CN115782358A - 膜去除机构 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种在从形成有保护膜层的基板去除一部分的保护膜时，能够稳定地剥离保护膜的膜去除机构。膜去除机构具有：剥离辊(6)，一边将从带供给轮(4)向带卷绕轮(5)输送的粘合带(F)按压于保护膜的表面一边沿水平方向移动，使保护膜粘接于粘合带(F)并将保护膜剥离；水平驱动机构，使剥离辊(6)水平移动；剥离辊升降机构(8)，使剥离辊(6)上下移动；左右一对盖板(13、13)，在剥离辊(6)的下方沿着剥离辊(6)的移动路径的左右两侧相对地配置；以及盖板升降机构(14)，使左右一对盖板(13、13)上下移动。

Description

膜去除机构

技术领域

本发明涉及从在基板表面层叠有树脂膜等保护膜层的层叠基板剥离去除保护膜层的一部分的膜去除机构。本发明涉及适于如下作业的膜去除机构：为了使在例如LCD(液晶显示器)、OLED(有机EL显示器)等电子器件用基板中形成于基板周边部分的外部连接用的端子区域露出，而利用切割线(切槽)将覆盖端子区域的保护膜层局部地划分而剥离去除。

背景技术

通常，在从在基板的表面形成有保护膜层的大面积的层叠基板(母基板)切出作为产品的单位基板的工序中，利用使用了刀轮或激光的分割方法。在该情况下，如图10(a)所示，首先，利用刀轮或激光在基板W的分割预定位置刻画Y方向的切割线S1，接着刻画X方向的切割线S2。之后，沿着X方向的切割线S2进行分割，切出如图10(b)所示的长条状基板W1，接着沿着Y方向的切割线S1进行分割，切出如图10(c)所示的单位基板W2。

在LCD、OLED等这样的电子器件用的基板中，在切出的单位基板W2的周围四边中的至少一边形成有外部连接用的端子区域。在该情况下，需要在制造工序中将覆盖端子区域部分的保护膜剥离去除，而使其作为外部连接用的端子区域露出。因此，在对基板W刻画X方向的切割线时，沿着X方向加工端子区域形成用的切割线S3，在分割成长条状基板W1或单位基板W2之后，如图11所示，将由切割线S3划分的不要部分的保护膜E从基板20去除而使端子区域T露出。

作为用于将不要部分的保护膜E从基板20去除的装置，例如如专利文献1所记载的那样，已知有使用按压辊和粘合带进行剥离去除的膜去除机构(膜剥离装置)。

在该现有的装置中，形成为利用真空吸附台吸附固定基板下表面，利用辊将粘合带按压于保护膜表面上，一边剥离(剥落)保护膜一边进行卷绕。

专利文献1：日本特开2020-1875号公报。

发明内容

在上述现有的膜去除机构中，若与粘合带粘接的保护膜E的附着力不充分，而在剥离动作中粘合带容易从保护膜E脱离，则无法从基板20剥离保护膜E。因此，为了一旦与粘合带粘接之后，就使保护膜E无法简单地分离，可以利用附着力充分强的粘合带可靠地进行粘贴。另一方面，想要剥离的保护膜E的宽度因加工对象的基板的不同而有较宽的情况也有较窄的情况，因此，优选与保护膜E的宽度的宽窄无关地，在不更换为不同宽度的粘接带的情况下，能够使用一定宽度的粘接带，通过强粘接力使保护膜E附着而剥离。

另外，为了稳定地持续反复进行剥离作业，仅增强粘合带20与保护膜E的粘接力可以说还不充分，还会产生其他问题。

具体而言，在图11中，在想要通过粘合带剥离保护膜E时，若保护膜E拉起基板20的力(保护膜E与基板20的附着力)比利用真空吸附台(未图示)对基板20的下表面进行真空吸附并固定的力强，则在利用粘合带剥离保护膜E时，基板20与保护膜E一起被拉拽而悬浮，无法使保护膜E从基板20剥离，而且由于基板20被拉起而向上方弯曲，从而存在在微细的电子电路部分产生损伤的问题。

另外，如图12所示，在想要剥离的保护膜E的宽度小于被辊21按压的粘合带F的宽度的情况下，粘合带F的一部分也与载置基板20的工作台22的表面粘接而无法剥离，有时产生粘合带F缠绕、纠缠、切断等问题。

因此，在想要剥离的保护膜E的宽度尺寸存在变更的情况下，需要根据其宽度更换或调整粘合带F或辊21，需要准备宽度尺寸不同的更换件，并且进行麻烦的更换作业。

因此，本发明的目的在于提供一种当从在表面层叠有保护膜的层叠基板，利用粘合带剥离去除在基板上划分出的一部分区域的保护膜时，不易产生不良且能够稳定地去除的高可靠性的膜去除机构。

另外，本发明的目的在于，提供一种，即使变更剥离的一部分的保护膜的宽度，也能够不论其宽窄而使用相同宽度的粘合带剥离去除，并仅通过简单的调整作业就能够稳定地剥离去除的膜去除机构。

为了实现上述目的，本发明采用如下的技术的手段。即，本发明的膜去除机构，从在表面形成有保护膜层的层叠基板剥离由切割线划分出的一部分区域的保护膜，具有：剥离辊，一边将从带供给轮向带卷绕轮输送的粘合带按压于所述保护膜的表面一边沿水平方向移动，使所述保护膜粘接于所述粘合带并将所述保护膜剥离；水平驱动机构，使所述剥离辊水平移动；剥离辊升降机构，使所述剥离辊上下移动；左右一对盖板，在所述剥离辊的下方沿着所述剥离辊的移动路径的左右两侧相对地配置；以及盖板升降机构，使所述左右一对盖板上下移动。

根据本发明，在利用剥离辊进行剥离动作时，在被剥离的一部分区域的保护膜的附近，能够通过盖板按压基板本体侧，因此，能够防止在剥离保护膜的同时基板被拉拽而抬起的不良。

另外，由于被剥离的一部分区域的保护膜的左右两侧被盖板覆盖，因此，工作台面不会露出到粘合带的下方，由此，能够防止粘合带附着于工作台表面发生缠绕、纠缠、切断等的故障。

另外，在上述发明中，优选所述左右一对盖板由相对于所述粘合带的粘合面能够剥离且比所述保护膜容易剥离(剥离性良好)的材料形成。在此，作为容易剥离的材料，例如优选聚缩醛(POM)、氟树脂(PTFE，特氟隆(Teflon，注册商标))。另外，也可以对盖板进行涂装，在该情况下，优选特氟隆涂层等。

根据本发明，由于将盖板形成为比保护膜容易剥离的材料，因此，即使粘合带附着于盖板和保护膜双方，也能够利用因保护膜与盖板的剥离容易度而产生的附着力的差，容易地将粘合带从盖板剥离。

在上述发明中，也可以设置有对所述左右一对的盖板的间隔进行调整的调整机构。

由此，即使想要剥离的保护膜的宽度发生变更时，不需要更换为不同宽度的粘合带、剥离辊，仅调整左右一对盖板的间隔就能够应对。

在上述发明中，也可以在所述剥离辊的外周面形成有以宽度比该剥离辊的宽度窄的按压面来按压所述粘合带的凸状部。

由此，能够使按压力集中于宽度度的粘合带的中央部分，能够通过轻的按压力有效地粘接保护膜并使其剥离。

在该情况下，所述凸状部形成为，所述剥离辊的外周面的宽度方向中央部分呈阶梯形状或锥形状突出。

进而，所述左右一对盖板的彼此相对的顶端部分也可以由水平的底面和上部倾斜面尖锐地形成。

由此，即使在盖板接近并嵌入剥离辊的辊下表面时，也能够避免辊与盖板的接触。

附图说明

图1是本发明的一个实施例的膜去除机构的主视图。

图2是图1的膜去除机构的侧视图。

图3是图1的膜去除机构的主要部分的放大立体图。

图4是本发明的一个实施例的剥离辊的主视图。

图5是本发明的一个实施例的盖板的局部侧视图。

图6是表示基于本发明的保护膜剥离动作的模式图。

图7是表示本发明的剥离辊的动作的说明图。

图8是表示在被剥离的保护膜的宽度较小的情况下的保护膜剥离动作的说明图。

图9是表示剥离辊的变形实施例的主视图。

图10是用于说明基板的分割工序的图。

图11是去除不要部分的保护膜的一部分而使端子区域露出的工序的剖视图。

图12是用于说明想要剥离的保护膜的宽度较小时的不良的图。

附图标记说明

E想要剥离的不要部分的保护膜

F粘合带

W2单位基板

1固定框体

2移动框体

3水平引导件

4带供给轮

5带卷绕轮

6剥离辊

6a按压面

6b凸状部

7保持架

8剥离辊升降机构

9a～9f中间辊

9g张力辊

10臂部

11锤

12吸附工作台

13盖板

14盖板升降机构

具体实施方式

以下，基于实施例对本发明的膜去除机构的详细进行说明。图1是本发明的一个实施方式的膜去除机构A的主视图，图2是其侧视图，图3是其主要部分的放大立体图。

如图1和图2所示，膜去除机构A具有保持于固定框体1的移动框体2。移动框体2沿着固定框体1的水平的引导件3，通过由齿条、小齿轮、马达等构成的水平驱动机构(未图示)，能够以设定的长度在水平方向上往复移动。

在该移动框体2上安装有送出粘合带F的带供给轮4和卷绕被送出的带F的带卷绕轮5。在带供给轮4设置有制动机构(未图示)，在带卷绕轮5设置有转矩马达(未图示)，从而保持粘合带F的张力。

另外，在移动框体2上安装有用于使剥离辊6上下移动的升降机构8(剥离辊升降机构)。即，在升降机构8上经由臂部10以能够上下移动的方式固定有保持架7，在保持架7上旋转自如地保持有剥离辊6。

在保持架7下降时，剥离辊6利用水平驱动机构进行水平移动，从而一边将从带供给轮4向带卷绕轮5输送的粘合带F的中间部分的粘合面按压于想要剥离的保护膜的表面一边滚动，此时能够从基板W剥离附着于粘合带F的保护膜。

粘合带F在从带供给轮4经由剥离辊6至带卷绕轮5之间，被架设于多个中间辊9a、9b、9c、9d、9e、9f、以及张力辊9g。张力辊9g因锤11的自重始终被向下方按压而对粘合带F施加张力，由此保持粘合带F的张紧状态。此外，也可以代替锤11而利用弹簧等对张力辊9g赋予张力。而且，通过安装于中间辊9e的位置的伺服马达(驱动马达)进行输送一次剥离动作所需的长度的带的驱动。

另外，粘合带F使用在树脂膜的单面整面形成有强力的粘合层，在粘接了想要剥离的保护膜时，能够不再次剥离地进行剥离的粘合带。在本实施例中，使用宽度为15mm的粘合带。而且，在本实施例中，想要剥离的保护膜的宽度最大为15mm左右，最小为3mm左右，对于要以该范围内的宽度剥离的保护膜，通过使用全部相同的15mm宽度的粘合带F，从而粘合带F仅准备相同的一定宽度的更换品。

如图4所示，剥离辊6在外周面形成有宽度窄的凸状部6b。即，在辊外周面的宽度方向中央部分设置有突出的凸状部6b，凸状部6b的顶面形成实质上的剥离辊6的按压面6a。具体而言，剥离辊6的直径D为30mm，宽度L2为15mm，在其外周面的中央部分形成有宽度L1为3mm、高度H为3～5mm的凸状部6b，凸状部6b的顶面作为宽度为3mm的按压面6a使用。该凸状部6b的宽度与想要剥离的保护膜的宽度的范围(3～15mm)中的最小宽度3mm一致。

在本发明的膜去除机构A中，如图3的放大立体图所示，具备在剥离辊6的下方沿着该辊的移动路径两侧相对平行地配置的左右一对盖板13、13。

盖板13由长度与想要剥离的不要部分的保护膜的全长大致相同长度的长条体形成，通过安装于固定框体1的流体缸等升降机构14(盖板升降机构)，能够相对于吸附保持于工作台12上的基板上下移动。详细而言，盖板13的安装部13a与固定于升降机构14的柱塞14a的安装部件16连结，与安装部件16一起升降。

另外，设置有对左右的盖板13、13的间隔进行调整的调整机构。具体而言，在本实施例中，盖板13的安装部13a被安装成能够相对于安装部件16在调整上述间隔的方向上滑动，能够在适当的位置由螺钉17进行定位固定。此外，也可以通过使用了气缸等的调整机构使盖板13能够滑动。

左右的盖板13的彼此相对的顶端部分由水平的底面13b和上部倾斜面13c尖锐地形成。如图5所示，倾斜面13c相对于水平底面13b的倾斜角度α1通过以小于连结图4中的剥离辊6的凸状部端缘P1与辊主体周面的端缘P2的倾斜线相对于水平线的倾斜角度α2的角度形成，从而能够避免剥离辊6与盖板13的接触。

此外，盖板13由相对于粘合带F的粘合面附着力较弱且能够剥离的材料例如聚缩醛(POM)形成，通过使盖板13比保护膜更容易剥离，从而在粘合带F附着于保护膜和盖板13双方后，保护膜保持粘接的状态残留，粘合带F容易地从盖板13剥离。

接下来，对上述的膜去除机构进行的不要部分的保护膜的剥离动作进行说明。

首先，如图6(a)、图7(a)所示，使单位基板W2吸附保持于吸附工作台的固定位置上并配置在剥离辊6的下方。此时，使切割线S3的朝向与剥离辊6的行走方向一致，并且剥离辊6的按压面6a位于想要剥离的不要部分的保护膜E的宽度方向中央部分(或者更接近切割线S3的一侧)。粘合带F与剥离辊6的相对值也可以根据状況而适当变更。另外，左右的盖板13以比保护膜E的宽度稍大的间隔配置。此外，在图6(a)中，保护膜E处于右侧。

然后，如图6(b)和图7(b)所示，使剥离辊6以及盖板13朝向基板W2下降，并附着于保护膜E的行走开始侧的一端，一边将粘合带F向剥离辊6供给，一边如图7(c)所示地使其在保护膜E上水平行走至保护膜E的行走结束侧的另一端。由此，如图6(c)和图7(d)所示，能够利用粘合带F将保护膜E剥离并卷绕于带卷绕轮5。

在利用该剥离辊6继续拧剥离动作时，由于基板W2的本体侧在被剥离的保护膜E的附近被左侧的盖板13按压，因此，在剥离保护膜E的同时基板W2不会被拉拽而抬起。另外，由于盖板13形成为与应剥离的保护膜E的全长大致相同的长度，因此，在剥离保护膜E的期间，能够持续按压基板W2，由此，能够可靠地防止基板W2与保护膜E一起被拉拽而悬浮。

另外，由于剥离辊6的按压面6a形成为3mm的窄宽度，因此，能够使按压力集中于宽度宽的粘合带F(本实施例中使用15mm的粘合带)的中央部分，由此，能够通过轻的按压力有效地使保护膜E附着并将其剥离。

进而，在本发明中，即使在要剥离的不要部分的保护膜E的宽度尺寸发生变更的情况下，也不需要更换粘合带F、剥离辊6，仅通过对左右一对盖板13的间隔进行调整就能够应对。

图8表示将想要剥离的保护膜E的宽度设为前述的保护膜的约一半的宽度的情况。在该情况下，在根据保护膜E的宽度对左右的盖板13的间隔进行调整后，使剥离辊6行走而剥离保护膜E。此时，如图8(b)所示，左右的盖板13的顶端接近并嵌入到剥离辊6的下表面区域，但剥离辊6的按压面6a形成为3mm的窄宽度，而且盖板13的顶端部分由上表面倾斜面尖锐地形成，因此，能够避免在按压面6a对保护膜E的按压时与按压面接触。即，如图4所示，倾斜面13c相对于水平底面13b的倾斜角度α1以小于连结剥离辊6的凸状部端缘P1与辊主体端缘P2的倾斜线相对于水平线的倾斜角度α2的角度形成，因此，即使在嵌入辊下表面时，也能够使辊主体端缘P2不与盖板13的倾斜面接触。

另外，由于右侧的盖板13遮盖吸附工作台12的上表面，因此，粘合带F的从保护膜E向右侧伸出的部分不会附着于工作台12上表面。粘合带F的从保护膜E伸出的部分与左右的盖板13的上表面接触，但由于盖板13由相对于粘合带F容易剥离的材料形成，因此能够在使剥离辊6上升时容易地分离。

以上，对本发明的实施例进行了说明，但本发明未必一定限定于上述的实施方式，为了实现其目的，在不脱离技术方案的范围内能够进行适当地修改、变更。

例如，也可以在剥离辊6的保持架7上设置使光透过保护膜剥离后的粘合带F来检测可否剥离的检测器、检测带的厚度的位移的检测器，在无法剥离的情况下，以再次重复进行剥离动作的方式进行控制。由此，能够减少由剥离作业的失败引起的不良品的产生。

另外，也可以将用于通知带余量少的余量检测传感器(例如光学传感器)设置于带供给轮4或者带卷绕轮5来通知更换带的定时。

另外，使按压面6a的宽度变窄的剥离辊6的形态并不限定于实施例所示的形状。例如，如图9所示，也可以将辊主体外周面形成为平滑的山状(锥状)而将变窄的顶部形成为按压面6a。

另外，本发明不限于电子器件基板，只要是在表面形成有树脂膜等保护膜层的基板即可，即使是装饰用途的基板，也能够在去除其一部分时使用等。

工业实用性

本发明能够用于从在基板的表面层叠有保护膜的层叠基板剥离保护膜的一部分的膜剥离机构。

Claims (8)

1.一种膜去除机构，从在表面形成有保护膜层的层叠基板剥离由切割线划分出的一部分区域的保护膜，其特征在于，

具有：

剥离辊，一边将从带供给轮向带卷绕轮输送的粘合带按压于所述保护膜的表面一边沿水平方向移动，使所述保护膜粘接于所述粘合带并将所述保护膜剥离；

水平驱动机构，使所述剥离辊水平移动；

剥离辊升降机构，使所述剥离辊上下移动；

左右一对盖板，在所述剥离辊的下方沿着所述剥离辊的移动路径的左右两侧相对地配置；以及

盖板升降机构，使所述左右一对盖板上下移动。

2.根据权利要求1所述的膜去除机构，其特征在于，

所述左右一对盖板由相对于所述粘合带的粘合面能够剥离且比所述保护膜容易剥离的材料形成。

3.根据权利要求1所述的膜去除机构，其特征在于，

设置有对所述左右一对盖板的间隔进行调整的调整机构。

4.根据权利要求2所述的膜去除机构，其特征在于，

设置有对所述左右一对盖板的间隔进行调整的调整机构。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的膜去除机构，其特征在于，

在所述剥离辊的外周面形成有以宽度比该剥离辊的宽度窄的按压面来按压所述粘合带的凸状部。

6.根据权利要求5所述的膜去除机构，其特征在于，

所述凸状部形成为，通过阶梯形状或锥形状使所述剥离辊的外周面的宽度方向中央部分突出。

7.根据权利要求5所述的膜去除机构，其特征在于，

所述左右一对盖板的彼此相对的顶端部分由水平的底面和上部倾斜面尖锐地形成。

8.根据权利要求6所述的膜去除机构，其特征在于，

所述左右一对盖板的彼此相对的顶端部分由水平的底面和上部倾斜面尖锐地形成。

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