CN115669249A - 基板制造系统、自主行驶台车及基板制造方法 - Google Patents

Abstract

该基板制造系统具备：自主行驶台车(31)，输送在安装线(10)的基板作业装置(15)中使用的物品；机械臂(40)，设置于自主行驶台车，将在基板作业装置中使用的物品相对于基板作业装置进行输送；及控制部(32)，设置于自主行驶台车，控制机械臂的驱动。控制部构成为，控制机械臂的驱动，以在基板作业装置内的作业部(154a)的俯视下的可动范围内，搬入和搬出在基板作业装置中使用的物品。

Description

基板制造系统、自主行驶台车及基板制造方法

技术领域

本发明涉及基板制造系统、自主行驶台车及基板制造方法。

背景技术

以往，已知有基板制造系统。基板制造系统例如在日本特开2017-216379号公报中被公开。

在上述日本特开2017-216379号公报中，公开了一种基板制造系统，具备：元件安装装置，向基板安装元件；及自行式元件补给装置，将要在元件安装装置中安装的元件相对于元件安装装置进行补给。在该日本特开2017-216379号公报的基板制造系统中，自行式元件补给装置构成为，相对于配置于元件安装装置并供给由带保持的元件的带式送料器供给卷绕有保持着元件的带的卷轴。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-216379号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在上述日本特开2017-216379号公报的基板制造装置中，由于利用自行式元件供给装置向配置于元件安装装置的带式送料器供给卷绕有保持着元件的带的卷轴，所以作业者不需要进行向元件安装装置补给元件的作业。但是，对于在元件安装装置内和其他基板作业装置的装置内使用的物品(例如，吸嘴、支承销等)，由于需要由作业者进行补给，所以存在难以减轻作业者的作业负担的问题。

本发明是为了解决如上所述的课题而提出的，本发明的一个目的在于提供一种基板制造系统、自主行驶台车及基板制造方法，能够减轻将在基板作业装置内使用的物品相对于基板作业装置进行搬入和搬出时的作业者的作业负担。

用于解决课题的技术方案

为了实现上述目的，本发明的第一方面的基板制造系统具备：安装线，包括多个基板作业装置，该基板作业装置包括向基板安装元件的元件安装装置；自主行驶台车，输送在安装线的基板作业装置中使用的物品；机械臂，设置于自主行驶台车，将在基板作业装置中使用的物品相对于基板作业装置进行输送；及控制部，设置于自主行驶台车或机械臂，控制机械臂的驱动，基板作业装置包括对基板进行作业的作业部，控制部构成为，控制机械臂的驱动，以在基板作业装置内的作业部的俯视下的可动范围内，搬入和搬出在基板作业装置中使用的物品。

在本发明的第一方面的基板制造系统中，如上所述，将控制部构成为，控制机械臂的驱动，以在基板作业装置内的作业部的俯视下的可动范围内，搬入和搬出在基板作业装置中使用的物品。由此，能够利用机械臂搬入和搬出在基板作业装置内使用的物品(例如，吸嘴、支承销、废弃箱、校正夹具等)，因此，作业者不需要进行相对于基板作业装置搬入和搬出物品的作业。其结果是，能够减轻将在基板作业装置内使用的物品相对于基板作业装置进行搬入和搬出时的作业者的作业负担。另外，与由作业者向基板作业装置内搬入和搬出物品的情况不同，不需要完全停止基板作业装置的动作。由此，能够抑制由基板作业装置进行的基板制造的效率(生产率)降低的情况。另外，在基板作业装置中，在需要的情况下，能够利用机械臂搬入和搬出物品，因此，在需要的情况下准备在基板作业装置内使用的物品，不需要在基板作业装置内设置用于保管物品的保管空间。由此，能够实现基板作业装置的小型化。

在上述第一方面的基板制造系统中，优选地，控制部构成为，控制机械臂的驱动，以在基板作业装置内相对于作业部交接在基板作业装置中使用的物品。如果这样构成，则能够使用对基板进行作业的作业部从机械臂交接物品，因此不需要设置用于从机械臂交接物品的专用的构件。由此，能够抑制基板作业装置的元件数量增加的情况，并且能够抑制装置结构复杂化的情况。

在该情况下，优选地，基板作业装置构成为，识别被搬入到作业部的可动范围的物品，并基于识别结果利用作业部从机械臂接收物品。如果这样构成，则能够高精度地识别所搬入的物品的位置，由此能够利用作业部可靠地接收所搬入的物品。

在上述基于所搬入的物品的识别结果利用作业部从机械臂接收物品的结构的基板制造系统中，优选地，基板作业装置构成为，识别被搬入到作业部的可动范围的物品的种类。如果这样构成，则能够根据所搬入的物品的种类，通过更适于作业部的方法来接收物品。

在上述基于所搬入的物品的识别结果利用作业部从机械臂接收物品的结构的基板制造系统中，优选地，基板作业装置包括识别作为作业对象的基板的照相机，并构成为利用照相机对搬入到作业部的可动范围的物品进行拍摄，并基于拍摄结果来识别物品。如果这样构成，则能够使用识别基板的照相机来拍摄并识别所搬入的物品，因此不需要设置用于识别所搬入的物品的专用的构件。由此，能够抑制基板作业装置的元件数量增加的情况，并且能够抑制装置结构复杂化的情况。

在上述相对于作业部交接在基板作业装置中使用的物品的结构的基板制造系统中，优选地，控制部构成为，控制机械臂的驱动，以相对于元件安装装置的作为作业部的安装头交接在元件安装装置中使用的物品。如果这样构成，则由于能够利用机械臂将在元件安装装置中使用的物品交接给元件安装装置的安装头，因此能够减轻将在元件安装装置中使用的物品相对于元件安装装置进行搬入和搬出时的作业者的作业负担。

在上述第一方面的基板制造系统中，优选地，基板制造系统还具备能够与自主行驶台车和多个基板作业装置进行通信的服务器，服务器构成为，从基板作业装置接收所需的物品的信息，并相对于对应的自主行驶台车发送向基板作业装置输送物品的指示。如果这样构成，则能够利用服务器一并进行向多个基板作业装置输送的物品的管理，因此能够高效地进行物品向多个基板作业装置的输送。

在上述第一方面的基板制造系统中，优选地，控制部构成为，识别向基板作业装置插入机械臂的开口的位置，使自主行驶台车移动至开口的位置。如果这样构成，则能够容易地向基板作业装置的开口插入机械臂，由此能够利用机械臂容易地相对于基板作业装置搬入和搬出物品。

在上述第一方面的基板制造系统中，优选地，控制部构成为，控制机械臂的驱动，以将在基板作业装置中使用的物品输送到由基板作业装置指示的位置或基板作业装置的预先设定的位置。如果这样构成，则由于能够利用机械臂将在基板作业装置中使用的物品输送到规定的位置，所以能够通过基板作业装置的规定的动作容易地交接被输送的物品。

在上述第一方面的基板制造系统中，优选地，基板作业装置构成为，在插入机械臂时，使作业部退避从而不与机械臂发生干涉。如果这样构成，则在利用机械臂输送物品的过程中，能够抑制机械臂与基板作业装置的作业部发生干涉的情况，因此能够抑制物品从机械臂落下的情况。

在上述第一方面的基板制造系统中，优选地，在基板作业装置中使用的物品包括支承基板的支承销、吸附元件的吸嘴、废弃元件的废弃箱、及基板作业装置的校正所使用的校正夹具中的至少一个。如果这样构成，则能够减轻向基板作业装置输送支承销、吸嘴、废弃箱、校正夹具时的作业者的作业负担。

本发明第二方面的自主行驶台车具备：自主行驶台车主体，输送在包括多个基板作业装置的安装线的基板作业装置中使用的物品，所述基板作业装置包括向基板安装元件的元件安装装置；机械臂，设置于自主行驶台车，将在基板作业装置中使用的物品相对于基板作业装置进行输送；及控制部，设置于自主行驶台车或机械臂，控制机械臂的驱动，控制部构成为，控制机械臂的驱动，以在基板作业装置内的对基板进行作业的作业部的俯视下的可动范围内，搬入和搬出在基板作业装置中使用的物品。

在本发明的第二方面的自主行驶台车中，如上所述，将控制部构成为，控制机械臂的驱动，以在基板作业装置内的作业部的俯视下的可动范围内，搬入和搬出在基板作业装置中使用的物品。由此，能够利用机械臂搬入和搬出在基板作业装置内使用的物品，因此作业者不需要进行相对于基板作业装置搬入和搬出物品的作业。其结果是，能够提供一种可减轻将在基板作业装置内使用的物品相对于基板作业装置进行搬入和搬出时的作业者的作业负担的自主行驶台车。另外，与由作业者向基板作业装置内搬入和搬出物品的情况不同，不需要完全停止基板作业装置的动作。由此，能够抑制由基板作业装置进行的基板制造的效率(生产率)降低的情况。另外，在基板作业装置中，在需要的情况下，能够利用机械臂搬入和搬出物品，因此，在需要的情况下准备在基板作业装置内使用的物品，不需要在基板作业装置内设置用于保管物品的保管空间。由此，能够实现基板作业装置的小型化。

本发明的第三方面的基板制造方法是包括多个基板作业装置的安装线中的基板制造方法，所述基板作业装置包括向基板安装元件的元件安装装置，其中，所述基板制造方法包括如下步骤：利用自主行驶台车来输送在安装线的基板作业装置中使用的物品；及使机械臂驱动，以在基板作业装置内的对基板进行作业的作业部的俯视下的可动范围内，搬入和搬出在基板作业装置中使用的物品。

在本发明的第三方面的基板制造方法中，如上所述，构成为使机械臂驱动，以在基板作业装置内的对基板进行作业的作业部的俯视下的可动范围内，搬入和搬出在基板作业装置中使用的物品。由此，能够利用机械臂搬入和搬出在基板作业装置内使用的物品，因此作业者不需要进行相对于基板作业装置搬入和搬出物品的作业。其结果是，能够提供一种可减轻将在基板作业装置内使用的物品相对于基板作业装置进行搬入和搬出时的作业者的作业负担的基板制造方法。另外，与由作业者向基板作业装置内搬入和搬出物品的情况不同，不需要完全停止基板作业装置的动作。由此，能够抑制由基板作业装置进行的基板制造的效率(生产率)降低的情况。另外，在基板作业装置中，在需要的情况下，能够利用机械臂搬入和搬出物品，因此，在需要的情况下准备在基板作业装置内使用的物品，不需要在基板作业装置内设置用于保管物品的保管空间。由此，能够实现基板作业装置的小型化。

发明效果

根据本发明，如上所述，能够减轻将在基板作业装置内使用的物品相对于基板作业装置进行搬入和搬出时的作业者的作业负担。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的基板制造系统的概略的框图。

图2是表示本发明的实施方式的自主行驶台车的概略的框图。

图3是表示本发明的实施方式的自主行驶台车的立体图。

图4是表示本发明的实施方式的元件安装装置的结构的俯视图。

图5是表示本发明的实施方式的元件安装装置的结构的主视图。

图6是表示本发明的实施方式的机械臂的立体图。

图7是表示本发明的实施方式的元件安装装置的搬入口的主视图。

图8是表示由本发明的实施方式的机械臂输送的工具的俯视图。

图9是表示由本发明的实施方式的服务器管理的自主行驶台车的信息的一例的图。

图10是表示由本发明的实施方式的服务器管理的自主行驶台车的工具箱的信息的一例的图。

图11是表示由本发明的实施方式的服务器管理的元件安装装置的生产计划的信息的一例的图。

图12是表示由本发明的实施方式的服务器管理的元件安装装置的位置信息的一例的图。

图13是表示本发明的实施方式的机械臂的手部保持部的立体图。

图14是用于说明本发明的实施方式的机械臂对吸嘴储料器的保持的图。

图15是用于说明本发明的实施方式的机械臂对支承销储料器的保持的图。

图16是表示本发明的实施方式的机械臂的移动被限制的状态的侧视图。

图17是用于说明本发明的实施方式的自主行驶台车向元件安装装置的连结的立体图。

图18是用于说明本发明的实施方式的自主行驶台车向元件安装装置的连结的俯视图。

图19是用于说明本发明的实施方式的机械臂向元件安装装置的搬入口的插入的侧视图。

图20是用于说明本发明的实施方式的机械臂向元件安装装置的因卸下元件供给台车而产生的开口的插入的侧视图。

图21是表示本发明的实施方式的元件安装装置的废弃箱的主视图。

图22是用于说明本发明的实施方式的元件安装装置的校正夹具的设置的主视图。

图23是用于说明本发明的实施方式的工具供给处理的第一流程图。

图24是用于说明本发明的实施方式的工具供给处理的第二流程图。

具体实施方式

以下，基于附图对将本发明具体化的实施方式进行说明。

(基板制造系统的结构)

参照图1，对本发明的实施方式的基板制造系统100的结构进行说明。

本实施方式的基板制造系统100构成为，向基板S安装元件E来制造安装有元件E的基板S。如图1所示，基板制造系统100具备安装线10、服务器20和多个自主行驶台车30。

安装线10设置有多个。另外，安装线10包括装载机11、印刷机12、印刷检查机13、分配器装置14、多个元件安装装置15、外观检查装置16、回流焊装置17、外观检查装置18、卸载机19。另外，安装线10构成为沿着制造线从上游侧(左侧)朝向下游侧(右侧)输送基板S。另外，装载机11、印刷机12、印刷检查机13、分配器装置14、元件安装装置15、外观检查装置16、回流焊装置17、外观检查装置18、卸载机19是要求保护的范围的“基板作业装置”的一例。

(安装线的结构)

接着，对构成安装线10的各装置的结构进行说明。

装载机11具有保持安装元件E之前的基板S(配线基板)并且向安装线10搬入基板的作用。另外，元件包括LSI、IC、晶体管、电容器及电阻器等小片状的电子元件。

印刷机12是丝网印刷机，具有将膏状焊料涂布在基板的安装面上的功能。

印刷检查机13具有对由印刷机12印刷的膏状焊料的状态进行检查的功能。

分配器装置14具有向基板S涂布膏状焊料或粘接剂等的功能。

元件安装装置15具有在印刷有膏状焊料的基板规定的安装位置安装(搭载)元件E的功能。另外，元件安装装置15沿着基板输送方向配置有多个。

外观检查装置16设置于多个元件安装装置15的下游。外观检查装置16具有对通过元件安装装置15而安装有元件E的基板S的外观进行检查的功能。

回流焊装置17具有通过进行加热处理使焊料熔融而将元件E接合于基板S的电极部的功能。回流焊装置17构成为一边输送通道上的基板一边进行加热处理。

外观检查装置18设置于回流焊装置17的下游。外观检查装置18具有对由回流焊装置17进行加热处理后的基板的外观进行检查的功能。

卸载机19具有将安装了元件E后的基板S从安装线10排出的作用。

在多个安装线10之间设置有供作业者或自主行驶台车30通行或进行作业的通路。

服务器20对与安装线10相关的信息进行管理。服务器20对要由安装线10制造的基板的种类、张数、要安装的元件E的种类、元件E的库存量、与安装相关的数据进行管理。服务器20构成为能够与安装线10的各装置(装载机11、印刷机12、印刷检查机13、分配器装置14、元件安装装置15、外观检查装置16、回流焊装置17、外观检查装置18、卸载机19)进行通信。另外，服务器20构成为能够与自主行驶台车30进行通信。即，服务器20构成为对自主行驶台车30发送指令。另外，服务器20构成为从自主行驶台车30接收影像等信息。服务器20由具有CPU等控制部、存储部、通信部的计算机构成。

(自主行驶台车的结构)

参照图2～图3，对本发明的实施方式的自主行驶台车30的结构进行说明。

自主行驶台车30构成为，进行自主行驶来输送在安装线10的各装置(装载机11、印刷机12、印刷检查机13、分配器装置14、多个元件安装装置15、外观检查装置16、回流焊装置17、外观检查装置18、卸载机19)中使用的物品。具体而言，自主行驶台车30构成为，输送并补给要由元件安装装置15安装的元件E。自主行驶台车30输送用于安装元件E的吸嘴62a、支承销61a等在安装线10的设备中使用的工具60。另外，自主行驶台车30能够牵引并输送要安装于元件安装装置15的元件供给台车153b。在元件供给台车153b能够保持多个元件供给装置(带式送料器153a)。

如图2所示，自主行驶台车30包括自主行驶台车主体31和机械臂40。自主行驶台车主体31包括控制部32、照相机33、电动机34、电池35、通信部36和移动限制部37。机械臂40包括上下移动部41、水平移动部42、水平转动部43和手部保持部44。另外，自主行驶台车主体31是要求保护的范围的“自主行驶台车”的一例。

控制部32设置于自主行驶台车主体31。另外，控制部32构成为控制自主行驶台车30的各部。控制部32包括CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)和存储器。控制部32控制电动机34来控制自主行驶台车主体31的自主行驶。控制部32基于所存储或取得的位置信息，控制自主行驶台车主体31朝向目的地自行行驶。例如，控制部32基于配置于地板面的带来取得位置信息。或者，控制部32基于安装线10的配置数据来取得并存储位置信息。或者，控制部32基于从行驶区域的特定的位置接收的信号来取得位置信息。

另外，控制部32构成为对机械臂40的驱动进行控制。

照相机33构成为对自主行驶台车30的周围的状态进行拍摄。另外，照相机33设置于自主行驶台车主体31和机械臂40中的至少一方。照相机33用于检测作为输送物品的目的地的元件安装装置15的位置、作为输送物品的目的地的元件安装装置15的开口的位置。即，利用照相机33对开口的周边进行拍摄，并基于拍摄结果，由控制部32检测开口的位置。另外，照相机33为了得到自主行驶台车主体31的自主行驶所需的信息而进行拍摄。

电动机34使用于使自主行驶台车主体31进行自主行驶的车轮驱动。电动机34构成为，使车轮驱动而使自主行驶台车主体31前进、后退、旋转。

电池35构成为，向自主行驶台车30的各部供给电力。电池35包括能够充电的电池。自主行驶台车主体31利用电池35的电力进行自主行驶。另外，机械臂40利用电池35的电力进行驱动。在电池35的电力变少的情况下，自主行驶台车主体31进行自主行驶来前往充电站，使蓄电池35被充电。

移动限制部37构成为，将机械臂40相对于自主行驶台车主体31固定，使得在自主行驶台车主体31行驶时，机械臂40不移动。

如图3所示，自主行驶台车30设有载置部50，该载置部50载置在元件安装装置15中使用的多种物品。载置部50包括：支承销载置部51，载置配置有多个对基板S进行支承的支承销61a的支承销储料器61；吸嘴载置部52，载置配置有多个对元件E进行吸附的吸嘴62a的吸嘴储料器62；及废弃物载置部53，收容废弃箱63内的废弃物。

如图4和图5所示，元件安装装置15具有在印刷有膏状焊料的基板S的规定的安装位置安装(搭载)元件E的功能。元件安装装置15具备基台151、一对输送机152、元件供给部153、头单元154、支承部155、一对轨道部156、元件识别拍摄部157和控制部158。另外，如图5所示，元件安装装置15具备框体15a和设置于框体15a的搬入口15b。

一对输送机152设置在基台151上，并构成为在X方向上输送基板S。另外，一对输送机152构成为，将输送中的基板S以在安装作业位置处停止的状态进行保持。另外，一对输送机152构成为能够按照基板S的尺寸来调整Y方向的间隔。

元件供给部153配置于一对输送机152的外侧(Y1侧及Y2侧)。另外，在元件供给部153配置有由元件供给台车153b(参照图20)保持的多个带式送料器153a。

带式送料器153a保持着卷绕有带的卷轴，该带将多个元件E隔开规定间隔地保持。带式送料器153a构成为，通过使卷轴旋转而送出保持元件E的带，由此从带式送料器153a的前端供给元件E。

头单元154设置成在一对输送机152的上方与元件供给部153的上方之间移动。另外，头单元154包括在下端安装有吸嘴的多个(5个)安装头154a、基板识别拍摄部154b。另外，安装头154a是要求保护的范围的“作业部”的一例。另外，基板识别拍摄部154b是权利要求书的“照相机”的一例。

安装头154a构成为对基板进行作业。安装头154a构成为对基板S安装元件E。具体而言，安装头154a以能够升降的方式(能够在Z方向上移动的方式)构成，并且构成为，利用由空气压力产生部在吸嘴62a的前端部所产生的负压来吸附并保持从带式送料器153a供给的元件E，并在基板S的安装位置装上(安装)元件E。

基板识别拍摄部154b构成为，对作为作业对象的基板S的基准标记F进行拍摄以识别基板S的位置及姿态。并且，通过拍摄并识别基准标记F的位置，能够准确地取得基板S中的元件31的安装位置。基板识别拍摄部154b构成为从上方(Z1方向侧)对基板S进行拍摄。另外，基板识别拍摄部154b构成为，在安装头154a的可动范围对由机械臂40搬入的物品进行拍摄。

支承部155包括X轴电动机155a。支承部155构成为，通过使X轴电动机155a驱动而使头单元154沿着支承部155在X方向上移动。支承部155的两端部由一对轨道部156支承。

一对轨道部156被固定在基台151上。X1侧的轨道部156包括Y轴电动机156a。轨道部156构成为，通过使Y轴电动机156a驱动而使支承部155沿着一对轨道部156在与X方向正交的Y方向上移动。头单元154能够沿着支承部155在X方向上移动，并且支承部155能够沿着轨道部156在Y方向上移动，由此头单元154能够在XY方向上移动。

元件识别拍摄部157被固定在基台151的上表面上。元件识别拍摄部157配置于一对输送机152的外侧(Y1侧及Y2侧)。元件识别拍摄部157构成为，从下方(Z2方向侧)对吸附到安装头154a的吸嘴的元件E进行拍摄，以在元件E的安装之前识别元件E的吸附状态(吸附姿势)。由此，能够取得被吸附到安装头154a的吸嘴的元件E的吸附状态。

在基台151的上表面上配置有废弃箱63。废弃箱63以能够由机械臂40输送的方式载置在基台151上。

控制部158包括CPU，并构成为控制由一对输送机152进行的基板S的输送动作、由头单元154进行的安装动作、由元件识别拍摄部157和基板识别拍摄部154b进行的拍摄动作等元件安装装置15的整体的动作。另外，控制部158构成为能够与服务器20进行通信。控制部158构成为与服务器20收发生产信息和元件信息等信息。

框体15a设置成覆盖元件安装装置15。搬入口15b包括通至元件安装装置15的内部的开口。搬入口15b构成为供机械臂40插入。在未插入机械臂40的情况下，搬入口15b被罩15d(参照图19)覆盖。另外，在插入机械臂40的情况下，罩15d移动而使搬入口15b开放。

如图3所示，机械臂40设置于自主行驶台车主体31。另外，机械臂40构成为将在元件安装装置15中使用的物品相对于元件安装装置15进行输送。如图6所示，机械臂40包括：上下移动部41，具有在上下方向上转动的转动轴；水平移动部42，与上下移动部41连接，并沿着水平方向伸缩；水平转动部43，与水平移动部42连接，并在水平方向上转动；及手部保持部44，与水平转动部43连接，在前端能够装卸不同种类的手部45。上下移动部41具有基台41a、臂41b和臂41c。水平移动部42具有滑动件42a和滑动件42b。水平转动部43包括臂43a和连接部43b。

上下移动部41的基台41a固定于自主行驶台车主体31。臂41b设置成能够相对于基座41a以转动轴线A1为中心转动。臂41c设置成能够相对于臂41b以转动轴线A2为中心转动。

水平移动部42的滑动件42a设置成能够相对于上下移动部41的臂41c在B1方向(臂41b和41c不转动的情况下的水平方向)上滑动移动。滑动件42b设置成能够相对于滑动件42a在B2方向(臂41b和41c不转动的情况下的水平方向)上滑动移动。

水平转动部43的臂43a设置成能够相对于水平移动部42的滑动件42b以转动轴线C1为中心转动。连接部43b设置成能够相对于臂43a以转动轴线C2为中心转动。

手部保持部44设置成能够相对于水平转动部43的连接部43b以转动轴线D1为中心转动。手部保持部44构成为在前端以能够装卸的方式保持手部45(参照图3)。另外，如图15所示，手部保持部44构成为以能够装卸的方式保持支承销储料器61。另外，如图20所示，手部保持部44构成为能够与元件供给台车153b连结。

如图7所示，在搬入口15b设置有多个标记15c。标记15c是为了由自主行驶台车30的照相机33拍摄并识别而设置的。自主行驶台车30的控制部32基于照相机33对标记15c的拍摄结果来取得搬入口15b的位置。具体而言，控制部32从服务器20取得存在对要输送的工具60(支承销61a、吸嘴62a、废弃箱63)的请求的元件安装装置15的信息。要取得的信息包含元件安装装置15所请求的工具60的种类、元件安装装置15的平面位置信息、元件安装装置15的搬入口15b的立体位置信息。控制部32基于元件安装装置15的平面位置信息，使自主行驶台车主体31移动。控制部32在使自主行驶台车主体31移动至作为目标的元件安装装置15的前方之后，利用照相机33对搬入口15b的周边进行拍摄。控制部32根据拍摄结果来识别设置于搬入口15b的标记15c，取得搬入口15b的位置。

如图8所示，在利用机械臂40搬入到元件安装装置15的工具60设置有多个标记60a。标记60a是为了由元件安装装置15的基板识别拍摄部154b拍摄并识别而设置的。元件安装装置15的控制部158基于基板识别拍摄部154b对标记60a的拍摄结果来取得所搬入的工具60的位置。即，控制部158构成为，利用基板识别拍摄部154b对搬入到安装头154a的可动范围内的物品进行拍摄，并基于拍摄结果来识别物品。具体而言，控制部158在接收到机械臂40的定位完成通知的情况下，根据与通知一起发送来的工具确认位置信息或事先定义的工具确认位置信息，使基板识别拍摄部154b移动到对应的位置。然后，控制部158利用基板识别拍摄部154b对工具60的标记60a进行拍摄而取得工具60的位置。

另外，控制部158构成为，识别搬入到安装头154a的可动范围的物品，并基于识别结果利用安装头154a从机械臂40接收物品。另外，控制部158构成为，识别搬入到安装头154a的可动范围的物品的种类。

在由元件安装装置15请求了工具60的情况下，服务器20使用图9～图12所示的信息，进行利用自主行驶台车30将工具60相对于元件安装装置15进行输送的处理。

如图9所示，服务器20管理自主行驶台车30(AGV)的序列号、自主行驶台车30(AGV)的名称、自主行驶台车30(AGV)的IP地址、对应的服务器20的IP地址、载置于载置部50(工具箱)的工具60的信息和自主行驶台车30(AGV)的当前位置信息。另外，服务器20管理自主行驶台车30(AGV)的工具保持信息(种类、高度、配置信息)。

另外，如图10所示，服务器20管理与载置于载置部50(工具箱)的工具60的工具箱编号对应的工具60的信息。工具60的信息包含工具60的多个标记60a的位置信息、吸嘴62a的类型信息、支承销61a的类型信息。

另外，如图11所示，服务器20管理生产计划信息。生产计划信息包含机型名、生产线编号、生产开始预定时刻、生产结束预定时刻、生产张数。服务器20构成为，基于生产计划，预测需要工具60的输送的装置，进行预先确保自主行驶台车30的管理，以便能够使自主行驶台车30驱向装置。

另外，如图12所示，服务器20管理多个元件安装装置15的位置信息。元件安装装置15的位置信息包含生产线信息、元件安装装置信息(安装装置名)、装置位置信息、元件安装装置15的搬入口15b的位置信息。

如图13所示，机械臂40的手部保持部44具有多个爪44a。多个爪44a构成为通过向内侧移动来固定手部45。爪44a构成为通过控制部32的控制而被电动驱动。

如图14所示，机械臂40保持并输送设置于自主行驶台车30的吸嘴载置部52的吸嘴储料器62。如图14(A)所示，机械臂40使手部45移动到要输送的吸嘴储料器62的侧方。然后，如图14(B)所示，手部45进行转动以使手部45的一对把持部451沿着上下方向排列。即，手部45进行转动以使伸缩部452的前端的凸部向水平方向突出。另外，手部45构成为能够相对于手部保持部44旋转。另外，手部45构成为能够开闭一对把持部451。另外，手部45构成为能够使伸缩部452伸缩。手部45构成为，在被机械臂40的手部保持部44保持的情况下，与端子连接，被从机械臂40供电。另外，手部45构成为利用从机械臂40供给的电力进行驱动。

如图14(C)所示，手部45使伸缩部452伸长。然后，如图14(D)所示，手部45进行转动以使手部45的一对把持部451沿着水平方向排列。即，手部45进行转动以使伸缩部452的前端的凸部向上方向突出。由此，伸缩部452的前端的凸部钩挂于要输送的吸嘴储料器62。如图14(E)所示，手部45使伸缩部452收缩。由此，吸嘴储料器62被拉向一对把持部451侧。其结果是，吸嘴储料器62被保持于手部45。另外，在将吸嘴储料器62保持于手部45的状态下，能够利用伸缩部452来操作吸嘴储料器62的切换部。由此，能够将由机械臂45保持的吸嘴储料器62切换为保持吸嘴62a的状态和将吸嘴62a的保持解除的状态。

如图15所示，机械臂40保持并输送设置于自主行驶台车30的支承销载置部51的支承销储料器61。机械臂40在卸下了手部45的状态下，从下方把持要输送的支承销储料器61。具体而言，机械臂40利用手部保持部44来保持支承销储料器61。另外，在支承销储料器61的下方设置有具有与手部45相同的形状的被把持部。

如图16所示，自主行驶台车30的移动限制部37构成为，将机械臂40相对于自主行驶台车主体31固定，使得在自主行驶台车主体31行驶时，机械臂40不移动。具体而言，通过使棒状的移动限制构件从自主行驶台车主体31向上方伸长，并使移动限制构件穿过设置于机械臂40的各部的贯通孔，由此将机械臂40相对于自主行驶台车主体31固定。

如图17和图18所示，自主行驶台车主体31相对于元件安装装置15连结。在此，元件安装装置15在与安装线10平行地延伸的通路侧具备连结并固定自主行驶台车主体31的连结部70。并且，机械臂40构成为，在自主行驶台车主体31与元件安装装置15的连结部70连结的状态下，将在元件安装装置15中使用的物品输送到元件安装装置15的内部。

另外，自主行驶台车主体31具有：一对辊38a，能够绕沿着上下方向的旋转轴线旋转；及多个辊38b，能够绕沿着水平方向的旋转轴线旋转。辊38a在自主行驶台车主体31的左右各设有一个。辊38b在自主行驶台车主体31的左右各设有两个。左右各一对辊38b以夹着辊38a的方式在上下方向隔开间隔地配置。

连结部70具有沿着水平方向配置的一对夹紧部71。一对夹紧部71分别具有锥部71a和锥部71b。如图18所示，在俯视下，锥部71a形成为随着朝向元件安装装置15而间隔变窄。由此，自主行驶台车主体31沿着锥部71a被引导到一对夹紧部71之间。另外，此时，自主行驶台车主体31的辊38a在与夹紧部71抵接的情况下旋转。如图17所示，锥部71b相对于一对夹紧部71的每一个，上下配置有一对。锥部71b形成为随着朝向元件安装装置15而间隔扩宽。由此，自主行驶台车主体31被引导成越上夹紧部71。另外，此时，自主行驶台车主体31的辊38b在与夹紧部71抵接的情况下旋转。连结部70的夹紧部71在自主行驶台车主体31配置于其间时，通过缩小间隔来夹紧并固定自主行驶台车主体31。

如图19所示，机械臂40构成为，将在元件安装装置15中使用的物品经由元件安装装置15的开口输送到元件安装装置15的内部。具体而言，机械臂40构成为，从元件安装装置15的搬入口15b搬入和搬出由元件安装装置15使用的工具60。另外，元件安装装置15的开口(搬入口15b)设置成使机械臂40从元件安装装置15的前方朝向输送元件安装装置15的基板S的输送机152(基板输送部)插入。另外，如图5所示，元件安装装置15的开口(搬入口15b)设置于基板S的输送方向(X方向)上的一侧的端部附近。机械臂40构成为，将工具60从搬入口15b输送到与基板S的高度位置大致相同的高度位置。

另外，控制部32控制机械臂40的驱动，以在元件安装装置15内的安装头154a的俯视下的可动范围内，搬入和搬出在元件安装装置15中使用的物品。具体而言，控制部32控制机械臂40的驱动，以在元件安装装置15内相对于安装头154a交接在元件安装装置15中使用的物品。

如图19所示，在搬入口15b设置有罩15d和使罩15d移动的驱动部15e。罩15d通过驱动部15e而在开放搬入口15b的打开状态和封闭搬入口15b的关闭状态之间切换。

如图19(A)所示，自主行驶台车30到达元件安装装置15的前方。此时，控制部32识别用于向元件安装装置15插入机械臂40的开口(搬入口15b)的位置，使自主行驶台车主体31移动至搬入口15b的位置。然后，如图19(B)所示，罩15d成为打开状态。由此，搬入口15b被开放。然后，如图19(C)所示，将机械臂40从开放的搬入口15b插入到元件安装装置15的内部。此时，在利用机械臂40的上下移动部41使要输送的工具60(支承销储料器61)的高度位置对准的状态下，通过使水平移动部42伸长，工具60被插入到元件安装装置15的内部。另外，在工具60被插入到元件安装装置15的内部的状态下，通过使水平转动部43转动来调整工具60的位置。

在此，控制部32控制机械臂40的驱动，以将在元件安装装置15中使用的物品输送到由元件安装装置15指示的位置或元件安装装置15的预先设定的位置。另外，在插入机械臂40时，元件安装装置15使安装头154a退避从而不与机械臂40发生干涉。

如图20所示，机械臂40构成为，将元件供给台车153b从元件安装装置15卸下，并且经由通过将元件供给台车153b从元件安装装置15卸下而产生的开口，将在元件安装装置15中使用的物品输送到元件安装装置15的内部。

如图20(A)所示，机械臂40利用手部保持部44来把持元件供给台车153b。另外，在元件供给台车153b的外侧设置有具有与手部45相同的形状的被把持部。如图20(B)所示，在利用机械臂40把持并连结元件供给台车153b的状态下，自主行驶台车30移动以将元件供给台车153b从元件安装装置15卸下。

之后，自主行驶台车30使元件供给台车153b移动至不成为障碍的位置。然后，机械臂40解除手部保持部44对元件供给台车153b的把持。如图20(C)所示，自主行驶台车30移动至将元件供给台车153b卸下后的位置。另外，机械臂40经由通过将元件供给台车153b从元件安装装置15卸下而产生的开口，将在元件安装装置15中使用的物品输送到元件安装装置15的内部。

如图21所示，机械臂40构成为回收积存于废弃箱63的废弃物E1。废弃物E1是元件E的不合格品或安装失败的元件E等。废弃物E1被安装头154a废弃到废弃箱63。在废弃箱63设置有斜面63a和止动件63b。另外，废弃箱63设置有回收用容器63c。

被安装头154a废弃的废弃物E1贮存于废弃箱63。机械臂40使回收用容器63c与止动件63b抵接，经由斜面63a将废弃物E1从废弃箱63回收到回收用容器63c。另外，机械臂40将回收用容器63c的废弃物E1回收到自主行驶台车30的废弃物载置部53。此时，斜面63a的下端被止挡件63b覆盖，抑制了废弃物E1流出的情况。

如图22所示，机械臂40将元件安装装置15的校正所使用的校正夹具64输送到元件安装装置15的内部。校正夹具64具有夹具元件64a和台座64b。另外，校正夹具64利用元件安装装置15的安装头154a来吸附夹具元件64a，并载置于台座64b。然后，利用基板识别拍摄部154b对载置于台座64b的夹具元件64a的位置进行拍摄，并基于拍摄结果来校正(调整)安装头154a的移动。在台座64b设置有用于供给负压的空气通路64c。空气通路64c构成为经由载置支承销61a的板部61b被供给负压。由此，能够利用负压将夹具元件64a相对于台座64b吸附并固定，因此能够抑制载置于台座64b的夹具元件64a发生位置偏移的情况。另外，在利用机械臂40输送校正夹具64时，通过利用手部45的爪覆盖夹具元件64a的上方，由此抑制夹具元件64a从台座64b落下的情况。

如图23和图24所示，服务器20构成为，控制由自主行驶台车30进行的工具60向元件安装装置15的供给。即，服务器20构成为，从元件安装装置15接收所需的物品的信息，并相对于对应的自主行驶台车30发送向元件安装装置15输送物品的指示。

在图23的步骤S1中，从元件安装装置15向服务器20发送工具60的请求。在步骤S2中，服务器20接收工具60的请求。在步骤S3中，服务器20判断保持所请求的工具60的自主行驶台车30(AGV)是否能够出动。在保持所请求的工具60的自主行驶台车30因出动到其他装置等而不能出动的情况下，在步骤S4中，服务器20向元件安装装置15通知错误。

如果保持所请求的工具60的自主行驶台车30能够出动，则在步骤S5中，服务器20将移动目的地信息(元件安装装置15的信息)和工具60的信息通知给对应的自主行驶台车30。在步骤S6中，自主行驶台车30接收移动目的地信息和工具信息，开始向所指定的元件安装装置15的移动。

在步骤S7中，当自主行驶台车30到达所指定的元件安装装置15的前方时，向服务器20委托工具60向元件安装装置15的输送的批准。在步骤S8中，服务器20向元件安装装置15通知从自主行驶台车30接收到的批准委托。

在步骤S9中，元件安装装置15判断是否批准。在由于不能开放搬入口15b等而不能批准的情况下，在步骤S10中，元件安装装置15经由服务器20向自主行驶台车30通知错误。如果能够批准，则在步骤S11中，元件安装装置15进行使安装头154a退避的动作。在步骤S12中，元件安装装置15开放搬入口15b。然后，元件安装装置15将开放了搬入口15b的情况通知给服务器20。

在步骤S13中，服务器20将工具60的搬入许可和工具60的信息通知给自主行驶台车30。在步骤S14中，自主行驶台车30接收搬入许可和工具信息。在步骤S15中，自主行驶台车30识别搬入口15b的位置。

在步骤S16中，自主行驶台车30判断是否识别出搬入口15b的位置。在未能识别出搬入口15b的位置的情况下，在步骤S17中，自主行驶台车30向服务器20通知错误。

在能够识别出搬入口15b的位置的情况下，在图24的步骤S18中，自主行驶台车30利用机械臂40开始工具60的搬入。在步骤S19中，自主行驶台车30使机械臂40移动至规定位置。在步骤S20中，自主行驶台车30将机械臂40对工具60的搬入已结束的情况通知给服务器20。

在步骤S21中，服务器20向元件安装装置15通知从自主行驶台车30接收到的搬入已结束的情况和所搬入的工具60的信息。在步骤S22中，元件安装装置15从服务器20接收通知，并基于基板识别拍摄部154b的拍摄结果来识别工具60的位置。

在步骤S23中，元件安装装置15判断是否识别出工具60的位置。在未能识别出工具60的位置的情况下，在步骤S24中，元件安装装置15向服务器20通知错误。在能够识别出工具60的位置的情况下，在步骤S25中，元件安装装置15利用安装头154a接收并更换由机械臂40搬入的工具60。在步骤S26中，元件安装装置15将工具60的更换的结束通知给服务器20。

在步骤S27中，服务器20接收来自元件安装装置15的更换结束的通知，并向自主行驶台车30通知更换结束。在步骤S28中，服务器20判断是否还有要供给的工具60。在存在要供给的工具60的情况下，服务器20向自主行驶台车30进行通知，并返回步骤S18。在不存在要供给的工具60的情况下，服务器20向自主行驶台车30通知工具60的供给已结束的情况。

在步骤S29中，自主行驶台车30接收来自服务器的结束通知，并使机械臂40从元件安装装置15退避。在步骤S30中，自主行驶台车30将机械臂40的退避结束通知给服务器20。

在步骤S31中，服务器20接收来自自主行驶台车30的退避结束通知，并向元件安装装置15通知退避结束通知。在步骤S32中，元件安装装置15封闭搬入口15b。在步骤S33中，元件安装装置15将搬入口15b的封闭发送给服务器20。在步骤S34中，服务器20接收搬入口15b的封闭，并结束由自主行驶台车30进行的工具60向元件安装装置15的供给处理。

(本实施方式的效果)

在本实施方式中，能够得到如下的效果。

在本实施方式中，如上所述，将控制部32构成为，控制机械臂40的驱动，以在元件安装装置15内的安装头154a的俯视下的可动范围内，搬入和搬出在元件安装装置15中使用的物品。由此，能够利用机械臂40搬入和搬出在元件安装装置15内使用的物品，因此作业者不需要进行相对于元件安装装置15搬入和搬出物品的作业。其结果是，能够减轻将在元件安装装置15内使用的物品相对于元件安装装置15进行搬入和搬出时的作业者的作业负担。另外，与由作业者向元件安装装置15内搬入和搬出物品的情况不同，不需要完全停止元件安装装置15的动作。由此，能够抑制由元件安装装置15进行的基板制造的效率(生产率)降低的情况。另外，在元件安装装置15中，在需要的情况下，能够利用机械臂40搬入和搬出物品，因此，在需要的情况下准备在元件安装装置15内使用的物品，不需要在元件安装装置15内设置用于保管物品的保管空间。由此，能够实现元件安装装置15的小型化。

另外，在本实施方式中，如上所述，将控制部32构成为，控制机械臂40的驱动，以在元件安装装置15内相对于安装头154a交接在元件安装装置15中使用的物品。由此，能够使用对基板S进行作业的安装头154a从机械臂40交接物品，因此不需要设置用于从机械臂40交接物品的专用的构件。由此，能够抑制元件安装装置15的元件数量增加的情况，并且能够抑制装置结构复杂化的情况。

另外，在本实施方式中，如上所述，将元件安装装置15构成为，识别被搬入到安装头154a的可动范围的物品，并基于识别结果利用安装头154a从机械臂40接收物品。由此，能够高精度地识别所搬入的物品的位置，由此能够可靠地接收由安装头154a搬入的物品。

另外，在本实施方式中，如上所述，将元件安装装置15构成为，识别被搬入到安装头154a的可动范围的物品的种类。由此，能够根据所搬入的物品的种类，通过更适于安装头154a的方法来接收物品。

另外，在本实施方式中，如上所述，将元件安装装置15构成为，利用基板识别拍摄部154b对搬入到安装头154a的可动范围的物品进行拍摄，并基于拍摄结果来识别物品。由此，能够使用识别基板S的基板识别拍摄部154b来拍摄并识别所搬入的物品，因此不需要设置用于识别所搬入的物品的专用的构件。由此，能够抑制元件安装装置15的元件数量增加的情况，并且能够抑制装置结构复杂化的情况。

另外，在本实施方式中，如上所述，将控制部32构成为，控制机械臂40的驱动，以相对于元件安装装置15的安装头154a交接在元件安装装置15中使用的物品。由此，由于能够利用机械臂40将在元件安装装置15中使用的物品交接给元件安装装置15的安装头154a，因此能够减轻将在元件安装装置15中使用的物品相对于元件安装装置15进行搬入和搬出时的作业者的作业负担。

另外，在本实施方式中，如上所述，将服务器20构成为，从元件安装装置15接收所需的物品的信息，并相对于对应的自主行驶台车30发送向元件安装装置15输送物品的指示。由此，能够利用服务器20一并进行向多个元件安装装置15输送的物品的管理，因此能够高效地进行物品向多个元件安装装置15的输送。

另外，在本实施方式中，如上所述，将控制部32构成为，识别用于向元件安装装置15插入机械臂40的开口的位置，使自主行驶台车移动至开口的位置。由此，能够容易地相对于元件安装装置15的开口插入机械臂40，由此能够利用机械臂40容易地相对于元件安装装置15搬入和搬出物品。

另外，在本实施方式中，如上所述，将控制部32构成为，控制机械臂40的驱动，以将在元件安装装置15中使用的物品输送到由元件安装装置15指示的位置或元件安装装置15的预先设定的位置。由此，能够利用机械臂40将在元件安装装置15中使用的物品输送到规定的位置，因此能够通过元件安装装置15的规定的动作容易地交接被输送的物品。

另外，在本实施方式中，如上所述，将元件安装装置15构成为，在插入机械臂40时，使安装头154a退避以不与机械臂40发生干涉。由此，在利用机械臂40输送物品的过程中，能够抑制机械臂40与元件安装装置15的安装头154a发生干涉的情况，因此能够抑制物品从机械臂40落下的情况。

另外，在本实施方式中，如上所述，在元件安装装置15中使用的物品包括支承基板S的支承销61a、吸附元件E的吸附嘴62a、废弃元件E的废弃箱63、及元件安装装置15的校正所使用的校正夹具64。由此，能够减轻向元件安装装置15输送支承销61a、吸嘴62a、废弃箱63、校正夹具64时的作业者的作业负担。

(变形例)

另外，应当认为本次公开的实施方式在所有方面均是例示，而不是限制性的。本发明的范围并不是由上述的实施方式的说明示出，而是由要求保护的范围示出，而且包括与要求保护的范围等同的含义和范围内的所有改变(变形例)。

例如，在上述实施方式中，示出了在作为基板作业装置的元件安装装置中使用的物品包括支承基板的支承销、吸附元件的吸嘴、废弃元件的废弃箱、及基板作业装置的校正所使用的校正夹具的结构的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，在基板作业装置中使用的物品只要包括支承基板的支承销、吸附元件的吸嘴、废弃元件的废弃箱、及基板作业装置的校正所使用的校正夹具中的至少一个即可。

另外，在上述实施方式中，示出了控制机械臂的驱动的控制部设置于自主行驶台车主体的结构的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，控制机械臂的驱动的控制部也可以设置于机械臂。

另外，在上述实施方式中，示出了作为用于对基板作业装置的开口的位置进行检测的检测部的照相机设置于自主行驶台车主体的结构的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，用于对基板作业装置的开口的位置进行检测的检测部也可以设置于机械臂。

另外，在上述实施方式中，示出了在基板制造系统设置有多个安装线的结构的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，也可以在基板制造系统设置有一个安装线。

另外，在上述实施方式中，示出了手部保持部利用多个爪来固定手部的结构的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，手部保持部也可以利用使球移动的机构来固定手部。

另外，在上述实施方式中，示出了通过进行经由服务器的通信，自主行驶台车相对于作为基板作业装置的元件安装装置输送物品的结构的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，也可以是通过基板作业装置和自主行驶台车直接通信，自主行驶台车相对于基板作业装置输送物品的结构。

另外，在上述实施方式中，为了便于说明，使用按照处理流程依次进行处理的流程驱动型的流程对控制处理进行了说明，但本发明并不限于此。在本发明中，也可以通过以事件为单位执行处理的事件驱动型(event-driven type)的处理来进行控制处理。在该情况下，可以以完全的事件驱动型进行，也可以组合事件驱动和流程驱动来进行。

标号说明

10 安装线

11 装载机(基板作业装置)

12 印刷机(基板作业装置)

13 印刷检查机(基板作业装置)

14 分配器装置(基板作业装置)

15 元件安装装置(基板作业装置)

16 外观检查装置(基板作业装置)

17 回流焊装置(基板作业装置)

18 外观检查装置(基板作业装置)

19 卸载机(基板作业装置)

20 服务器

30 自主行驶台车

31 自主行驶台车主体(自主行驶台车)

32 控制部

40 机械臂

41 上下移动部

42 水平移动部

43 水平转动部

44 手部保持部

45 手部

50 载置部

61a 支承销

62a 吸嘴

63 废弃箱

64 校正夹具

70 连结部

100 基板制造系统

153b 元件供给台车

154a 安装头(作业部)

154b 基板识别拍摄部(照相机)

E 元件

S 基板

Claims (13)

1.一种基板制造系统，具备：

安装线，包括多个基板作业装置，该基板作业装置包括向基板安装元件的元件安装装置；

自主行驶台车，输送在所述安装线的所述基板作业装置中使用的物品；

机械臂，设置于所述自主行驶台车，将在所述基板作业装置中使用的物品相对于所述基板作业装置进行输送；及

控制部，设置于所述自主行驶台车或所述机械臂，控制所述机械臂的驱动，

所述基板作业装置包括对基板进行作业的作业部，

所述控制部构成为，控制所述机械臂的驱动，以在所述基板作业装置内的所述作业部的俯视下的可动范围内，搬入和搬出在所述基板作业装置中使用的物品。

2.根据权利要求1所述的基板制造系统，其中，

所述控制部构成为，控制所述机械臂的驱动，以在所述基板作业装置内相对于所述作业部交接在所述基板作业装置中使用的物品。

3.根据权利要求2所述的基板制造系统，其中，

所述基板作业装置构成为，识别被搬入到所述作业部的可动范围的物品，并基于识别结果利用所述作业部从所述机械臂接收物品。

4.根据权利要求3所述的基板制造系统，其中，

所述基板作业装置构成为，识别被搬入到所述作业部的可动范围的物品的种类。

5.根据权利要求3或4所述的基板制造系统，其中，

所述基板作业装置包括识别作为作业对象的基板的照相机，并构成为利用所述照相机对搬入到所述作业部的可动范围的物品进行拍摄，并基于拍摄结果来识别物品。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的基板制造系统，其中，

所述控制部构成为，控制所述机械臂的驱动，以相对于所述元件安装装置的作为所述作业部的安装头交接在所述元件安装装置中使用的物品。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的基板制造系统，其中，

所述基板制造系统还具备能够与所述自主行驶台车和多个所述基板作业装置进行通信的服务器，

所述服务器构成为，从所述基板作业装置接收所需的物品的信息，并相对于对应的所述自主行驶台车发送向所述基板作业装置输送物品的指示。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的基板制造系统，其中，

所述控制部构成为，识别向所述基板作业装置插入所述机械臂的开口的位置，并使所述自主行驶台车移动至所述开口的位置。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的基板制造系统，其中，

所述控制部构成为，控制所述机械臂的驱动，以将在所述基板作业装置中使用的物品输送到由所述基板作业装置指示的位置或所述基板作业装置的预先设定的位置。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的基板制造系统，其中，

所述基板作业装置构成为，在插入所述机械臂时，使所述作业部退避从而不与所述机械臂发生干涉。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的基板制造系统，其中，

在所述基板作业装置中使用的物品包括支承基板的支承销、吸附元件的吸嘴、废弃元件的废弃箱、及所述基板作业装置的校正所使用的校正夹具中的至少一个。

12.一种自主行驶台车，具备：

自主行驶台车主体，输送在包括多个基板作业装置的安装线的所述基板作业装置中使用的物品，所述基板作业装置包括向基板安装元件的元件安装装置；

机械臂，设置于所述自主行驶台车主体，将在所述基板作业装置中使用的物品相对于所述基板作业装置进行输送；及

控制部，设置于所述自主行驶台车主体或所述机械臂，控制所述机械臂的驱动，

所述控制部构成为，控制所述机械臂的驱动，以在所述基板作业装置内的对基板进行作业的作业部的俯视下的可动范围内，搬入和搬出在所述基板作业装置中使用的物品。

13.一种基板制造方法，是包括多个基板作业装置的安装线中的基板制造方法，所述基板作业装置包括向基板安装元件的元件安装装置，其中，所述基板制造方法包括如下步骤：

利用自主行驶台车来输送在所述安装线的所述基板作业装置中使用的物品；及

使机械臂驱动，以在所述基板作业装置内的对基板进行作业的作业部的俯视下的可动范围内，搬入和搬出在所述基板作业装置中使用的物品。

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