JP2005159010A - プリント配線基板の中間製品の薬液処理装置 - Google Patents
プリント配線基板の中間製品の薬液処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005159010A JP2005159010A JP2003395524A JP2003395524A JP2005159010A JP 2005159010 A JP2005159010 A JP 2005159010A JP 2003395524 A JP2003395524 A JP 2003395524A JP 2003395524 A JP2003395524 A JP 2003395524A JP 2005159010 A JP2005159010 A JP 2005159010A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- intermediate product
- transfer path
- chemical
- transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
【課題】 簡単な構成でプリント配線基板の中間製品の両面を均等に薬液処理可能な薬液処理装置を提供する。
【解決手段】 薬液処理装置は、水平な移送面を有した移送経路10に沿ってプリント配線基板の中間製品を移送する過程にて、前記移送面に平行な前記中間製品の上下両面を薬液処理する。この薬液処理装置は、移送経路10に沿って離間した上流及び下流側ステージ12,20を有し、これらステージ12,20にて前記中間製品の両面に薬液をそれぞれ吹き付ける薬液スプレー手段16と、移送経路10中の上流側及び下流側ステージ12,20間に設けられ、上流側ステージ12から下流側ステージ20に向かう中間製品を反転させる反転装置18とを具備する。反転装置18は、前記移送面に対して平行に延び且つ前記中間製品がその回りに反転される反転軸線を有する。
【選択図】 図2
【解決手段】 薬液処理装置は、水平な移送面を有した移送経路10に沿ってプリント配線基板の中間製品を移送する過程にて、前記移送面に平行な前記中間製品の上下両面を薬液処理する。この薬液処理装置は、移送経路10に沿って離間した上流及び下流側ステージ12,20を有し、これらステージ12,20にて前記中間製品の両面に薬液をそれぞれ吹き付ける薬液スプレー手段16と、移送経路10中の上流側及び下流側ステージ12,20間に設けられ、上流側ステージ12から下流側ステージ20に向かう中間製品を反転させる反転装置18とを具備する。反転装置18は、前記移送面に対して平行に延び且つ前記中間製品がその回りに反転される反転軸線を有する。
【選択図】 図2
Description
本発明は、プリント配線基板の中間製品の薬液処理装置に関する。
パソコン、デジタルカメラ、携帯電話等の各種電子・電気機器に用いられるプリント配線基板には、配線パターンがその片面又は両面に1層又は多層にして形成されているものがあり、また、基板自身の柔軟性に応じて、リジッド配線基板又はフレキシブル配線基板に分類される。
この種のプリント配線基板の製造にあたっては、先ず、プリント配線基板の中間製品が準備され、この中間製品にはその導体層上にレジスト膜が予め形成されている。そして、中間製品にエッチング処理を施し、導体層から不所望の導体領域を除去することで配線パターンが形成される。より詳しくは、エッチング処理は、プリント配線基板の中間製品をその厚み方向両側から挟み込む1対のローラ列により移送しながら、中間製品の片面又は両面に対してエッチング液を吹き付けることにより行われる。
この種のプリント配線基板の製造にあたっては、先ず、プリント配線基板の中間製品が準備され、この中間製品にはその導体層上にレジスト膜が予め形成されている。そして、中間製品にエッチング処理を施し、導体層から不所望の導体領域を除去することで配線パターンが形成される。より詳しくは、エッチング処理は、プリント配線基板の中間製品をその厚み方向両側から挟み込む1対のローラ列により移送しながら、中間製品の片面又は両面に対してエッチング液を吹き付けることにより行われる。
中間製品の両面に同時にエッチング液を吹き付けるエッチング処理工程は、確かに配線パターンを効率的に形成することができるものの、薬液処理中、中間製品の上面ではエッチング液が溜まり易く、下面に比べてエッチングレートが低下したり、その面内ばらつきが大きくなる。このため、従来技術のエッチング装置を使用した場合、中間製品の上面と下面とで配線パターンの形状が異なってしまい、プリント配線基板を仕様通りに正確に製造することができないという問題がある。
本発明は上述の事情に基づいてなされたもので、その目的とするところは、簡単な構成でプリント配線基板の中間製品の両面を均等に薬液処理可能な薬液処理装置を提供することにある。
上記の目的を達成するため、請求項1の発明によれば、水平な移送面を有した移送経路に沿ってプリント配線基板の中間製品を移送し、この移送過程にて、前記移送面に平行な前記中間製品の上下両面に配線パターンをそれぞれ形成すべく前記両面に薬液処理する薬液処理装置において、前記移送経路に沿って離間した上流及び下流側ステージを有し、これらステージにて前記中間製品の両面に薬液をそれぞれ吹き付ける薬液スプレー手段と、前記移送経路中の前記上流側及び下流側ステージ間に設けられ、前記上流側ステージから前記下流側ステージに向かう中間製品を反転させる反転装置とを具備し、前記反転装置は、前記移送面に対して平行に延び且つ前記中間製品がその回りに反転される反転軸線を有することを特徴とする薬液処理装置が提供される。
上記した構成によれば、上流側ステージでは下面として薬液処理された中間製品の一方の面が、反転装置により反転されて下流側ステージでは上面として薬液処理されるので、中間製品の両面をほぼ均等に薬液処理することができる。
請求項2の発明では、前記反転装置は、前記反転軸線が前記移送経路を横断する方向に延びる間欠回転可能なタレットであり、前記タレットはその直径方向に離間した2つの製品ポケットを有することを特徴としている。
請求項2の発明では、前記反転装置は、前記反転軸線が前記移送経路を横断する方向に延びる間欠回転可能なタレットであり、前記タレットはその直径方向に離間した2つの製品ポケットを有することを特徴としている。
上記した構成によれば、2つの製品ポケットにより中間製品を迅速に反転させ、薬液処理に要する時間の増大を抑制することができる。
そして、請求項3の発明では、前記タレットにおける中間製品の入口位置及び出口位置は、前記移送経路に対して上側及び下側にそれぞれ変位されていることを特徴としている。
そして、請求項3の発明では、前記タレットにおける中間製品の入口位置及び出口位置は、前記移送経路に対して上側及び下側にそれぞれ変位されていることを特徴としている。
上記した構成によれば、前記ポケットと前記移送経路との間で、中間製品が薄く撓み易い場合でも、中間製品を円滑且つ確実に受け渡すことができる。
また、請求項4の発明では、前記反転装置は、更に、前記タレットの入口近傍に配置され、前記ポケットに前記中間製品を導入する導入コンベヤと、前記タレットの出口近傍に配置され、前記ポケットから前記中間製品を搬出する搬出コンベヤと、前記導入及び搬出コンベヤの近傍に設けられ、これら導入及び搬出コンベヤと協働して前記移送経路を規定する上流及び下流の押えローラとを有することを特徴としている。
また、請求項4の発明では、前記反転装置は、更に、前記タレットの入口近傍に配置され、前記ポケットに前記中間製品を導入する導入コンベヤと、前記タレットの出口近傍に配置され、前記ポケットから前記中間製品を搬出する搬出コンベヤと、前記導入及び搬出コンベヤの近傍に設けられ、これら導入及び搬出コンベヤと協働して前記移送経路を規定する上流及び下流の押えローラとを有することを特徴としている。
上記した構成によれば、押えローラと搬出コンベヤとの間に、中間製品が薄く撓み易い場合でも、中間製品を円滑且つ確実に渡すことができる。
また、請求項5の発明では、前記反転手段は、前記反転軸線としてのドラム軸線が前記移送経路に沿って延びる中空の回転ドラムを含み、前記回転ドラムは、前記ドラム軸線を中心に回転し且つ両端に製品の入口及び出口を有した製品ポケットを備えることを特徴としている。
また、請求項5の発明では、前記反転手段は、前記反転軸線としてのドラム軸線が前記移送経路に沿って延びる中空の回転ドラムを含み、前記回転ドラムは、前記ドラム軸線を中心に回転し且つ両端に製品の入口及び出口を有した製品ポケットを備えることを特徴としている。
上記した構成では、プリント配線基板の中間製品は、移送経路に沿って延びる反転軸線により反転されるので、反転装置が中間製品の移送方向でみてコンパクトとなる。従って、この薬液処理装置は、反転装置を具備したことによる大型化が抑制される。
請求項6の発明によれば、前記製品ポケットの入口高さは、出口高さよりも大きいことを特徴としてる。
請求項6の発明によれば、前記製品ポケットの入口高さは、出口高さよりも大きいことを特徴としてる。
上記した構成によれば、前記ポケットと前記移送経路との間で、中間製品が薄く撓み易い場合でも、中間製品を円滑且つ確実に受け渡すことができる。
本発明のプリント配線基板の中間製品の薬液処理装置は、簡単な構成にてプリント配線基板の中間製品の両面を均等に薬液処理が可能であり、微細且つ精緻な配線パターンであっても仕様通りに正確に実現することができる(請求項1)。
以下、本発明の実施形態に係るプリント配線基板について説明する。
プリント配線基板は、電気絶縁性の樹脂材料からなるシート状の基板本体の両面に、銅などの電気伝導体からなる所望の配線パターンを形成したものである。プリント配線基板は、例えば、パソコン、携帯電話、デジタルカメラ等の各種電子・電気機器等に適用可能であり、コンデンサ、抵抗、IC等の実装電子・電気部品と協働して、前記機器の所定の電気回路を形成する。
プリント配線基板は、電気絶縁性の樹脂材料からなるシート状の基板本体の両面に、銅などの電気伝導体からなる所望の配線パターンを形成したものである。プリント配線基板は、例えば、パソコン、携帯電話、デジタルカメラ等の各種電子・電気機器等に適用可能であり、コンデンサ、抵抗、IC等の実装電子・電気部品と協働して、前記機器の所定の電気回路を形成する。
なお、プリント配線基板は、その用途に応じて外形寸法や、柔軟性の有無及び配線パターン形状が適宜設計され、また、配線パターンは両面に1層又は積層して形成されている。
このプリント配線基板は、後述するエッチング装置を用いて製造されることから、両面がほぼ均等にエッチング処理され、各配線の幅及び配線間隔が狭い微細且つ精緻な配線パターンを有することができ、小型化に好適する。
このプリント配線基板は、後述するエッチング装置を用いて製造されることから、両面がほぼ均等にエッチング処理され、各配線の幅及び配線間隔が狭い微細且つ精緻な配線パターンを有することができ、小型化に好適する。
図1はプリント配線基板の製造工程の1例を示している。
この製造工程では、基板本体として、例えば両面銅張積層板が用いられる。この銅張積層板は、後段の工程で使用される装置にて加工可能な寸法、即ちワークサイズに予め成形されており、一般に、1枚の銅張積層板からは複数枚のプリント配線基板が製造される。なお、以下の説明では、銅張積層板に加工を施したものをプリント配線基板の中間製品という。
この製造工程では、基板本体として、例えば両面銅張積層板が用いられる。この銅張積層板は、後段の工程で使用される装置にて加工可能な寸法、即ちワークサイズに予め成形されており、一般に、1枚の銅張積層板からは複数枚のプリント配線基板が製造される。なお、以下の説明では、銅張積層板に加工を施したものをプリント配線基板の中間製品という。
まず、用意した銅張積層板に、スルーホールを形成して洗浄した後(S10)、スルーホール内を含めて、無電界銅めっき(S12)及び電解銅セミパネルめっき(S14)を順次施す。
次に、この銅めっき上にめっきレジストを所望パターンにて形成してから(S16)、電解銅めっきを施して配線パターンとなる部分の銅めっきを厚くし、更にこの部分にエッチングレジストとしてのはんだをめっきする(S18)。
次に、この銅めっき上にめっきレジストを所望パターンにて形成してから(S16)、電解銅めっきを施して配線パターンとなる部分の銅めっきを厚くし、更にこの部分にエッチングレジストとしてのはんだをめっきする(S18)。
この後、めっきレジストを除去してから(S20)、後述するエッチング処理(S22)を施して配線パターンの部分を残して銅を除去し、そして、フュージング処理(S24)を施し、各配線の側部をはんだで被覆する。
そして、ソルダーレジストを配線間に付与してから(S26)、相互に連なるプリント配線基板を個々のプリント配線基板に切り離す外形加工(S28)を施し、所望の配線パターンを両面に有するプリント配線基板が製造される。
そして、ソルダーレジストを配線間に付与してから(S26)、相互に連なるプリント配線基板を個々のプリント配線基板に切り離す外形加工(S28)を施し、所望の配線パターンを両面に有するプリント配線基板が製造される。
エッチング工程S22は、図2に模式的に示したエッチング装置を用いて行われる。
このエッチング装置は、処理対象の中間製品を移送する水平な移送経路10を有し、中間製品は移送経路10上を水平な状態で移送される。従って、移送経路10は、シート状の中間製品のための水平な移送面を有している。
移送経路10の入口側には、上流側ステージ12が設けられ、この上流側ステージ12においては、移送経路10は、中間製品を厚み方向、つまり上下方向から挟み込む1対のローラ列14により形成される。
このエッチング装置は、処理対象の中間製品を移送する水平な移送経路10を有し、中間製品は移送経路10上を水平な状態で移送される。従って、移送経路10は、シート状の中間製品のための水平な移送面を有している。
移送経路10の入口側には、上流側ステージ12が設けられ、この上流側ステージ12においては、移送経路10は、中間製品を厚み方向、つまり上下方向から挟み込む1対のローラ列14により形成される。
ローラ列14の上方及び下方にはエッチング液供給ライン16がそれぞれ配置されている。これら供給ライン16は移送経路10の移送方向に所定間隔を存して複数設けられ、且つ、移送経路10を横断して延びている。
エッチング液供給ライン16は、その長手方向に所望の間隔を存して複数のノズル(図示せず)を有し、これらノズルはローラ列14間での中間製品の移送中、その上下両面に、塩化第二銅、塩化第二鉄水溶液等のエッチング液を吹き付ける。
エッチング液供給ライン16は、その長手方向に所望の間隔を存して複数のノズル(図示せず)を有し、これらノズルはローラ列14間での中間製品の移送中、その上下両面に、塩化第二銅、塩化第二鉄水溶液等のエッチング液を吹き付ける。
移送経路10の上流側ステージ12よりも出口側には、後述する反転装置18を介在させて下流側ステージ20が設けられている。下流側ステージ20は、上流側ステージ12と同じ構成を有するので、図2中、同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。
移送経路10において上流側ステージ12と下流側ステージ20との間に介挿された反転装置18は、図3に示したようにタレットを含む。反転装置18のタレットはタレット軸として直径φの回転軸22を有し、回転軸22は水平に延び、移送経路10を横断している。従って、回転軸22の軸線は、移送経路10の移送面に含まれている。回転軸22の外側には、その直径方向に離間して2つのポケット24が形成され、これらポケット24は回転軸22の間欠的な回転に伴い、タレットの入口位置及び出口位置に順次位置付けられ、これら入口位置及び出口位置もまたタレットの直径方向に離間している。ここで、回転軸22は図中矢印26で示した時計方向に間欠的に回転されるか、または、正逆方向に間欠的に回転される。より詳しくは、図4に示したように、ポケット24は、回転軸22を径方向両側から挟み込むようにして回転軸22に取りつけられた羽根部材からなり、各羽根部材は複数の帯状のストリップ28により形成されている。各羽根部材のストリップ28は、回転軸22の軸線方向に所定間隔を存して複数設けられている。従って、ポケット24の開口部分の高さは、回転軸22の直径φと同じ値となっている。なお、ポケット24の底は仕切り板29により形成され(図3参照)、中間製品1と回転軸22との接触が防止されている。
移送経路10において上流側ステージ12と下流側ステージ20との間に介挿された反転装置18は、図3に示したようにタレットを含む。反転装置18のタレットはタレット軸として直径φの回転軸22を有し、回転軸22は水平に延び、移送経路10を横断している。従って、回転軸22の軸線は、移送経路10の移送面に含まれている。回転軸22の外側には、その直径方向に離間して2つのポケット24が形成され、これらポケット24は回転軸22の間欠的な回転に伴い、タレットの入口位置及び出口位置に順次位置付けられ、これら入口位置及び出口位置もまたタレットの直径方向に離間している。ここで、回転軸22は図中矢印26で示した時計方向に間欠的に回転されるか、または、正逆方向に間欠的に回転される。より詳しくは、図4に示したように、ポケット24は、回転軸22を径方向両側から挟み込むようにして回転軸22に取りつけられた羽根部材からなり、各羽根部材は複数の帯状のストリップ28により形成されている。各羽根部材のストリップ28は、回転軸22の軸線方向に所定間隔を存して複数設けられている。従って、ポケット24の開口部分の高さは、回転軸22の直径φと同じ値となっている。なお、ポケット24の底は仕切り板29により形成され(図3参照)、中間製品1と回転軸22との接触が防止されている。
また、反転装置18は、ポケット24に中間製品1を導入するためのベルトコンベヤ(以下、導入コンベヤといい、符号30を付す)及びポケット24から中間製品1を搬出するためのベルトコンベヤ(以下、搬出コンベヤといい、符号32を付す)を有し、導入及び搬出コンベヤ30,32は、ポケット24の入口位置及び出口位置近傍に設置されている。より詳しくは、導入及び搬出コンベヤ30,32は、複数のコンベヤベルトからなり、これらのコンベヤベルトはポケット24を形成するストリップ28と噛み合うように互いに平行に配列され、移送経路10に沿って延びている。
更に、反転装置18は、導入及び搬出コンベヤ30,32の近傍に配置された押えローラ34を有する。押えローラ34は、これら導入及び搬出コンベヤ30,32の走行方向に沿い所定間隔を存して複数設けられ、各押えローラ34は水平に延び、コンベヤ30,32の走行方向を横断している。
そして更に、反転装置18は、例えばCCDカメラからなるセンサ36を有し、センサ36は回転軸22の近傍に配置され、ポケット24への中間製品1の導入完了を検出可能である。センサ36は、図示しない制御部に電気的に接続されており、制御部は、センサ36からの信号に基づき回転軸22の間欠回転を制御可能である。
そして更に、反転装置18は、例えばCCDカメラからなるセンサ36を有し、センサ36は回転軸22の近傍に配置され、ポケット24への中間製品1の導入完了を検出可能である。センサ36は、図示しない制御部に電気的に接続されており、制御部は、センサ36からの信号に基づき回転軸22の間欠回転を制御可能である。
上記したエッチング装置によれば、前段の工程から受け取った処理対象の中間製品が移送経路10を移送され、この過程で以下のようにして中間製品はエッチング処理を受け、後段の工程に渡される。
まず、処理対象の中間製品は、上流側ステージ12にて、ローラ列14により移送され、この際、エッチング液供給ライン16からのエッチング液が中間製品の上下両面に吹き付けられ、中間製品はエッチング処理される。
まず、処理対象の中間製品は、上流側ステージ12にて、ローラ列14により移送され、この際、エッチング液供給ライン16からのエッチング液が中間製品の上下両面に吹き付けられ、中間製品はエッチング処理される。
次に、上流側ステージ12でエッチング処理された中間製品は、反転装置18にて反転させられ、その上下面が入れ代わる。より詳しくは、上流側ステージ12のローラ列14により移送されてきた中間製品1は、上流側ステージ12から導入コンベヤ30に渡される(図3参照)。そして、中間製品1は、導入コンベヤ30及び押えローラ34により更に移送され、タレットの入口位置に位置付けられたポケット24に導入される。このとき、センサ36が、中間製品1の先端がポケット24の所定深さまで進入したことを検出すると、制御部はポケット24への中間製品1の導入が完了したと判断し、回転軸22を矢印26の方向にその軸線回りに180度だけ間欠回転させる。これにより、中間製品1を受取ったポケット24はタレットの出口位置に位置付けられる。ポケット24が出口位置に位置付けられると、ポケット24内から中間製品1が搬出コンベヤ32により搬出され、この搬出された中間製品1は、搬出コンベヤ32及び押えローラ34により移送された後、下流側ステージ20のローラ列14に渡される。なお、2つのポケット24はタレットの直径方向に離間しているので、一方のポケット24が入口位置に位置付けられているときには、他方のポケット24が出口位置に位置付けられ、ポケット24への中間製品の導入と、ポケット24からの中間製品の搬出を同時に行うことができる。
この後、反転装置18で反転された中間製品は、下流側ステージ20にて、ローラ列14により移送され、この際、エッチング液供給ライン16から吹き付けられるエッチング液をその上下両面にて受け、エッチング処理される。
上記した構成のエッチング装置では、中間製品の上下面が、2段階からなるエッチング処理の途中で反転装置18によって入れ代わる。つまり、エッチング液が溜まり易い上面として上流側ステージ12でエッチング処理された中間製品の一方の面は、下流側ステージ20では新鮮なエッチング液が供給され易い下面としてエッチングされる一方、上流側ステージ12で下面としてエッチングされた中間製品の他方の面は、下流側ステージ20では上面としてエッチングされる。
上記した構成のエッチング装置では、中間製品の上下面が、2段階からなるエッチング処理の途中で反転装置18によって入れ代わる。つまり、エッチング液が溜まり易い上面として上流側ステージ12でエッチング処理された中間製品の一方の面は、下流側ステージ20では新鮮なエッチング液が供給され易い下面としてエッチングされる一方、上流側ステージ12で下面としてエッチングされた中間製品の他方の面は、下流側ステージ20では上面としてエッチングされる。
従って、このエッチング装置によれば、従来技術の場合に比べて、中間製品の上下面がほぼ均等にエッチング処理され、一方の面だけオーバーエッチングされたり、又はエッチングむらが大きくなったりすることがなく、仕様通りに導体層をエッチング除去することができる。それ故、このエッチング装置によれば、中間製品の両面に微細な配線パターンを精緻に形成することができる。
そして、上記した反転装置18を用いれば、入口位置のポケット24へ中間製品1を導入している間に、出口位置のポケット24から中間製品1を搬出することができるので、中間製品1の反転処理に要する時間を抑制することができ、エッチング装置は中間製品1を効率的にエッチング処理することができる。
なお、上記した反転装置18においては、タレットの入口位置及び出口位置が、図3に示したように、導入及び搬出コンベヤ30,32により規定される移送経路10に対して上側及び下側に変位されているのが好ましい。換言すれば、タレットの入口位置及び出口位置にポケット24が位置付けられた際、これらポケット24は移送経路10に対して所定角度だけ傾斜され、その開口が移送経路10に対して上側及び下側に変位しているのが好ましい。
なお、上記した反転装置18においては、タレットの入口位置及び出口位置が、図3に示したように、導入及び搬出コンベヤ30,32により規定される移送経路10に対して上側及び下側に変位されているのが好ましい。換言すれば、タレットの入口位置及び出口位置にポケット24が位置付けられた際、これらポケット24は移送経路10に対して所定角度だけ傾斜され、その開口が移送経路10に対して上側及び下側に変位しているのが好ましい。
このようなタレットの入口及び出口位置の配置によれば、入口位置においては、ポケット24はその開口のほぼ全ての高さを利用して中間製品1を受け入れ可能であるので、薄くて撓みやすく、また、反りが生じている中間製品1であっても、確実にポケット24に導入可能である。一方、出口位置においては、ポケット24は搬出コンベヤ32と協働し、その開口の高さを狭めながら中間製品1の搬出を許すので、薄くて撓みやすく、また、反りが生じている中間製品1であっても、搬出コンベヤ32と押えローラ34との間にその先端が確実に挿通され、ローラ列14に向かって中間製品1を円滑に搬出可能である。
なお、移送経路10からのタレットの入口及び出口位置の変位量は、適宜調整することができるけれども、中間製品1の厚みをtとし、ポケット24がタレットの入口位置に位置付けられたときの移送経路10に対する傾斜角度をθとし、回転軸22の軸線からのポケット24の深さをaとすると(図3参照)、次式:
φ>(2asinθ+t)/cosθ
を満足するように回転軸22の直径φ、ポケットの深さa及び傾斜角度θを選択するのが好ましい。この式を満足する場合、ポケット24の開口での中間製品とポケット24との間の隙間bが十分に確保され、中間製品1の両面とポケット24を形成するストリップ28との摺動を抑制可能であり、もって、配線パターンの損傷を防止することができるからである。
φ>(2asinθ+t)/cosθ
を満足するように回転軸22の直径φ、ポケットの深さa及び傾斜角度θを選択するのが好ましい。この式を満足する場合、ポケット24の開口での中間製品とポケット24との間の隙間bが十分に確保され、中間製品1の両面とポケット24を形成するストリップ28との摺動を抑制可能であり、もって、配線パターンの損傷を防止することができるからである。
本発明は上述の一実施例に制約されるものではなく、種々の変形が可能である。
例えば、上記した一実施例のプリント配線基板は、出発原材料として両面銅張積層基板を用いたサブトラクティブ法により製造されたが、出発原材料として樹脂基板を用いたアディティブ法によりに製造してもよい。
そして、上記した一実施例のプリント配線基板の製造工程では、エッチング処理工程においてのみ、中間製品を反転装置18により反転させたけれども、その他の工程においても、必要に応じて同様な反転装置により中間製品を反転させてもよい。そして、反転装置18は、エッチング液に限らず、移送過程で中間製品に薬液(水を含む)を吹き付ける工程、例えば洗浄工程、レジスト剥離工程、レジスト現像工程にも好適する。また、1つの工程において、中間製品を複数回に亘って反転させてもよい。
例えば、上記した一実施例のプリント配線基板は、出発原材料として両面銅張積層基板を用いたサブトラクティブ法により製造されたが、出発原材料として樹脂基板を用いたアディティブ法によりに製造してもよい。
そして、上記した一実施例のプリント配線基板の製造工程では、エッチング処理工程においてのみ、中間製品を反転装置18により反転させたけれども、その他の工程においても、必要に応じて同様な反転装置により中間製品を反転させてもよい。そして、反転装置18は、エッチング液に限らず、移送過程で中間製品に薬液(水を含む)を吹き付ける工程、例えば洗浄工程、レジスト剥離工程、レジスト現像工程にも好適する。また、1つの工程において、中間製品を複数回に亘って反転させてもよい。
また、上記した一実施例のエッチング処理装置において、移送経路10は水平であって、水平な移送面を有すると述べたが、移送経路10及び移送面はほぼ水平であればよく、また、移送方向でみて多少の段差を有していてもよい。
そして、上記した一実施例のエッチング装置において、反転装置18は、移送経路10を横断する水平な反転軸線により中間製品1を反転させるものであるが、図5及び6に示した変形例の反転装置40を用いてもよい。この反転装置40は、移送経路10に沿って延びる水平な反転軸線の回りに中間製品1を回転させる回転ドラムを含み、この回転ドラムは円筒状のハウジング42を有する。ハウジング42には、その内周に沿って走行可能なローラ列44が設けられる一方、ローラ列44を走行駆動するための駆動ローラ46が取り付けられている。ローラ列44のうち直径方向に離間した1対のローラ48間にはポケット50が取り付けられている。ポケット50は、ローラ48に取りつけられた溝レール52からなり、溝レール52は相互に所定間隔を存してハウジング42の軸線方向に沿って延びている。また、反転装置40は、上流側ステージ12又は導入コンベヤ30の出口近傍にプランジャ付きのプッシャ54を備え、このプッシャ54は、上流側ステージ12又は導入コンベヤ30の出口に到達した中間製品1をハウジング42内のポケット50に向けて押し出すことができるとともに、更に、ポケット50内の中間製品1を下流側ステージ20又は搬出コンベヤ32まで押し出すことができる。従って、この反転装置40によれば、プッシャ54により上流側ステージ12又は導入コンベヤ30からポケット50に押し込まれた中間製品1は、駆動ローラ46によるローラ列44の走行によりポケット50とともに反転軸線回りに反転させられた後、再び、プッシャ54により下流側ステージ20又は搬出コンベヤ32まで押し出され、そして、ローラ列14により移送される。
そして、上記した一実施例のエッチング装置において、反転装置18は、移送経路10を横断する水平な反転軸線により中間製品1を反転させるものであるが、図5及び6に示した変形例の反転装置40を用いてもよい。この反転装置40は、移送経路10に沿って延びる水平な反転軸線の回りに中間製品1を回転させる回転ドラムを含み、この回転ドラムは円筒状のハウジング42を有する。ハウジング42には、その内周に沿って走行可能なローラ列44が設けられる一方、ローラ列44を走行駆動するための駆動ローラ46が取り付けられている。ローラ列44のうち直径方向に離間した1対のローラ48間にはポケット50が取り付けられている。ポケット50は、ローラ48に取りつけられた溝レール52からなり、溝レール52は相互に所定間隔を存してハウジング42の軸線方向に沿って延びている。また、反転装置40は、上流側ステージ12又は導入コンベヤ30の出口近傍にプランジャ付きのプッシャ54を備え、このプッシャ54は、上流側ステージ12又は導入コンベヤ30の出口に到達した中間製品1をハウジング42内のポケット50に向けて押し出すことができるとともに、更に、ポケット50内の中間製品1を下流側ステージ20又は搬出コンベヤ32まで押し出すことができる。従って、この反転装置40によれば、プッシャ54により上流側ステージ12又は導入コンベヤ30からポケット50に押し込まれた中間製品1は、駆動ローラ46によるローラ列44の走行によりポケット50とともに反転軸線回りに反転させられた後、再び、プッシャ54により下流側ステージ20又は搬出コンベヤ32まで押し出され、そして、ローラ列14により移送される。
この反転装置40によれば、中間製品1をその場で回転させることができるので、移送経路10を短くすることができ、エッチング装置の小型化が可能である。また、中間製品1はその両側縁部にて溝レール52により支持されるので、溝レール52との摺動により中間製品1の配線パターンが損傷することもない。また、溝レール52の溝の幅を適当に設定することにより、ポケット50の入口側の開口高さを、その出口側の開口高さよりも大きくすれば、薄くて撓み易く、また、反りが生じている中間製品1でも、ポケット50に対する中間製品の導入及び搬出を円滑に行うことができる。
10 移送経路
12 上流側ステージ
16 薬液スプレー手段(エッチング液供給ライン)
18 反転装置
20 下流側ステージ
12 上流側ステージ
16 薬液スプレー手段(エッチング液供給ライン)
18 反転装置
20 下流側ステージ
Claims (6)
- 水平な移送面を有した移送経路に沿ってプリント配線基板の中間製品を移送し、この移送過程にて、前記移送面に平行な前記中間製品の上下両面に配線パターンをそれぞれ形成すべく前記両面に薬液処理する薬液処理装置において、
前記移送経路に沿って離間した上流及び下流側ステージを有し、これらステージにて前記中間製品の両面に薬液をそれぞれ吹き付ける薬液スプレー手段と、
前記移送経路中の前記上流側及び下流側ステージ間に設けられ、前記上流側ステージから前記下流側ステージに向かう中間製品を反転させる反転装置と
を具備し、
前記反転装置は、前記移送面に対して平行に延び且つ前記中間製品がその回りに反転される反転軸線を有する
ことを特徴とするプリント配線基板の中間製品の薬液処理装置。 - 前記反転装置は、前記反転軸線が前記移送経路を横断する方向に延びる間欠回転可能なタレットであり、
前記タレットはその直径方向に離間した2つの製品ポケットを有することを特徴とする請求項1に記載の薬液処理装置。 - 前記タレットにおける中間製品の入口位置及び出口位置は、前記移送経路に対して上側及び下側にそれぞれ変位されていることを特徴する請求項2に記載の薬液処理装置。
- 前記反転装置は、更に、
前記タレットの入口近傍に配置され、前記ポケットに前記中間製品を導入する導入コンベヤと、
前記タレットの出口近傍に配置され、前記ポケットから前記中間製品を搬出する搬出コンベヤと、
前記導入及び搬出コンベヤの近傍に設けられ、これら導入及び搬出コンベヤと協働して前記移送経路を規定する上流及び下流の押えローラと
を有することを特徴とする請求項3に記載の薬液処理装置。 - 前記反転手段は、前記反転軸線としてのドラム軸線が前記移送経路に沿って延びる中空の回転ドラムを含み、
前記回転ドラムは、前記ドラム軸線を中心に回転し且つ両端に製品の入口及び出口を有した製品ポケットを備えることを特徴とする請求項1に記載の薬液処理装置。 - 前記製品ポケットの入口高さは、出口高さよりも大きいことを特徴とする請求項5に記載の薬液処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003395524A JP2005159010A (ja) | 2003-11-26 | 2003-11-26 | プリント配線基板の中間製品の薬液処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003395524A JP2005159010A (ja) | 2003-11-26 | 2003-11-26 | プリント配線基板の中間製品の薬液処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005159010A true JP2005159010A (ja) | 2005-06-16 |
Family
ID=34721264
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003395524A Pending JP2005159010A (ja) | 2003-11-26 | 2003-11-26 | プリント配線基板の中間製品の薬液処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005159010A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115866914A (zh) * | 2023-02-20 | 2023-03-28 | 四川英创力电子科技股份有限公司 | 一种印制板自动补偿的蚀刻装置 |
-
2003
- 2003-11-26 JP JP2003395524A patent/JP2005159010A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115866914A (zh) * | 2023-02-20 | 2023-03-28 | 四川英创力电子科技股份有限公司 | 一种印制板自动补偿的蚀刻装置 |
CN115866914B (zh) * | 2023-02-20 | 2023-05-02 | 四川英创力电子科技股份有限公司 | 一种印制板自动补偿的蚀刻装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7438100B2 (ja) | 印刷回路板を製造するための方法、装置及びシステム | |
CN101578011B (zh) | 布线电路基板的制造方法 | |
JP4015667B2 (ja) | メッキ基板のエッチング装置 | |
US20090314739A1 (en) | Wet processing system and wet processing method | |
TW200536618A (en) | Surface treatment device for substrate | |
JP2005159010A (ja) | プリント配線基板の中間製品の薬液処理装置 | |
JP2006222117A (ja) | 基板材の搬送装置 | |
JP2011023378A (ja) | 基板材の表面処理装置 | |
JP2004158765A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2006312515A (ja) | 薄物基板材の搬送装置 | |
JP4307354B2 (ja) | プリント基板の研磨装置 | |
JP2003124611A (ja) | 乾燥装置 | |
JP3321120B2 (ja) | 薬液処理装置 | |
JP2006273461A (ja) | 配線基板の搬送機構 | |
JP2004055711A (ja) | 基板処理装置 | |
JPH02128493A (ja) | プリント配線基板の搬送装置 | |
JP2003163441A (ja) | 平板を含んだ回路装置の製造方法 | |
JP3389321B2 (ja) | 基板搬送装置およびそれを用いた混成集積回路装置の製造方法 | |
JP4285018B2 (ja) | ウエット処理装置の液切りと液置換装置 | |
JP2546440B2 (ja) | プリント基板のエッチング装置 | |
JP2005150157A (ja) | プリント配線基板及びその中間製品、並びに、プリント配線基板の中間製品の薬液処理方法及びこの方法に用いられる薬液処理装置 | |
WO2022224886A1 (ja) | 湿式処理装置およびフレキシブルプリント基板の製造方法 | |
JP2001127403A (ja) | エッチング装置とプリント配線板の製造方法 | |
JPH0722724B2 (ja) | スプレー装置 | |
JP2920525B1 (ja) | 薄板材の液切り装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070207 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20070221 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20070620 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |