CN114790540A - 镀膜转架 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种镀膜转架，包括：架体，被配置为能够绕转动中心旋转；挂杆，设于所述架体上，并与所述转动中心平行；第一齿轮，绕所述转动中心水平固定设置；第一转轴，水平设于所述挂杆上，所述第一转轴按其与所述架体的转动圆周交点处的切线所成夹角为锐角设置，所述第一转轴的外端连接产品夹具，内端连接第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮相配合；其中，通过所述架体的旋转，带动所述第二齿轮在绕所述第一齿轮公转的同时发生自转，使所述第一转轴跟随转动，从而实现所述夹具上装载的产品在转至朝向靶面时以倾斜角度进行旋转,使得产品的侧面和正面上都能得到均匀的膜层。
Description
技术领域
本发明涉及镀膜技术领域，特别是涉及一种产品可在随转架公转中实现自转的镀膜转架。
背景技术
目前，在利用真空镀膜设备同时对多个产品进行表面镀膜工艺时，一般是采用在设备工艺腔体中设置转架，并将产品通过挂杆上的夹具装载在转架上的方式，使产品在跟随转架的公转中进行镀膜。同时，还可通过建立多级传动方式，使挂杆能够在跟随转架公转的过程中进行自转，使得环绕转架各个侧面装载的每个产品都获得面向溅射靶的均等受镀机会。
由于产品是以固定方式装载在挂杆上的，在挂杆自转时，处于挂杆任何侧面上的产品都只能以固定角度转到正对靶面的方向。这样，对于一些圆柱形或环形产品而言，就会因产品不同面上难以得到均匀镀膜，造成镀膜后容易发生产品正面和侧面存在异色问题，无法满足客户需求。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种镀膜转架。
本发明实现上述目的的一种技术方案是：
镀膜转架，包括：
架体，被配置为能够绕转动中心旋转；
挂杆，设于所述架体上，并与所述转动中心平行；
第一齿轮，绕所述转动中心水平固定设置；
第一转轴，水平设于所述挂杆上，所述第一转轴按其与所述架体的转动圆周交点处的切线所成夹角为锐角设置，所述第一转轴的外端连接产品夹具，内端连接第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮相配合；
其中，通过所述架体的旋转，带动所述第二齿轮在绕所述第一齿轮公转的同时发生自转，使所述第一转轴跟随转动，从而实现所述夹具上装载的产品在转至朝向靶面时以倾斜角度进行旋转。
进一步地，所述架体包括上盘、下盘和连接设于所述上盘和所述下盘之间的所述挂杆，所述第一齿轮和所述第二齿轮设于所述下盘上方，并相啮合，所述第二齿轮通过万向接头机构与所述第一转轴相连接。
进一步地，所述万向接头机构包括双万向节，所述双万向节的一端通过第二转轴与所述第一转轴相连接，所述双万向节的另一端通过第三转轴与所述第二齿轮相连接。
进一步地，所述上盘和所述下盘之间通过第一支撑柱相连，所述下盘承载于架体轴承座上，传动主轴沿所述转动中心依次穿过所述架体轴承座、所述下盘和所述第一齿轮上分设的主轴孔后与连接板相连，所述连接板通过第二支撑柱与所述下盘相连，所述第一齿轮通过穿过所述下盘和所述架体轴承座上的所述主轴孔的支架固定于所述架体轴承座的底面上。
进一步地，所述架体包括上盘、下盘和连接设于所述上盘和所述下盘之间的所述挂杆，所述第一齿轮设于所述下盘下方，所述第二齿轮设于所述下盘上方，所述第二齿轮通过穿设于所述下盘上的齿轮传动机构与所述第一齿轮相配合。
进一步地，所述齿轮传动机构包括分设于所述下盘上下两侧上的第三齿轮和第四齿轮，所述第三齿轮和所述第四齿轮之间通过穿设于所述下盘上的第四转轴相连接，所述第三齿轮与所述第二齿轮相啮合，所述第四齿轮与所述第一齿轮相啮合，所述第二齿轮通过第二转轴与所述第一转轴相连接。
进一步地，所述第二转轴通过轴头设有的U型槽结构与所述第一转轴的内端相安装连接。
进一步地，所述挂杆上沿纵向设有多个所述第一转轴，各所述第一转轴之间通过联动机构相连形成同步转动配合，位于下方的第一个所述第一转轴的内端连接至第二齿轮。
进一步地，所述联动机构包括分设于位于下方的第一个所述第一转轴和第二个所述第一转轴上的一对相啮合的第五齿轮，其中，第二个所述第一转轴上的一个所述第五齿轮与其上方的各所述第一转轴之间通过偏心摇杆机构形成同步转动配合。
相比现有技术，本发明具有以下优点：
(1)可以使挂杆上装载的每个产品在公转时同时自转，能够提高较小产品镀膜时的沉积速率。
(2)将第一转轴按其与架体的转动圆周交点处的切线所成夹角为锐角设置，即将第一转轴按与架体的转动圆周的径向成锐角设置，能够使夹具上的产品在转动中成一定倾斜角度面对靶面，使得产品的侧面和正面上都能得到均匀的膜层。
(3)夹具和转架架体之间通过第一转轴与第二转轴轴头上的U型槽结构进行连接，安装方便快捷。
(4)可将转架的转动动力通过齿轮组的一级齿轮传动方式直接传递到产品上，结构简单，运行可靠。
(5)通过设置万向节，可改变齿轮传动力的方向，实现产品以一定倾斜角度面对靶面进行旋转。
附图说明
图1-图2为本发明一较佳实施例一的一种镀膜转架的结构示意图。
图3为图1中转架的俯视状态示意图。
图4为本发明一较佳实施例的一种万向接头机构的结构示意图。
图5为本发明一较佳实施例的一种架体的装配结构示意图。
图6为本发明一较佳实施例二的一种镀膜转架的结构示意图。
图7为图6中转架的仰视结构示意图。
图8为本发明一较佳实施例的一种齿轮传动机构的结构示意图。
图9-图10为本发明一较佳实施例的一种挂杆的结构示意图。
具体实施方式
为了能更好地对本发明的技术方案进行理解，下面通过具体的实施方式对本发明进行详细的说明。
参考图1-图2。本发明的一种镀膜转架，包括架体1和设于架体1上的挂杆12。架体1按竖直方向设置在镀膜工艺腔体中，并能够绕其转动中心水平旋转。多个挂杆12环绕设于架体1上，并与转动中心平行。
在一较佳实施例中，架体1可采用筒形框架结构，具体可包括按上下同轴方式设置的上盘13和下盘11，以及连接在上盘13和下盘11之间，用于对上盘13和下盘11进行固定的多个纵向设置的第一支撑杆14。上盘13和下盘11按水平方式布置，架体1通过下盘11转动安装在镀膜设备腔体中，从而可受控带动整个架体1绕转动中心转动。
挂杆12竖直安装在上盘13和下盘11之间，并可沿架体1的转动圆周依次布置多个。当架体1转动时，各挂杆12可跟随架体1作公转，且各挂杆12的公转轨迹完全相重合。
挂杆12上配置有夹具3，需要进行镀膜的产品2通过夹具3固定在挂杆12上。
图1示出在架体1圆周上装载多个挂杆12时的示例。图2示出在架体1圆周上装载单个挂杆12时的示例。
参考图1-图2。在下盘11的上方设有相啮合的第一齿轮20和第二齿轮17。第一齿轮20绕架体1的转动中心水平固定设置在下盘11的上方，从而第一齿轮20不会随架体1进行转动。
第一转轴15水平穿设于挂杆12上，并可通过轴承与挂杆12之间形成转动配合。第一转轴15通过其外端与一个产品夹具3进行连接，第一转轴15还通过其内端连接至竖直设置的第二齿轮17的中心。
在一较佳实施例中，第一齿轮20和第二齿轮17可采用锥齿轮结构，从而第二齿轮17能够以垂直方向与水平方向的第一齿轮20相啮合。
参考图3。第一转轴15按其与架体1的转动圆周交点处的切线所成夹角α为锐角设置，即将第一转轴15按与架体1的转动圆周的径向成锐角设置，以便能够使夹具3上的产品2，例如一种环形产品2，在转动中成一定倾斜角度面对靶面，使得产品2环形的侧面和正面上都能得到均匀的膜层。
在一较佳实施例中，夹角α可为30度至60度。较佳地，夹角α可为45度。
针对环形产品2，夹具3可采用常规结构，并与第一转轴15进行安装连接。
参考图2-图4。为了实现使产品2在转到面对靶面时，能够与靶面成一个倾斜角度，可通过万向接头机构16将第二齿轮17与第一转轴15相连接。
在一较佳实施例中，万向接头机构16可包括双万向节161。其中，双万向节161的一端可通过第二转轴22与第一转轴15相连接，双万向节161的另一端可通过第三转轴23与第二齿轮17相连接。第二转轴22和第三转轴23可分别通过轴承座安装在下盘11上。
参考图2和图5。上盘13和下盘11之间可通过第一支撑柱14相连。下盘11可承载于架体轴承座21上。架体轴承座21上设有架体轴承211。架体轴承211、下盘11和第一齿轮20上分别同心设有主轴孔；电机传动主轴24沿转动中心依次穿过架体轴承211、下盘11和第一齿轮20上的主轴孔后与连接板18相连；连接板18通过第二支撑柱19与下盘11相连。第一齿轮20通过穿过下盘11和架体轴承211上的主轴孔的支架201固定于架体轴承座21的底面上。
通过电机传动主轴24的旋转，驱动架体1的旋转。由于第一齿轮20处于静止状态，因而架体1上的下盘11将带动挂杆12、双万向节161和第二齿轮17同步转动。由于第二齿轮17与第一齿轮20之间存在啮合关系，因而第二齿轮17可以在绕第一齿轮20公转的同时发生自转，并将转动力矩通过第三转轴23、双万向节161和第二转轴22依次传递给第一转轴15，使第一转轴15跟随转动，从而实现第一转轴15上的夹具3上装载的产品2的旋转，并可使产品2在转至朝向靶面时以倾斜角度进行旋转。
参考图6-图8。在另一较佳实施例中，可将第一齿轮20设于下盘11下方，将第二齿轮17设于下盘11上方。并且，第二齿轮17可通过穿设于下盘11上的齿轮传动机构25与第一齿轮20相配合。
在一较佳实施例中，齿轮传动机构25可包括水平分设于下盘11上下两侧上的第三齿轮251和第四齿轮253；第三齿轮251和第四齿轮253之间可通过竖直穿设于下盘11上的第四转轴252相连接，第四转轴252可通过轴承与下盘11形成转动配合。其中，第三齿轮251与第二齿轮17相啮合，第四齿轮253与第一齿轮20相啮合。第二齿轮17通过第二转轴22与第一转轴15相连接。
在一较佳实施例中，第一齿轮20和第四齿轮253可采用正齿轮结构相啮合，第三齿轮251和第二齿轮17可采用锥齿轮结构相啮合。从而可以通过设置齿轮传动机构25，调整第二齿轮17与第三齿轮251相配合时的方向，实现调节第一转轴15相对转架的安装角度。
参考图8。在一较佳实施例中，第二转轴22的轴头设有U型槽221结构，用于与第一转轴15的内端相安装连接。这样，无论采用万向接头机构16或齿轮传动机构25来调整产品2的朝向角度，都可以方便快捷地将挂杆12与架体1进行安装。
参考图9-图10，其显示挂杆12的横向视图。在一较佳实施例中，挂杆12上沿纵向(图示为横向)设有多个第一转轴15。各第一转轴15之间通过联动机构28相连形成同步转动配合，并通过位于挂杆12下方的第一个第一转轴15-1的内端连接至第二齿轮17(参考图2和图6)。
进一步地，联动机构28可包括分设于位于下方的第一个第一转轴15-1和第二个第一转轴15-2上的一对相啮合的第五齿轮26。其中，第二个第一转轴15-2上的一个第五齿轮26-2与其上方的各第一转轴15之间通过偏心摇杆机构27形成同步转动配合。这样，当第二齿轮17在绕第一齿轮20公转及自转时，将转动力矩通过万向接头机构16或齿轮传动机构25传递给位于挂杆12下方的第一个第一转轴15-1，使第一转轴15-1跟随转动，并通过相啮合的两个第五齿轮26-1、26-2将转动力矩通过偏心摇杆机构27同步传递至挂杆12的其他第一转轴15上，实现一个挂杆12上的所有产品2的同步旋转。
本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围内，对以上实施例的变化、变型都将落在本发明的权利要求书范围内。
Claims (9)
1.镀膜转架，其特征在于，包括：
架体，被配置为能够绕转动中心旋转；
挂杆，设于所述架体上，并与所述转动中心平行；
第一齿轮，绕所述转动中心水平固定设置；
第一转轴，水平设于所述挂杆上，所述第一转轴按其与所述架体的转动圆周交点处的切线所成夹角为锐角设置，所述第一转轴的外端连接产品夹具，内端连接第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮相配合；
其中，通过所述架体的旋转，带动所述第二齿轮在绕所述第一齿轮公转的同时发生自转，使所述第一转轴跟随转动，从而实现所述夹具上装载的产品在转至朝向靶面时以倾斜角度进行旋转。
2.根据权利要求1所述的镀膜转架，其特征在于，所述架体包括上盘、下盘和连接设于所述上盘和所述下盘之间的所述挂杆，所述第一齿轮和所述第二齿轮设于所述下盘上方，并相啮合，所述第二齿轮通过万向接头机构与所述第一转轴相连接。
3.根据权利要求2所述的镀膜转架，其特征在于，所述万向接头机构包括双万向节，所述双万向节的一端通过第二转轴与所述第一转轴相连接，所述双万向节的另一端通过第三转轴与所述第二齿轮相连接。
4.根据权利要求2所述的镀膜转架，其特征在于，所述上盘和所述下盘之间通过第一支撑柱相连，所述下盘承载于架体轴承座上，传动主轴沿所述转动中心依次穿过所述架体轴承座、所述下盘和所述第一齿轮上分设的主轴孔后与连接板相连，所述连接板通过第二支撑柱与所述下盘相连，所述第一齿轮通过穿过所述下盘和所述架体轴承座上的所述主轴孔的支架固定于所述架体轴承座的底面上。
5.根据权利要求1所述的镀膜转架，其特征在于，所述架体包括上盘、下盘和连接设于所述上盘和所述下盘之间的所述挂杆，所述第一齿轮设于所述下盘下方，所述第二齿轮设于所述下盘上方，所述第二齿轮通过穿设于所述下盘上的齿轮传动机构与所述第一齿轮相配合。
6.根据权利要求5所述的镀膜转架，其特征在于，所述齿轮传动机构包括分设于所述下盘上下两侧上的第三齿轮和第四齿轮，所述第三齿轮和所述第四齿轮之间通过穿设于所述下盘上的第四转轴相连接，所述第三齿轮与所述第二齿轮相啮合，所述第四齿轮与所述第一齿轮相啮合，所述第二齿轮通过第二转轴与所述第一转轴相连接。
7.根据权利要求3或6所述的镀膜转架，其特征在于，所述第二转轴通过轴头设有的U型槽结构与所述第一转轴的内端相安装连接。
8.根据权利要求1所述的镀膜转架，其特征在于，所述挂杆上沿纵向设有多个所述第一转轴，各所述第一转轴之间通过联动机构相连形成同步转动配合，位于下方的第一个所述第一转轴的内端连接至第二齿轮。
9.根据权利要求8所述的镀膜转架，其特征在于，所述联动机构包括分设于位于下方的第一个所述第一转轴和第二个所述第一转轴上的一对相啮合的第五齿轮，其中，第二个所述第一转轴上的一个所述第五齿轮与其上方的各所述第一转轴之间通过偏心摇杆机构形成同步转动配合。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant |