别连通的多个气体排出口22。

如图1以及图2所示，在阀门主体2的后表面安装盖体6。从形成于盖体6的正面侧的开口延伸出用于向后述的压电元件32供电的电缆(未图示)。

此外，在本发明的实施方式中，只要没有特别说明，“宽度方向”例如如图1至图3所示，是指压电式阀门的主视时的宽度方向W。

图5表示致动器的一个实施方式的立体图。

致动器3具备固定于后述的阀座板4的基部31以及一端部与基部31的安装面连接且沿第一长度方向延伸的压电元件32。致动器3还具备与基部31一体地形成并且以与压电元件32排列的方式配设的支撑部33。支撑部33在与第一长度方向交叉的第二长度方向上延伸。

致动器3具备与压电元件32的另一端部以及支撑部33的前端部连接的作用部34。作用部34伴随压电元件32的伸缩而向分别与第一长度方向以及第二长度方向不同的方向位移。致动器3还具备在作用部34的前端侧且位移的方向的一侧面上设置的阀芯35。阀芯35通过作用部34的位移而被驱动。

基部31具有至少一个安装孔381，安装孔381的至少一个在第二长度方向上配置于一体地设置有支撑部33的一侧。基部31至少利用配置于一体地设置有支撑部33的一侧的安装孔381通过螺钉固定于阀座板4。

另外，支撑部33在沿第二长度方向延伸的中间部分具有缩颈部331。支撑部33还在比缩颈部331靠基部31的一侧具有安装孔382。支撑部33利用安装孔382通过螺钉固定于阀座板4。

致动器3的支撑部33以及作用部34能够理解为构成放大压电元件32的位移以作用于阀芯35的位移放大机构的要素。即，伴随压电元件32的伸缩，作用部34在与包含第一长度方向以及第二长度方向的平面大致平行的面内，向与第一长度方向以及第二长度方向分别不同的位移方向位移。

此时，通过在支撑部33的沿第二长度方向延伸的中间部分设置缩颈部331，致动器3能够扩大伴随压电元件32的伸缩的作用部34的位移。

这里，基部31以及支撑部33能够成形为对金属材料进行冲裁并一体化的部件。作为将基部31以及支撑部33一体化的部件的材料而优选的金属材料例如是包含因瓦合金材料的不锈钢材料。若通过对金属材料进行冲裁而一体成形基部31以及支撑部33，则零件个数减少，致动器3的组装变得容易。

另外，基部31和支撑部33也可以由不同的部件形成。在此情况下，通过在基部31安装其他部件的支撑部33，能够与基部31一体地设置支撑部33。

在基部31所具有的与压电元件32的安装面上能够安装由铝块等构成的连结部件(未图示)。这样，形成连结部件的材料优选由线膨胀系数比支撑部33大的材料构成。如果将压电元件32经由由与支撑部33相比线膨胀系数较大的材料形成的连结部件而安装在基部31上，则能够减轻或消除由温度变化引起的压电元件32的热膨胀或热收缩的影响。连结部件也可以不安装于基部31的安装面，而安装于压电元件32与作用部34之间。

作用部34能够由铝材等轻量材料形成。若由轻量材料形成作用部34，则在使作用部34位移方面优选。另外，阀芯35可以由橡胶制、优选由滑性橡胶形成。

致动器3能够利用压缩部件36将基部31与作用部34之间连结。

一般而言，压电元件相对于拉伸方向的载荷容易损伤。然而，若利用压缩部件36将基部31与作用部34之间连结，则能够在第一长度方向上压缩压电元件32，因此能够防止压电元件32的损伤。

图6表示阀座板的一个实施方式的立体图。图7表示图6的阀座板的主视图。图8表示图6的阀座板的侧视图。

图6所示的阀座板4是能够安装四个致动器的阀座板的一例。阀座板4在中央部分具有阀座部41。在阀座部41的相当于正面侧以及背面侧的相对的两面分别各设有致动器3的阀芯35抵接的两个阀座42。

这里，各阀座42以在主视时的宽度方向上局部重合的方式成对地对置设置于阀座部41的两面。

在阀座板4的一个侧面形成有致动器3的安装部43、43。更具体而言，安装部43、43在阀座板4的一个侧面上分别形成于与阀座部41的两面、即阀座部41的正面侧以及背面侧对置的位置。另外，在阀座板4的另一个侧面上，也在与阀座部41的两面对置的位置分别形成有致动器3的安装部44。

如图8所示，在阀座部41形成有多个排出路45，各排出路45的一端在各阀座42的阀座面开口。此外，各排出路45的另一端在阀座板4的前表面(在图6至图8中相当于上表面)开口。另外，在阀座板4上，与阀座板4一体地设有将阀门主体2的后表面的开口封闭的盖材46。

这里，一端在成对地对置于阀座部41的两面的各阀座42开口的各排出路45，以在宽度方向上重合的方式形成于阀座板4。因此，如图6所示，在阀座板4的前表面，多个排出路45的另一端在宽度方向上非一列地开口(在宽度方向上非一列地开口)。另外，如图4所示，在收纳阀座板4的阀门主体2的前表面，多个气体排出口22在宽度方向上非一列地开口。

此外，阀座板4的各阀座42以在主视时的宽度方向上至少一部分重叠的方式成对地设置于阀座部41的两面。一端在成对地设置于阀座部41的两面的各阀座42开口的各排出路45，只要以至少一部分在宽度方向上重合的方式形成于阀座板4即可。

图9表示固定了致动器3的状态的阀座板4的立体图。图10表示图9的阀座板4的主视图。图11表示图9的阀座板4的侧视图。图12表示图9的阀座板4的仰视图。

在本实施方式中，四个致动器3的各阀芯35以与各阀座42对置的方式配设于阀座板4的各安装部43、44。在本实施方式中，各致动器3通过螺钉固定于阀座板4。

在阀座板4的后方(在图9至图11中为下方)位置，设有用于连接致动器3中的压电元件32的引线(未图示)的电极47。另外，在阀座板4的后方位置模制有用于向压电元件32供电的布线销48。

在阀座板4的后方端部上，与阀座板4一体地设有将阀门主体2的壳体后表面的开口封闭的盖材46。布线销48的一端与电极47连接，另一方面，其另一端从盖材46的后表面(在图9至图11中为下表面)向后方延伸而与用于向压电元件32供电的电缆(未图示)连接。

这里，电极47能够在与压电元件32的引线以及布线销48连接的状态下，与布线销48的一端侧一起由绝缘性材料覆盖。作为此覆盖中使用的优选的绝缘性材料的例子，可举出有机硅等绝缘性树脂材料。

若进行这样的覆盖，则与布线销48被模制于阀座板4相结合，能够防止水滴等引起的短路。

图13以及图14是光学式分选机中的喷射器的说明图。具体而言，图13是从正面侧观察喷射器的一个实施方式的说明图，图14是图13的F-F剖视图，表示从侧面侧观察喷射器的说明图。

图13以及图14所示的喷射器7具备：歧管71，其在内部具有从未图示的压缩空气供给源供给压缩空气的空气空间711。喷射器7还具备：压电式阀门1，其经由连接器部5安装于歧管71；以及喷嘴部件72，其安装于歧管71。

歧管71在长度方向上具有与空气空间711连通的多个供气通路712以及多个排气通路713。各供气通路712以及各排气通路713在长度方向上分别在一条直线上开口。在多个排气通路713分别连通设置有喷嘴部件72的喷嘴孔721。

压电式阀门1安装于歧管71，连接器部5的吸入口51与歧管71的供气通路712连通，连接器部5的多个排出口52与歧管71的多个排气通路713连通。

在歧管71中，将1条供气通路712和4条排气通路713作为一对，沿着长度方向形成有安装于歧管71的压电式阀门1的数量的该供气通路712和排气通路713的对。

图15表示连接器部的一个实施方式的左侧视图。图16表示图15的连接器部的俯视图。图17表示图15的连接器部的仰视图。

在连接器部5形成有吸入通路，其一端在连接器部5的后表面与在阀门主体2的前表面开口的气体供给口21连通，另一方面，另一端在连接器部5的前表面能够与形成于歧管71的供气通路712连通。

进而，在连接器部5形成有多个排出通路，其一端在连接器部5的后表面分别与在阀门主体2的前表面开口的多个气体排出口22连通，另一方面，另一端在连接器部5的前表面能够分别与在歧管71的下表面开口的多个排气通路713连通。

在连接器部5的前表面，多个排出通路的排出口52(在图16中表示为另一端侧开口521)在宽度方向上一列地开口。各排出通路与在歧管71的下表面沿长度方向在一条直线上开口的各排气通路713连通。

另外，在连接器部5的后表面，多个排出通路以长孔形状开口(参照图17所示的一端侧开口522)。在本实施方式中，设在连接器部5的后表面上的各排出通路的开口相当于将在阀门主体2的前表面上开口的多个气体排出口22以及在连接器部5的前表面上开口的多个排出口52的各自的开口向连接器部5的后表面投影、将两个开口连结的形状。这些各排出通路在阀门主体2的前表面与在宽度方向上非一列地开口的多个气体排出口22连通。

形成于连接器部5的多个排出通路分别具有大致相同的空间容积的空间，且在连接器部5的前表面具有大致相同的开口面积的开口(排出口52)。

另外，在阀门主体2的前表面开口的多个气体排出口22具有大致相同的开口面积。

图18表示图1的压电式阀门的组装分解图。

压电式阀门1将固定有四个致动器3的阀座板4从阀门主体2的后表面的开口插入壳体内，通过设置于阀座板4的盖材46封闭阀门主体2的后表面的开口。接着，能够在盖材46的后表面固定盖体6，在阀门主体2的前表面安装连接器部5，从而组装压电式阀门1。

阀座板4在具有各排出路45的一侧的前方部，在阀门主体2的壳体内各排出路45开口的前表面由螺钉81、81从前方固定于阀门主体2。由此，阀座板4的各排出路45与在阀门主体2的前表面开口的各气体排出口22连通。

另外，阀座板4在将致动器3固定的一侧的后方部，盖材46由螺钉82、82从后方固定于阀门主体2将阀门主体2的后表面的开口封闭。

此时，通过将阀座板4的前表面固定于阀门主体2的前方侧内表面的部分、即阀座板4的排出路45与阀门主体2的气体排出口22连通的部分用衬垫85密封，能够防止气体从阀门主体2泄漏。进而，通过使用O型圈86密封阀座板4的盖材46将阀门主体2的后表面的开口封闭的部分，也能够防止气体从阀门主体2泄漏。

而且，在阀座板4的盖材46的后表面，通过螺钉84等固定有使电缆49从正面侧的开口伸出的盖体6。这里，电缆49是与从盖材46的后表面向后方延伸的布线销48连接并用于向压电元件32供电。

连接器部5通过螺钉53、53从前方固定于阀门主体2的前表面。此时，用衬垫25密封在阀门主体2的前表面开口的各气体排出口22与在连接器部5的后表面开口的多个排出通路的开口(一端侧开口522)连通的部分。

进而，在连接器部5的前表面且多个排出口52(另一端侧开口521)开口的部分设置有衬垫55。设置于连接器部5的前表面的衬垫55密封将压电式阀门1安装于歧管71时的连接器部5的各排出口52与歧管71的各排气通路连通的部分。

在压电式阀门1中，由于阀座板4在具有排出路45的一侧即前方部、以及固定致动器3的一侧即后方部固定于阀门主体2，因此阀座板4不会摆动而与阀门主体2的内表面接触。因此，根据本发明的压电式阀门的实施方式，能够防止阀座板4与阀门主体2的内表面接触时的冲击引起的破损、接触引起的动作不良。

另外，在压电式阀门1的阀座板4中，在具有排出路45的一侧即前方部，在阀门主体2的壳体内排出路45开口的前表面由螺钉81、81从前方固定于阀门主体2。在压电式阀门1中，还在固定致动器3的一侧即后方部，盖材46由螺钉82、82从后方固定于阀门主体2。因此，压电式阀门1能够通过螺钉的拆卸而分解，能够进行不良情况时的原因调查、修理。

进而，如图18所示，在阀座板4中，在固定致动器3的一侧的后方部，能够由螺钉83、83将阀座板4的两侧面固定于阀门主体2。这样，在固定致动器3的一侧的后方部，若从阀座板4的两侧方使用螺钉83、83固定于阀门主体2，则通过将阀门主体2的壳体的宽度方向的膨胀抑制得较小，能够防止将压电式阀门1用于光学式分选机的喷射器阀门等并并列设置多个的情况下的不良情况。

压电式阀门1若在闭阀状态下向致动器3的压电元件32通电，则压电元件32伸长。伴随压电元件32的伸长，作用部34位移，阀芯35从阀座42离开并开阀。由此，压电式阀门1将从气体供给口21向阀门主体2供给的压缩气体从形成于阀座板4的阀座部41上的排出路45经由在阀门主体2的前表面开口的气体排出口22，从在连接器部5的前表面开口的排出口52排出。另一方面，在压电式阀门1中，当解除向致动器3的压电元件32的通电时，压电元件32收缩，作用部34向相反方向位移，阀芯35落座于阀座42并闭阀。

本发明的实施方式中的压电式阀门1采用如下结构：阀座板4的各阀座42以在主视时的宽度方向上至少一部分重叠的方式成对地对置设置在阀座部41的两面，一端在成对地对置设置在阀座部41的两面的各阀座42开口的各排出路45以在宽度方向上至少一部分重叠的方式形成于阀座板4，在阀座板4的前表面，多个排出路45的另一端在宽度方向上非一列地开口，在收纳阀座板4的阀门主体2的前表面，多个气体排出口22在宽度方向上非一列地开口，另一方面，在连接器部5的前表面，多个排出通路的排出口52在宽度方向上一列地开口。因此，在压电式阀门1中，即使在阀门主体2的前表面多个气体排出口22在宽度方向上不开口成一列的情况下，也能够在阀门的前表面使气体的排出口在宽度方向上对齐成一列地开口。

在本发明的实施方式的压电式阀门1中，形成于连接器部5的多个排出通路分别具有大致相同的空间容积的空间，并且在连接器部5的前表面具有大致相同的开口面积的开口(排出口52)，在阀门主体2的前表面开口的多个气体排出口22具有大致相同的开口面积。因此，压电式阀门1能够使来自阀门的前表面的气体喷出量、喷出速度、响应性等各种特性在所述多个排出通路间为相同程度，维持为与不设置连接器部5的情况相比毫不逊色的良好的状态。

在上述的实施方式中，压电式阀门1在未对压电元件32施加电压的状态下，阀芯35落座于阀座42。然而，并不限定于这样的结构，压电式阀门1也能够通过改变从驱动部供给的电压等的极性，成为在未对压电元件32施加电压的状态下，阀芯35从阀座42分离的状态。

在上述的实施方式中，压电式阀门1在阀座板4的两侧面分别固定有两个致动器3，在阀门主体2的前表面开口四个气体排出口22。但是，并不限定于这样的结构，压电式阀门1例如也可以仅在阀座板4的一侧面固定两个致动器3，或者在阀座板4的两侧面分别固定一个致动器，在阀门主体2的前表面开口两个气体排出口22。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述的实施方式，只要不脱离发明的范围，就能够适当改变其结构来实施本发明。

产业上的利用可能性

本发明的压电式阀门能够用于具备具有多个阀芯并分别独立地在平行的面内驱动这些阀芯的多个致动器，具有多个与多个阀芯分别独立地接触或分离的阀座以及排出路并固定多个致动器的阀座板、以及收纳阀座板的阀门主体即主体壳体的压电式阀门。

符号说明

1：压电式阀门

2：阀门主体(主体壳体)

21：气体供给口

22：气体排出口

25：衬垫

3：致动器

31：基部

32：压电元件

33：支撑部(位移放大机构)

331：缩颈部

34：作用部(位移放大机构)

35：阀芯

36：压缩部件

381：安装孔

382：安装孔

4：阀座板

41：阀座部

42：阀座

43：安装部

44：安装部

45：排出路

46：盖材

47：电极

48：布线销

49：电缆

5：连接器部

51：吸入口

52：排出口

521：另一端侧开口

522：一端侧开口

53：螺钉

55：衬垫

6：盖体

7：喷射器

71：歧管(流体设备)

711：空气空间

712：供气通路

713：排气通路

72：喷嘴部件

721：喷嘴孔

81：螺钉

82：螺钉

83：螺钉

84：螺钉

85：衬垫

86：O型圈

Claims (4)

1.一种压电式阀门，其特征在于，具备：

多个致动器，其具有多个阀芯并分别独立地在平行的面内驱动该多个阀芯；

阀座板，其具有与所述多个阀芯分别独立地接触或分离的多个阀座以及多个排出路，并固定所述多个致动器；以及

主体壳体，其收纳所述阀座板，

所述多个致动器分别具备：

基部，其固定于所述阀座板；

压电元件，其一端部与所述基部的安装面连接，并沿第一长度方向延伸；

支撑部，其一体地设置于所述基部，并与所述压电元件并排地沿与所述第一长度方向交叉的第二长度方向延伸；以及

作用部，其与所述压电元件的另一端部以及所述支撑部的前端部连接，伴随所述压电元件的伸缩而向与所述第一长度方向以及所述第二长度方向分别不同的方向位移，

所述阀芯设置在所述作用部的所述位移的方向的一侧，并通过所述作用部的位移而被驱动，

所述阀座板具有形成所述阀座以及所述排出路的阀座部，所述多个阀座设置于所述阀座部的正面侧以及背面侧的两面，

所述多个致动器以使各所述阀芯分别与各所述阀座对置的方式固定于所述阀座板的侧面，

所述主体壳体具备：

气体供给口，其供给压缩气体；以及

多个气体排出口，其将从所述气体供给口供给的压缩气体通过所述多个阀芯与所述多个阀座的分离而经由所述阀座板的所述多个排出路分别独立地排出，

经由设置于所述主体壳体的前表面的连接器部而能够相对于流体设备拆装，

所述连接器部具有：吸入通路，其一端与在所述主体壳体的前表面开口的所述气体供给口连通，另一方面，另一端能够与形成于所述流体设备的供气通路连通；以及多个排出通路，其一端与在所述主体壳体的前表面开口的所述多个气体排出口分别连通，另一方面，另一端能够与形成于所述流体设备的多个排气通路分别连通，

所述阀座板的各所述阀座以在主视时的宽度方向上至少一部分重叠的方式成对地设置于所述阀座部的所述两面，

一端在成对地设置于所述阀座部的所述两面的各所述阀座开口的各所述排出路，以至少一部分在所述宽度方向上重叠的方式形成于所述阀座板，

在所述阀座板的前表面，所述多个排出路的另一端在所述宽度方向非一列地开口，

在所述主体壳体的前表面，所述多个气体排出口在所述宽度方向非一列地开口，另一方面，

在所述连接器部的前表面，所述多个排出通路的排出口在所述宽度方向一列地开口。

2.根据权利要求1所述的压电式阀门，其特征在于，

所述连接器部所具有的所述多个排出通路分别具有相同容积的空间，在所述连接器部的前表面具有相同开口面积的开口。

3.根据权利要求2所述的压电式阀门，其特征在于，

所述主体壳体所具备的所述多个气体排出口在所述主体壳体的前表面具有相同开口面积的开口。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的压电式阀门，其特征在于，

所述流体设备是歧管，将从压缩气体源供给的压缩气体从所述供气通路经由所述连接器部的所述吸入通路向所述主体壳体的内部供气，另一方面，将从所述主体壳体的内部排出的压缩气体经由所述连接器部的所述多个排出通路而从所述多个排气通路排气。