CN115866914B - 一种印制板自动补偿的蚀刻装置 - Google Patents

Abstract

一种印制板自动补偿的蚀刻装置包括：蚀刻喷淋部；底座；测厚机构，沿底座高度方向移动设置，其包括多组测厚组件，用于测量印制板边缘的厚度差值，测厚组件的一端设有感应开关；补偿喷淋机构，设于印制板输送方向的两侧；感应开关，设有多个，用于控制补偿喷淋管输出端的蚀刻药水量；推撑机构，设于测厚机构上方，推撑机构用于依次控制测厚组件，以使测厚组件获得厚度差值；吸液机构，设于蚀刻喷淋部的一端，用于吸附印制板上多余的蚀刻药水。根据探测的铜厚不同选择性地开启喷淋，进行一定的补偿蚀刻，保证后段蚀刻时提升铜面厚度均匀性，提升蚀刻的精度，自动化控制可以降低人员操作失误的影响。

Description

一种印制板自动补偿的蚀刻装置

技术领域

本发明属于印制电路板加工技术领域，尤其涉及一种印制板自动补偿的蚀刻装置。

背景技术

印制电路板在电镀过程中，由于夹点位置有电流高低电位差和电场线密集，电镀沉积速率快等因素，导致印制板夹子边缘部分位置铜厚较高，从而导致印制板电镀后的铜面存在一定的厚度差异。在后续的蚀刻工艺中，印制板边上局部蚀刻不干净会产生短路，边上蚀刻干净后中间存在蚀刻过度现象导致线宽变小。

发明内容

为解决上述现有技术不足，本发明提供一种印制板自动补偿的蚀刻装置，根据探测的铜厚不同选择性地开启喷淋，进行一定的补偿蚀刻，保证后段蚀刻时提升铜面厚度均匀性，提升蚀刻的精度，自动化控制可以降低人员操作失误的影响。

为了实现本发明的目的，拟采用以下方案：

一种印制板自动补偿的蚀刻装置，包括：

蚀刻喷淋部，包括多根间隔均匀的喷淋管，喷淋管的一端设有喷嘴，另一端连通电泵的一端，电泵的另一端连接蚀刻药水缸；

底座，包括底板，底板一端设有测厚组件安装座，另一端设有感应开关安装座，中部设有推撑机构安装座；

测厚机构，沿底座高度方向移动设置，其包括多组测厚组件，测厚组件沿印制板输送方向的两侧上方从内到外呈阶梯状布置，用于测量印制板边缘的厚度差值，测厚组件的一端设有感应开关；

补偿喷淋机构，设于印制板输送方向的两侧，包括多根补偿喷淋管；

感应开关，设有多个，每个感应开关对应控制一根补偿喷淋管，用于控制补偿喷淋管输出端的蚀刻药水量；

推撑机构，设于测厚机构上方，并与测厚组件顶部抵接，推撑机构用于依次控制测厚组件，以使测厚组件获得厚度差值；

吸液机构，设于蚀刻喷淋部的一端，用于吸附印制板上多余的蚀刻药水。

进一步的，吸液机构包括多个间隔设置的横架，横架上均移动设有直线机构，直线机构的输出端连接吸液组件，吸液组件包括吸液管，吸液管下端设有吸液头，吸液头用于吸附印制板上多余的蚀刻药水，吸液管的一端连接通蚀刻药水缸。

进一步的，测厚组件安装座下端设有多组导向板，导向板相对一面设有导向槽，导向槽内设有导向杆，导向杆上穿设有第一弹簧，测厚组件一端的两侧分别穿设于导向杆，并与导向槽滑动配合，第一弹簧位于导向槽下端与测厚组件之间，测厚组件的另一端与感应开关安装座滑动配合，感应开关沿感应开关安装座高度方向依次排列设置，且最上端的感应开关与测厚组件另一端下部的切线共面。

进一步的，测厚组件包括连接座，连接座呈倒U型，连接座两支臂的下端设有横杆，横杆一端的两侧与连接座的两支臂铰接，连接座顶部两侧分别设有支块，支块穿设于导向杆，并与导向槽滑动配合，垂直于连接座的一侧设有支板，支板一端两侧的下方分别对称设有条形框，条形框内滑动设有连杆，两连杆的下端之间连接有探头，探头位于横杆一端的下方，横杆的另一端与感应开关安装座滑动配合，以使感应开关获得厚度值，连接座的另一侧垂直设有压杆组件，压杆组件一端的下方对应设有限位座，限位座的下端连接底板，压杆组件用于测厚组件上升时对横杆另一端的下方进行限位，或下降至限位座上时，松开横杆。

进一步的，探头呈圆盘结构，探头的两侧面设有销轴，销轴的一端穿过横板的中心，横板的两端分别与连杆下端的两侧连接，连杆下端的一面设有连接块，连接块上设有弹性件，弹性件的另一端连接条形框的下端。

进一步的，压杆组件包括支杆，支杆一端下方对称设有竖杆，另一端垂直连接连接座的一侧，竖杆的下端设有呈倒L型的限位板，两限位板的横部相对设置，限位板竖部的下端设有第一斜面，第一斜面上设有一组对称设置的凸台，凸台的一侧设有第二弹簧，限位板下端滑动设有滑台，滑台顶部具有第二斜面，第二斜面与第一斜面配合，第二斜面上开设有一组对称设置的凹槽，凸台与凹槽滑动配合，第二弹簧的另一端连接凹槽的一端，沿滑台底部中心的一侧向下设有竖块，竖块底部设有直角三角板，直角三角板的斜边朝向滑台的另一侧，限位座上设有倒L型的安装槽，安装槽的横部位于限位座顶面，竖部沿限位座的高度竖直向下，且横部一端与竖部连通，竖部内滑动设有推块，推块下方设有第三弹簧，第三弹簧的另一端连接安装槽竖部的底部，安装槽横部的另一端设有第四弹簧，第四弹簧的一端连接卡杆，卡杆顶部设有凸块，安装槽横部顶面设有限位块，当压杆组件向下移动至限位座顶部时，滑台与限位座顶部接触，直角三角板进入安装槽的横部，当压杆组件持续向下，竖杆推动滑台向安装槽竖部一侧移动，同时滑台底部推动推块向下移动，并向安装槽横部的一端移动，以使滑台对横杆的松开。

进一步的，凸块包括第一直角梯形，第一直角梯形的斜边朝向安装槽的竖部一侧，第一直角梯形的一侧设有第二直角梯形，第二直角梯形的斜边朝向第四弹簧的一侧。

进一步的，推撑机构包括电机，电机设于推撑机构安装座的顶部，电机的输出端连接传动轴，传动轴上阵列分布有偏心压轮组件，且偏心压轮组件的最远端沿传动轴的周向均匀分布，偏心压轮组件内部设有盘形弹簧，盘形弹簧中心的一端连接传动轴，外周端连接偏心压轮组件。

进一步的，偏心压轮组件包括偏心轮，偏心轮的旋转中心设有圆形的容纳腔，盘形弹簧设于容纳腔内，盘形弹簧的外周端连接容纳腔的内壁，容纳腔外壁设有盖板，偏心轮的最远端设有卡台，支杆顶部设有挡块，挡块用于偏心轮转动时，阻挡卡台以实现对偏心轮的限位。

本发明的有益效果在于：

1、横杆一端的两侧与连接座的两支臂铰接，另一端与感应开关安装座滑动配合，探头与印制板边缘部分的不同铜厚接触后，探头将高度差传递至横杆的一端，使横杆绕横杆与连接座的铰接点偏转，横杆的另一端向下偏转，并划过感应开关，感应开关根据横杆划过感应开关的距离，从而自动精准的控制补偿喷淋机构输出端的蚀刻药水量；

2、偏心压轮的最远端沿传动轴的周向均匀分布，使一个偏心压轮组件对应一个测厚组件，盘形弹簧一端连接偏心轮，另一端连接传动轴，转动传动轴，便可实现测厚组件依次下降的功能，印制板进入探头下方的同时探头与印制板边缘接触，避免相邻探头之间未被覆盖，漏检等情况出现；

3、限位板向下移动至限位座上时，滑台可沿第一斜面向横杆两侧移出，从而避免测厚组件检测时，滑台与横杆干涉而造成的测量结果不准确，当限位板向上移动失去限位座的支撑时，滑台在第二弹簧的作用下，向横杆底部移动，从而对横杆底部进行限位支撑，避免上移过程中横杆晃动，而误触感应开关。

附图说明

本文描述的附图只是为了说明所选实施例，而不是所有可能的实施方案，更不是意图限制本发明的范围。

图1示出了本申请的应用场景的一侧视图。

图2示出了本申请的应用场景的另一侧视图。

图3示出了本申请的图1的A处局部视图。

图4示出了本申请的测厚组件安装座结构示意图。

图5示出了本申请的测厚组件安装位置示意图。

图6示出了本申请的导向槽结构示意图。

图7示出了本申请的图5的B处结构示意图。

图8示出了本申请的压杆组件外部结构示意图。

图9示出了本申请的推撑组件依次向下推动测厚组件的状态示意图。

图10示出了本申请的滑台与压杆组件连接关系结构图。

图11示出了本申请的支块在连接座上的位置示意图。

图12示出了本申请的凸台与第二弹簧连接关系图。

图13示出了本申请的滑台移出横杆下方的状态示意图。

图14示出了本申请的图13的C处局部放大视图。

图15示出了本申请的直角三角板底部向下压推块的状态示意图。

图16示出了本申请的凸块移动至竖块一侧的状态示意图。

图17示出了本申请的直角三角板向上推动凸块向第四弹簧的一侧移动的状态示意图。

图18示出了本申请的凸块的结构示意图。

图19示出了本申请的偏心压轮内部结构示意图。

图中标记：蚀刻喷淋部-100、喷淋管-110、底座-200、底板-210、测厚组件安装座-220、导向板-221、导向槽-222、导向杆-223、第一弹簧-224、感应开关安装座-230、推撑机构安装座-240、限位座-250、安装槽-251、推块-252、第三弹簧-253、第四弹簧-254、卡杆-255、凸块-256、第一直角梯形-2561、第二直角梯形-2562、限位块-257、测厚机构-300、测厚组件-310、连接座-311、支块-3111、横杆-312、支板-313、条形框-314、连杆-315、探头-316、横板-3161、弹性件-3162、感应开关-320、压杆组件-330、支杆-331、挡块-3311、竖杆-332、限位板-333、第一斜面-3331、凸台-3332、第二弹簧-3333、滑台-334、第二斜面-3341、凹槽-3342、竖块-3343、直角三角板-3344、补偿喷淋机构-400、补偿喷淋管-410、推撑机构-500、电机-510、传动轴-520、偏心压轮组件-530、偏心轮-531、容纳腔-532、盖板-533、卡台-534、盘形弹簧-540、吸液机构-600、横架-610、吸液组件-620、吸液管-621、吸液头-622。

实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本发明的实施方式进行详细说明，但本发明所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

如图1-图18所示，本实施例提供一种印制板自动补偿的蚀刻装置，对印制板1边缘部分铜厚较高位置的蚀刻补偿喷淋，本实施例的装置包括蚀刻喷淋部100、底座200、测厚机构300、补偿喷淋机构400等。

具体的，如图1所示，蚀刻喷淋部100用于对印制板1的表面整体进行喷淋蚀刻处理，蚀刻喷淋部100包括多根间隔均匀的喷淋管110，喷淋管110上设有多个间隔均匀的喷嘴，喷淋管110的一端连通电泵的一端，电泵的另一端连接蚀刻药水缸。

具体的，如图1所示，底座200用于支撑安装测厚机构300、补偿喷淋机构400以及推撑机构500，底座200包括底板210，底板210一端设有测厚组件安装座 220，另一端设有多个感应开关安装座230，中部设有推撑机构安装座240。

具体的，如图2、图9所示，测厚机构300沿底座200高度方向移动设置，测厚机构300包括多组测厚组件310，测厚组件310沿印制板1输送方向的两侧上方从内到外呈阶梯状布置，使测厚组件310在印制板1输送方向上的投影覆盖印制板1边缘部分的宽度，以使测厚组件310准确测量出边缘部分的铜厚差值。测厚组件310的一端设有感应开关320，使每个测厚组件310对应一个感应开关320，测厚组件310将测得的厚度差值依次反馈至对应的感应开关320，感应开关320根据对应的测厚组件310测得的厚度差值开启对应的补偿喷淋管410。

具体的，如图1-图2所示，补偿喷淋机构400设于印制板1输送方向的两侧，包括多根间隔排列的补偿喷淋管410。每个感应开关320对应控制一根补偿喷淋管410，使感应开关320根据测厚组件310测得的厚度差值来控制补偿喷淋管410输出端的蚀刻药水量，以满足不同铜厚的喷淋补偿。

具体的，如图1所示，推撑机构500设于测厚机构300上方，并与测厚组件310顶部抵接，推撑机构500用于依次控制测厚组件310的高度位置，以使测厚组件310依次向印制板1两侧的边缘部分预定位置贴近，从而获得厚度差值。

具体的，如图1所示，吸液机构600设于蚀刻喷淋部100的一端，用于吸附印制板1上多余的蚀刻药水，吸液机构600的一端连通蚀刻药水缸，使多余蚀刻药水回流至蚀刻药水缸内，同时可以避免产生“积水”而造成过渡蚀刻，尤其是在增加补偿喷淋后，此种效应更加需要注意，而通过本实施例的吸液机构600则可以很好的解决这一问题。

具体的操作方式：

将印制板1依次放置于输送线上，使印制板1依次通过蚀刻喷淋部100的下方，当印制板1进入蚀刻喷淋部100的一端，并且即将进入测厚组件310下方时，启动推撑机构500，使推撑机构500将对应的测厚组件310推动至印制板1的边缘顶部，并使测厚组件310下降的位置与输送线顶部的距离等于印制板1电镀均匀处的厚度一致处停止，如此将多个测厚组件310依次下推至同一高度。

随着输送线的不断向前传动，印制板1的两侧边缘部分将依次通过测厚组件310的下方，测厚组件310根据测得的高度差传递至另一端的感应开关320，感应开关320根据厚度差值不同控制对应的补偿喷淋管410的输出端的蚀刻药水量，以满足不同铜厚的喷淋补偿，从而去除多余的铜，同时又不会因蚀刻药水量过大产生蚀刻过度，或者蚀刻药水不足无法去除多余的铜。

具体的，如图1-图2所示，吸液机构600包括多个并排间隔设置的横架610，横架610垂直于印制板1的输送方向，并位于输送线的上方。横架610上均移动设有直线机构，直线机构的输出端连接吸液组件620，使吸液组件620沿横架610往复移动，多个吸液机构600交错往复移动，以覆盖印制板1的宽度方向，避免漏吸。吸液组件620包括吸液管621，吸液管621下端设有吸液头622，吸液头622用于吸附印制板1上多余的蚀刻药水，吸液管621的一端连接通蚀刻药水缸，以使多余的蚀刻药水回流至蚀刻药水缸内，避免浪费。

具体的，如图3-图6所示，测厚组件安装座220下端设有多组导向板221，导向板221相对一面设有导向槽222，导向槽222内设有导向杆223，导向杆223上穿设有第一弹簧224，测厚组件310一端的两侧分别穿设于导向杆223，并与导向槽222滑动配合，第一弹簧224位于导向槽222下端与测厚组件310之间，推撑机构500向下推动测厚组件310，使测厚组件310沿导向槽222内的导向杆223向下移动，避免脱落，且测厚组件310向下移动时，第一弹簧224被压缩。当推撑机构500的推力消失后，在第一弹簧224的恢复力作用下，使测厚组件310复位，测厚组件310的另一端与感应开关安装座230滑动配合，感应开关320沿感应开关安装座230的高度方向依次排列设置，当测厚组件310下降到与输送线顶部的距离与印制板1电镀后的标准厚度相同时，最上端的感应开关320与测厚组件310另一端下部的切线共面，以此来确定测厚组件310的监测的初始位置。

具体的，如图5-图11所示，测厚组件310包括连接座311，连接座311呈倒U型，连接座311两支臂的下端设有横杆312，横杆312一端的两侧与连接座311的两支臂铰接，连接座311顶部两侧分别设有支块3111，支块3111穿设于导向杆223，并与导向槽222滑动配合。垂直于连接座311的一侧设有支板313，支板313一端两侧的下方分别对称设有条形框314，条形框314内滑动设有连杆315，两连杆315的下端之间连接有探头316，探头316位于横杆312一端的下方，横杆312的另一端与感应开关安装座230滑动配合，当探头316与印制板1边缘部分的不同铜厚接触后，探头316将高度差传递至横杆312的一端，使横杆312绕横杆312与连接座311的铰接点偏转，当探头316探得的铜厚高度高出印制板1的正常高度时，横杆312的另一端向下偏转，并划过感应开关320，感应开关320根据横杆312划过感应开关320的距离，控制补偿喷淋机构400输出端的蚀刻药水量，横杆312划过的距离越大表示厚度差值越大，补偿喷淋机构400喷出的蚀刻药水量就越多。

如图5所示，连接座311的另一侧垂直设有压杆组件330，压杆组件330一端的下方对应设有限位座250，限位座250的下端连接底板210，压杆组件330用于测厚组件310上升时对横杆312另一端的下方进行限位，增加横杆312的稳定性；或测厚组件310下降到预定位置时，限位座250打开压杆组件330从而松开横杆312，解除对横杆312的限位。

具体的，如图7所示，探头316呈圆形结构，且具有预定厚度。探头316的两侧面设有销轴，销轴的一端穿过横板3161的中心，横板3161的两端分别与连杆315下端的两侧连接，连杆315下端的一面设有连接块，连接块上设有弹性件3162，弹性件3162的另一端连接条形框314的下端，以确保探头316在探测过程中保持与印制边1边缘部分始终贴合，确保探测的精确度。

具体的，如图8-图11所示，压杆组件330包括支杆331，支杆331一端下方对称设有竖杆332，另一端垂直连接连接座311的一侧，竖杆332的下端设有呈倒L型的限位板333，两限位板333的横部相对设置，限位板333竖部的下端设有第一斜面3331，第一斜面3331上设有一组对称设置的凸台3332，如图11所示 ，凸台3332的一侧设有第二弹簧3333，限位板333下端滑动设有滑台334，滑台334顶部具有第二斜面3341，第二斜面3341与第一斜面3331配合，第二斜面3341上开设有一组对称设置的凹槽3342，凸台3332与凹槽3342滑动配合，第二弹簧3333的另一端连接凹槽3342的一端。当滑台334与限位座250顶部存在距离时，两侧的滑台334在第二弹簧3333的作用下向中部靠拢，并对横杆312的下方进行支撑限位；当压杆组件330向下移动至限位座250上方，且滑台334与限位座250顶部接触，之后压杆组件330继续向下移动，使第一斜面3331推动第二斜面3341向外滑动，从而使滑台334沿限位座250顶部移动，进而使滑台334位于横杆312下方的部分向横杆312的两侧移动，以取消对横杆312的限位，从而松开横杆312。

如图13-图17所示，沿滑台334底部中心的外侧向下设有竖块3343，竖块3343底部设有直角三角板3344，直角三角板3344的斜边朝向滑台334的另一侧，限位座250上设有呈倒L型的安装槽251，安装槽251的横部位于限位座250顶面，竖部垂直于横部向外的一端，竖部沿限位座250的高度竖直向下，且横部一端与竖部连通，竖部内滑动设有推块252。推块252下方设有第三弹簧253，第三弹簧253的另一端连接安装槽251竖部的底部，安装槽251横部的另一端设有第四弹簧254，第四弹簧254的一端连接卡杆255，卡杆255顶部设有凸块256，安装槽251横部顶面设有限位块257，限位块257沿安装槽251宽度方向设置。如图8-图9、图15-图17所示，当压杆组件330向下移动至限位座250顶部时，竖块3343和直角三角板3344沿限位块257的一侧向下伸入安装槽251的横部内，随着限位板333的持续下降，滑台334的底部与限位座250的顶部接触，竖块3343和直角三角板3344沿安装槽251的横部向竖部所在一侧移动，同时滑台334的底部抵触按压卡杆255向下移动，卡杆255在第三弹簧253的作用下向安装槽251竖部所在一侧移动，使卡杆225卡入直角三角板3344，实现对滑台334的限位。

具体的，如图18所示，凸块256包括第一直角梯形2561和第二直角梯形2562，第二直角梯形2562的一直角边连接于第一直角梯形2561的一条直角边，第一角梯形2561的斜边朝向安装槽251的竖部一侧，第二直角梯形2562的斜边朝向第四弹簧254的一侧，如图15-图17所示，当滑台334的底部向下抵触按压卡杆255，使滑台334底部向下按压时第一直角梯形2561的斜边的底端下降至限位块257的下方，使第四弹簧254能顺利将推块252推出至直角三角板3344的一端。如图9、图12、图17所示，当压杆组件330向上移动时，滑台334的压力消失，第三弹簧253推动推块252向上移动，从而推动滑台334向上移动，同时直角三角形3344的斜边推动卡杆255第四弹簧254的一端移动，并使第一直角梯形2561被限位块257限位，此时滑台334完全移出安装槽251，滑台334在第二弹簧3333作用下复位至横杆312的下方，再次对横杆312进行支撑限位。

具体的，如图5、图8所示，推撑机构500包括电机510，电机510设于推撑机构安装座240的顶部，电机510的输出端连接传动轴520，两推撑机构安装座240顶部分别设有支座，传动轴520的两端分别与对应的支座转动连接，传动轴520上阵列分布有偏心压轮组件530，且偏心压轮组件530的最远端沿传动轴520的周向均匀分布，偏心压轮组件530内部设有盘形弹簧540，盘形弹簧540中心的一端连接传动轴520，外周端连接偏心压轮组件530，使一个偏心压轮组件530对应一个测厚组件310，便可实现测厚组件310依次下降的功能。测厚组件310的依次下降与印制板1的进给方向匹配。印制板1在进给过程中，若印制板1进给方向一端的端面存在铜厚过高，依次下降的测厚组件310可避免铜厚过高的位置进给过程中，与探头316接触的瞬间发生碰撞。

具体的，如图8、图19所示，偏心压轮组件530包括偏心轮531，偏心轮531的旋转中心设有圆形容纳腔532，盘形弹簧540设于容纳腔532内，盘形弹簧540的外周端连接容纳腔532的内壁，容纳腔532外壁设有盖板533，偏心轮531的最远端设有卡台534，支杆331顶部设有挡块3311，挡块3311用于偏心轮531转动时，阻挡卡台534以实现对偏心轮531的限位，从而使偏心轮531推动横杆312向下移动。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并不表示是唯一的或是限制本发明。本领域技术人员应理解，在不脱离本发明的范围情况下，对本发明进行的各种改变或同等替换，均属于本发明保护的范围。

Claims (7)

1.一种印制板自动补偿的蚀刻装置，其特征在于，包括：

蚀刻喷淋部（100），包括多根间隔均匀的喷淋管（110），喷淋管（110）的一端设有喷嘴，另一端连通电泵的一端，电泵的另一端连接蚀刻药水缸；

底座（200），包括底板（210），底板（210）一端设有测厚组件安装座（220），另一端设有感应开关安装座（230），中部设有推撑机构安装座（240），测厚组件安装座（220）下端设有多组导向板（221），导向板（221）相对一面设有导向槽（222），导向槽（222）内设有导向杆（223），导向杆（223）上穿设有第一弹簧（224），测厚组件（310）一端的两侧分别穿设于导向杆（223），并与导向槽（222）滑动配合，第一弹簧（224）位于导向槽（222）下端与测厚组件（310）之间，测厚组件（310）的另一端与感应开关安装座（230）滑动配合，感应开关（320）沿感应开关安装座（230）高度方向依次排列设置，且最上端的感应开关（320）与测厚组件（310）另一端下部的切线共面；

测厚机构（300），沿底座（200）高度方向移动设置，其包括多组测厚组件（310），测厚组件（310）沿印制板（1）输送方向的两侧上方从内到外呈阶梯状布置，用于测量印制板（1）边缘的厚度差值，测厚组件（310）包括连接座（311），连接座（311）呈倒U型，连接座（311）两支臂的下端设有横杆（312），横杆（312）一端的两侧与连接座（311）的两支臂铰接，连接座（311）顶部两侧分别设有支块（3111），支块（3111）穿设于导向杆（223），并与导向槽（222）滑动配合，垂直于连接座（311）的一侧设有支板（313），支板（313）一端两侧的下方分别对称设有条形框（314），条形框（314）内滑动设有连杆（315），两连杆（315）的下端之间连接有探头（316），探头（316）位于横杆（312）一端的下方，横杆（312）的另一端与感应开关安装座（230）滑动配合，以使感应开关（320）获得厚度值，连接座（311）的另一侧垂直设有压杆组件（330），压杆组件（330）一端的下方对应设有限位座（250），限位座（250）的下端连接底板（210），压杆组件（330）用于测厚组件（310）上升时对横杆（312）另一端的下方进行限位，或下降至限位座（250）上时松开横杆（312），测厚组件（310）的一端设有感应开关（320）；

补偿喷淋机构（400），设于印制板（1）输送方向的两侧，包括多根补偿喷淋管（410）；

感应开关（320），设有多个，每个感应开关（320）对应控制一根补偿喷淋管（410），用于控制补偿喷淋管（410）输出端的蚀刻药水量；

推撑机构（500），设于测厚机构（300）上方，并与测厚组件（310）顶部抵接，推撑机构（500）用于依次控制测厚组件（310），以使测厚组件（310）获得厚度差值；

吸液机构（600），设于蚀刻喷淋部（100）的一端，用于吸附印制板（1）上多余的蚀刻药水。

2.根据权利要求1所述的印制板自动补偿的蚀刻装置，其特征在于，吸液机构（600）包括多个间隔设置的横架（610），横架（610）上均移动设有直线机构，直线机构的输出端连接吸液组件（620），吸液组件（620）包括吸液管（621），吸液管（621）下端设有吸液头（622），吸液头（622）用于吸附印制板（1）上多余的蚀刻药水，吸液管（621）的一端连接通蚀刻药水缸。

3.根据权利要求1所述的印制板自动补偿的蚀刻装置，其特征在于，探头（316）呈圆盘结构，探头（316）的两侧面设有销轴，销轴的一端穿过横板（3161）的中心，横板（3161）的两端分别与连杆（315）下端的两侧连接，连杆（315）下端的一面设有连接块，连接块上设有弹性件（3162），弹性件（3162）的另一端连接条形框（314）的下端。

4.根据权利要求1所述的印制板自动补偿的蚀刻装置，其特征在于，压杆组件（330）包括支杆（331），支杆（331）一端下方对称设有竖杆（332），另一端垂直连接连接座（311）的一侧，竖杆（332）的下端设有呈倒L型的限位板（333），两限位板（333）的横部相对设置，限位板（333）竖部的下端设有第一斜面（3331），第一斜面（3331）上设有一组对称设置的凸台（3332），凸台（3332）的一侧设有第二弹簧（3333），限位板（333）下端滑动设有滑台（334），滑台（334）顶部具有第二斜面（3341），第二斜面（3341）与第一斜面（3331）配合，第二斜面（3341）上开设有一组对称设置的凹槽（3342），凸台（3332）与凹槽（3342）滑动配合，第二弹簧（3333）的另一端连接凹槽（3342）的一端，沿滑台（334）底部中心的一侧向下设有竖块（3343），竖块（3343）底部设有直角三角板（3344），直角三角板（3344）的斜边朝向滑台（334）的另一侧，限位座（250）上设有倒L型的安装槽（251），安装槽（251）的横部位于限位座（250）顶面，竖部沿限位座（250）的高度竖直向下，且横部一端与竖部连通，竖部内滑动设有推块（252），推块（252）下方设有第三弹簧（253），第三弹簧（253）的另一端连接安装槽（251）竖部的底部，安装槽（251）横部的另一端设有第四弹簧（254），第四弹簧（254）的一端连接卡杆（255），卡杆（255）顶部设有凸块（256），安装槽（251）横部顶面设有限位块（257），当压杆组件（330）向下移动至限位座（250）顶部时，滑台（334）与限位座（250）顶部接触，直角三角板（3344）进入安装槽（251）的横部，当压杆组件（330）持续向下，竖杆（332）推动滑台（334）向安装槽（251）竖部一侧移动，同时滑台（334）底部推动推块（252）向下移动，并向安装槽（251）横部的一端移动，以使滑台（334）对横杆（312）的松开。

5.根据权利要求4所述的印制板自动补偿的蚀刻装置，其特征在于，凸块（256）包括第一直角梯形（2561），第一直角梯形（2561）的斜边朝向安装槽（251）的竖部一侧，第一直角梯形（2561）的一侧设有第二直角梯形（2562），第二直角梯形（2562）的斜边朝向第四弹簧（254）的一侧。

6.根据权利要求1所述的印制板自动补偿的蚀刻装置，其特征在于，推撑机构（500）包括电机（510），电机（510）设于推撑机构安装座（240）的顶部，电机（510）的输出端连接传动轴（520），传动轴（520）上阵列分布有偏心压轮组件（530），且偏心压轮组件（530）的最远端沿传动轴（520）的周向均匀分布，偏心压轮组件（530）内部设有盘形弹簧（540），盘形弹簧（540）中心的一端连接传动轴（520），外周端连接偏心压轮组件（530）。

7.根据权利要求6所述的印制板自动补偿的蚀刻装置，其特征在于，偏心压轮组件（530）包括偏心轮（531），偏心轮（531）的旋转中心设有圆形的容纳腔（532），盘形弹簧（540）设于容纳腔（532）内，盘形弹簧（540）的外周端连接容纳腔（532）的内壁，容纳腔（532）外壁设有盖板（533），偏心轮（531）的最远端设有卡台（534），支杆（331）顶部设有挡块（3311），挡块（3311）用于偏心轮（531）转动时，阻挡卡台（534）以实现对偏心轮（531）的限位。

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