CN116219386B - 一种镀膜夹具的拨片装置 - Google Patents

一种镀膜夹具的拨片装置 Download PDF

Info

Publication number
CN116219386B
CN116219386B CN202310194258.9A CN202310194258A CN116219386B CN 116219386 B CN116219386 B CN 116219386B CN 202310194258 A CN202310194258 A CN 202310194258A CN 116219386 B CN116219386 B CN 116219386B
Authority
CN
China
Prior art keywords
tray
sleeve
plectrum
chassis
connection pad
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202310194258.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN116219386A (zh
Inventor
吴伟亮
汪毅
邓永琪
梁海洋
张龙
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou Shineland Nano Technology Co ltd
Original Assignee
Suzhou Shineland Nano Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou Shineland Nano Technology Co ltd filed Critical Suzhou Shineland Nano Technology Co ltd
Priority to CN202310194258.9A priority Critical patent/CN116219386B/zh
Publication of CN116219386A publication Critical patent/CN116219386A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN116219386B publication Critical patent/CN116219386B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50Substrate holders
    • C23C14/505Substrate holders for rotation of the substrates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Nozzles (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

为了解决现有镀膜操作复杂耗费时间、镀膜精度不高的问题,本发明提出一种镀膜夹具的拨片装置,其包括:多个套筒、连接盘、托盘,连接盘与托盘相平行,连接盘的外边缘设有多个通孔,托盘的上端面外边缘设有多个插孔,一个通孔对应一个插孔,所述套筒的本体穿过通孔与连接盘连接,所述套筒的底部设有转轴,所述转轴与插孔活动连接,所述托盘下方可转动连接有一旋转板,旋转板连接的一端设有一拨片,拨片的自由端向套筒方向弯折并与套筒抵接,当托盘转动时,套筒随托盘一起转动,拨片保持不动,从而拨片带动套筒产生自转,无需对拨片与夹具进行安装和精准配位,操作简单,精度高。

Description

一种镀膜夹具的拨片装置
技术领域
本发明属于镀膜技术领域,较为具体的,涉及到一种镀膜夹具的拨片装置。
背景技术
在PVD真空镀膜技术领域,需要将待镀膜的加工件放置在工件架上,工件架安装在镀膜大盘上,镀膜大盘上的每一个工件架都能够发生自转,镀膜大盘的底部设有转轴,转轴可以插入真空镀膜机的底座,并在真空镀膜机的底座发生公转,镀膜时涂层的均匀性跟大盘的公转和工件架的自转关联性极大。
现有技术参考专利公告号为CN215757585U,公开了一种多规格工件架的内置旋转轴座的大盘,公告号为CN213388874U,公开了一种适合批量生产的杆状类刀具的夹具,具体结构如图6所示,现有的加工件自身的镀膜是通过在镀膜大盘上的固定杆上加装拨盘,夹具装在大盘上的安装轴上,安装轴转动与拨盘抵接实现加工件自身镀膜。
但是在实际生产过程中,不同规格的产品在安装时都需要调节拨盘的位置,以及更换拨盘规格,这样不但操作较为复杂耗费时间,同时安装拨盘需要与夹具精准抵接,故而需要的精度要求也很高。
发明内容
有鉴于此,为了解决现有镀膜操作复杂耗费时间、镀膜精度不高的问题,本发明提出一种镀膜夹具的拨片装置,其包括:多个套筒1、连接盘2、托盘3,连接盘2与托盘3相平行,连接盘2的外边缘设有多个通孔4,托盘3的上端面外边缘设有多个插孔5,一个通孔4对应一个插孔5,所述套筒1的本体穿过通孔4与连接盘2连接,所述套筒1的底部设有转轴,所述转轴与插孔5活动连接,其特征在于:所述托盘3下方可转动连接有一旋转板6,旋转板6连接的一端设有一拨片7,拨片7的自由端向套筒1方向弯折并与套筒1抵接,当托盘3转动时,套筒1随托盘3一起转动,拨片7保持不动,从而拨片7带动套筒1产生自转,无需对拨片7与夹具进行安装和精准配位,操作简单,精度高。
一种镀膜夹具的拨片装置,其包括:多个套筒1、连接盘2、托盘3,连接盘2与托盘3相平行,连接盘2的外边缘设有多个通孔4,托盘3的上端面外边缘设有多个插孔5,一个通孔4对应一个插孔5,所述套筒1的本体穿过通孔4与连接盘2连接,所述套筒1的底部设有转轴,所述转轴与插孔5活动连接,其特征在于:所述托盘3下方可转动连接有一旋转板6,旋转板6连接的一端设有一拨片7,拨片7的自由端向套筒1方向弯折并与套筒1抵接,当托盘3转动时,套筒1随托盘3一起转动,拨片7保持不动,从而拨片7带动套筒1产生自转,无需对拨片7与夹具进行安装和精准配位,操作简单,精度高。
进一步的,所述旋转板6的设有拨片7端向外延伸的设有一卡位装置8,在夹具安装在镀膜机的待镀膜大盘9上时,卡位装置8与大盘9上的固定杆10卡接,使得旋转板6相对于夹具来说是静止不动的。
进一步的,所述每个套筒1的下部均匀间隔设有一圈棱状凸起,使套筒1被拨片7拨动时的摩擦力加强,不易滑动。
进一步的,所述拨片7的远离套筒1端连接有夹紧装置11,所述夹紧装置11位于旋转板6的上端,所述拨片7一端可置于夹紧装置11上,所述夹紧装置11上还设有拧紧机构12,通过调节拧紧机构12使得拨片7被夹紧或松开。
进一步的,所述旋转板6上还设有一挡板13,挡板13平行设置于拨片7远离托盘3一侧,用于防止拨片7掉落损伤其他工件。
进一步的,所述挡板13高度和长度都大于拨片7高度和长度。
进一步的,所述托盘3下设有底盘机构14,所述底盘机构14与托盘3的圆心位于同一直线上,所述底盘包括第一底盘15与第二底盘16,第二底盘16上表面设有一圈台阶,所述旋转板6与台阶套接,使得旋转板6可在第一底盘15、第二底盘16之间可活动。
进一步的,所述托盘3、第一底盘15、第二底盘16通过多个螺丝固定连接,镀膜时,第一底盘15与第二底盘16与托盘3相对静止。
进一步的,所述托盘3的中心开有第一套孔17,所述连接盘2的中心开有第二套孔18,所述底盘机构14的中心设有第三套孔19,所述旋转板6的中心设有第四套孔20,第一套孔17、第二套孔18、第三套孔19和第四套孔20中心均位于同一直线上,第一套孔17与第二套孔18为大小相同的圆形或者矩形,用于将夹具整体安装到待镀膜大盘9的安装轴21上。
进一步的,所述连接盘2上还设有多个镂空孔22和支撑柱23,所述镂空孔22位于第二套孔18外圈,所述支撑柱23穿过连接盘2与托盘3固定连接,镂空孔22用于减轻连接盘2的重量,支撑柱23用于固定连接盘2与托盘3。
本发明的有益效果:本发明提出一种镀膜夹具的拨片装置,其包括:多个套筒1、连接盘2、托盘3,连接盘2与托盘3相平行,连接盘2的外边缘设有多个通孔4,托盘3的上端面外边缘设有多个插孔5,一个通孔4对应一个插孔5,所述套筒1的本体穿过通孔4与连接盘2连接,所述套筒1的底部设有转轴,所述转轴与插孔5活动连接,其特征在于:所述托盘3下方可转动连接有一旋转板6,旋转板6连接的一端设有一拨片7,拨片7的自由端向套筒1方向弯折并与套筒1抵接,当托盘3转动时,套筒1随托盘3一起转动,拨片7保持不动,从而拨片7带动套筒1产生自转,无需对拨片7与夹具进行安装和精准配位,操作简单,精度高。
附图说明
图1为本发明的镀膜夹具的拨片装置的整体结构示意图。
图2为本发明的镀膜夹具的拨片装置的整体结构示意图。
图3为本发明的镀膜夹具的拨片装置的整体结构示意图。
图4为本发明的镀膜夹具的拨片装置的整体结构示意图。
图5为本发明的待镀膜大盘结构示意图。
图6为原有待镀膜大盘结构示意图。
主要元件符号说明
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
如图1所示,为本发明的镀膜夹具的拨片装置的整体结构示意图;如图2所示,为本发明的镀膜夹具的拨片装置的整体结构示意图;如图3所示,为本发明的镀膜夹具的拨片装置的整体结构示意图;如图4所示,为本发明的镀膜夹具的拨片装置的整体结构示意图;如图5所示,为本发明的待镀膜大盘结构示意图;如图6所示,为原有待镀膜大盘结构示意图。
一种镀膜夹具的拨片装置,其包括:多个套筒1、连接盘2、托盘3,连接盘2与托盘3相平行,连接盘2的外边缘设有多个通孔4,托盘3的上端面外边缘设有多个插孔5,一个通孔4对应一个插孔5,所述套筒1的本体穿过通孔4与连接盘2连接,所述套筒1的底部设有转轴,所述转轴与插孔5活动连接,其特征在于:所述托盘3下方可转动连接有一旋转板6,旋转板6连接的一端设有一拨片7,拨片7的自由端向套筒1方向弯折并与套筒1抵接,当托盘3转动时,套筒1随托盘3一起转动,拨片7保持不动,从而拨片7带动套筒1产生自转。
所述旋转板6的设有拨片7端向外延伸的设有一卡位装置8,在夹具安装在镀膜机的待镀膜大盘9上时,卡位装置8与大盘9上的固定杆10卡接,使得旋转板6相对于夹具来说是静止不动的。
所述每个套筒1的下部均匀间隔设有一圈棱状凸起,使套筒1被拨片7拨动时的摩擦力加强,不易滑动。
所述拨片7的远离套筒1端连接有夹紧装置11,所述夹紧装置11位于旋转板6的上端,所述拨片7一端可置于夹紧装置11上,所述夹紧装置11上还设有拧紧机构12,通过调节拧紧机构12使得拨片7被夹紧或松开。
所述旋转板6上还设有一挡板13,挡板13平行设置于拨片7远离托盘3一侧,用于防止拨片7掉落损伤其他工件。
所述挡板13高度和长度都大于拨片7高度和长度。
所述托盘3下设有底盘机构14,所述底盘机构14与托盘3的圆心位于同一直线上,所述底盘包括第一底盘15与第二底盘16,第二底盘16上表面设有一圈台阶,所述旋转板6与台阶套接,使得旋转板6可在第一底盘15、第二底盘16之间可活动。
所述托盘3、第一底盘15、第二底盘16通过多个螺丝固定连接,镀膜时,第一底盘15与第二底盘16与托盘3相对静止。
所述托盘3的中心开有第一套孔17,所述连接盘2的中心开有第二套孔18,所述底盘机构14的中心设有第三套孔19,所述旋转板6的中心设有第四套孔20,第一套孔17、第二套孔18、第三套孔19和第四套孔20中心均位于同一直线上,第一套孔17与第二套孔18为大小相同的圆形或者矩形,用于将夹具整体安装到待镀膜大盘9的安装轴21上,安装轴21和大盘9均可以转动。
所述连接盘2上还设有多个镂空孔22和支撑柱23,所述镂空孔22位于第二套孔18外圈,所述支撑柱23穿过连接盘2与托盘3固定连接,镂空孔22用于减轻连接盘2的重量,支撑柱23用于固定连接盘2与托盘3。
本发明的有益效果:本发明提出一种镀膜夹具的拨片装置,其包括:多个套筒1、连接盘2、托盘3,连接盘2与托盘3相平行,连接盘2的外边缘设有多个通孔4,托盘3的上端面外边缘设有多个插孔5,一个通孔4对应一个插孔5,所述套筒1的本体穿过通孔4与连接盘2连接,所述套筒1的底部设有转轴,所述转轴与插孔5活动连接,其特征在于:所述托盘3下方可转动连接有一旋转板6,旋转板6连接的一端设有一拨片7,拨片7的自由端向套筒1方向弯折并与套筒1抵接,当托盘3转动时,套筒1随托盘3一起转动,拨片7保持不动,从而拨片7带动套筒1产生自转,无需对拨片7与夹具进行安装和精准配位,操作简单,精度高。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (8)

1.一种镀膜夹具的拨片装置,其包括:多个套筒(1)、连接盘(2)、托盘(3),连接盘(2)与托盘(3)相平行,连接盘(2)的外边缘设有多个通孔(4),托盘(3)的上端面外边缘设有多个插孔(5),一个通孔(4)对应一个插孔(5),所述套筒(1)的本体穿过通孔(4)与连接盘(2)连接,所述套筒(1)的底部设有转轴,所述转轴与插孔(5)活动连接,其特征在于:所述托盘(3)下方可转动连接有一旋转板(6),旋转板(6)连接的一端设有一拨片(7),拨片(7)的自由端向套筒(1)方向弯折并与套筒(1)抵接,当托盘(3)转动时,套筒(1)随托盘(3)一起转动,拨片(7)保持不动,从而拨片(7)带动套筒(1)产生自转,所述旋转板(6)的设有拨片(7)端向外延伸的设有一卡位装置(8),在夹具安装在镀膜机的待镀膜大盘(9)上时,卡位装置(8)与大盘(9)上的固定杆(10)卡接,使得旋转板(6)相对于夹具来说是静止不动的,所述拨片(7)的远离套筒(1)端连接有夹紧装置(11),所述夹紧装置(11)位于旋转板(6)的上端,所述拨片(7)一端可置于夹紧装置(11)上,所述夹紧装置(11)上还设有拧紧机构(12),通过调节拧紧机构(12)使得拨片(7)被夹紧或松开。
2.如权利要求1所述的镀膜夹具的拨片装置,其特征在于:所述每个套筒(1)的下部均匀间隔设有一圈棱状凸起,使套筒(1)被拨片(7)拨动时的摩擦力加强,不易滑动。
3.如权利要求1所述的镀膜夹具的拨片装置,其特征在于:所述旋转板(6)上还设有一挡板(13),挡板(13)平行设置于拨片(7)远离托盘(3)一侧,用于防止拨片(7)掉落损伤其他工件。
4.如权利要求3所述的镀膜夹具的拨片装置,其特征在于:所述挡板(13)高度和长度都大于拨片(7)高度和长度。
5.如权利要求1所述的镀膜夹具的拨片装置,其特征在于:所述托盘(3)下设有底盘机构(14),所述底盘机构(14)与托盘(3)的圆心位于同一直线上,所述底盘包括第一底盘(15)与第二底盘(16),第二底盘(16)上表面设有一圈台阶,所述旋转板(6)与台阶套接,使得旋转板(6)可在第一底盘(15)、第二底盘(16)之间可活动。
6.如权利要求5所述的镀膜夹具的拨片装置,其特征在于:所述托盘(3)、第一底盘(15)、第二底盘(16)通过多个螺丝固定连接,镀膜时,第一底盘(15)与第二底盘(16)与托盘(3)相对静止。
7.如权利要求5所述的镀膜夹具的拨片装置,其特征在于:所述托盘(3)的中心开有第一套孔(17),所述连接盘(2)的中心开有第二套孔(18),所述底盘机构(14)的中心设有第三套孔(19),所述旋转板(6)的中心设有第四套孔(20),第一套孔(17)、第二套孔(18)、第三套孔(19)和第四套孔(20)中心均位于同一直线上,第一套孔(17)与第二套孔(18)为大小相同的圆形或者矩形,用于将夹具整体安装到待镀膜大盘(9)的安装轴(21)上。
8.如权利要求1所述的镀膜夹具的拨片装置,其特征在于:所述连接盘(2)上还设有多个镂空孔(22)和支撑柱(23),所述镂空孔(22)位于第二套孔(18)外圈,所述支撑柱(23)穿过连接盘(2)与托盘(3)固定连接,镂空孔(22)用于减轻连接盘(2)的重量,支撑柱(23)用于固定连接盘(2)与托盘(3)。
CN202310194258.9A 2023-03-03 2023-03-03 一种镀膜夹具的拨片装置 Active CN116219386B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310194258.9A CN116219386B (zh) 2023-03-03 2023-03-03 一种镀膜夹具的拨片装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310194258.9A CN116219386B (zh) 2023-03-03 2023-03-03 一种镀膜夹具的拨片装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN116219386A CN116219386A (zh) 2023-06-06
CN116219386B true CN116219386B (zh) 2024-01-30

Family

ID=86574649

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202310194258.9A Active CN116219386B (zh) 2023-03-03 2023-03-03 一种镀膜夹具的拨片装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN116219386B (zh)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0538653A (ja) * 1991-04-01 1993-02-19 Tsudakoma Corp 撥返り防止機構を持つパレツトクランプ装置
CN105127065A (zh) * 2015-09-17 2015-12-09 科汇纳米技术(深圳)有限公司 一种pvd涂层用装刀夹具
CN208201097U (zh) * 2018-04-28 2018-12-07 广东鼎泰高科精工科技有限公司 一种双头刀具镀膜治具
CN212800528U (zh) * 2020-08-05 2021-03-26 苏州星蓝纳米技术有限公司 一种适应于多规格杆状类刀具的固定夹具
CN212955325U (zh) * 2020-06-05 2021-04-13 广州巴达精密刀具有限公司 一种双头镗刀的pvd镀膜装置
CN213388874U (zh) * 2020-08-05 2021-06-08 苏州星蓝纳米技术有限公司 一种适合批量生产的杆状类刀具的夹具
CN114990515A (zh) * 2022-06-28 2022-09-02 集美大学 一种刀具镀膜用的工装
CN217973384U (zh) * 2022-06-28 2022-12-06 集美大学 一种可实现三维转动的刀具镀膜用工装

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0538653A (ja) * 1991-04-01 1993-02-19 Tsudakoma Corp 撥返り防止機構を持つパレツトクランプ装置
CN105127065A (zh) * 2015-09-17 2015-12-09 科汇纳米技术(深圳)有限公司 一种pvd涂层用装刀夹具
CN208201097U (zh) * 2018-04-28 2018-12-07 广东鼎泰高科精工科技有限公司 一种双头刀具镀膜治具
CN212955325U (zh) * 2020-06-05 2021-04-13 广州巴达精密刀具有限公司 一种双头镗刀的pvd镀膜装置
CN212800528U (zh) * 2020-08-05 2021-03-26 苏州星蓝纳米技术有限公司 一种适应于多规格杆状类刀具的固定夹具
CN213388874U (zh) * 2020-08-05 2021-06-08 苏州星蓝纳米技术有限公司 一种适合批量生产的杆状类刀具的夹具
CN114990515A (zh) * 2022-06-28 2022-09-02 集美大学 一种刀具镀膜用的工装
CN217973384U (zh) * 2022-06-28 2022-12-06 集美大学 一种可实现三维转动的刀具镀膜用工装

Also Published As

Publication number Publication date
CN116219386A (zh) 2023-06-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3086338U (ja) St型光ファイバーアダプターの自動組立装置
CN116219386B (zh) 一种镀膜夹具的拨片装置
CN211848120U (zh) 一种用于真空镀膜机上的夹具
CN211540029U (zh) 一种pcb焊接固定装置
CN217045241U (zh) 一种高强度焊接叶轮焊接工装
CN218396270U (zh) 高效率管料上料装置及管件生产设备
CN2880364Y (zh) 一种用于磨床的可调节电磁盘
CN209175336U (zh) 一种电子烟外壳的定位加工治具
CN219853566U (zh) 一种多工位分度盘旋转机构
CN210588906U (zh) 一种铝合金铸件夹具快速更换装置
CN217728681U (zh) 一种汽车发动机拆解装置
CN213872002U (zh) 一种新型信息化管理装置
CN217667365U (zh) 一种座椅骨架的自动焊接装置
CN218910501U (zh) 一种用于真空镀膜机的新型自公转机构
CN215317131U (zh) 一种新型仪表板横梁骨架的装配机
CN209583997U (zh) 一种可旋转的玻璃镀膜夹具
CN219642784U (zh) 一种碳化硅晶圆表面检验装置
CN219336266U (zh) 一种攻丝机自动上料装置
CN214348991U (zh) 一种用于显示器圆形底座的冲压组件
CN212763777U (zh) 一种旋转送梯形料片装置
CN213861264U (zh) 一种适用于丝印同心圆的工件定位装置
CN217819305U (zh) 多工位扭转弹簧扭力及疲劳寿命测试机
CN212653297U (zh) 一种用于倾斜定位产品的加工定位装置
CN218507892U (zh) 一种冲头组合装夹装置
CN219380614U (zh) 一种汽车零部件翻转工装

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant