CN218910501U - 一种用于真空镀膜机的新型自公转机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的新型自公转机构，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于提供一种用于真空镀膜机的新型自公转机构，解决传统的自公转机构无法满足每一个工件在镀膜过程中均能实现自转的问题。其包括挂筒组件、固定组件、转动组件和工件夹具，所述挂筒组件包括限位支架、挂筒、轴承座、支撑环、轴承，所述固定组件包括固定环、固定支架和连接螺杆，所述转动组件包括转动环、转动支架和支撑螺杆，所述工件夹具的一端安装于转动环的夹具放置沟槽内，所述工件夹具的另一端设置于固定环的夹具支撑圆圈上。本实用新型适用于一种用于真空镀膜机的新型自公转机构。

Description

一种用于真空镀膜机的新型自公转机构

技术领域

本实用新型属于真空镀膜机设备技术领域，具体涉及一种用于真空镀膜机的新型自公转机构。

背景技术

随着科学技术的飞速发展，真空镀膜的技术已经得到普遍应用，在镀制薄膜时，有的工件是平板型，有的工件是球形。在镀制球形工件时，由于工件本身存在凹凸形状，高点和低点存在距离差，且有时会行成阴影遮挡等情况。在这种情况下镀制的薄膜，同一个工件上各个点的膜层厚度会存在很大的差异，同时也会导致同一工件本身各个点的光学性能存在差异，这样工件就会变为不良品。传统的自公转机构通常为一个公转的大盘带数个自转的小盘，通过齿轮和轴等连接以实现自公转，但是此种结构仅是让小盘自转，如果想要每个工件均能实现自转，那么每个小盘内只能放置一个工件。当镀膜工件较小，一次镀膜件数较多时，该机构就很难满足要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：提供一种用于真空镀膜机的新型自公转机构，解决传统的自公转机构无法满足每一个工件在镀膜过程中均能实现自转的问题。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种用于真空镀膜机的新型自公转机构，包括挂筒组件、固定组件、转动组件和工件夹具；

所述挂筒组件包括限位支架、挂筒、轴承座、支撑环、轴承，所述挂筒上端连接有驱动机构，支撑环安装于挂筒下端，所述轴承的内圈穿设于支撑环上，所述轴承座套设于轴承的外圈上，所述限位支架的一端与轴承座连接，所述限位支架的另一端固定于真空腔体顶部；

所述固定组件包括固定环、固定支架和连接螺杆，固定支架一端固定于轴承座上，固定支架另一端通过连接螺杆与固定环上表面连接，通过调节连接螺杆的的长短就可以调节固定环与固定支架之间的距离，固定环的外侧表面上设置有夹具支撑圆圈；

所述转动组件包括转动环、转动支架和支撑螺杆，转动支架的一端固定于支撑环上，转动支架的另一端通过支撑螺杆与转动环下表面连接，转动环上设置有夹具放置沟槽；

所述工件夹具的一端安装于转动环的夹具放置沟槽内，所述工件夹具的另一端设置于固定环的夹具支撑圆圈上。

进一步地，所述工件夹具包括夹具环和用于固定镀膜工件的夹具板，所述夹具环的一端安装于转动环的夹具放置沟槽内，所述夹具环的另一端设置于固定环的夹具支撑圆圈上，所述夹具板通过螺钉可拆卸安装于夹具环上。

进一步地，所述固定环和转动环从上至下间隔设置有多个。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，工件夹具的一端安装于转动环的夹具放置沟槽内，所述工件夹具的另一端设置于固定环的夹具支撑圆圈上，当驱动机构启动时，带动挂筒和与之相连的转动组件一起旋转。而固定组件由于安装在轴承座上，轴承座又由限位支架限制转动，因此保持静止不动。当转动组件围绕固定组件公转时，工件夹具由于重力和摩擦力的原因自身开始发生旋转，因此每个工件在公转时均能实现自转，达到了每个工件都自转加公转的目的。因此镀膜过程中镀膜工件的高点和低点就会一直相互转换，这样镀膜完成后可以保证工件上每个点的膜厚均匀性一致。

2、本实用新型中，固定环利用连接螺杆与固定支架连接，旋转环利用支撑螺杆与旋转支撑连接，在薄膜镀制时，有可能需要调整工件夹具在镀膜时的倾斜角度，这时通过调节连接螺杆和支撑螺杆的长度就可以改变固定环与固定支架、转动环与转动支架之间的距离，以此可以调整工件夹具的倾斜角度。

3、本实用新型中，在镀膜设备尺寸允许的情况下，通过增加固定环和旋转环的个数，可极大的增加每次镀膜工件的放置数量。

4、本实用新型中，工件夹具是由夹具环和夹具板组成，夹具板用于固定镀膜工件，夹具板通过螺钉固定在夹具环上，当某种工件镀膜全部完成需要镀制另外的工件时，只需要更换该工件所对应的夹具板，夹具环仍然可通用，提高了设备的适配率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图，其中：

图1为本实用新型的立体示意图；

图2为本实用新型的结构示意图；

图3为本实用新型工件夹具的结构示意图；

图4为本实用新型多个固定环和旋转环的立体示意图；

图中标记：1-挂筒组件、2-固定组件、3-旋转组件、4-工件夹具、5-限位支架、6-挂筒、7-轴承座、8-支撑环、9-轴承、10-固定环、11-固定支架、12-连接螺杆、13-旋转环、14-旋转支架、15-支撑螺杆、16-驱动机构、17-真空腔体、18-夹具环、19-夹具板、20-螺钉、21-工件。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型的简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接或一体地连接；可以使机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个原件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

一种用于真空镀膜机的新型自公转机构，包括挂筒组件、固定组件、转动组件和工件夹具；

所述挂筒组件包括限位支架、挂筒、轴承座、支撑环、轴承，所述挂筒上端连接有驱动机构，支撑环安装于挂筒下端，所述轴承的内圈穿设于支撑环上，所述轴承座套设于轴承的外圈上，所述限位支架的一端与轴承座连接，所述限位支架的另一端固定于真空腔体顶部；

所述固定组件包括固定环、固定支架和连接螺杆，固定支架一端固定于轴承座上，固定支架另一端通过连接螺杆与固定环上表面连接，通过调节连接螺杆的的长短就可以调节固定环与固定支架之间的距离，固定环的外侧表面上设置有夹具支撑圆圈；

所述转动组件包括转动环、转动支架和支撑螺杆，转动支架的一端固定于支撑环上，转动支架的另一端通过支撑螺杆与转动环下表面连接，转动环上设置有夹具放置沟槽；

所述工件夹具的一端安装于转动环的夹具放置沟槽内，所述工件夹具的另一端设置于固定环的夹具支撑圆圈上。

进一步地，所述工件夹具包括夹具环和用于固定镀膜工件的夹具板，所述夹具环的一端安装于转动环的夹具放置沟槽内，所述夹具环的另一端设置于固定环的夹具支撑圆圈上，所述夹具板通过螺钉可拆卸安装于夹具环上。

进一步地，所述固定环和转动环从上至下间隔设置有多个。

本实用新型在实施过程中，将镀膜工件安装在工件夹具上，工件夹具的一端安装于转动环的夹具放置沟槽内，所述工件夹具的另一端设置于固定环的夹具支撑圆圈上，当驱动机构启动时，带动挂筒和与之相连的转动组件一起旋转。而固定组件由于安装在轴承座上，轴承座又由限位支架限制转动，因此保持静止不动。当转动组件围绕固定组件公转时，工件夹具由于重力和摩擦力的原因自身开始发生旋转，因此每个工件在公转时均能实现自转，达到了每个工件都自转加公转的目的。因此镀膜过程中镀膜工件的高点和低点就会一直相互转换，这样镀膜完成后可以保证工件上每个点的膜厚均匀性一致。

作为优选的实施方式，工件夹具是由夹具环和夹具板组成，夹具板用于固定镀膜工件，夹具板通过螺钉固定在夹具环上，当某种工件镀膜全部完成需要镀制另外的工件时，只需要更换该工件所对应的夹具板，夹具环仍然可通用，提高了设备的适配率。

具体地，固定环利用连接螺杆与固定支架连接，旋转环利用支撑螺杆与旋转支撑连接，在薄膜镀制时，当需要调整工件夹具镀膜时的倾斜角度，通过调节连接螺杆和支撑螺杆的长度就可以改变固定环与固定支架、转动环与转动支架之间的距离，以此可以调整工件夹具的倾斜角度。

具体地，当需要增加产量时，只需要将固定支架和旋转支架斜下延伸，增加固定环和旋转环的个数，最终形成类似一个宝塔形状，此时工件装载数量就可大大增加。

实施例1

一种用于真空镀膜机的新型自公转机构，包括挂筒组件、固定组件、转动组件和工件夹具；

所述挂筒组件包括限位支架、挂筒、轴承座、支撑环、轴承，所述挂筒上端连接有驱动机构，支撑环安装于挂筒下端，所述轴承的内圈穿设于支撑环上，所述轴承座套设于轴承的外圈上，所述限位支架的一端与轴承座连接，所述限位支架的另一端固定于真空腔体顶部；

所述固定组件包括固定环、固定支架和连接螺杆，固定支架一端固定于轴承座上，固定支架另一端通过连接螺杆与固定环上表面连接，通过调节连接螺杆的的长短就可以调节固定环与固定支架之间的距离，固定环的外侧表面上设置有夹具支撑圆圈；

所述转动组件包括转动环、转动支架和支撑螺杆，转动支架的一端固定于支撑环上，转动支架的另一端通过支撑螺杆与转动环下表面连接，转动环上设置有夹具放置沟槽；

所述工件夹具的一端安装于转动环的夹具放置沟槽内，所述工件夹具的另一端设置于固定环的夹具支撑圆圈上。

实施例2

在实施例1的基础上，所述工件夹具包括夹具环和用于固定镀膜工件的夹具板，所述夹具环的一端安装于转动环的夹具放置沟槽内，所述夹具环的另一端设置于固定环的夹具支撑圆圈上，所述夹具板通过螺钉可拆卸安装于夹具环上。

实施例3

在上述实施例的基础上，所述固定环和转动环从上至下间隔设置有多个。

如上所述即为本实用新型的实施例。前文所述为本实用新型的各个优选实施例，各个优选实施例中的优选实施方式如果不是明显自相矛盾或以某一优选实施方式为前提，各个优选实施方式都可以任意叠加组合使用，所述实施例以及实施例中的具体参数仅是为了清楚表述实用新型的验证过程，并非用以限制本实用新型的专利保护范围，本实用新型的专利保护范围仍然以其权利要求书为准，凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (3)

1.一种用于真空镀膜机的新型自公转机构，其特征在于，包括挂筒组件(1)、固定组件(2)、转动组件(3)和工件夹具(4)；

所述挂筒组件(1)包括限位支架(5)、挂筒(6)、轴承座(7)、支撑环(8)、轴承(9)，所述挂筒(6)上端连接有驱动机构(16)，支撑环(8)安装于挂筒(6)下端，所述轴承(9)的内圈穿设于支撑环(8)上，所述轴承座(7)套设于轴承(9)的外圈上，所述限位支架(5)的一端与轴承座(7)连接，所述限位支架(5)的另一端固定于真空腔体(17)顶部；

所述固定组件包括固定环(10)、固定支架(11)和连接螺杆(12)，固定支架(11)一端固定于轴承座(7)上，固定支架(11)另一端通过连接螺杆(12)与固定环(10)上表面连接，固定环(10)的外侧表面上设置有夹具支撑圆圈；

所述转动组件(3)包括转动环(13)、转动支架(14)和支撑螺杆(15)，转动支架(14)的一端固定于支撑环(8)上，转动支架(14)的另一端通过支撑螺杆(15)与转动环(13)下表面连接，转动环(13)上设置有夹具放置沟槽；

所述工件夹具(4)的一端安装于转动环(13)的夹具放置沟槽内，所述工件夹具(4)的另一端设置于固定环(10)的夹具支撑圆圈上。

2.按照权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的新型自公转机构，其特征在于，所述工件夹具(4)包括夹具环(18)和夹具板(19)，所述夹具环(18)的一端安装于转动环(13)的夹具放置沟槽内，所述夹具环(18)的另一端设置于固定环(10)的夹具支撑圆圈上，所述夹具板(19)通过螺钉(20)可拆卸安装于夹具环(18)上。

3.按照权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的新型自公转机构，其特征在于，所述固定环(10)和转动环(13)从上至下间隔设置有多个。

Images