CN116224720B - 一种用于光刻机的压紧装置 - Google Patents

一种用于光刻机的压紧装置 Download PDF

Info

Publication number
CN116224720B
CN116224720B CN202310078554.2A CN202310078554A CN116224720B CN 116224720 B CN116224720 B CN 116224720B CN 202310078554 A CN202310078554 A CN 202310078554A CN 116224720 B CN116224720 B CN 116224720B
Authority
CN
China
Prior art keywords
workbench
plate
connecting rod
pressing
pcb
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202310078554.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN116224720A (zh
Inventor
陈志特
王�华
龚海峰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Guangdong Keshi Optical Technology Co ltd
Original Assignee
Guangdong Keshi Optical Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Guangdong Keshi Optical Technology Co ltd filed Critical Guangdong Keshi Optical Technology Co ltd
Priority to CN202310078554.2A priority Critical patent/CN116224720B/zh
Publication of CN116224720A publication Critical patent/CN116224720A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN116224720B publication Critical patent/CN116224720B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/707—Chucks, e.g. chucking or un-chucking operations or structural details
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70766—Reaction force control means, e.g. countermass
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)

Abstract

本发明公开了一种用于光刻机的压紧装置，包括:工作台，工作台的水平部设置有上下升降的支撑板，工作台两侧的竖直部设置有上下移动的压板；驱动机构包括：转轴，转轴转动安装在工作台内，转轴上设置有第一连杆组件和第二连杆组件；第一连杆组件和第二连杆组件均包括曲杆和活动杆，曲杆安装在转轴对应的位置上，曲杆与连杆的底端活动连接，连杆的顶端分别与对应对应的支撑板与升降板活动连接；升降板沿着工作台的竖直部上下移动，升降板与压板连接；支撑板沿着工作台的竖直部外壁上下移动，本发明的压紧装置，使得压板对PCB板进行压紧固定，同时在压紧时，对PCB板进行支撑，使得PCB板平整地置于工作台上，从而保证压紧的质量。

Description

一种用于光刻机的压紧装置
技术领域
本发明涉及光刻机技术领域，具体涉及一种用于光刻机的压紧装置。
背景技术
中国专利公开了一种用于光刻机的压紧装置，涉及光刻机技术领域，包括压边升降机构、水平位移机构、压边滚轮和滚轮定位机构，水平位移机构可带动压边升降机构水平位移，压边升降机构可带动水平位移机构和滚轮定位机构做升降运动；压边升降机构包括升降气缸和升降座，升降气缸可驱动升降座做升降运动；水平位移机构包括位移马达和位移丝杆，位移马达可驱动位移丝杆水平移动；滚轮定位机构包括滚轮定位支架和滚轮定位座；
现有技术中，PCB板经过运输移动到压紧工位时，通过气缸带动压紧板体运动，来实现对PCB板两边进行压紧，但是由于在压紧前，受PCB板质量的影响，以及缺少底部支撑，导致在PCB板在压紧过程中，PCB板的两侧会出现翘边的现象，从而使得在压紧过程中，将会影响PCB板质量的问题。
发明内容
本发明的目的就在于解决在PCB板在压紧过程中，PCB板的两侧会出现翘边的现象的问题，而提出一种用于光刻机的压紧装置。
本发明的目的可以通过以下技术方案实现：
一种用于光刻机的压紧装置，包括:
工作台，工作台为U型中空结构，工作台的水平部设置有上下升降的支撑板，工作台两侧的竖直部设置有上下移动的压板；
工作台的内腔设置有驱动机构，驱动机构包括：
转轴，转轴转动安装在工作台内，转轴上设置有第一连杆组件和第二连杆组件；
第一连杆组件和第二连杆组件均包括曲杆和活动杆，曲杆安装在转轴对应的位置上，曲杆与连杆的底端活动连接，连杆的顶端分别与对应对应的支撑板与升降板活动连接；
升降板沿着工作台的竖直部上下移动，升降板与压板连接；支撑板沿着工作台的竖直部外壁上下移动。
作为本发明进一步的方案：工作台两侧的竖直部上设置有方形的凹槽，凹槽上设置有传送带，压板位于传送带的上方。
作为本发明进一步的方案：压板的底面设置有弹性垫。
作为本发明进一步的方案：第一连杆组件设置有一组，位于转轴的中部，第二连杆组件设置有两组，位于转轴的两侧。
作为本发明进一步的方案：工作台的水平部上设置有用于第一连杆组件的曲杆转动的滑槽，在工作台的竖直部上设置有用于升降板移动的第一通孔。
作为本发明进一步的方案：支撑板为十字形结构。
作为本发明进一步的方案：工作台内设置有定位机构，定位机构位于传送带出料处；
定位机构包括：
基板，基板安装在工作台竖直部的内壁上，基板设置有气缸，气缸的输出端与滑板连接，滑板的顶面竖直设置有第一柱体，滑板与基板滑动连接；
滑板的侧壁上设置有齿条，齿条通过传动箱与横杆连接，传动箱安装在工作台上，横杆转动安装在工作台两侧竖直部之间，横杆的两侧设置有第二柱体。
作为本发明进一步的方案：工作台的竖直部侧壁上设置有用于第一柱体水平移动的L形结构的第二通孔，以及在压板上设置有用于第一柱体水平移动的第三通孔。
作为本发明进一步的方案：传动箱内转动设置有齿轮，齿轮与齿条啮合连接，齿轮套设在连接轴上，连接轴转动安装在传动箱上，连接轴的顶部通过斜齿轮组与传动轴连接，传动轴与横杆连接。
本发明的有益效果：
本发明的压紧装置，使得压板对PCB板进行压紧固定，同时在压紧时，对PCB板进行支撑，使得PCB板平整地置于工作台上，从而保证压紧的质量，避免在压紧过程中，PCB板出现损伤；解决现有技术中，PCB板经过运输移动到压紧工位时，通过气缸带动压紧板体运动，来实现对PCB板两边进行压紧，但是由于在压紧前，受PCB板质量的影响，以及缺少底部支撑，导致在PCB板在压紧过程中，PCB板的两侧会出现翘边的现象，从而使得在压紧过程中，将会影响PCB板质量的问题；
本发明的定位机构，可以对需要压紧的PCB板进行定位，停止在指定的压紧工位上，还可以对在运输过程中，PCB板位置发生倾斜，对其进行校正的作用，从而保证PCB压紧的精准性。
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步的说明。
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明工作台内腔的结构示意图；
图3是本发明定位机构的结构示意图；
图4是本发明第一柱体与气缸连接关系的结构示意图；
图5是本发明传动箱的结构示意图。
图中：1、工作台；2、凹槽；3、压板；4、第一通孔；5、第二通孔；6、第三通孔；7、定位机构；8、支撑板；9、第一连杆组件；10、滑槽；11、转轴；12、第二连杆组件；13、曲杆；14、电机；15、活动杆；16、升降板；17、弹性垫；18、传送带；19、基板；20、气缸；21、滑板；22、第一柱体；23、传动箱；24、横杆；25、第二柱体；26、齿条；27、齿轮；28、斜齿轮组；29、传动轴。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1
请参阅图1-5所示，本发明为一种用于光刻机的压紧装置，包括工作台1、压板3、支撑板8和传送带18；
工作台1为U型中空结构，在工作台1的水平部设置有上下升降的支撑板8，工作台1两侧的竖直部设置有上下移动的压板3；工作台1两侧的竖直部上设置有方形的凹槽2，传送带18设置在凹槽2上，通过传送带18可以对待加工的PCB板进行输送；其中，压板3位于传送带18的上方，当输送过来的PCB板，通过设置的压板3将其压紧固定住；压板3的底面设置有弹性垫17，该弹性垫17可以使得压板3与PCB板之间弹性接触，避免在压紧时，两者发生刚性接触，造成PCB损伤的问题；
工作台1的内腔设置有驱动机构，驱动机构包括第一连杆组件9、滑槽10、转轴11、第二连杆组件12、电机14、升降板16；电机14设置在工作台1的底部侧壁上，电机14的输出端与转轴11连接，转轴11转动安装在工作台1内，转轴11上设置有第一连杆组件9和第二连杆组件12；
第一连杆组件9和第二连杆组件12均包括曲杆13和活动杆15，曲杆13安装在转轴11对应的位置上，曲杆13与连杆16的底端活动连接，连杆16的顶端分别与对应对应的支撑板8与升降板16活动连接；升降板16沿着工作台1的竖直部上下移动，升降板16与压板3连接；支撑板8沿着工作台1的竖直部外壁上下移动；
其中，第一连杆组件9设置有一组，位于转轴11的中部，第二连杆组件12设置有两组，位于转轴11的两侧；在工作台1的水平部上设置有用于第一连杆组件9的曲杆13转动的滑槽10，在工作台1的竖直部上设置有用于升降板16移动的第一通孔4；
以及，支撑板8为十字形结构，从而可以对PCB板整体进行支撑；
工作时，通过传送带18将待加工的PCB板输送至指定位置处，启动电机14工作，带动转轴11工作，转轴11将通过第一连杆组件9带动支撑板8沿着工作台1向上移动，同时通过第二连杆组件12使得升降板16带动压板3向下移动；从而使得压板3对PCB板进行压紧固定，同时在压紧时，对PCB板进行支撑，使得PCB板平整地置于工作台1上，从而保证压紧的质量，避免在压紧过程中，PCB板出现损伤；解决现有技术中，PCB板经过运输移动到压紧工位时，通过气缸带动压紧板体运动，来实现对PCB板两边进行压紧，但是由于在压紧前，受PCB板质量的影响，以及缺少底部支撑，导致在PCB板在压紧过程中，PCB板的两侧会出现翘边的现象，从而使得在压紧过程中，将会影响PCB板质量的问题。
实施例2
请参阅图3-5所示，基于上述实施例1，在工作台1内设置有定位机构7，定位机构7位于传送带18出料处；
该定位机构7包括基板19、气缸20、滑板21、第一柱体22、传动箱23、横杆24、第二柱体25、齿条26；
基板19安装在工作台1竖直部的内壁上，基板19设置有气缸20，气缸20的输出端与滑板21连接，滑板21的顶面竖直设置有第一柱体22，滑板21与基板19滑动连接；
滑板21的侧壁上设置有齿条26，齿条26通过传动箱23与横杆24连接，传动箱23安装在工作台1上，横杆24转动安装在工作台1两侧竖直部之间，横杆24的两侧设置有第二柱体25；
其中，在工作台1的竖直部侧壁上设置有用于第一柱体22水平移动的L形结构的第二通孔5，以及在压板3上设置有用于第一柱体22水平移动的第三通孔6；该第二通孔5和第三通孔6的设置，使得第一柱体22可以进行水平移动，并与传送带18上的PCB板接触；
传动箱23内转动设置有齿轮27，齿轮27与齿条26啮合连接，齿轮27套设在连接轴上，连接轴转动安装在传动箱23上，连接轴的顶部通过斜齿轮组28与传动轴29连接，传动轴29与横杆24连接；
工作时，启动气缸20工作，带动滑板21沿着基板19进行移动，使得滑板21上的第一柱体22从第二通孔5处移出，并与输送过来的PCB板抵接，通过对称设置的两个第一柱体22相互向靠近PCB板位置移动，从而可以对PCB进行校正，使其沿着Y轴方向处于水平状态，同时，滑板21在移动过程中，通过齿轮27与齿条26的啮合作用，再利用斜齿轮组28传动，使得横杆24进行旋转，使得横杆24上的第二柱体25处于竖直状态，从而可以对PCB板运输起到暂停作用，使其停留在压紧的工位上，以及与第一柱体22配合，使其沿着X轴方向处于水平状态，使得PCB板整齐的停止在工位上；
所以，本发明的定位机构7，可以对需要压紧的PCB板进行定位，停止在指定的压紧工位上，还可以对在运输过程中，PCB板位置发生倾斜，对其进行校正的作用，从而保证PCB压紧的精准性。
实施例3
基于上述实施例2，本发明一种用于光刻机的压紧装置的工作方法，包括以下步骤：
步骤1：将需要待压紧的PCB板通过传送带18进行输送，当PCB板输送至压紧工位附近处时，启动气缸20工作，带动滑板21沿着基板19进行移动，使得滑板21上的第一柱体22从第二通孔5处移出，并与输送过来的PCB板抵接，通过对称设置的两个第一柱体22相互向靠近PCB板位置移动，从而可以对PCB进行校正，使其沿着Y轴方向处于水平状态，同时，滑板21在移动过程中，通过齿轮27与齿条26的啮合作用，再利用斜齿轮组28传动，使得横杆24进行旋转，使得横杆24上的第二柱体25处于竖直状态，从而可以对PCB板运输起到暂停作用；
步骤2：启动电机14工作，带动转轴11工作，转轴11将通过第一连杆组件9带动支撑板8沿着工作台1向上移动，对PCB板进行支撑，同时通过第二连杆组件12使得升降板16带动压板3向下移动，完成对PCB进行压紧工作。
本发明的工作原理：本发明的压紧装置，使得压板3对PCB板进行压紧固定，同时在压紧时，对PCB板进行支撑，使得PCB板平整地置于工作台1上，从而保证压紧的质量，避免在压紧过程中，PCB板出现损伤；解决现有技术中，PCB板经过运输移动到压紧工位时，通过气缸带动压紧板体运动，来实现对PCB板两边进行压紧，但是由于在压紧前，受PCB板质量的影响，以及缺少底部支撑，导致在PCB板在压紧过程中，PCB板的两侧会出现翘边的现象，从而使得在压紧过程中，将会影响PCB板质量的问题；
以及，本发明的定位机构7，可以对需要压紧的PCB板进行定位，停止在指定的压紧工位上，还可以对在运输过程中，PCB板位置发生倾斜，对其进行校正的作用，从而保证PCB压紧的精准性。
以上对本发明的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。

Claims (4)

1.一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，包括:
工作台(1)，工作台(1)为U型中空结构，工作台(1)的水平部设置有上下升降的支撑板(8)，工作台(1)两侧的竖直部设置有上下移动的压板(3)；
工作台(1)的内腔设置有驱动机构，驱动机构包括：
转轴(11)，转轴(11)转动安装在工作台(1)内，转轴(11)上设置有第一连杆组件(9)和第二连杆组件(12)；
第一连杆组件(9)和第二连杆组件(12)均包括曲杆(13)和活动杆(15)，曲杆(13)安装在转轴(11)对应的位置上，曲杆(13)与连杆(16)的底端活动连接，连杆(16)的顶端分别与对应对应的支撑板(8)与升降板(16)活动连接；
升降板(16)沿着工作台(1)的竖直部上下移动，升降板(16)与压板(3)连接；支撑板(8)沿着工作台(1)的竖直部外壁上下移动；
第一连杆组件(9)设置有一组，位于转轴(11)的中部，第二连杆组件(12)设置有两组，位于转轴(11)的两侧；
工作台(1)的水平部上设置有用于第一连杆组件(9)的曲杆(13)转动的滑槽(10)，在工作台(1)的竖直部上设置有用于升降板(16)移动的第一通孔(4)；
支撑板(8)为十字形结构。
2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置,其特征在于，工作台(1)两侧的竖直部上设置有方形的凹槽(2)，凹槽(2)上设置有传送带(18)，压板(3)位于传送带(18)的上方。
3.根据权利要求2所述的一种用于光刻机的压紧装置,其特征在于，压板(3)的底面设置有弹性垫(17)。
4.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置,其特征在于，工作台(1)内设置有定位机构(7)，定位机构(7)位于传送带(18)出料处；
定位机构(7)包括：
基板(19)，基板(19)安装在工作台(1)竖直部的内壁上，基板(19)设置有气缸(20)，气缸(20)的输出端与滑板(21)连接，滑板(21)的顶面竖直设置有第一柱体(22)，滑板(21)与基板(19)滑动连接；
滑板(21)的侧壁上设置有齿条(26)，齿条(26)通过传动箱(23)与横杆(24)连接，传动箱(23)安装在工作台(1)上，横杆(24)转动安装在工作台(1)两侧竖直部之间，横杆(24)的两侧设置有第二柱体(25)；
工作台(1)的竖直部侧壁上设置有用于第一柱体(22)水平移动的L形结构的第二通孔(5)，以及在压板(3)上设置有用于第一柱体(22)水平移动的第三通孔(6)；
传动箱(23)内转动设置有齿轮(27)，齿轮(27)与齿条(26)啮合连接，齿轮(27)套设在连接轴上，连接轴转动安装在传动箱(23)上，连接轴的顶部通过斜齿轮组(28)与传动轴(29)连接，传动轴(29)与横杆(24)连接。
CN202310078554.2A 2023-02-02 2023-02-02 一种用于光刻机的压紧装置 Active CN116224720B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310078554.2A CN116224720B (zh) 2023-02-02 2023-02-02 一种用于光刻机的压紧装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310078554.2A CN116224720B (zh) 2023-02-02 2023-02-02 一种用于光刻机的压紧装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN116224720A CN116224720A (zh) 2023-06-06
CN116224720B true CN116224720B (zh) 2023-09-15

Family

ID=86586672

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202310078554.2A Active CN116224720B (zh) 2023-02-02 2023-02-02 一种用于光刻机的压紧装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN116224720B (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010084827A (ko) * 2000-02-29 2001-09-06 노자키 토우타로우 수직정렬 테이블 기구
CN208549646U (zh) * 2018-06-26 2019-03-01 潍坊团共尔机械有限公司 一种防起翘的养殖地板
CN114047674A (zh) * 2021-12-10 2022-02-15 广东科视光学技术股份有限公司 一种用于光刻机的压紧装置
CN115356901A (zh) * 2022-09-23 2022-11-18 广东科视光学技术股份有限公司 一种用于光刻机的压紧装置
CN218016058U (zh) * 2022-08-26 2022-12-13 杭州恒立实业有限公司 一种花纹板生产用防起翘的横切机

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7165492B2 (en) * 2005-02-07 2007-01-23 Esko-Graphics A/S Method and apparatus to clamp and release flexible plates onto an imaging cylinder

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010084827A (ko) * 2000-02-29 2001-09-06 노자키 토우타로우 수직정렬 테이블 기구
CN208549646U (zh) * 2018-06-26 2019-03-01 潍坊团共尔机械有限公司 一种防起翘的养殖地板
CN114047674A (zh) * 2021-12-10 2022-02-15 广东科视光学技术股份有限公司 一种用于光刻机的压紧装置
CN218016058U (zh) * 2022-08-26 2022-12-13 杭州恒立实业有限公司 一种花纹板生产用防起翘的横切机
CN115356901A (zh) * 2022-09-23 2022-11-18 广东科视光学技术股份有限公司 一种用于光刻机的压紧装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN116224720A (zh) 2023-06-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112642887B (zh) 一种全自动板材折弯方法
US5208975A (en) Method and apparatus for mounting electronic parts
WO2023151722A2 (zh) 一种自动化组装设备
KR102308253B1 (ko) 워크를 360도로 회전시키는 폴리싱 장치
CN111890791A (zh) 全自动高速玻璃印刷设备及其印刷方法
CN116224720B (zh) 一种用于光刻机的压紧装置
CN110996527B (zh) 一种用于电子产品内部电路板生产的热压设备
CN219113633U (zh) 一种爆炸金属复合板的输送矫平设备
CN218252220U (zh) 一种板类零件整平设备
CN216099249U (zh) 一种线路板裁切机
CN211192209U (zh) 自动钥匙双面铣槽机
CN208471020U (zh) 一种用于全自动测试机的收料装置
CN109693165B (zh) 一种滚筒型全自动研磨抛光机
CN113000685A (zh) 一种用于贵金属箔的冲压装置
CN220481194U (zh) 一种玻璃倒角机
CN110733069A (zh) 一种印制电路板加工用自动打孔装置
CN111906644A (zh) 一种陶瓷件磨削加工方法及磨削设备
CN219028706U (zh) 一种自动化酒盒压泡机
CN212192223U (zh) 一种气压支撑压紧治具
CN219483997U (zh) 一种五金板加工的冲床上料机构
CN216399940U (zh) 一种新型双工位木工雕刻机
CN219617528U (zh) 用于维修医疗设备电路板的定位装夹组件
CN219132574U (zh) 一种裁切机的自动裁切装置
CN219212750U (zh) 一种全自动抛光机的移取机械手
CN215395777U (zh) 一种门板侧边开槽机

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant