CN115903380A - 感光性树脂层叠体 - Google Patents

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CN115903380A CN202211156119.9A CN202211156119A CN115903380A CN 115903380 A CN115903380 A CN 115903380A CN 202211156119 A CN202211156119 A CN 202211156119A CN 115903380 A CN115903380 A CN 115903380A
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樱井隆觉
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Abstract

本发明的目的在于，提供能够兼顾低粘性和高分辨率的感光性树脂层叠体、以及使用该感光性树脂层叠的卷、抗蚀图案和结构体。提供一种感光性树脂层叠体，其特征在于，其包含支撑体、感光性树脂层和覆盖薄膜，上述感光性树脂层和上述覆盖薄膜相接触，上述覆盖薄膜为低密度聚乙烯，且上述感光性树脂层含有：(A)碱溶性树脂、(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)两末端改性有机硅化合物，所述两末端改性有机硅化合物通过甲醇改性、酚改性或硅醇改性中的任意者进行了改性。

Description

感光性树脂层叠体
技术领域
本发明涉及感光性树脂层叠体、感光性树脂层叠体卷、干膜抗蚀剂、感光性元件、抗蚀图案形成方法等。
背景技术
以往，通过光刻法来进行印刷电路板的制造、金属的精密加工等。光刻法中使用的感光性树脂组合物被分类为溶解去除未曝光部的负型组合物和溶解去除曝光部的正型组合物。
在光刻法中，将感光性树脂组合物涂覆在基材上时，可使用如下方法中的任一方法：
(1)将光致抗蚀剂溶液涂覆于基材并使其干燥的方法；以及
(2)使用依次层叠有支撑体和包含感光性树脂组合物的层(以下也称为“感光性树脂层”)、以及根据需要的覆盖薄膜的感光性树脂层叠体，将感光性树脂层层叠于基材的方法。
在印刷电路板的制造中，大多使用后一方法。
以往报道了关于上述感光性树脂层叠体的技术(专利文献1)。针对使用上述感光性树脂层叠体形成图案的方法，以下进行简述。首先，从感光性树脂层叠体上剥离覆盖薄膜。接着，使用层压机，在覆铜层叠板、铜溅射薄膜等基材上，以顺序为该基材、感光性树脂层和支撑体的方式，层叠感光性树脂层和支撑体。接着，隔着具有期望布线图案的光掩模，对感光性树脂层进行曝光。接着，从曝光后的层叠体上剥离支撑体，并利用显影液来溶解或分散去除非图案部，由此，在基材上形成抗蚀图案。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2012-220837号公报
发明内容
发明要解决的问题
作为代表性的覆盖薄膜的易剥离聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)由于有机硅涂层等而具有容易从感光性树脂层上剥离(粘性低)的优点。另一方面，易剥离PET有时由于作为易剥离剂的有机硅成分或非有机硅成分从易剥离PET转印到感光性树脂层表面而使分辨率变差。
需要说明的是，以往将感光性树脂层与支撑体的粘性以及与覆盖薄膜的粘性统称为“粘性”，与此相对地，本公开中是指感光性树脂层与覆盖薄膜的粘性。
另外，已知作为代表性的覆盖薄膜的双轴拉伸聚丙烯(OPP)由于源自原料的成分的影响也有使分辨率变差的倾向。
另外，若使用低密度聚乙烯(LDPE)作为覆盖薄膜，虽然容易实现良好的分辨率，但是也存在与感光性树脂层的粘性容易变高的不利之处。
近年来，随着抗蚀剂的进一步高分辨率化，粘结剂聚合物低分子量化或单体成分增加，导致抗蚀剂与覆盖薄膜的粘接力(粘性)增大，有时在使用时抗蚀剂贴附于覆盖薄膜而从规定的支撑体或基材上分离。
鉴于上述情况，本发明的目的在于，提供能够兼顾低粘性和高分辨率的感光性树脂层叠体、以及使用该感光性树脂层叠体的卷、抗蚀图案和结构体。
用于解决问题的方案
本发明人们进行了深入研究，结果发现，通过着眼于使用LDPE作为感光性树脂层叠体的覆盖薄膜而在感光性树脂层侧实现低粘性、并且还使用特定的有机硅化合物提高含硅(Si)成分的分散性，从而可兼顾低粘性和高分辨率，可解决上述课题。
以下例示出本发明的一方式。
(1)
一种感光性树脂层叠体，其特征在于，其包含支撑体、感光性树脂层和覆盖薄膜，
上述感光性树脂层和上述覆盖薄膜相接触，
上述覆盖薄膜为低密度聚乙烯，且
上述感光性树脂层含有下述成分：
(A)碱溶性树脂、
(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物、
(C)光聚合引发剂、和
(D)两末端改性有机硅化合物，所述两末端改性有机硅化合物通过甲醇改性、酚改性或硅醇改性中的任意者进行了改性。
(2)
根据项目1所述的感光性树脂层叠体，其中，上述(A)碱溶性树脂含有来自丙烯酸或甲基丙烯酸中的任一者或这两者的结构单元。
(3)
根据项目1或2所述的感光性树脂层叠体，其中，作为上述(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物，包含二官能单体和三官能以上的多官能单体。
(4)
根据项目1～3中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，上述(D)两末端改性有机硅化合物的官能团当量为100～1500g/mol。
(5)
根据项目1～4中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，上述(A)碱溶性树脂的重均分子量低于55000。
(6)
根据项目1～5中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，至少一种上述(A)碱溶性树脂的重均分子量低于20000。
(7)
根据项目1～6中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，上述(A)碱溶性树脂相对于上述(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物的质量比(A)/(B)小于1.0。
(8)
根据项目1～7中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，在上述感光性树脂层中分散有来自上述(D)两末端改性有机硅化合物的有机硅成分。
(9)
根据项目1～8中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，上述(D)两末端改性有机硅化合物包含通过两末端甲醇改性、两末端酚改性或两末端硅醇改性中的任意者进行了改性的两末端改性有机硅化合物。
(10)
根据项目1～9中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，与上述感光性树脂层相接触的上述覆盖薄膜表面的表面自由能和与上述覆盖薄膜相接触的上述感光性树脂层表面的表面自由能的差为20mJ/m2以上。
(11)
根据项目1～10中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，上述(A)碱溶性树脂包含来自芳香族单体成分或脂环式单体的结构单元。
(12)
根据项目1～11中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，上述感光性树脂层的膜厚为10μm以下。
(13)
根据项目1～12中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，上述覆盖薄膜的上述感光性树脂层侧的表面粗糙度Rz为200＜Rz＜800。
(14)
一种卷，其将项目1～13中任一项所述的感光性树脂层叠体卷绕而成。
(15)
一种抗蚀图案的形成方法，其包括以下工序：
从项目1～13中任一项所述的感光性树脂层叠体上剥离上述覆盖薄膜的工序；
将上述感光性树脂层的剥离了上述覆盖薄膜的面层叠于基板而形成感光性元件的层叠工序；
对上述感光性元件的上述感光性树脂层进行曝光的曝光工序；和
对上述感光性树脂层的未曝光部进行显影去除的显影工序。
(16)
一种结构体，其包含：
从项目1～13中任一项所述的感光性树脂层叠体上剥离上述覆盖薄膜而得到的上述感光性树脂层；和
从上述感光性树脂层的剥离了上述覆盖薄膜的面层叠的基板。
发明的效果
根据本发明，可以提供能够兼顾低粘性和高分辨率的感光性树脂层叠体、以及使用该感光性树脂层叠体的卷、抗蚀图案和结构体。
具体实施方式
以下，针对本具体实施方式(以下简写为“实施方式”)进行详细说明。另外，本发明不限定于以下的实施方式，可以在其主旨范围内进行各种变形来实施。
另外，本说明书中，“(甲基)丙烯酸”是指丙烯酸或甲基丙烯酸，“(甲基)丙烯酰基”是指丙烯酰基或甲基丙烯酰基，并且，“(甲基)丙烯酸酯”是指丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。
＜感光性树脂层叠体＞
本实施方式的感光性树脂层叠体的特征在于，包含支撑体、感光性树脂层和覆盖薄膜，感光性树脂层与覆盖薄膜相接触，覆盖薄膜为低密度聚乙烯，且感光性树脂层含有下述成分：
(A)碱溶性树脂、
(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物、
(C)光聚合引发剂、和
(D)两末端改性有机硅化合物，所述两末端改性有机硅化合物通过甲醇改性、酚改性或硅醇改性中的任意者进行了改性。
本实施方式的感光性树脂层叠体通过上述那样的构成来表征，在卷、抗蚀图案、感光性元件和结构体等的形成中能够兼顾低粘性和高分辨率。
从显著发挥本发明的效果的观点出发，感光性树脂层叠体的、与感光性树脂层相接触的覆盖薄膜表面的表面自由能和与覆盖薄膜相接触的感光性树脂层表面的表面自由能的差优选为20mJ/m2以上，更优选为22mJ/m2以上，进一步优选为25mJ/m2以上。
从显著发挥本发明的效果的观点出发，感光性树脂层叠体优选以将感光性树脂层叠体卷绕而成的卷、干膜抗蚀剂或转印薄膜的形式使用。
以下对感光性树脂层叠体的各构成要素进行说明。
[感光性树脂层]
本公开的感光性树脂层与覆盖薄膜相接触，优选与覆盖薄膜相抵接，并且含有下述成分：
(A)碱溶性树脂、
(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物、
(C)光聚合引发剂、和
(D)两末端改性有机硅化合物，所述两末端改性有机硅化合物通过甲醇改性、酚改性或硅醇改性中的任意者进行了改性。
感光性树脂层即使与覆盖薄膜相接触，也由于含有上述成分(A)～(D)而能够在感光性树脂层侧实现与覆盖薄膜的低粘性。
从抗蚀图案的分辨率、侧蚀量、穿刺强度或低粘性的观点出发，感光性树脂层叠体中的感光性树脂层的膜厚优选为10μm以下、更优选为0.5μm～10μm、进一步优选为1μm～10μm。
感光性树脂层可以包含含有上述成分(A)～(D)的感光性树脂组合物或由感光性树脂组合物形成。根据期望，感光性树脂层可以含有除上述成分(A)～(D)以外的成分。以下对感光性树脂层的含有成分进行说明。
(A)碱溶性树脂
(A)碱溶性树脂是可溶解于碱性溶液的高分子。另外，(A)碱溶性树脂优选具有羧基，更优选具有100～600的酸当量，并且，进一步优选为包含含羧基单体作为共聚成分的共聚物。进而，(A)碱溶性树脂可以为热塑性。
从感光性树脂层的耐显影性以及抗蚀图案的分辨率和密合性的观点出发，(A)碱溶性树脂的酸当量优选为100以上，另一方面，从感光性树脂层的显影性和剥离性的观点出发，(A)碱溶性树脂的酸当量优选为600以下。另外，(A)碱溶性树脂的酸当量更优选为200～500、进一步优选为250～450。需要说明的是，本发明的一个方案中，酸当量是指在分子中具有1当量羧基的聚合物的质量(克)，例如，可以使用自动滴定装置，并使用0.1mol/L的氢氧化钠水溶液，通过电位差滴定法进行测定。
(A)碱溶性树脂的通过下述数学式(I)求出的玻璃化转变温度(Tgtotal)优选为100℃以下。
Figure BDA0003857963070000071
{式中，Wi为构成碱溶性树脂的共聚单体各自的质量，
Tgi为构成碱溶性树脂的共聚单体分别为均聚物时的玻璃化转变温度，
Wtotal为碱溶性树脂的总质量，且
n为构成该碱溶性树脂的共聚单体的种类数。}
作为(A)碱溶性树脂而使用多种高分子的混合物时，玻璃化转变温度是作为全部高分子的平均值而确定的值。
求出玻璃化转变温度Tgi时，作为由形成对应的碱溶性树脂的共聚单体形成的均聚物的玻璃化转变温度，使用Brandrup，J.Immergut，E.H.编撰的“Polymer handbook,Third edition,John wiley&sons,1989,p.209Chapter VI《Glass transitiontemperatures of polymers》”中示出的值。
代表性的共聚单体的Tgi如下所示(均为文献值)。
甲基丙烯酸：Tg＝501K
甲基丙烯酸苄基酯：Tg＝327K
甲基丙烯酸甲酯：Tg＝378K
苯乙烯：Tg＝373K
丙烯酸2-乙基己酯：Tg＝223K
作为显示上述那样的玻璃化转变温度(Tgtotal)的碱溶性树脂，优选为酸单体与其它单体的共聚物。
针对通过上述数学式(I)而求出的(A)碱溶性树脂的玻璃化转变温度(Tgtotal)的下限值，没有特别限定。玻璃化转变温度(Tgtotal)可以为10℃以上，也可以为30℃以上，也可以为50℃以上，还可以为70℃以上。
上述(A)碱溶性树脂优选利用凝胶渗透色谱法(GPC)测定且使用聚苯乙烯的标准曲线计算的重均分子量(Mw)低于55000。在此，在共混多种(A)碱溶性树脂的情况下，是指它们的Mw的平均低于上述值(55000)。从兼顾低粘性和高分辨率的观点或在显影液中的溶解性的观点出发，(A)碱溶性树脂的Mw优选低于55000，更优选低于40000，另一方面，从干膜抗蚀剂等感光性树脂层叠体维持均匀厚度、粘性、热熔成边(edge fusing)性、切屑性等观点出发，优选为5000以上。
另外，上述(A)碱溶性树脂优选利用凝胶渗透色谱法(GPC)对至少一种(A)成分进行测定且使用聚苯乙烯的标准曲线计算的重均分子量(Mw)低于20000。在此，在单独一种(A)碱溶性树脂时，是指该单独一种(A)碱溶性树脂的Mw低于上述值(20000)，另外在共混多种(A)碱溶性树脂的情况下，是指任一种(A)碱溶性树脂的Mw低于上述值(20000)。从兼顾低粘性和高分辨率的观点或在显影液中的溶解性的观点出发，至少一种(A)碱溶性树脂的Mw优选低于20000，另一方面，从干膜抗蚀剂等感光性树脂层叠体维持均匀厚度、粘性、热熔成边(edge fusing)性、切屑性等观点出发，优选为5000以上。
从兼顾低粘性和高分辨率的观点出发，(A)碱溶性树脂优选含有来自丙烯酸或甲基丙烯酸中的任一者或这两者的结构单元，和/或含有来自芳香族单体成分的结构单元。含有来自丙烯酸或甲基丙烯酸中的任一者或这两者的结构单元的成分(A)例如可以为(甲基)丙烯酸系树脂。含有来自芳香族单体成分的结构单元的(A)成分例如可以为苯乙烯系树脂、苄基(甲基)丙烯酸系树脂等衍生物。
(A)碱溶性树脂优选通过将至少1种后述第一单体进行聚合来获得。另外，(A)碱溶性树脂更优选通过将至少1种第一单体与至少1种后述第二单体进行共聚来获得。
第一单体是分子中含有羧基的单体。作为第一单体，可列举例如(甲基)丙烯酸、富马酸、肉桂酸、巴豆酸、衣康酸、马来酸酐和马来酸半酯等。这些之中，特别优选为(甲基)丙烯酸。
第二单体是非酸性且分子中具有至少1个聚合性不饱和基团的单体。作为第二单体，可列举例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯和(甲基)丙烯酸苄基酯；乙酸乙烯酯等乙烯醇的酯类；以及(甲基)丙烯腈、苯乙烯和能够聚合的苯乙烯衍生物(例如甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、叔丁氧基苯乙烯、乙酰氧基苯乙烯、4-乙烯基苯甲酸、苯乙烯二聚物、苯乙烯三聚物等)等。这些之中，优选为(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄基酯。
另外，从提高抗蚀图案的分辨率的观点出发，(A)碱溶性树脂优选在其结构的侧链具有芳香族基团、脂环式烃。
在侧链具有芳香族基团、脂环式烃的(A)碱溶性树脂可通过使用具有芳香族基团、脂环式烃的化合物作为上述第一单体和/或第二单体来制备。作为具有芳香族基团的单体，可列举例如(甲基)丙烯酸苄基酯、苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯、肉桂酸、能够聚合的苯乙烯衍生物(例如甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、叔丁氧基苯乙烯、乙酰氧基苯乙烯、4-乙烯基苯甲酸、苯乙烯二聚物、苯乙烯三聚物等)等。作为具有脂环式烃的单体，可列举例如(甲基)丙烯酸异冰片基酯、(甲基)丙烯酸环己基酯、(甲基)丙烯酸二环戊基酯等。其中，优选为(甲基)丙烯酸苄基酯和苯乙烯，更优选为(甲基)丙烯酸苄基酯。
(A)碱溶性树脂可通过对上述第一单体和/或第二单体应用已知的聚合方法、优选为加聚、更优选为自由基聚合来制备。
感光性树脂层中的(A)碱溶性树脂的含量(以感光性树脂层的固体成分总量为基准。以下，只要没有特别明示，则对于各含有成分是同样的)优选为10质量％～90质量％的范围，更优选为20质量％～80质量％的范围，进一步优选为30质量％～60质量％的范围。从维持感光性树脂层的碱显影性的观点出发，(A)碱溶性树脂的含量优选为10质量％以上，另一方面，从通过曝光而形成的抗蚀图案充分发挥出作为抗蚀材料的性能的观点出发，(A)碱溶性树脂的含量优选为90质量％以下。
(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物
(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物是通过在其结构中具有烯属不饱和键、具体为烯属不饱和基团而具有聚合性的化合物。
感光性树脂层中，作为(B)成分，只要具有1个以上的烯属双键即可。优选使用具有2个以上烯属双键的化合物。
另外，从兼顾低粘性和高分辨率的观点出发，感光性树脂层优选包含二官能单体和三官能以上的多官能单体作为(B)成分。
作为二官能单体的具体例，可列举通过对双酚A进行环氧烷烃改性并向两末端导入(甲基)丙烯酰基而得到的化合物、在双酚A的两末端具有(甲基)丙烯酰基的化合物等。另外，环氧烷烃改性包括环氧乙烷改性、环氧丙烷改性、环氧丁烷改性、环氧戊烷改性、环氧己烷改性等。
作为在两末端具有(甲基)丙烯酰基的环氧乙烷改性双酚A的具体例，可列举：
·在双酚A的两端分别加成有平均1摩尔环氧乙烷的聚乙二醇的二(甲基)丙烯酸酯；
·在双酚A的两端分别加成有平均2摩尔环氧乙烷的聚乙二醇的二(甲基)丙烯酸酯；
·在双酚A的两端分别加成有平均3摩尔环氧乙烷的聚乙二醇的二(甲基)丙烯酸酯；
·在双酚A的两端分别加成有平均5摩尔环氧乙烷的聚乙二醇的二(甲基)丙烯酸酯等。
它们可以单独使用，也可以组合使用2种以上。在上述说明的二官能单体之中，从分辨率、侧蚀量、穿刺强度等观点出发，优选为在双酚A的两端分别加成有平均5摩尔环氧乙烷的聚乙二醇的二甲基丙烯酸酯(例如商品名“MPEM-10”等)、在双酚A的两端分别加成有平均1mol环氧乙烷的聚乙二醇的二甲基丙烯酸酯(例如商品名“MSR-348”等)和双酚A二甲基丙烯酸酯。
作为三官能以上的多官能单体，可列举例如具有来自二季戊四醇的骨架的三官能以上的(甲基)丙烯酸酯化合物等，根据期望，三官能以上的(甲基)丙烯酸酯化合物可以包含环氧烷烃基。更详细而言，可列举下述式(II)所示的具有来自二季戊四醇的骨架的多官能(甲基)丙烯酸酯化合物、季戊四醇的三或四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇上加成有平均4摩尔～35摩尔环氧烷烃而成的多元醇的三或四(甲基)丙烯酸酯等。
Figure BDA0003857963070000111
{式中，R10表示氢原子、(甲基)丙烯酰基或环氧烷烃改性(甲基)丙烯酰基，在1分子中包含至少3个(甲基)丙烯酰基}
通式(II)中，从得到充分的固化膜强度、抗蚀剂形状和分辨率的观点出发，一分子中的(甲基)丙烯酰基的数量为3个以上，优选为4个、5个或6个。作为R10基团的环氧烷烃改性(甲基)丙烯酰基被例如选自由环氧乙烷、环氧丙烷和环氧丁烷组成的组中的至少1种改性，优选经环氧乙烷改性和/或环氧丙烷改性，具体而言，可以为-(C2H4O)m-CO-CR＝CH2{式中，R表示氢原子或甲基，m为1～30的整数}、-(C3H6O)n-CO-CR＝CH2{式中，R表示氢原子或甲基，n为1～30的整数}、-(C2H4O)m-(C3H6O)n-CO-CR＝CH2{式中，R表示氢原子或甲基，m为1～30的整数，n为1～30的整数，(C2H4O)m与(C3H6O)n的排列可以为交替、无规或嵌段}等。
作为三官能以上的(甲基)丙烯酸酯化合物的具体例，可列举：
·加成有平均3～27摩尔环氧乙烷的聚乙二醇的二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯；
·加成有平均3～27摩尔环氧乙烷的聚乙二醇的二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯；
·加成有平均3～27摩尔环氧乙烷的聚乙二醇的二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯；
·加成有平均3～27摩尔环氧丙烷的聚乙二醇的二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯；
·加成有平均3～27摩尔环氧丙烷的聚乙二醇的二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯；
·加成有平均3～27摩尔的环氧丙烷的聚乙二醇的二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯；
·交替、无规或嵌段地加成有平均3～27摩尔环氧乙烷和平均3～27摩尔环氧丙烷的聚乙二醇的二季戊四醇四、五或六(甲基)丙烯酸酯、
·二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、
·二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、
·二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、
·二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、
·在三羟甲基丙烷上加成有平均3摩尔～25摩尔环氧烷烃的聚亚烷基三醇的三(甲基)丙烯酸酯、
·在季戊四醇上加成有平均4摩尔～35摩尔环氧烷烃的多元醇的四(甲基)丙烯酸酯、
·在三羟甲基丙烷上加成有平均3摩尔环氧乙烷的三丙烯酸酯、
·在三羟甲基丙烷上加成有平均3摩尔环氧乙烷的三甲基丙烯酸酯、
·ε-己内酯改性三(丙酰氧基乙基)异氰脲酸酯
·上述中列举的化合物的组合等。
其中，在使用六(甲基)丙烯酸酯与五(甲基)丙烯酸酯的混合物时，五(甲基)丙烯酸酯的比率优选低于六(甲基)丙烯酸酯的比率，更优选为约10质量％。
(B)成分中，除了上述所示的化合物以外还可以包含其它光聚合性化合物。作为其它光聚合性化合物，可列举例如甘油、三羟甲基丙烷、季戊四醇、二甘油、双三羟甲基丙烷、异氰脲酸酯环等加成聚氧亚烷基或进行ε-己内酯改性而得到的醇转换成(甲基)丙烯酸酯而得到的化合物；或者使它们直接与(甲基)丙烯酸发生反应而不用氧亚烷基或ε-己内酯进行改性而得的化合物；二季戊四醇单(甲基)丙烯酸酯等。它们可以单独使用一种或组合使用两种类以上。
从低粘性、高分辨率和高密合性的观点出发，本实施方式的感光性树脂层中，(A)碱溶性树脂相对于(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物的质量比(A)/(B)优选小于1.0，优选为0.70以上。该质量比(A)/(B)也称为粘结剂树脂(B)相对于单体(M)的质量比B/M，从同样的观点出发，更优选为0.95以下。
感光性树脂层中的(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物的含量优选为5质量％～70质量％、更优选为10质量％～60质量％、进一步优选在20质量％～50质量％的范围内。从抑制感光性树脂层的固化不良和显影时间延迟的观点出发，(B)成分的含量优选为5质量％以上，另一方面，从抑制固化抗蚀剂的剥离延迟的观点出发，优选为70质量％以下。
(C)光聚合性引发剂
(C)光聚合性引发剂是能够通过活性光线而产生自由基、并且将(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物等聚合的化合物。感光性树脂层中，作为(C)光聚合引发剂，可以包含本技术领域中通常已知的光聚合引发剂。
作为(C)光聚合引发剂，可列举例如六芳基联咪唑化合物、N-芳基-α-氨基酸化合物、醌化合物、芳香族酮化合物、苯乙酮化合物、酰基氧化膦化合物、苯偶姻化合物、苯偶姻醚化合物、二烷基缩酮化合物、噻吨酮化合物、二烷基氨基苯甲酸酯化合物、肟酯化合物、吖啶化合物、二氢吡唑衍生物、N-芳基氨基酸的酯化合物、卤化物等。
作为六芳基联咪唑化合物，可列举例如2-(邻氯苯基)-4,5-二苯基联咪唑(别称：2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑)、2,2’,5-三(邻氯苯基)-4-(3,4-二甲氧基苯基)-4’,5’-二苯基联咪唑、2,4-双(邻氯苯基)-5-(3,4-二甲氧基苯基)-二苯基联咪唑、2,4,5-三(邻氯苯基)-二苯基联咪唑、2-(邻氯苯基)-双-4,5-(3,4-二甲氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2-氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2,3-二氟甲基苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2,4-二氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2,5-二氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2,6-二氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2,3,4-三氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2,3,5-三氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2,3,6-三氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2,4,5-三氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2,4,6-三氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2,3,4,5-四氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)联咪唑、2,2’-双(2,3,4,6-四氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)联咪唑和2,2’-双(2,3,4,5,6-五氟苯基)-4,4’,5,5’-四-(3-甲氧基苯基)联咪唑等。其中，从高灵敏度、分辨率和密合性的观点出发，优选为2-(邻氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物。
作为N-芳基-α-氨基酸化合物，可列举例如N-苯基甘氨酸、N-甲基-N-苯基甘氨酸、N-乙基-N-苯基甘氨酸等。尤其是，N-苯基甘氨酸的增敏效果高，故而优选。
作为醌化合物，可列举例如2-乙基蒽醌、八乙基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、2,3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、2-氯蒽醌、2-甲基蒽醌、1,4-萘醌、9,10-菲醌、2-甲基-1,4-萘醌、9,10-菲醌、2-甲基-1,4-萘醌、2,3-二甲基蒽醌、3-氯-2-甲基蒽醌等。
作为芳香族酮化合物，可列举例如二苯甲酮、米蚩酮[4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮]、4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、4-甲氧基-4’-二甲基氨基二苯甲酮等。
作为苯乙酮化合物，可列举例如2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-十二烷基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、4-(2-羟基乙氧基)-苯基(2-羟基-2-丙基)酮、1-羟基环己基苯基酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉基苯基)-丁酮-1、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙酮-1等。作为苯乙酮化合物的市售品，可列举例如Ciba Specialty Chemicals公司制的Irgacure-907、Irgacure-369和Irgacure-379。从作为敏化剂的使用和密合性的观点出发，优选为4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮。
作为酰基氧化膦化合物，可列举例如2,4,6-三甲基苄基二苯基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-2,4,4-三甲基戊基氧化膦等。作为酰基氧化膦化合物的市售品，可列举例如BASF公司制的LUCIRIN TPO和Ciba SpecialtyChemicals公司制的Irgacure-819。
作为苯偶姻化合物和苯偶姻醚化合物，可列举例如苯偶姻、苯偶姻乙基醚、苯偶姻苯基醚、甲基苯偶姻、乙基苯偶姻等。
作为二烷基缩酮化合物，可列举例如苯偶酰二甲基缩酮、苯偶酰二乙基缩酮等。
作为噻吨酮化合物，可列举例如2,4-二乙基噻吨酮、2,4-二异丙基噻吨酮、2-氯噻吨酮等。
作为二烷基氨基苯甲酸酯化合物，可列举例如二甲基氨基苯甲酸乙酯、二乙基氨基苯甲酸乙酯、乙基对二甲基氨基苯甲酸酯、2-乙基己基-4-(二甲基氨基)苯甲酸酯等。
作为肟酯化合物，可列举例如1-苯基-1,2-丙二酮-2-O-苯甲酰基肟、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(O-乙氧基羰基)肟等。作为肟酯化合物的市售品，可列举例如Ciba SpecialtyChemicals公司制的CGI-325、Irgacure-OXE01和Irgacure-OXE02。
作为吖啶化合物，从灵敏度、分辨率、获取性等观点出发，优选为1,7-双(9,9’-吖啶基)庚烷或9-苯基吖啶。
作为二氢吡唑衍生物，从密合性和抗蚀图案的矩形性的观点出发，优选为1-苯基-3-(4-叔丁基-苯乙烯基)-5-(4-叔丁基-苯基)-二氢吡唑、1-苯基-3-(4-联苯基)-5-(4-叔丁基-苯基)-二氢吡唑和1-苯基-3-(4-联苯基)-5-(4-叔辛基-苯基)-二氢吡唑。
作为N-芳基氨基酸的酯化合物，可列举例如N-苯基甘氨酸的甲酯、N-苯基甘氨酸的乙酯、N-苯基甘氨酸的正丙酯、N-苯基甘氨酸的异丙酯、N-苯基甘氨酸的1-丁酯、N-苯基甘氨酸的2-丁酯、N-苯基甘氨酸的叔丁酯、N-苯基甘氨酸的戊酯、N-苯基甘氨酸的己酯、N-苯基甘氨酸的戊酯、N-苯基甘氨酸的辛酯等。
作为卤化物，可列举例如戊基溴、异戊基溴、溴化异丁烯、溴乙烯、二苯基甲基溴、苄基溴、亚甲基溴、三溴甲基苯基砜、四溴化碳、三(2,3-二溴丙基)磷酸酯、三氯乙酰胺、戊基碘、异丁基碘、1,1,1-三氯-2,2-双(对氯苯基)乙烷、氯化三嗪化合物、二烯丙基碘鎓化合物等，特别优选为三溴甲基苯基砜。
感光性树脂层中的(C)光聚合引发剂的含量优选为0.01质量％～20质量％，更优选为0.5质量％～10质量％。通过将(C)光聚合引发剂的含量调整至上述范围内，可得到能够获得充分的灵敏度、能够充分使光透过至抗蚀剂底部、能够得到高分辨率、并且与导体图案的侧蚀量的平衡优异的感光性树脂层、和感光性树脂层叠体。
作为(C)光聚合引发剂，优选使用六芳基双咪唑化合物。此时，感光性树脂层中的六芳基双咪唑化合物的含量优选为0.1质量％～10质量％，更优选为0.5质量％～5质量％。
作为(C)光聚合引发剂，优选组合使用4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮等芳香族酮化合物和六芳基双咪唑化合物。此时，感光性树脂层中的芳香族酮化合物的含量优选为0.5质量％以下、更优选为0.01质量％～0.4质量％，另外，感光性树脂层中的六芳基双咪唑化合物的含量优选为0.1质量％～10质量％、更优选为0.5质量％～5质量％。
(D)两末端改性有机硅化合物
本公开的(D)两末端改性有机硅化合物是通过甲醇改性、酚改性或硅醇改性中的任意者进行了两末端改性的有机硅化合物。
通常，有机硅化合物例如为使两末端硅醇聚二甲基硅氧烷与聚甲基氢硅氧烷或聚甲基甲氧基硅氧烷反应而得的缩合反应型有机硅树脂；使二甲基硅氧烷/甲基乙烯基硅氧烷共聚物或二甲基硅氧烷/甲基己烯基硅氧烷共聚物与聚甲基氢硅氧烷反应而得的加成反应型有机硅树脂；利用紫外线或电子束使丙烯酸系有机硅、含环氧基的有机硅等固化而得的紫外线固化型或电子束固化型有机硅树脂等。
(D)两末端改性有机硅化合物为通过甲醇改性、酚改性或硅醇改性中的任意者对上述例示的常见有机硅化合物进行了两末端改性而得的物质即可，或者为这样进行了改性的有机硅树脂即可。
(D)两末端改性有机硅化合物的改性位置例如可以为常见有机硅化合物的两末端，其中，从兼顾低粘性和高分辨率的观点出发，(D)成分优选包含两末端改性有机硅化合物。(D)两末端改性有机硅化合物可以在一分子中存在甲醇改性部位、酚改性部位或硅醇改性部位中的任一者，或者也可以存在它们的任意组合。
从兼顾低粘性和高分辨率的观点出发，(D)两末端改性有机硅化合物的官能团当量优选为100～1500g/mol、更优选为300～1490g/mol、进一步优选为400～1480g/mol。
从与上述相同的观点出发，(D)两末端改性有机硅化合物的羟值优选在30～130mgKOH/g的范围内。
作为甲醇改性有机硅化合物，可列举例如甲醇改性有机硅树脂(例如反应性有机硅甲醇油)等，优选单末端型或两末端型甲醇改性硅油，更优选为两末端型甲醇改性硅油。
作为酚改性有机硅化合物，可列举例如酚改性有机硅树脂(例如反应性有机硅酚油)等，优选单末端型或两末端型有机硅酚油，更优选为两末端型有机硅酚油。
作为硅醇改性有机硅化合物，可列举例如硅醇改性有机硅树脂(例如反应性有机硅硅醇油)等，优选单末端型或两末端型有机硅硅醇油，更优选为两末端型有机硅硅醇油。
(D)两末端改性有机硅化合物只要通过甲醇改性、酚改性或硅醇改性中的任意者进行了改性即可，可以根据期望进一步通过羧基改性、二醇改性、环氧改性、聚酯改性、丙烯酰基改性、醇酸改性、三聚氰胺改性等进行改性。
从兼顾低粘性和高分辨率的观点出发，优选在本实施方式的感光性树脂层中分散有上述所说明的来自(D)两末端改性有机硅化合物的有机硅成分。
感光性树脂层中的(D)两末端改性有机硅化合物的含量优选为0.01质量％～10质量％、更优选为0.05质量％～5质量％、进一步优选为0.10质量％～2质量％、特别优选为0.15质量％～1质量％。通过将(D)两末端改性有机硅化合物的含量调整到上述范围内，从而涂覆时不易出现不均，有容易兼顾低粘性和高分辨率的倾向。
其它成分
感光性树脂层可以根据期望包含染料、增塑剂、抗氧化剂、稳定化剂等添加剂。
为了对抗蚀剂固化膜赋予合适的显色性和优异的灵敏度特性，优选感光性树脂层中含有染料。
作为染料，可列举例如三(4-二甲基氨基苯基)甲烷[隐色结晶紫]、双(4-二甲基氨基苯基)苯基甲烷[隐色孔雀绿]、品红、酞菁绿、金胺碱、副品红、结晶紫、甲基橙、尼罗蓝2B、维多利亚蓝、孔雀绿(保土谷化学公司制Aizen(注册商标)MALACHITE GREEN)、碱性蓝20、钻石绿(保土谷化学公司制Aizen(注册商标)DIAMOND GREEN GH)等。这些之中，从提高着色性、色相稳定性和曝光对比度的观点出发，优选为钻石绿和隐色结晶紫等隐色染料。它们可以单独使用一种或组合使用两种以上。
感光性树脂层中的染料的含量优选为0.001质量％～3质量％的范围，更优选为0.01质量％～2质量％的范围，进一步优选为0.04质量％～1质量％的范围。从得到良好着色性的观点出发，染料的含量优选为0.001质量％以上，另一方面，从维持感光性树脂层的灵敏度的观点出发，染料的含量优选为3质量％以下。通过将染料的使用比例设定为该范围，能够实现良好的显色性和灵敏度。
作为增塑剂，可列举例如聚乙二醇、聚丙二醇、聚氧亚丙基聚氧亚乙基醚、聚氧亚乙基单甲基醚、聚氧亚丙基单甲基醚、聚氧亚乙基聚氧亚丙基单甲基醚、聚氧亚乙基单乙基醚、聚氧亚丙基单乙基醚、聚氧亚乙基聚氧亚丙基单乙基醚等二醇·酯类；聚氧亚乙基脱水山梨糖醇月桂酸酯、聚氧亚乙基脱水山梨糖醇油酸酯等脱水山梨糖醇衍生物；邻苯二甲酸二乙酯等邻苯二甲酸酯类；邻甲苯磺酰胺、对甲苯磺酰胺、柠檬酸三丁酯、柠檬酸三乙酯、乙酰基柠檬酸三乙酯、乙酰基柠檬酸三正丙酯和乙酰基柠檬酸三正丁酯、在双酚A的两侧分别加成有环氧丙烷的丙二醇、在双酚A的两侧分别加成有环氧乙烷的乙二醇、聚氧亚乙基甘油醚、聚氧亚丙基甘油醚等。
其中，从抑制剥离时间的延迟的观点出发，优选为对甲苯磺酰胺、在双酚A的两端分别加成有平均3单元的环氧丙烷的聚丙二醇和聚氧亚丙基甘油醚，从抗蚀图案的穿刺强度、剥离片溶解性或耐镀覆性的观点出发，更优选为聚氧亚丙基甘油醚，进一步优选重均分子量为3000的聚氧亚丙基甘油醚。
感光性树脂层中的增塑剂的含量优选为0.1质量％～3质量％、更优选为0.15质量％～2质量％的范围内。从抑制显影时间的延迟、对固化膜赋予柔软性、容易调整基于上述穿刺试验的最大点载荷的观点出发，优选使该含量为0.1质量％以上。另一方面，从抑制固化不足和热熔成边的观点出发，优选使该含量为3质量％以下。
作为抗氧化剂，可列举例如亚磷酸三苯酯(例如旭电化工业公司制、商品名：TPP)、三(2,4-二叔丁基苯基)亚磷酸酯(例如旭电化工业公司制、商品名：2112)、三(单壬基苯基)亚磷酸酯(例如旭电化工业公司制、商品名：1178)、双(单壬基苯基)二壬基苯基亚磷酸酯(例如旭电化工业公司制、商品名：329K)等。它们可单独使用一种或组合使用两种以上。
感光性树脂层中的抗氧化剂的含量优选为0.01质量％～0.8质量％的范围，更优选为0.01质量％～0.3质量％的范围。从良好地表现抗蚀图案的色相稳定性且提高感光性树脂层的灵敏度的观点出发，抗氧化剂的含量优选为0.01质量％以上，另一方面，从既抑制抗蚀图案的显色性又良好地表现出色相稳定性且提高密合性的观点出发，抗氧化剂的含量优选为0.8质量％以下。
从提高感光性树脂层的热稳定性和/或保存稳定性的观点出发，优选使用稳定化剂。作为稳定化剂，可列举例如选自由自由基阻聚剂、苯并三唑类、羧基苯并三唑类和具有缩水甘油基的环氧烷烃化合物组成的组中的至少1种化合物。它们可以单独使用一种或组合使用两种以上。
作为自由基阻聚剂，可列举例如对甲氧基苯酚、对苯二酚、联苯三酚、萘胺、叔丁基邻苯二酚、氯化亚铜、2,6-二叔丁基对甲酚、2,2’-亚甲基双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,2’-亚甲基双(4-乙基-6-叔丁基苯酚)、三乙二醇双[3-(3-叔丁基-5-甲基-4-羟基苯基)丙酸酯]、亚硝基苯基羟胺铝盐(例如加成有3摩尔亚硝基苯基羟胺的铝盐等)、二苯基亚硝基胺等。这些之中，优选为三乙二醇双[3-(3-叔丁基-5-甲基-4-羟基苯基)丙酸酯]或加成有3摩尔亚硝基苯基羟胺的铝盐。另外，它们可以单独使用一种或组合使用两种以上。
作为苯并三唑类，可列举例如1,2,3-苯并三唑、1-氯-1,2,3-苯并三唑、双(N-2-乙基己基)氨基亚甲基-1,2,3-苯并三唑、双(N-2-乙基己基)氨基亚甲基-1,2,3-甲苯基三唑、双(N-2-羟基乙基)氨基亚甲基-1,2,3-苯并三唑、1-(2-二-正丁基氨基甲基)-5-羧基苯并三唑与1-(2-二正丁基氨基甲基)-6-羧基苯并三唑的1：1混合物等。这些之中，优选为1-(2-二正丁基氨基甲基)-5-羧基苯并三唑与1-(2-二正丁基氨基甲基)-6-羧基苯并三唑的1:1混合物。另外，它们可以单独使用一种或组合使用两种以上。
作为羧基苯并三唑类，可列举例如4-羧基-1,2,3-苯并三唑、5-羧基-1,2,3-苯并三唑、N-(N,N-二-2-乙基己基)氨基亚甲基羧基苯并三唑、N-(N,N-二-2-羟基乙基)氨基亚甲基羧基苯并三唑和N-(N,N-二-2-乙基己基)氨基亚乙基羧基苯并三唑等。它们可以单独使用一种或组合使用两种以上。
作为具有缩水甘油基的环氧烷烃化合物，可列举例如新戊二醇二缩水甘油醚(例如共荣社化学公司制的EPOLIGHT 1500NP)、九乙二醇二缩水甘油醚(例如共荣社化学公司制的EPOLIGHT 400E)、双酚A-环氧丙烷2摩尔加成物二缩水甘油醚(例如共荣社化学公司制的EPOLIGHT 3002)、1,6-己二醇二缩水甘油醚(例如共荣社化学公司制的EPOLIGHT 1600)等。它们可以单独使用一种或组合使用两种以上。
自由基阻聚剂、苯并三唑类、羧基苯并三唑类和具有缩水甘油基的环氧烷烃化合物在感光性树脂层中的总含量优选为0.001质量％～3质量％的范围，更优选为0.05～1质量％的范围。从对感光性树脂层赋予良好保存稳定性的观点出发，该总含量优选为0.001质量％以上，另一方面，从维持感光性树脂层的灵敏度的观点出发，该总含量优选为3质量％以下。
[感光性树脂层的形成]
本公开的感光性树脂层可以使用包含上述含有成分的感光性树脂组合物或感光性树脂组合物调合液来形成。
感光性树脂组合物调合液可以通过对包含上述含有成分的感光性树脂组合物添加溶剂来形成。作为适宜的溶剂，可列举例如丙酮和甲乙酮(MEK)所代表的酮类；以及甲醇、乙醇和异丙醇等醇类等。优选以感光性树脂组合物调合液的粘度在25℃下达到500mPa·sec～4000mPa·sec的方式，向感光性树脂组合物中添加溶剂。
根据期望，将感光性树脂组合物或感光性树脂组合物调合液应用于支撑体，根据需要进行干燥，由此可以形成感光性树脂层。
[支撑体]
本公开的支撑体例如虽无限定但可以为支撑薄膜。
作为支撑薄膜，期望为会透射从曝光光源射出的光的透明薄膜。作为这种支撑薄膜，可列举例如聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜、聚乙烯醇薄膜、聚氯乙烯薄膜、氯乙烯共聚物薄膜、聚偏二氯乙烯薄膜、偏二氯乙烯共聚薄膜、聚甲基丙烯酸甲酯共聚物薄膜、聚苯乙烯薄膜、聚丙烯腈薄膜、苯乙烯共聚物薄膜、聚酰胺薄膜、纤维素衍生物薄膜等。这些薄膜根据需要也可使用拉伸后的薄膜。
支撑薄膜的雾度优选为5以下。支撑薄膜的厚度较薄时，在图像形成性和经济性的方面是有利的，但还考虑到维持强度的功能时，优选为10μm～30μm。
[覆盖薄膜]
本公开的覆盖薄膜在感光性树脂层叠体中与感光性树脂层相接触，更详细而言，与感光性树脂层直接接触。
本公开的覆盖薄膜由低密度聚乙烯(LDPE)、更详细而言由LDPE形成，优选包含LDPE或由LDPE形成。覆盖薄膜含有LDPE，因此覆盖薄膜对感光性树脂层的密合力与支撑体对感光性树脂层的密合力相比足够小，有覆盖薄膜能够容易地从感光性树脂层叠体剥离的倾向。
从兼顾低粘性和高分辨率的观点出发，感光性树脂层叠体中，覆盖薄膜的感光性树脂层侧的表面粗糙度Rz优选满足下述关系。
200＜Rz＜800
覆盖薄膜的膜厚例如虽无限定但可以在1μm～100μm、10μm～50μm、15μm～45μm或18μm～40μm的范围内。
＜感光性树脂层叠体的制作方法＞
感光性树脂层叠体可通过在支撑体上依次层叠感光性树脂层和覆盖薄膜来制作。作为其方法，可以采用已知的方法。例如，将感光性树脂层所使用的感光性树脂组合物与溶解它们的溶剂混合，形成均匀溶液状的感光性树脂组合物调合液(涂覆液)。接着，在支撑体上，使用棒涂机或辊涂机来涂覆涂覆液，接着进行干燥，从而能够在支撑体上层叠感光性树脂层。进而，通过在感光性树脂层上层压覆盖薄膜等而以两者相接触的方式进行配置，从而能够制作感光性树脂层叠体。
＜卷＞
本发明的一方式提供一种卷，其是将上述所说明的感光性树脂层叠体卷绕而成的。根据本发明，即使感光性树脂层和覆盖薄膜因卷状化所致的内部应力相互挤压，也能够实现低粘性，进而实现兼顾低粘性和高分辨率。
＜结构体＞
本发明的另一方式提供一种结构体，其包含：
从上述所说明的感光性树脂层叠体上剥离了覆盖薄膜的状态的感光性树脂层；和
从感光性树脂层的剥离了覆盖薄膜的面层叠的基板。
上述结构体是由能够兼顾低粘性和高分辨率的感光性树脂层叠体得到的，因此可实现高生产率、高分辨率等。上述结构体在光刻法等领域中有时被称为感光性元件等。
＜抗蚀图案形成方法＞
本发明的又一方式提供一种抗蚀图案的形成方法，其包括以下工序：
从本公开的感光性树脂层叠体上剥离覆盖薄膜的工序；
将感光性树脂层叠体中感光性树脂层的剥离了覆盖薄膜的面层叠于基板而形成感光性元件的层叠工序；
对感光性元件的感光性树脂层进行曝光的曝光工序；和
对感光性树脂层的未曝光部进行显影去除的显影工序。
另外，还可以提供一种布线图案形成方法，其包括进行利用上述抗蚀图案形成方法形成了抗蚀图案的基材的蚀刻或镀敷处理的工序。
以下对使用感光性树脂层叠体和基材形成抗蚀剂和布线图案的方法的一例进行说明。
(从感光性树脂层叠体上剥离覆盖薄膜的工序)
如上所述，本公开的感光性树脂层叠体具有低粘性，因此即使在任意条件下从感光性树脂层叠体上剥离覆盖薄膜，也不易发生感光性树脂层追随覆盖薄膜(即，感光性树脂层从支撑体剥离)的现象或不会发生这样的现象。
(层叠工序)
层叠工序例如可以如下进行：使用层压机，将感光性树脂层的剥离了覆盖薄膜的面加热压接而层压于基材表面。
作为使用基材的材质，可列举例如铜(Cu)、不锈钢(SUS)、玻璃、氧化铟锡(ITO)、层叠有导体薄膜的柔性基材等。作为导体薄膜，可列举例如ITO、铜、铜-镍合金、银等。作为构成柔性基材的材料，可列举例如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)等。
使用基材可以是在覆铜层叠板上形成有铜布线的形态、仅由玻璃构成的基材的形态、在透明树脂基材上形成有透明电极(例如ITO、Ag纳米线基材等)或金属电极(例如Cu、Al、Ag、Ni、Mo和这些中的至少2种的合金等)的形态。另外，使用基材可以具有用于与多层基板对应的通孔。
从显著发挥本发明效果的观点出发，使用基材优选为覆铜层叠基板，更优选为层叠有厚度35μm的铜箔且厚度为1.6mm并具有直径6mm的通孔的覆铜层叠基板。
感光性树脂层可以仅层压于基材表面的单面，也可根据需要而层压于基材两面。层压时的加热温度优选为40℃～160℃、更优选为80℃～120℃。也可以进行2次以上的加热压接，从而提高所得抗蚀图案对于基材的密合性。进行2次以上的压接时，可以使用具备两个辊的二段式层压机，也可以使基材与感光性树脂层的层叠物反复穿过辊而进行压接。
(曝光工序)
在曝光工序中，使用曝光机对感光性树脂层进行曝光。从所得抗蚀剂膜的穿刺强度的观点出发，优选从感光性树脂层叠体上剥离支撑体后再进行该曝光。通过以图案状进行该曝光，在历经后述显影工序后，能够获得具有期望图案的抗蚀剂膜(抗蚀图案)。图案状的曝光可以基于隔着光掩模进行曝光的方法和无掩模曝光中的任意方法。
隔着光掩模进行曝光时，曝光量根据光源照度和曝光时间来决定。曝光量可以使用光量计来测定。在无掩模曝光中，不使用光掩模，直接利用描画装置在基板上进行曝光。作为光源，可使用波长为350nm～410nm的半导体激光、超高压汞灯等。在无掩模曝光中，可利用计算机来控制描画图案，曝光量可根据曝光光源的照度和基材的移动速度来决定。
从提高抗蚀图案的分辨率或者降低侧蚀量或者提高抗蚀剂或布线图案的成品率的观点出发，优选隔着光掩模进行曝光。
(显影工序)
在显影工序中，利用显影液来去除感光性树脂层的未曝光部(例如非图案部)。在显影工序中，使用由碱水溶液构成的显影液，在使用负型感光性树脂组合物的情况下，通过将未曝光部溶解去除而得到抗蚀图案，在使用正型感光性树脂组合物的情况下，通过将曝光部溶解去除而得到抗蚀图案。
作为碱水溶液，优选使用例如Na2CO3、K2CO3等水溶液。碱水溶液根据感光性树脂组合物层的特性来选择，优选使用浓度为0.2质量％～2质量％的Na2CO3水溶液。可以向碱水溶液中混入表面活性剂、消泡剂、用于促进显影的少量有机溶剂等。显影工序中的显影液的温度优选在18℃～40℃的范围内保持在固定温度。
根据期望，可以在显影工序后进行将所得抗蚀图案以100℃～300℃进行加热的加热工序。通过实施该加热工序，有时抗蚀图案的耐化学品性提高。加热可以使用热风、红外线、远红外线等适当方式的加热炉。
(蚀刻或镀敷工序)
在通过上述抗蚀图案的形成方法而形成抗蚀图案后，进行形成有抗蚀图案的基材的蚀刻或镀覆处理，由此，能够在基材上形成布线图案。
蚀刻工序可通过按照已知的蚀刻法，例如从抗蚀图案的上方喷洒蚀刻液，对未被抗蚀图案覆盖的基材面进行蚀刻来进行。作为蚀刻方法，可列举酸性蚀刻、碱蚀刻等，利用与所使用的感光性树脂层叠体相符的方法来进行。蚀刻液可以是例如盐酸水溶液、氯化铁水溶液或它们的混合物。另外，蚀刻液可以进行喷雾。
镀覆工序可通过按照已知的镀覆方法，对通过显影而露出的基材表面进行金属镀覆(例如基于硫酸铜镀覆液)或焊料镀覆来进行。
在蚀刻工序和/或镀覆工序后，可以将感光性树脂层叠体利用具有比显影液强的碱性的水溶液进行处理，并从基材上剥离抗蚀图案。剥离液可以是例如浓度约为2质量％～5质量％且温度约为40℃～70℃的NaOH或KOH的水溶液。
针对上述的各种参数的评价值，只要没有特别记载，则是按照后述实施例中的测定方法而测得的测定值。
以上，针对本发明的实施方式进行了说明，但本发明不限定于此，可以在不超出发明主旨的范围内适当变更。
实施例
以下，基于实施例来具体说明本发明，但本发明不受这些实施例限定。
＜1.感光性树脂组合物的制备＞
将表1和表2所示的成分混合，由此制备感光性树脂组合物。表1和表2中的值为固体成分量。
＜2.感光性树脂层叠体的制造＞
向感光性树脂组合物中，以固体成分为58质量％的方式添加溶剂丙酮，充分搅拌、混合，使用棒涂机将感光性树脂组合物的溶液均匀涂覆于聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜，在95℃的干燥机中干燥5分钟，形成5μm厚的感光性树脂层(干膜)。然后，在感光性树脂层的表面上贴合覆盖薄膜(例如LDPE、OPP或易剥离PET薄膜，表1和表2中作为H-1而示出)，得到感光性树脂层叠体。
＜3.评价基板的制作＞
层压：
一边剥离感光性树脂层叠体的覆盖薄膜，一边利用热辊层压机(旭化成微电子公司制、AL-700)以辊温度105℃层压于带铜层的PET基板。空气压力设为0.35MPa，层压速度设为1.5m/分钟。
曝光：
从感光性树脂层叠体上剥离作为支撑体的聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜，使用铬玻璃光掩模，利用具有超高压汞灯的曝光机(平行光曝光机(ORC MANUFACTURING CO.,LTD.制、HMW-801))对评价基板进行曝光。
显影：
使用fujikiko公司制显影装置，利用密实锥(full cone)型喷嘴，以0.15MPa的喷射压力喷雾23℃的1质量％Na2CO3水溶液30秒来进行显影，将感光性树脂层的未曝光部分溶解去除。此时，水洗工序利用扁平型喷嘴，以0.15MPa的水洗喷射压力进行与显影工序相同时间的处理。
蚀刻：
使用fujikiko公司制蚀刻装置，利用密实锥型喷嘴，在喷射压力0.15MPa、温度30℃下进行盐酸浓度2质量％、氯化铁2质量％、60秒(s)的蚀刻。
剥离：
使用fujikiko公司制剥离装置，利用密实锥型喷嘴，在喷射压力0.15MPa、温度50℃下，用浓度3质量％的NaOH水溶液处理30秒(s)，从基板剥离去除抗蚀剂。
＜4.评价方法＞
图像性评价：
对于以上述＜层压＞中记载的方法层压感光性树脂层厚度为5μm的感光性树脂层叠体后经过了15分钟的评价基板，隔着具有曝光部与未曝光部的宽度比率为1：1的线状图案的铬玻璃掩模进行曝光。之后以上述＜显影＞中记载的方法进行显影，由此制作了抗蚀图案。
将所制作的固化抗蚀剂线可正常形成的最小掩模宽度作为分辨率的值，将分辨率如下述那样分级。需要说明的是，评价了不存在固化抗蚀图案的倒塌或固化抗蚀剂彼此密合而正常形成的最小掩模宽度。
◎：分辨率的值为2μm以下；
○：分辨率的值超过2μm且为3μm以下；
△：分辨率的值超过3μm且为4μm以下；
×：分辨率的值超过4μm。
覆盖层(LDPE薄膜)的剥离强度：
将感光性树脂层叠体切成1英寸(inch)×11cm的长条状，在23℃、50％相对湿度条件下放置24小时。对覆盖薄膜(本实施例中为LDPE、易剥离PET或OPP薄膜)进行180°剥离，用TENSILON RTM-500(东洋精机制)测定其强度，如下述那样分级。
◎：剥离强度超过1.5gf/英寸且为2.5gf/英寸以下
○：剥离强度超过2.5gf/英寸且为3gf/英寸以下
△：剥离强度超过3gf/英寸且为3.5gf/英寸以下
×：剥离强度超过3.5gf/英寸。
支撑层(PET薄膜)的剥离强度(粘性)：
准备按照上述方法在单面上层压了感光性树脂层叠体的感光性树脂层的基板，在23℃、50％相对湿度下放置24小时后，对宽度1英寸的支撑体(本实施例中为PET薄膜)进行180°剥离，用TENSILON RTM-500(东洋精机制)测定其强度，如下述那样分级。
◎：剥离强度超过8gf/英寸且为10gf/英寸以下
○：剥离强度超过10gf/英寸且为12gf/英寸以下
△：剥离强度超过12gf/英寸且为14gf/英寸以下
×：剥离强度超过14gf/英寸。
涂覆性评价：
使用棒涂机将各感光性树脂组合物的溶液均匀涂覆于聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜，在95℃的干燥机中干燥5分钟，从而形成厚度5μm的感光性树脂层(干膜)。
观察所形成的薄膜的外观，如下述那样分级。
○：涂膜的外观无异常
×：涂膜的外观产生了白浊或相斥等缺陷。
侧蚀(SE)量：
侧蚀量的评价中使用如下基板：利用上述<层压>中记载的方法，将感光性树脂层的厚度为5μm的感光性树脂层叠体层压于带铜层的PET基板后，经过15分钟而得的评价基板。
对于该层压评价基板，曝光线/间隔＝10μm/10μm的图案后，利用上述<显影>中记载的方法进行显影。
利用光学显微镜来测定所制作的该图案的抗蚀剂顶部宽度Wr(μm)。
接着，针对具有该线/间隔图案的基板，使用浸渍方式，使用包含盐酸浓度为2质量％且氯化铁2质量％的水溶液在温度为30℃的条件下，蚀刻最少蚀刻时间的1.5倍的时间。此处，最小蚀刻时间是指在上述条件下完全溶解去除基板上的铜箔所需的最小时间。
在上述蚀刻后，使用浓度为3质量％的NaOH水溶液作为剥离液，在50℃的温度下剥离去除基板上的固化膜，利用光学显微镜来测定由此得到的铜的线图案的顶部宽度Wc(μm)。
然后利用下述数学式来算出侧蚀量，并如下述那样对侧蚀量进行分级。
侧蚀(μm)＝(Wr-Wc)÷2
◎(非常良好)：侧蚀量为2.5μm以下；
○(良好)：侧蚀量超过2.5μm且为3.0μm以下；
△(可接受)：侧蚀量超过3.0μm且为3.5μm以下；
×(不良)：侧蚀量超过3.5μm。
穿刺强度评价：
作为评价用基板，使用如下物体：通过使用了喷射洗涤研磨机的表面处理，对于在层叠有35μm铜箔的厚度1.6mm的覆铜层叠基板中形成有1008个直径6mm的通孔而得的基板进行整平而得的物体。
在整平后的基板上，一边剥离感光性树脂层的厚度为25μm的感光性树脂层叠体的覆盖薄膜，一边利用热辊层压机(旭化成株式会社制、AL-70)，在辊温度为105℃、空气压力为0.35MPa且层压速度为1.5m/分钟的条件下，层压至两面。
使用在层压后经过了15分钟的基板，对于该层压基板，利用具有超高压汞灯的曝光机(平行光曝光机(ORC MANUFACTURING CO.,LTD.制、HMW-801))，以60mJ/cm2的曝光量对评价基板进行曝光后，利用上述<显影>中记载的方法进行显影。将显影后的基板在温度为25℃、湿度为50％的房间内调湿一晚。
静置后，从得到的基板上剥离作为支撑体的PET薄膜，对于
Figure BDA0003857963070000301
的开口部的中心，从剥掉支撑体后的面以100mm/分钟的速度穿刺
Figure BDA0003857963070000302
的圆柱，利用TENSILON(ORIENTEC公司制、RTM-500)来测定最大点载荷。在10处测定最大点载荷，将它们之中的最大的5点的平均值作为穿刺试验的最大点载荷。按照下述基准来分级。
◎(非常良好)：穿刺强度超过150gf；
○(良好)：穿刺强度超过100gf且为150gf以下；
×(不良)：穿刺强度为100gf以下。
表面自由能评价：
从感光性树脂层叠体上剥离覆盖薄膜，准备感光性树脂层的表面露出的薄膜和与感光性树脂层相接触的覆盖薄膜表面露出的薄膜。
对于上述感光性树脂层薄膜和覆盖薄膜，测定水、二碘甲烷、乙二醇的接触角，使用下式由这些接触角计算各薄膜的表面自由能γSL(mJ/m2)。
γSL＝γS+γL-(2(γS dγL d)1/2+2(γS PγL P)1/2+2(γS hγL h)1/2))
WSL＝2((γS dγL d)1/2+(γS PγL P)1/2+(γS hγL h)1/2))
(γS dγL d)1/2+(γS PγL P)1/2+(γS hγL h)1/2＝γL(1+cosθ)/2
关于表中的“表面自由能差(mJ/m2)”，记载了上述感光性树脂层的表面自由能与覆盖薄膜的表面自由能之差的绝对值。
将实施例1～15和比较例1～13的评价结果示于表1，将感光性树脂层叠体的构成要素的详细情况示于表2。
【表1-1】
实施例1 实施例2 实施例3 实施例4 实施例5
成分A-1
成分A-2 20 20 20 20
成分A-3 20 20 20 20 20
成分A-4 20
成分A-5
成分A-6
成分A-7
成分B-1 7 7 7 7 7
成分B-2 10 10 10 10 10
成分B-3 10 10 10 10 10
成分B-4
成分B-5
成分B-6
成分B-7 12 12 12 12 12
成分B-8 3 3 3 3 3
成分C-1 4 4 4 4 4
成分C-2
成分D-1 0.2 0.2
成分D-2 0.2
成分D-3 0.2
成分D-4 0.2
成分D-5
成分D-6
成分D-7
成分D-8
成分D-9
成分D-10
成分E-1 0.48 0.48 0.48 0.48 0.48
成分F-1 0.14 0.14 0.14 0.14 0.14
成分G-1 0.24 0.24 0.24 0.24 0.24
成分H-1 LDPE LDPE LDPE LDPE LDPE
B/M 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95
感光层膜厚(um) 5 5 5 5 5
涂覆性 ○ ○ ○ ○ ○
感光性树脂层的表面自由能rSL(mJ/m2) 58 59 58 55 58
覆盖薄膜的表面自由能rSL(mJ/m2) 34 34 34 34 34
表面自由能差(mJ/m2) 24 25 24 21 24
覆盖层的剥离强度 ◎ ◎ ◎ ○ ◎
支撑层的剥离强度 ◎ ◎ ◎ ○ ◎
分辨率 ○ ○ ○ ○ ○
侧蚀 ○ ○ ○ ○ ○
穿刺强度 ○ ○ ○ ○ ○
【表1-2】
实施例6 实施例7 实施例8 实施例9 实施例10
成分A-1 20
成分A-2 20 20 20 20
成分A-3 20 20
成分A-4
成分A-5 20
成分A-6 20
成分A-7 20
成分B-1 7 7 7 7 7
成分B-2 10 10 10 10 10
成分B-3 10 10 10 10
成分B-4 10
成分B-5
成分B-6
成分B-7 12 12 12 12 12
成分B-8 3 3 3 3 3
成分C-1 4 4 4 4 4
成分C-2
成分D-1 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2
成分D-2
成分D-3
成分D-4
成分D-5
成分D-6
成分D-7
成分D-8
成分D-9
成分D-10
成分E-1 0.48 0.48 0.48 0.48 0.48
成分F-1 0.14 0.14 0.14 0.14 0.14
成分G-1 0.24 0.24 0.24 0.24 0.24
成分H-1 LDPE LDPE LDPE LDPE LDPE
B/M 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95
感光层膜厚(um) 5 5 5 5 5
涂覆性 ○ ○ ○ ○ ○
感光性树脂层的表面自由能rSL(mJ/m2) 58 58 58 58 58
覆盖薄膜的表面自由能rSL(mJ/m2) 34 34 34 34 34
表面自由能差(mJ/m2) 24 24 24 24 24
覆盖层的剥离强度 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
支撑层的剥离强度 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
分辨率 ○ ○ ○ △ ○
侧蚀 ○ ○ ○ ○ ○
穿刺强度 ○ ○ ○ ○ ○
【表1-3】
实施例11 实施例12 实施例13 实施例14 实施例15
成分A-1
成分A-2 20 20 20 17 15
成分A-3 20 20 20 17 15
成分A-4
成分A-5
成分A-6
成分A-7
成分B-1 7 7 7 7 7
成分B-2 10 10 10 10 10
成分B-3 10 10 10
成分B-4
成分B-5 10
成分B-6 10
成分B-7 12 12 12 12 12
成分B-8 3 3 3 3 3
成分C-1 4 4 4 4 4
成分C-2
成分D-1 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2
成分D-2
成分D-3
成分D-4
成分D-5
成分D-6
成分D-7
成分D-8
成分D-9
成分D-10
成分E-1 0.48 0.48 0.48 0.48 0.48
成分F-1 0.14 0.14 0.14 0.14 0.14
成分G-1 0.24 0.24 0.24 0.24 0.24
成分H-1 LDPE LDPE LDPE LDPE LDPE
B/M 0.95 0.95 0.95 0.81 0.71
感光层膜厚(um) 5 5 5 5 5
涂覆性 ○ ○ ○ ○ ○
感光性树脂层的表面自由能rSL(mJ/m2) 58 58 58 58 58
覆盖薄膜的表面自由能rSL(mJ/m2) 34 34 34 34 34
表面自由能差(mJ/m2) 24 24 24 24 24
覆盖层的剥离强度 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎
支撑层的剥离强度 ◎ ◎ ◎ ◎ ○
分辨率 ○ ○ ○ ◎ ◎
侧蚀 ○ ○ ○ ◎ ◎
穿刺强度 ○ ○ ○ ◎ ◎
【表1-4】
实施例16 比较例1 比较例2 比较例3 比较例4
成分A-1
成分A-2 40 20 20 20 20
成分A-3 20 20 20 20
成分A-4
成分A-5
成分A-6
成分A-7
成分B-1 7 7 7 7 7
成分B-2 10 10 10 10 10
成分B-3 10 10 10 10 10
成分B-4
成分B-5
成分B-6
成分B-7 12 12 12 12 12
成分B-8 3 3 3 3 3
成分C-1 4 4 4 4 4
成分C-2
成分D-1 0.2 0.2 0.2
成分D-2
成分D-3
成分D-4
成分D-5
成分D-6
成分D-7
成分D-8
成分D-9
成分D-10
成分E-1 0.48 0.48 0.48 0.48 0.48
成分F-1 0.14 0.14 0.14 0.14 0.14
成分G-1 0.24 0.24 0.24 0.24 0.24
成分H-1 LDPE 易剥离PET 易剥离PET OPP OPP
B/M 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95
感光层膜厚(um) 5 5 5 5 5
涂覆性 ○ ○ ○ ○ ○
感光性树脂层的表面自由能rSL(mJ/m2) 57 48 5B 48 58
覆盖薄膜的表面自由能rSL(mJ/m2) 34 24 24 31 31
表面自由能差(mJ/m2) 23 24 34 17 27
覆盖层的剥离强度 ○ ◎ ◎ × ◎
支撑层的剥离强度 ○ △ △ △ ○
分辨率 ◎ × × × ×
侧蚀 ◎ ○ ○ ○ ○
穿刺强度 ○ ○ ○ ○ ○
【表1-5】
比较例5 比较例6 比较例7 比较例8
成分A-1
成分A-2 20 40 20 20
成分A-3 20 20 20
成分A-4
成分A-5
成分A-6
成分A-7
成分B-1 7 7 7 7
成分D2 10 10 10 10
成分B-3 10 10 10 10
成分B-4
成分B-5
成分B-6
成分B-7 12 12 12 12
成分B-8 3 3 3 3
成分C-1 4 4 4 4
成分C-2
成分D-1
成分D-2
成分D-3
成分D-4
成分D-5 0.2
成分D-6 0.2
成分D-7
成分D-8
成分D-9
成分D-10
成分E-1 0.48 0.48 0.48 0.48
成分F-1 0.14 0.14 0.14 0.14
成分G-1 0.24 0.24 0.24 0.24
成分H-1 LDPE LDPE LDPE LDPE
B/M 0.95 0.95 0.95 0.95
感光层膜厚(um) 5 5 5 5
涂覆性 ○ ○ × ×
感光性树脂层的表面自由能rSL(mJ/m2) 48 46 - -
覆盖薄膜的表面自由能rSL(mJ/m2) 34 34 34 34
表面自由能差(mJ/m2) 14 12 - -
覆盖层的剥离强度 △ × △ △
支撑层的剥离强度 × × × ×
分辨率 ○ - - -
侧蚀 ○ - - -
穿刺强度 ○ - - -
【表1-6】
比较例9 比较例10 比较例11 比较例12
成分A-1
成分A-2 20 20 20 20
成分A-3 20 20 20 20
成分A-4
成分A-5
成分A-6
成分A-7
成分B-1 7 7 7 7
成分B-2 10 10 10 10
成分B-3 10 10 10 10
成分B-4
成分B-5
成分B-6
成分B-7 12 12 12 12
成分B-8 3 3 3 3
成分C-1 4 4 4 4
成分C-2
成分D-1
成分D-2
成分D-3
成分D-4
成分D-5
成分D-6
成分D-7 0.2
成分D-8 0.2
成分D-9 0.2
成分D-10 0.2
成分E-1 0.48 0.48 0.48 0.48
成分F-1 0.14 0.14 0.14 0.14
成分G-1 0.24 0.24 0.24 0.24
成分H-1 LDPE LDPE LDPE LDPE
B/M 0.95 0.95 0.95 0.95
感光层膜厚(um) 5 5 5 5
涂覆性 × × × ×
感光性树脂层的表面自由能rsL(mJ/m2) - - - -
覆盖薄膜的表面自由能rSL(mJ/m2) 34 34 34 34
表面自由能差(mJ/m2) - - - -
覆盖层的剥离强度 △ △ △ △
支撑层的剥离强度 × × × ×
分辨率 - - - -
侧蚀 - - - -
穿刺强度 - - - -
【表1-7】
比较例13 比较例14 比较例15
成分A-1
成分A-2 25 17 15
成分A-3 25 17 15
成分A-4
成分A-5
成分A-6
成分A-7
成分B-1 7 7 7
成分B-2 10 10 10
成分B-3 10 10 10
成分B-4
成分B-5
成分B-6
成分B-7 12 12 12
成分B-8 3 3 3
成分C-1 4 4 4
成分C-2
成分D-1
成分D-2
成分D-3
成分D-4
成分D-5
成分D-6
成分D-7
成分D-8
成分D-9
成分D-10
成分E-1 0.48 0.48 0.48
成分F-1 0.14 0.14 0.14
成分G-1 0.24 0.24 0.24
成分H-1 LDPE LDPE LDPE
B/M 1.19 0.81 0.71
感光层膜厚(um) 5 5 5
涂覆性 ○ ○ ○
感光性树脂层的表面自由能rSL(mJ/m2) 60 48 40
覆盖薄膜的表面自由能rSL(mJ/m2) 34 34 34
表面自由能差(mJ/m2) 26 14 6
覆盖层的剥离强度 ◎ × ×
支撑层的剥离强度 ◎ × ×
分辨率 △ - -
侧蚀 △ - -
穿刺强度 × - -
【表2-1】
感光层成分
Figure BDA0003857963070000391
【表2-2】
感光层成分
Figure BDA0003857963070000401

Claims (16)

1.一种感光性树脂层叠体，其特征在于，其包含支撑体、感光性树脂层和覆盖薄膜，
所述感光性树脂层和所述覆盖薄膜相接触，
所述覆盖薄膜为低密度聚乙烯，且
所述感光性树脂层含有下述成分：
(A)碱溶性树脂、
(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物、
(C)光聚合引发剂、和
(D)两末端改性有机硅化合物，所述两末端改性有机硅化合物通过甲醇改性、酚改性或硅醇改性中的任意者进行了改性。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(A)碱溶性树脂含有来自丙烯酸或甲基丙烯酸中的任一者或两者的结构单元。
3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂层叠体，其中，作为所述(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物，包含二官能单体和三官能以上的多官能单体。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(D)两末端改性有机硅化合物的官能团当量为100～1500g/mol。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(A)碱溶性树脂的重均分子量低于55000。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，至少一种所述(A)碱溶性树脂的重均分子量低于20000。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(A)碱溶性树脂相对于所述(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物的质量比(A)/(B)小于1.0。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，在所述感光性树脂层中分散有来自所述(D)两末端改性有机硅化合物的有机硅成分。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(D)两末端改性有机硅化合物包含通过两末端甲醇改性、两末端酚改性或两末端硅醇改性中的任意者进行了改性的两末端改性有机硅化合物。
10.根据权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，与所述感光性树脂层相接触的所述覆盖薄膜表面的表面自由能和与所述覆盖薄膜相接触的所述感光性树脂层表面的表面自由能的差为20mJ/m2以上。
11.根据权利要求1～10中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(A)碱溶性树脂包含来自芳香族单体或脂环式单体成分的结构单元。
12.根据权利要求1～11中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述感光性树脂层的膜厚为10μm以下。
13.根据权利要求1～12中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述覆盖薄膜的所述感光性树脂层侧的表面粗糙度Rz为200＜Rz＜800。
14.一种卷，其是将权利要求1～13中任一项所述的感光性树脂层叠体卷绕而成的。
15.一种抗蚀图案的形成方法，其包括以下工序：
从权利要求1～13中任一项所述的感光性树脂层叠体上剥离所述覆盖薄膜的工序；
将所述感光性树脂层的剥离了所述覆盖薄膜的面层叠于基板而形成感光性元件的层叠工序；
对所述感光性元件的所述感光性树脂层进行曝光的曝光工序；和
对所述感光性树脂层的未曝光部进行显影去除的显影工序。
16.一种结构体，其包含：
从权利要求1～13中任一项所述的感光性树脂层叠体上剥离所述覆盖薄膜而得到的所述感光性树脂层；和
从所述感光性树脂层的剥离了所述覆盖薄膜的面层叠的基板。
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