KR20010084827A - 수직정렬 테이블 기구 - Google Patents

Abstract

회로배선기판 형성을 위한 보드(25)용 수직 정렬 테이블 기구(21)는 수직 지지벽(43)을 가지고, 정렬 테이블(33)은 지지벽(43)의 전면 맞은편에 수직자세로 배치되며, 상기 지지벽(43)은 노광 마스크(23)가 배치되는 개구를 가진다. 상기 정렬 테이블(33)은 복수개의 테이블 지지 장치(35)에 의해 수직한 지지벽(43)의 수직면에 대해 이동하도록 지지된다. 각 테이블 지지 장치(35)는 볼(51a)이 그 안에 내장되고 지지벽에 고정되는 볼 캐스터와 정렬 테이블(33)에 고정되는 접촉블록(53)을 포함한다. 인장 스프링(55)은 볼에 대해 접촉블록(53)의 표면을 강제한다. 테이블 이동 장치(37) 역시 지지벽(43)과 정렬 테이블(33) 사이에 구비된다. 각 테이블 이동 장치는 정렬 테이블 상의 접촉 블록(85)과, 지지벽 상의 종동 롤러(83)를 포함한다. 스프링(37)은 접촉블록(85)에 대해 종동롤러(83)를 강제한다. 펄스모터(71)는 지지벽(43)에 대한 정렬 테이블(33)의 이동을 불러일으킨다.

Description

수직정렬 테이블 기구{vertical alignment table mechanism}

본 발명은 수직정렬 테이블 기구에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 이를테면 인쇄배선기판 형성용 보드나 노광 마스크와 같은 노광되는 목적물을 지탱하거나, 수직상태로 지지하는 정렬장치를 갖는 수직정렬 기구에 관한 것이다.

인쇄배선기판 제조 공정에 있어서 전도성 박막의 식각-검사장비는 예비 식각 감광막(precursory etching resist film)을 원하는 도선 패턴에 대응하는 노광 패턴을 가진 노광 마스크를 통해 빛에 노출시킨다.

예비 식각 감광막이 코팅된 노광 마스크 및 기판은 빛에 예비 식각 감광막을 노광하기 전에 정렬된다.

일반적으로, 인쇄배선기판용 보드나 노광 마스크는 보드와 노광 마스크가 배열된 방향에 대해 수직면에서 위치 정렬을 위해 이동 가능한 정렬 테이블에 의해 지탱되고, 상기 정렬 테이블은 상기 보드와 노광 마스크가 서로 정렬되도록 이동한다.

상기 보드와 노광 마스크를 위한 다양한 정렬 테이블 기구가 제안되어 왔다.

기본적으로, 정렬 테이블 기구에는 XYθ테이블이 갖추어져, 카메라 또는 그러한 종류에 의해 측정된 보드와 노광 마스크상에 형성된 레지스터 마크의 중첩시의 오차에 반하여 정렬 테이블을 이동시킴으로써 보드의 정렬을 수행한다.

예를 들어, 널리 사용되는 종래 수평 정렬 테이블 기구는 도 5에 나타낸 바와 같이, 수평 베이스 플레이트(3)와 노광 마스크 등의 지지용 정렬 테이블(5)이 구비된다.

상기 정렬 테이블(5)은 직사각형의 평판으로서, 그 주변부에 의해 둘러 쌓여져 빛이 통과 가능한 상대적으로 큰 개구(5a)를 갖는다.

정렬 테이블(5)은 베이스 플레이트(3)의 상부 표면에 대해 부착된 상태로 자유롭게 수평 이동하도록 지지된다.

제1 및 제2 액튜에이터(9)는 후방으로 연장된 축을 가지고 베이스 플레이트(3)의 전면에 부착된다.

제3 액튜에이터(9)는 좌측으로 연장된 축을 가지며 베이스 플레이트(3)의 우측면에 부착된다.

제1,제2 및 제3 액튜에이터(9)는 각각 직선 운동하는 가동로드(9a)를 갖는 전기적 작동장치이다.

제1 및 제2 가이드 레일(11)은 정렬 테이블(5)에의 전면에 부착되고, 제3 가이드 레일(11)은 정렬 테이블(5)의 우측면에 부착된다. 슬라이더(13)는 각각 가이드 레일(11)에 부착된다. 가동로드(9a)는 각각 유니버셜 조인트(15)에 의해 슬라이더(13)에 결합된다.

제3 액튜에이터(9)는 정렬 테이블(5)이 좌, 우 방향으로 이동하도록 구동된다.

제1 및 제2 액튜에이터(9)는 정렬 테이블(5)이 전, 후 방향으로 이동하도록 작동된다.

제1 또는 제 2 액튜에이터(9)는 둘 다 수평 테이블(5)이 수평면 상에서 회전할 수 있도록 작동된다.

액튜에이터(9)가 정렬 테이블(5)의 주위로부터 외측으로 많이 돌출되기 때문에 정렬 테이블(5)로 인해, 종래 정렬 테이블 기구의 전체적인 사이즈는 크다.

액튜에이터(9)가 정렬 테이블(5)을 마이크로미터 정도로 정확하게 위치시키기 위해 정렬 테이블을 이동시킬 필요가 있으면, 액튜에이터(9)와 가이드 레일(11)과 슬라이더(13)를 포함하는 정렬 테이블의 조인트를 가지고 작동하며, 슬라이더(13)의 결합부와 가동로드는 대단히 가까워야 하며, 동시에, 액튜에이터는 전혀 백래시(Backlash)가 일어나지 않도록 정밀하게 제조되어야 한다.

도 5에 비록 도시되지는 않았지만, 실제로, 액튜에이터(9)는 구동수단으로 펄스 모터, 볼 스크류, 커플링과 이러한 요소들을 지지하는 복잡한 정밀 베어링들을 포함하는 고정밀 장치이다.

따라서, 액튜에이터(9)와 액튜에이터를 정렬 테이블(5)에 결합하는 조인트는 고가(高價)이다.

노광 마스크와 같은 노광 기구가 먼지의 좋지 않은 영향을 피하기 위해, 수직 상태로 사용될 때에는, 도 6의 개시된 수직정렬 테이블 기구(1)가 사용되어야 한다.

수직정렬 테이블 기구(1)는, 예들 들어 반대편의 정렬 테이블(5)의 반대쪽주요면과 접촉한 상태로 셋팅된 슬라이딩 베어링들 사이에서, 정렬 테이블을 지지하기 위한 유지기구(17)를 필요로 한다.

상기 유지기구(17)가 적용될 때, 상기 수직정열 테이블 기구(1)는 큰 깊이를 갖게 되고, 정렬 테이블(5)의 외형치수는 유지기구(17)와의 결합을 위해 커져야만 한다.

따라서, 수직정렬 테이블 기구(1)의 사이즈는 커진다.

일반적으로, 유지기구(17)에 의해 지탱되는 정렬 테이블(5)은 부드럽게 움직일 수 없고, 유지기구(17)내의 백래시를 제거하기 어렵다.

상기 유지기구(17)의 일부는 정렬 테이블(5) 전면으로 돌출되어, 목적물에 관련하여 위치가 조정되어져야하는 정렬 테이블(5)의 운동을 방해하고, 정렬 테이블 기구(1)와 주변 기구들 설계상의 자유를 구속하게 된다.

본 발명은 상기한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 비용이 적게들고, 콤팩트하면서도 정밀한 정렬이 수행되는 수직정렬 테이블 기구를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 수직정렬 테이블 기구를 적용한 인쇄배선기판 노광 장치의 요부 사시도

도 2는 도 1의 수직정렬 테이블 기구를 보여주는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 확대 단면도

도 3은 도 1의 수직정렬 테이블 기구를 보여주는 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 확대 단면도

도 4는 도 1의 수직정렬 테이블 기구의 요부 확대 사시도

도 5는 종래 수평정렬 테이블 기구의 평면도

도 6은 도 5의 수평정렬 테이블 기구의 변형된 종래 정렬 테이블 기구의 단면도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

33: 정렬 테이블 35: 테이블 지지 장치

37: 테이블 이동 장치 43: 지지벽

47: 접촉부재 51: 볼 캐스터

51a: 볼 53: 접촉 블록

55: 탄성부재 59: 관통홀

71: 액튜에이터 79: 너트

83,85: 접촉부재 87: 탄성부재

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 수직한 지지벽과, 상기 지지벽의 전면 맞은편에 수직한 자세로 배치되며, 주변부에 둘러싸인 노광 기구 지지 영역을 구비한 정렬 테이블과, 수직면으로의 이동을 위해 정렬 테이블을 지지하는 복수개의 테이블 지지 장치와, 서로 수직한 두 개의 정렬 방향에 평행한 방향으로 테이블을 이동시키기 위한 복수개의 테이블 이동 장치가 구비되며, 상기 각 테이블 지지 장치는 정렬 테이블을 항상 지지벽쪽으로 편의하는 탄성부재와, 상기 두 정렬 방향으로 정렬 테이블이 이동할 수 있도록 지지벽과 정렬 테이블 사이에 삽입되는 구름부재를 포함하는 수직정렬 테이블 기구가 제공된다.

한편, 본 발명은 구름부재는 이동 가능하기 때문에 정렬 테이블은 지지벽에 대해 탄성부재에 의해 항상 압력을 받게 된다. 이에 따라, 정렬 테이블과 지지벽 사이에는 수직벽에 직교하는 방향으로의 유격이 전혀 없다.

상기 테이블 지지 장치의 탄성부재와 롤링부재는 노광 기구가 지지된 정렬 테이블의 전면으로 돌출되지 않기 때문에, 목적물에 대해 조정되어져야 하는 정렬 테이블의 위치가 방해받지 않으며, 이에 따라 정렬 테이블 기구와 그에 관련된 기구의 설계상의 자유도가 현저히 증대된다.

본 발명은 각 테이블 이송 장치가 지지벽과 정렬 테이블에 서로 접촉하도록 각각 부착되는 한 쌍의 접촉부재와, 상기 접촉부재가 서로 접촉하도록 강제하는 탄성부재와, 접촉부재의 하나가 다른 하나에 대해 접근하거나 멀어지는 방향으로 이동하도록 하는 액튜에이터를 구비해도 좋다.

따라서, 정렬 테이블은 수직면뿐만 아니라, 정렬방향에 대해서도 유격이 전혀 없는데, 이는 접촉부재가 항상 서로 가압된 상태에 있기 때문이다.

그러므로, 이 상태에서 액튜에이터가 접촉부재중의 하나를 다른 하나에 대해 접근시키거나 멀리 할지라도, 후자의 접촉부재는 신뢰성을 가지고 정렬 테이블에 지지하도록 전자의 운동을 따르며, 이는 고정밀도의 정렬 동작을 보장한다.

상기 탄력은 접촉부재를 액튜에이터의 가동 로드 상에 작동하는 예비부하로 작동하는 서로에 접촉한 지지벽상의 접촉부재와 정렬 테이블의 측면상에서 접촉부재를 강제하고, 액튜에이터는 그 구성요소간의 백래시를 제거하기 위한 복잡하고 값비싼 기구가 필요 없으며, 이에 따라 수직정렬 테이블 기구의 제조 비용을 절감할 수 있다.

본 발명의 수직정렬 테이블 기구에 따르면, 테이블 지지 장치와 테이블 이동 장치는 정렬 테이블의 노광 기구 지지 영역의 외측에 배치될 수 있다.

따라서, 테이블 지지 장치와 테이블 이동 장치의 어떤 부분도 정렬 테이블로부터 외측으로 돌출되지 않거나 거의 돌출되지 않기 때문에, 상기 수직정렬 테이블 기구는 정렬 테이블의 필요 치수에 상응하는 치수의 단순한 구조로 형성될 수 있다.

즉, 테이블 지지 장치와 테이블 이동 장치는 설치시 큰 공간이 불필요하고, 개구와 같은 노광 기구 지지 영역을 정렬 테이블의 사이즈에 맞게 큰 사이즈로 형성할 수 있다.

상기 액튜에이터에 의한 이동을 위한 피동 접촉부재는 액튜에이터의 가동로드의 자유단부에 부착되거나, 상기 가동로드의 자유단부에 대해 중간 부재에 의해 연결되어질 수도 있다.

접촉부재가 가동로드의 자유단부에 직접 부착되면, 테이블이송 장치는 콤팩트한 구조로 형성될 수 있다.

상기한 본 발명의 목적 및 그 외 목적, 특징과 이점은 첨부도면과 관련된 후술하는 설명에 의해 보다 명확해 질 것이다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면 도 1 내지 도 4를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 수직정렬 테이블 기구를 적용한 인쇄배선기판 노광 장치의 요부 사시도이고, 도 2는 도 1의 수직정렬 테이블 기구를 보여주는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 확대 단면도이며, 도 3은 도 1의 수직정렬 테이블 기구를 보여주는 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 확대 단면도이고, 도 4는 도 1의 수직정렬 테이블 기구의 요부 확대 사시도이다.

본 발명의 수직정렬 테이블 기구는 글래스로 만들어진 노광 마스크(23)를 지지하기 위한 수직정렬 테이블 기구(21)로서, 인쇄배선기판 형성을 위해 사용되는 노광 장비의 일부를 이룬다.

상기 노광 마스크(23)에는 요구되는 투명 패턴이 구비되고, 레지스터 마크(23a)가 구비된다.

그리고, 노광 마스크(23)는 노광 마스크 정렬 테이블 기구(21)에 포함된 정렬 테이블(33)에 의해 지지된다.

인쇄배선패턴이 상면에 형성되는 보드(25)는 노광 마스크(23)를 통하여 노광되어진다.

상기 보드(25)는 자외선 경화 감광막으로 코팅된 표면을 가지며, 노광 마스크(23)와의 정렬을 위한 기준홀(25a)이 구비되어 있다.

보드지지 베이스(27)는 수직한 자세로 상기 보드(25)를 반송되도록 하는데사용된다.

상기 보드지지 베이스(27)는 흡입력에 의해 보드(25)를 지지하는 수직 흡입면(27a)을 구비하고 있다.

상기 보드지지 베이스(27)는, 보드(25)가 컨베이어로부터 보드지지 베이스(27)까지 운반되고 반대로 보드지지 베이스로부터 컨베이어까지 배달되는 배달위치와, 보드가 노광 마스크(23) 반대편에 배치되어 노광되는 노광위치 사이를 이동 가능하다.

상기 정렬 테이블 기구(21)는 가이드 레일(29)를 따른 이동을 위해 지지된 베이스 구조(31)와, 상기 베이스 구조(31)상에 수직상태로 지지된 정렬 테이블(33)과, 상기 베이스 구조(31)상에서 정렬 테이블(33)을 지지하는 4개의 테이블 지지 장치(35)와, 정렬 테이블(33)의 위치를 조정하기 위한 3개의 테이블 이동장치(37)와, 정렬 테이블(33)의 위치 에러를 검출하기 위한 카메라(39)를 포함한다.

요구되는 패턴이 구비된 노광 마스크(23)는 정렬 테이블(33)상에 분리 가능하게 지지된다.

베이스 구조(31)는 가이드 레일(29)을 따라 이동하도록 가이드 레일 상에 지지된 지지벽(43)에 비해 상대적으로 두꺼운 베이스 부재(41)와, 도 1에 도시된 바와 같이 베이스 부재(41)의 하부 좌측 단부인 전단부로부터 직립한 평평한 지지벽(43)과, 지지벽(43)의 좌우측면의 중앙부로부터 후방으로 각각 돌출된 카메라 브라켓(45)과, 지지벽(43)의 네모서리 부근의 지점으로부터 후방으로 각각 돌출된 스프링 연결부재(47)를 가진다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 지지벽(43)에는 지지벽과 상사(相似)형이면서 한 치수가 작은 개구(43a)가 구비된다.

상기 정렬 테이블(33)은 지지벽(43)보다 한 치수 작은 평판을 가공함에 의해 직사각형 프레임 형태를 갖게 된다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 정렬 테이블(33)는 지지벽의 개구(43a)와 실질적으로 동일하거나 약간 작은 치수의 개구(33a)를 가진다.

따라서, 상기 지지벽(43)과 정렬 테이블(33)은 둘 다 각각 직사각형 형태를 띠게 된다.

4개의 테이블 지지 장치(35)는 각각, 지지벽(43)에 고정된 볼 캐스터(51)(ball caster)와, 정렬 테이블(33)에 고정된 접촉 블록(53)과, 탄성부재인 인장스프링을 포함한다.

상기 볼 캐스터(51)는 케이싱(51b)과, 도시되지 않은 복수개의 미세 볼을 통해 케이싱(51b) 내에서 회전 가능하도록 지지된 볼(51a)을 포함한다.

상기 볼 캐스터(51)는 각각 지지벽(43)의 전면의 개구(43a)의 상하부 경계의 좌우 끝단 근처 지점에 부착된다.

상기 볼(51a)의 일부는 케이싱(51b) 내에서 전방으로 돌출된다.

상기 접촉 블록(53)은 각각 정렬 테이블(33)의 후면의 개구(33a)의 상하부 경계의 좌우 끝단 근처 지점에 부착된다.

소형 스프링 연결못(57)(도 3)은 각각 정렬 테이블(33)의 상부 접촉 블록(53)의 상부 지점과, 하부 접촉 블록(53)의 하부 지점에 부착된다.

인장 스프링(55)이 관통하여 연장되도록 하기 위한 관통공(59)은 각각 지지벽(43)의 볼 캐스터(51) 근방에 스프링 하우징(47)에 상응하여 형성된다.

스프링 텐셔닝 로드(61)는 각 스프링 하우징(47)의 후벽으로부터 전방으로 연장된다.

정렬 테이블(33)에 부착된 상기 접촉 블록(53)은 볼 캐스터(51)의 볼(51a)과 접촉하도록 설치되고, 각 인장 스프링(55)은 정렬 테이블(33)을 지지벽(43)쪽으로 편의함과 더불어 접촉 블록(53)과 볼 캐스터(51)의 볼(51a)과의 접촉이 유지되도록 하기 위해, 스프링 연결못(57)과 스프링 텐셔닝 로드(61)의 전단부 사이에서 관통홀(59)을 통해 연장된다.

정렬 테이블(33)은 볼 캐스터(51)의 볼(51a)상에서 수직면으로 이동되어질 수 있도록 하기 위해 수직한 자세로 지지벽(43)의 전면 상에 지지된다.

상기 정렬 테이블(33)은 수직면에 대해 직교하는 방향에 대해서는 유격이 전혀 없으며, 전방 방향으로 인장 스프링(55)의 탄성을 초과하는 힘이 가해지지 않은 한 전방으로 이동하지 않는다.

상기 3개의 테이블 이동 장치(37)는 지지벽(43)과 정렬 테이블(33) 사이의 공간에 배치된다.

상기 하부 테이블 이동 장치(37)는 개구(33a)와 개구(43a)의 하부면 상에 배치되고, 좌우 테이블 이송 장치(37)는 개구(33a)와 개구(43a)의 좌우측면에 각각 배치된다.

상기 하부 테이블 이동 장치(37)는 수평방향으로의 정렬을 위해 정렬테이블(33)을 수평방향으로 이동시키고, 상기 좌우 테이블 이송장치(37)는 수직방향으로 정렬을 위해 정렬 테이블(33)을 수직방향으로 이동시킨다.

상기 테이블 지지 장치(35) 및 테이블 이송 장치(37)는 개구(33a)에 상응하는 공간 외측에 배치된다.

상기 3개의 테이블 이송 장치(37)은 구조적인 면에서 동일하다.

도 4에 가장 분명히 나타나 있는 바와 같이, 각 테이블 이송 장치(37)는 정렬 테이블(33)을 이동시키는 정렬 방향으로 지지벽(43) 전면에 순차적으로 배치된 모터 브라켓(65)과 베어링 하우징(67)과, 가이드 레일(69)을 포함한다.

하부 테이블 이송 장치(37)의 정렬 방향은 수평 방향이고, 좌우 테이블 이송 장치(37)의 정렬 방향은 수직방향이다.

펄스 모터(71)는 모터 브라켓(65)상에 고정된다.

베어링(73)은 베어링 하우징(67)내부에서 지지된다.

나사산이 형성된 로드(75)의 일단은 펄스 모터(71)의 출력축에 연결된다.

슬라이딩 플레이트(77)는 가이드 레일(69)에 의해 정렬 방향으로 이동하도록 안내된다.

너트(79)는 상기 슬라이딩 플레이트(77)의 일단에 고정되고, 롤러지지축(81)은 지지벽(43)의 전면에 수직하게 연장되도록 슬라이딩 플레이트(77)의 타단에 고정된다.

상기 나사산이 형성된 로드(75)는 상기 너트(79)에 나사 결합되고, 접촉부재인 종동 롤러(83)는 롤러지지축(81)상에 회전 가능하게 지지된다.

상기 펄스 모터(71)가 구동하면, 너트(79)는 상기 펄스 모터의 출력축의 회전방향에 상응하는 방향으로 이동하게 되고, 이에 따라 종동 롤러(83)는 동일한 방향으로 이동하게 된다.

3개의 접촉 블록(85)은 직사각형의 평행육면체, 즉, 접촉부재들은 정렬 테이블(33)의 후면에 고정된다.

상기 하부 접촉 블록(85)은 개구(33a) 아래에 연장되는 정렬 테이블(33)의 단면 중앙부에 실질적으로 수평하게 고정된다.

상기 하부 접촉 블록(85)의 우측 선단면은 하부 테이블 이동 장치(37)의 종동 롤러(83) 좌측에 면하게 된다.

상기 좌우 접촉 블록(85)은 개구(33a)의 좌우측면 상에 연장되는 정렬 테이블(33)의 단면 중앙부에 각각 실질적으로 수직하게 고정된다.

좌우 접촉 블록(85)의 하부 선단면은 각각 좌우 테이블 이동 장치(37)의 종동 롤러(83) 상부에 면하게 된다.

상기 블록(85)은 각각 인장 스프링(87)의 탄성으로 인해 대응하는 종동 롤러(83)에 각각 탄력적으로 접촉된 상태를 유지하게 된다.

각 테이블 이동 장치(37)는 정렬 방향으로 개구(33a)와 개구(43a)의 경계를 따라 연장된 인장 스프링(87)을 포함하며, 지지벽(43)에 고정된 스프링 연결못(89)과 정렬 테이블(33)에 고정된 스프링 연결못(91) 사이에 걸쳐져 있다.

따라서, 상기 정렬 테이블(33)은 하부 인장 스프링(87)에 의해 우측으로 편의(偏倚)되고, 하부 접촉 블록(85)은 하부 인장 스프링(87)의 당김력에 의해 항상하부 테이블 이동 장치(37)의 종동 롤러(83)에 탄력적으로 접촉하게 된다.

또한, 상기 정렬 테이블(33)은 좌우 인장 스프링(87)에 의해 아래로 편의 되고, 좌우 접촉 블록(85)은 좌우 인장 스프링(87)의 당김력에 의해 항상 좌우 테이블 이동 장치(37)의 종동 롤러(83)에 탄력적으로 접촉하게 된다.

따라서, 정렬 테이블(33)은 종동 롤러(83)가 접촉 블록(85)에 각각 탄력 접촉함에 의해 수직면 상에서의 원하는 위치에 지지된다.

상기 하부 테이블 이동 장치(37)의 펄스 모터(71)의 출력축이 일방향으로 회전하도록 펄스 모터가 구동하면, 종동 롤러(83)는 정렬 테이블을 좌측으로 이동시킬 수 있도록 인장스프링의 당김력에 대해 좌측으로 접촉 블록(85)을 밀게 된다.

그리고, 상기 하부 테이블 이동 장치(37)의 펄스 모터(71)의 출력축이 상기와는 반대방향으로 회전하도록 펄스 모터가 구동하면, 종동 롤러(83)는 정렬 테이블을 우측으로 이동하게 되고, 접촉 블록(85)은 인장스프링의 당김력에 의해 종동 롤러(83)를 따라 우측으로 이동하게 된다.

이에 따라, 상기 정렬 테이블이 수평방향으로 이동하면, 좌우 테이블 이동 장치(37)의 종동 롤러(83)는 각각 상응하는 접촉 블록(85)의 하부 선단면을 따라 구르게 된다.

상기 좌우 테이블 이송 장치(37)는 유사하게 동작하는데, 좌우 테이블 이송 장치(37)의 정렬 테이블(33)은 펄스 모터(71)의 출력축이 일방향으로 회전할 경우 상부로 이동하게 되고, 펄스 모터(71)의 출력축이 그 반대 방향으로 회전할 경우 하부로 이동하게 된다.

따라서, 정렬 테이블이 수직방향으로 움직일 경우 하부 테이블 이송 장치(37)의 종동 롤러(83)는 상응하는 접촉 블록(85)의 우측 선단면을 따라 구르게 된다.

정렬 테이블(33)은 가동하든 아니든 관계없이 항상 지지벽(43) 쪽으로 편의되기 때문에, 정렬테이블(33)과 지지벽(43) 사이에서는 유격이 없고, 지지벽(43)에 대해 상대적인 정렬 테이블(33)의 부드러운 움직임은 종동 롤러(83)가 볼 캐스터(51) 상에서 접촉 블록(85)과 접촉 블록(53)을 따라 구르기 때문에 확실하게 보장된다.

도시 안된 흡입홈은 개구(33a)를 감싸도록 정렬 테이블(33)의 전면 내에 형성된다.

노광 마스크(23)의 주변부는 정렬 테이블(33)상에서 노광 마스크(23)를 지지하도록 흡입홈 내에 생성된 흡입력에 의해 정렬 테이블(33)의 전면으로 끌린다.

카메라(39)는 고체 촬상소자(CCD) 카메라이다.

각 카메라는 카메라 이동 기구(도시 안됨)상에 장착되고, 카메라 브라켓(45)상에 지지되며, 개구(33a)와 개구(43a) 외측의 대기 위치와 카메라 렌즈의 광축이 노광 마스크(23)상의 레지스터 마크에 대해 정렬되는 검출 위치 사이에서 이동된다.

노광 마스크(23)와 보드(25)와의 정렬 및, 노광 마스크(23)를 통해 보드(25)를 빛에 노광하기 위한 동작은 후술하는 바와 같다.

보드(25)를 지지하는 보드지지 베이스(27)가 노광 위치에 위치될 때, 정렬테이블 기구(21)는 노광 마스크(23)를 보드(25)에 접촉되도록 가져오기 위해 보드지지 베이스(27)쪽으로 전진한다.

노광 마스크(23)의 레지스터 마크(23a)에 대한 상기 보드(25)의 기준홀(25a)의 위치는 카메라(39)에 의해 검출되고, 상응하는 노광 마스크(23)의 레지스터 마크(23a)로부터 보드(25)의 기준홀(25a)의 위치편차가 계산된다.

그리고 나서, 상기 정렬 테이블 기구(21)는 노광 마스크(23)로부터 약간 떨어져 이동하게 되고, 스텝 모터(71)는 노광 마스크(23)의 레지스터 마크(23a)와 상기 보드(25)의 기준홀(25a)이 정렬되도록 하기 위해 수직면 상에서 노광 마스크(23)를 지지하는 정렬 테이블(33)을 이동시키도록 구동된다.

이러한 정렬 작용은 상응하는 보드(25)의 기준홀(25a)로부터의 레지스터 마크(23a)의 위치편차가 허용 범위 내의 값으로 감소될 때까지 계속된다.

이어, 상기 정렬 테이블 기구(21)는 노광 마스크(23)가 보드(25)에 접촉하도록 전진하게 되고, 카메라(39)는 그들의 대기 위치로 돌아가게 되며, 지지벽 뒤에 배치된 노광 램프(도시 안됨)는 노광 마스크(23)를 통해 보드(25)에 자외선을 조사 하도록 켜지게 된다.

비록 본 발명은 그 바람직한 실시예로서 기술되었지만, 본 발명은 실질적 적용상에 있어서 상기 상세한 설명에 의해 제한되지 않는다.

예를 들어, 상기 탄성부재는 인장 스프링이 아닌 다른 적절한 부재일 수 있으며, 테이블 지지 장치(35)의 볼(51a)은 정렬 테이블(33)상에서 회전을 위해 지지될 수도 있고, 지지벽(43)에 대해 탄력적으로 접촉되는 상태를 유지할 수도 있다.

각 테이블 이동 장치(37)의 액튜에이터인 스텝 모터(71)와 구름부재인 종동 롤러(83)는 각각 지지벽(43) 대신에 정렬 테이블(33) 상에 지지될 수도 있다.

각 테이블 이동 장치(37)의 두 개의 접촉부재는 둘 다 구름부재일 수 있다.

본 발명의 수직정렬 테이블 기구는 노광 마스크 지지에 적용가능할 뿐만 아니라 다양한 종류의 노광 기구들을 지지하는 데에도 적용가능하며, 개구를 반드시 필요로 하지는 않는다.

본 발명은 비록 상세하게 특정 범위 내에 바람직한 실시예로서 기재되어 있지만, 여러 가지 변형 및 변화가 가능함은 물론이며, 본 발명의 범주 및 취지를 벗어나지 않는 한 상기한 설명에 한정되지 않음은 이해 가능하다.

본 발명은 비용이 적게 들고, 콤팩트하면서도 정밀한 정렬이 수행되는 수직정렬 테이블 기구를 제공할 수 있게 된다.

Claims (12)

1. 수직한 지지벽(43)과,

   상기 지지벽의 전면 맞은편에 수직한 자세로 배치되며, 주변부에 둘러싸인 노광 기구 지지 영역(33a)을 구비한 정렬 테이블(33)과,

   수직면으로의 이동을 위해 정렬 테이블(33)을 지지하는 복수개의 테이블 지지 장치(35)와,

   서로 수직한 두 개의 정렬 방향에 평행한 방향으로 테이블을 이동시키기 위한 복수개의 테이블 이동 장치(37)가 구비되며,

   상기 각 테이블 지지 장치(35)는 정렬 테이블(33)을 항상 지지벽(43)쪽으로 편의하는 탄성부재(55)와, 상기 두 정렬 방향으로 정렬 테이블이 이동할 수 있도록 지지벽과 정렬 테이블 사이에 삽입되는 구름부재(51a)를 포함하는 것을 특징으로 하는 수직정렬 테이블 기구.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 구름부재는 지지벽(43)에 고정된 볼 캐스터(51) 내에 지지되는 볼(51a)이고, 상기 정렬 테이블(33)은 상기 정렬 테이블에 고정되며 볼이 구름 접촉하는 면을 갖는 접촉 블록(53)을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직정렬 테이블 기구.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 탄성부재는 구름부재(51a) 부근에 구비되며, 정렬 테이블(33)과 지지벽(43)을 연결하는 인장 스프링(55)임을 특징으로 하는 수직정렬 테이블 기구.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 지지벽(43)은 정렬 테이블(33)으로부터 멀어지는 방향으로 돌출되는 스프링 연결부재(47)를 구비하고, 상기 인장 스프링(55)의 일단은 스프링 연결부재(47)에 연결되고 그 타단은 정렬 테이블(33)에 연결되며, 상기 인장 스프링은 지지벽 내의 홀(59)을 통해 연장됨을 특징으로 하는 수직정렬 테이블 기구.
5. 제 1 항에 있어서,

   각 테이블 이동 장치(37)는

   상기 지지벽(43)과 정렬 테이블(33)에 서로 접촉하도록 각각 부착되는 한 쌍의 접촉부재(83,85)와,

   상기 접촉부재가 서로 가압 접촉되도록 강제하는 탄성부재(87)와,

   접촉부재의 하나가 다른 하나에 대해 접근하거나 멀어지는 방향으로 이동하도록 하는 액튜에이터(71)를 구비한 것을 특징으로 하는 수직정렬 테이블 기구.
6. 제 5 항에 있어서,

   액튜에이터(71)은 가동로드를 포함하며, 각 테이블 이동 장치(37)의 접촉부재의 하나는 액튜에이터의 가동로드의 자유단부에 맞물림을 특징으로 하는 수직정렬 테이블 기구.
7. 제 5 항에 있어서,

   상기 접촉부재중 적어도 하나는 구름부재(83)임을 특징으로 하는 수직정렬 테이블 기구.
8. 제 5 항에 있어서,

   상기 접촉부재중 하나는 정렬 테이블(33)과 지지벽(43)중 하나에 고정되는 접촉 블록(85)이고, 접촉부재중 다른 하나는 정렬 테이블과 지지벽의 다른 하나 상에 지지되며 상기 접촉 블록(85)의 표면에 구름접촉하는 롤러(83)임을 특징으로 하는 수직정렬 테이블 기구.
9. 제 5 항에 있어서,

   상기 액튜에이터(71)는 정렬 테이블(33)과 지지벽(43)중 하나상에 장착되는 로터리 모터로서, 나사산이 형성된 로드(75) 형태인 출력축을 포함하고,

   상기 정렬 테이블과 지지벽중의 다른 하나에는 상기 나사산이 형성된 로드에 나사결합되는 너트(79)가 견고히 장착됨을 특징으로 하는 수직정렬 테이블 기구.
10. 제 9 항에 있어서,

    접촉부재를 강제하기 위한 탄성부재가 두 끝이 정렬 테이블(33)과지지벽(43)에 각각 연결되는 인장 스프링(87)임을 특징으로 하는 수직정렬 테이블 기구.
11. 제 1 항에 있어서,

    테이블 지지 장치(35) 및 테이블 이동 장치(37)가 정렬 테이블(33)의 주변 부에 구비됨을 특징으로 하는 수직정렬 테이블 기구.
12. 제 1 항에 있어서,

    테이블 지지 장치(35) 및 테이블 이동 장치(37)가 정렬 테이블의 노광 기구지지 영역(33a) 외측에 배치됨을 특징으로 하는 수직정렬 테이블 기구.