WO2021240626A1

WO2021240626A1 - 基板製造システム、自律走行台車および基板製造方法

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Publication number: WO2021240626A1
Application number: PCT/JP2020/020683
Authority: WO
Inventors: 康弘金子; 悠節小林
Original assignee: ヤマハ発動機株式会社
Priority date: 2020-05-26
Filing date: 2020-05-26
Publication date: 2021-12-02
Also published as: JPWO2021240626A1; CN115669249A; US20230200037A1; DE112020007113T5; JP7351008B2

Abstract

この基板製造システムは、実装ライン（１０）の基板作業装置（１５）において使用される物を搬送する自律走行台車（３１）と、自律走行台車に設けられ、基板作業装置において使用される物を、基板作業装置に対して搬送するロボットアーム（４０）と、自律走行台車に設けられ、ロボットアームの駆動を制御する制御部（３２）と、を備える。制御部は、基板作業装置内の作業部（１５４ａ）の平面視における可動範囲において、基板作業装置において使用される物を搬入および搬出するように、ロボットアームの駆動を制御するように構成されている。

Description

基板製造システム、自律走行台車および基板製造方法

　この発明は、基板製造システム、自律走行台車および基板製造方法に関する。

　従来、基板製造システムが知られている。基板製造システムは、たとえば、特開２０１７－２１６３７９号公報に開示されている。

　上記特開２０１７－２１６３７９号公報には、基板に部品を実装する部品実装装置と、部品実装装置において実装する部品を部品実装装置に対して補給する自走部品補給装置とを備える基板製造システムが開示されている。この特開２０１７－２１６３７９号公報の基板製造システムでは、自走部品補給装置は、部品実装装置に配置されてテープに保持された部品を供給するテープフィーダに対して、部品を保持したテープが巻き回されたリールを供給するように構成されている。

特開２０１７－２１６３７９号公報

　上記特開２０１７－２１６３７９号公報の基板製造装置では、部品実装装置に配置されたテープフィーダに対して、部品を保持したテープが巻き回されたリールを自走部品供給装置により供給するため、部品実装装置に対して作業者が部品を補給する作業を行う必要がない。しかしながら、部品実装装置内および他の基板作業装置の装置内で用いられる物（たとえば、ノズル、バックアップピンなど）については、作業者が補給する必要があるため、作業者の作業負担を軽減することが困難であるという問題点がある。

　この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、基板作業装置内において使用される物を基板作業装置に対して搬入および搬出する際の作業者の作業負担を軽減することが可能な基板製造システム、自律走行台車および基板製造方法を提供することである。

　上記目的を達成するために、この発明の第１の局面による基板製造システムは、基板に部品を実装する部品実装装置を含む基板作業装置を複数含む実装ラインと、実装ラインの基板作業装置において使用される物を搬送する自律走行台車と、自律走行台車に設けられ、基板作業装置において使用される物を、基板作業装置に対して搬送するロボットアームと、自律走行台車またはロボットアームに設けられ、ロボットアームの駆動を制御する制御部と、を備え、基板作業装置は、基板に対して作業を行う作業部を含み、制御部は、基板作業装置内の作業部の平面視における可動範囲において、基板作業装置において使用される物を搬入および搬出するように、ロボットアームの駆動を制御するように構成されている。

　この発明の第１の局面による基板製造システムでは、上記のように、制御部を、基板作業装置内の作業部の平面視における可動範囲において、基板作業装置において使用される物を搬入および搬出するように、ロボットアームの駆動を制御するように構成する。これにより、基板作業装置内において使用される物（たとえば、ノズル、バックアップピン、廃棄箱、校正治具など）をロボットアームにより搬入および搬出することができるので、作業者が基板作業装置に対して物を搬入および搬出する作業を行う必要がない。その結果、基板作業装置内において使用される物を基板作業装置に対して搬入および搬出する際の作業者の作業負担を軽減することができる。また、作業者により基板作業装置内に物を搬入および搬出する場合と異なり、基板作業装置の動作を完全に止める必要がない。これにより、基板作業装置による基板製造の効率（生産性）が低下するのを抑制することができる。また、基板作業装置において必要な場合に、ロボットアームにより物を搬入および搬出することができるので、基板作業装置内に使用する物を必要な場合に備えて、基板作業装置内に物を保管するための保管スペースを設ける必要がない。これにより、基板作業装置の小型化を図ることができる。

　上記第１の局面による基板製造システムにおいて、好ましくは、制御部は、基板作業装置内において、作業部に対して基板作業装置において使用される物を授受するようにロボットアームの駆動を制御するように構成されている。このように構成すれば、基板に対して作業を行う作業部を用いてロボットアームから物を授受することができるので、ロボットアームから物を授受するための専用の部材を設ける必要がない。これにより、基板作業装置の部品点数が増加するのを抑制することができるとともに、装置構成が複雑化するのを抑制することができる。

　この場合、好ましくは、基板作業装置は、作業部の可動範囲に搬入された物を認識し、認識結果に基づいてロボットアームから作業部により物を受け取るように構成されている。このように構成すれば、搬入された物の位置を精度よく認識して、作業部により搬入された物を確実に受け取ることができる。

　上記搬入された物の認識結果に基づいてロボットアームから作業部により物を受け取る構成の基板製造システムにおいて、好ましくは、基板作業装置は、作業部の可動範囲に搬入された物の種類を認識するように構成されている。このように構成すれば、搬入された物の種類に応じて、作業部により適した方法により物を受け取ることができる。

　上記搬入された物の認識結果に基づいてロボットアームから作業部により物を受け取る構成の基板製造システムにおいて、好ましくは、基板作業装置は、作業対象の基板を認識するカメラを含み、カメラにより作業部の可動範囲に搬入された物を撮像して、撮像結果に基づいて物を認識するように構成されている。このように構成すれば、基板を認識するカメラを用いて搬入された物を撮像して認識することができるので、搬入された物を認識するための専用の部材を設ける必要がない。これにより、基板作業装置の部品点数が増加するのを抑制することができるとともに、装置構成が複雑化するのを抑制することができる。

　上記作業部に対して基板作業装置において使用される物を授受する構成の基板製造システムにおいて、好ましくは、制御部は、部品実装装置の作業部としての実装ヘッドに対して、部品実装装置において使用される物を授受するようにロボットアームの駆動を制御するように構成されている。このように構成すれば、部品実装装置において使用される物を、ロボットアームにより、部品実装装置の実装ヘッドに授受することができるので、部品実装装置において使用される物を部品実装装置に対して搬入および搬出する際の作業者の作業負担を軽減することができる。

　上記第１の局面による基板製造システムにおいて、好ましくは、自律走行台車および複数の基板作業装置と通信可能なサーバをさらに備え、サーバは、基板作業装置から必要な物の情報を受信し、対応する自律走行台車に対して基板作業装置に物を搬送する指示を送信するように構成されている。このように構成すれば、サーバにより複数の基板作業装置に搬送する物の管理を一括して行うことができるので、複数の基板作業装置に対する物の搬送を効率よく行うことができる。

　上記第１の局面による基板製造システムにおいて、好ましくは、制御部は、基板作業装置にロボットアームを挿入する開口の位置を認識して、自律走行台車を開口の位置まで移動させるように構成されている。このように構成すれば、基板作業装置の開口に対して容易にロボットアームを挿入して、ロボットアームにより基板作業装置に対して物を容易に搬入および搬出することができる。

　上記第１の局面による基板製造システムにおいて、好ましくは、制御部は、基板作業装置により指示された位置、または、基板作業装置の予め設定された位置に、基板作業装置において使用される物を搬送するように、ロボットアームの駆動を制御するように構成されている。このように構成すれば、ロボットアームにより基板作業装置において使用される物を所定の位置に搬送することができるので、搬送される物を基板作業装置の所定の動作により容易に授受することができる。

　上記第１の局面による基板製造システムにおいて、好ましくは、基板作業装置は、ロボットアームが挿入される際に、作業部をロボットアームに干渉しないように退避させるように構成されている。このように構成すれば、ロボットアームによる物の搬送中に、ロボットアームと基板作業装置の作業部とが干渉するのを抑制することができるので、ロボットアームから物が落下するのを抑制することができる。

　上記第１の局面による基板製造システムにおいて、好ましくは、基板作業装置において使用される物は、基板を支持するバックアップピン、部品を吸着するノズル、部品を廃棄する廃棄箱、および、基板作業装置の校正に用いる校正治具のうち少なくとも１つを含む。このように構成すれば、基板作業装置にバックアップピン、ノズル、廃棄箱、校正治具を搬送する際の作業者の作業負担を軽減することができる。

　この発明の第２の局面による自律走行台車は、基板に部品を実装する部品実装装置を含む基板作業装置を複数含む実装ラインの基板作業装置において使用される物を搬送する自律走行台車本体と、自律走行台車に設けられ、基板作業装置において使用される物を、基板作業装置に対して搬送するロボットアームと、自律走行台車またはロボットアームに設けられ、ロボットアームの駆動を制御する制御部と、を備え、制御部は、基板作業装置内の基板に対して作業を行う作業部の平面視における可動範囲において、基板作業装置において使用される物を搬入および搬出するように、ロボットアームの駆動を制御するように構成されている。

　この発明の第２の局面による自律走行台車では、上記のように、制御部を、基板作業装置内の作業部の平面視における可動範囲において、基板作業装置において使用される物を搬入および搬出するように、ロボットアームの駆動を制御するように構成する。これにより、基板作業装置内において使用される物をロボットアームにより搬入および搬出することができるので、作業者が基板作業装置に対して物を搬入および搬出する作業を行う必要がない。その結果、基板作業装置内において使用される物を基板作業装置に対して搬入および搬出する際の作業者の作業負担を軽減することが可能な自律走行台車を提供することができる。また、作業者により基板作業装置内に物を搬入および搬出する場合と異なり、基板作業装置の動作を完全に止める必要がない。これにより、基板作業装置による基板製造の効率（生産性）が低下するのを抑制することができる。また、基板作業装置において必要な場合に、ロボットアームにより物を搬入および搬出することができるので、基板作業装置内に使用する物を必要な場合に備えて、基板作業装置内に物を保管するための保管スペースを設ける必要がない。これにより、基板作業装置の小型化を図ることができる。

　この発明の第３の局面による基板製造方法は、基板に部品を実装する部品実装装置を含む基板作業装置を複数含む実装ラインにおける基板製造方法であって、実装ラインの基板作業装置において使用される物を自律走行台車により搬送し、基板作業装置内の基板に対して作業を行う作業部の平面視における可動範囲において、基板作業装置において使用される物を搬入および搬出するように、ロボットアームを駆動させる。

　この発明の第３の局面による基板製造方法では、上記のように、基板作業装置内の基板に対して作業を行う作業部の平面視における可動範囲において、基板作業装置において使用される物を搬入および搬出するように、ロボットアームを駆動させるように構成する。これにより、基板作業装置内において使用される物をロボットアームにより搬入および搬出することができるので、作業者が基板作業装置に対して物を搬入および搬出する作業を行う必要がない。その結果、基板作業装置内において使用される物を基板作業装置に対して搬入および搬出する際の作業者の作業負担を軽減することが可能な基板製造方法を提供することができる。また、作業者により基板作業装置内に物を搬入および搬出する場合と異なり、基板作業装置の動作を完全に止める必要がない。これにより、基板作業装置による基板製造の効率（生産性）が低下するのを抑制することができる。また、基板作業装置において必要な場合に、ロボットアームにより物を搬入および搬出することができるので、基板作業装置内に使用する物を必要な場合に備えて、基板作業装置内に物を保管するための保管スペースを設ける必要がない。これにより、基板作業装置の小型化を図ることができる。

　本発明によれば、上記のように、基板作業装置内において使用される物を基板作業装置に対して搬入および搬出する際の作業者の作業負担を軽減することができる。

本発明の実施形態による基板製造システムの概略を示したブロック図である。本発明の実施形態による自律走行台車の概略を示したブロック図である。本発明の実施形態による自律走行台車を示した斜視図である。本発明の実施形態による部品実装装置の構成を示した平面図である。本発明の実施形態による部品実装装置の構成を示した正面図である。本発明の実施形態によるロボットアームを示した斜視図である。本発明の実施形態による部品実装装置の搬入口を示した正面図である。本発明の実施形態によるロボットアームにより搬送するツールを示した平面図である。本発明の実施形態によるサーバにより管理された自律走行台車の情報の一例を示した図である。本発明の実施形態によるサーバにより管理された自律走行台車のツールボックスの情報の一例を示した図である。本発明の実施形態によるサーバにより管理された部品実装装置の生産計画の情報の一例を示した図である。本発明の実施形態によるサーバにより管理された部品実装装置の位置情報の一例を示した図である。本発明の実施形態によるロボットアームのハンド保持部を示した斜視図である。本発明の実施形態によるロボットアームによるノズルストッカの保持を説明するための図である。本発明の実施形態によるロボットアームによるバックアップピンストッカの保持を説明するための図である。本発明の実施形態によるロボットアームの移動が規制された状態を示した側面図である。本発明の実施形態による自律走行台車の部品実装装置への連結を説明するための斜視図である。本発明の実施形態による自律走行台車の部品実装装置への連結を説明するための平面図である。本発明の実施形態による部品実装装置の搬入口へのロボットアームの挿入を説明するための側面図である。本発明の実施形態による部品実装装置の部品供給台車を取り外したことにより生じる開口へのロボットアームの挿入を説明するための側面図である。本発明の実施形態による部品実装装置の廃棄箱を示した正面図である。本発明の実施形態による部品実装装置の校正治具の設置を説明するための正面図である。本発明の実施形態によるツール供給処理を説明するための第１フローチャートである。本発明の実施形態によるツール供給処理を説明するための第２フローチャートである。

　以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

（基板製造システムの構成）
　図１を参照して、本発明の実施形態による基板製造システム１００の構成について説明する。

　本実施形態による基板製造システム１００は、基板Ｓに部品Ｅを実装して、部品Ｅが実装された基板Ｓを製造するように構成されている。基板製造システム１００は、図１に示すように、実装ライン１０と、サーバ２０と、複数の自律走行台車３０と、を備えている。

　実装ライン１０は、複数設けられている。また、実装ライン１０は、ローダ１１と、印刷機１２と、印刷検査機１３と、ディスペンサ装置１４と、複数の部品実装装置１５と、外観検査装置１６と、リフロー装置１７と、外観検査装置１８と、アンローダ１９と、を含んでいる。また、実装ライン１０では、製造ラインに沿って上流側（左側）から下流側（右側）に向かって基板Ｓが搬送されるように構成されている。なお、ローダ１１、印刷機１２、印刷検査機１３、ディスペンサ装置１４、部品実装装置１５、外観検査装置１６、リフロー装置１７、外観検査装置１８、アンローダ１９は、請求の範囲の「基板作業装置」の一例である。

（実装ラインの構成）
　次に、実装ライン１０を構成する各装置の構成について説明する。

　ローダ１１は、部品Ｅが実装される前の基板Ｓ（配線基板）を保持するとともに実装ライン１０に基板を搬入する役割を有する。なお、部品は、ＬＳＩ、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサおよび抵抗器などの小片状の電子部品を含む。

　印刷機１２は、スクリーン印刷機であり、クリーム半田を基板の実装面上に塗布する機能を有する。

　印刷検査機１３は、印刷機１２により印刷したクリーム半田の状態を検査する機能を有する。

　ディスペンサ装置１４は、基板Ｓにクリーム半田や接着剤などを塗布する機能を有する。

　部品実装装置１５は、クリーム半田が印刷された基板の所定の実装位置に部品Ｅを実装（搭載）する機能を有する。また、部品実装装置１５は、基板の搬送方向に沿って複数配置されている。

　外観検査装置１６は、複数の部品実装装置１５の下流に設けられている。外観検査装置１６は、部品実装装置１５により部品Ｅが実装された基板Ｓの外観を検査する機能を有する。

　リフロー装置１７は、加熱処理を行うことにより半田を溶融させて部品Ｅを基板Ｓの電極部に接合する機能を有する。リフロー装置１７は、レーン上の基板を搬送しながら、加熱処理を行うように構成されている。

　外観検査装置１８は、リフロー装置１７の下流に設けられている。外観検査装置１８は、リフロー装置１７により加熱処理が行われた後の基板の外観を検査する機能を有する。

　アンローダ１９は、部品Ｅが実装された後の基板Ｓを実装ライン１０から排出する役割を有する。

　複数の実装ライン１０の間には、作業者や自律走行台車３０が通行したり作業を行うための通路が設けられている。

　サーバ２０は、実装ライン１０に関する情報を管理する。サーバ２０は、実装ライン１０により製造される基板の種類、枚数、実装する部品Ｅの種類、部品Ｅの在庫量、実装に関するデータを管理する。サーバ２０は、実装ライン１０の各装置（ローダ１１、印刷機１２、印刷検査機１３、ディスペンサ装置１４、部品実装装置１５、外観検査装置１６、リフロー装置１７、外観検査装置１８、アンローダ１９）と通信可能に構成されている。また、サーバ２０は、自律走行台車３０と通信可能に構成されている。つまり、サーバ２０は、自律走行台車３０に対して指令を送信するように構成されている。また、サーバ２０は、自律走行台車３０から映像などの情報を受信するように構成されている。サーバ２０は、ＣＰＵなどの制御部、記憶部、通信部を有するコンピュータにより構成されている。

（自律走行台車の構成）
　図２～図３を参照して、本発明の実施形態による自律走行台車３０の構成について説明する。

　自律走行台車３０は、自律走行して、実装ライン１０の各装置（ローダ１１、印刷機１２、印刷検査機１３、ディスペンサ装置１４、複数の部品実装装置１５、外観検査装置１６、リフロー装置１７、外観検査装置１８、アンローダ１９）において使用される物を搬送するように構成されている。具体的には、自律走行台車３０は、部品実装装置１５により実装される部品Ｅを搬送して補給するように構成されている。自律走行台車３０は、部品Ｅを実装するためのノズル６２ａや、バックアップピン６１ａなどの実装ライン１０における機器で用いられるツール６０を搬送する。また、自律走行台車３０は、部品実装装置１５に装着される部品供給台車１５３ｂを牽引して搬送することが可能である。部品供給台車１５３ｂには、複数の部品供給装置（テープフィーダ１５３ａ）を保持することが可能である。

　自律走行台車３０は、図２に示すように、自律走行台車本体３１と、ロボットアーム４０とを含んでいる。自律走行台車本体３１は、制御部３２と、カメラ３３と、モータ３４と、バッテリ３５と、通信部３６と、移動規制部３７と、を含んでいる。ロボットアーム４０は、上下移動部４１と、水平移動部４２と、水平回動部４３と、ハンド保持部４４と、を含んでいる。なお、自律走行台車本体３１は、請求の範囲の「自律走行台車」の一例である。

　制御部３２は、自律走行台車本体３１に設けられている。また、制御部３２は、自律走行台車３０の各部を制御するように構成されている。制御部３２は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）およびメモリを含む。制御部３２は、モータ３４を制御して、自律走行台車本体３１の自律走行を制御する。制御部３２は、記憶または取得した位置情報に基づいて、自律走行台車本体３１を目的地に向かって自走するように制御する。たとえば、制御部３２は、床面に配置されたテープに基づいて位置情報を取得する。または、制御部３２は、実装ライン１０の配置データに基づいて位置情報を取得して記憶している。または、制御部３２は、走行領域の特定の位置から受信する信号に基づいて位置情報を取得する。

　また、制御部３２は、ロボットアーム４０の駆動を制御するように構成されている。

　カメラ３３は、自律走行台車３０の周囲の状態を撮影するように構成されている。また、カメラ３３は、自律走行台車本体３１およびロボットアーム４０の少なくとも一方に設けられている。カメラ３３は、物を搬送する先の部品実装装置１５の位置、物を搬送する先の部品実装装置１５の開口の位置を検出するために用いられる。つまり、カメラ３３により、開口の周辺を撮像して、撮像結果に基づいて、制御部３２により、開口の位置が検出される。また、カメラ３３は、自律走行台車本体３１の自律走行に必要な情報を得るために撮影を行う。

　モータ３４は、自律走行台車本体３１を自律走行させるための車輪を駆動させる。モータ３４は、車輪を駆動させて、自律走行台車本体３１を、前進、後進、転回させるように構成されている。

　バッテリ３５は、自律走行台車３０の各部に電力を供給するように構成されている。バッテリ３５は、充電可能な電池を含んでいる。バッテリ３５の電力により、自律走行台車本体３１は、自律走行する。また、バッテリ３５の電力により、ロボットアーム４０が駆動する。バッテリ３５の電力が少なくなった場合、自律走行台車本体３１は、自律走行して充電ステーションに行きバッテリ３５が充電される。

　移動規制部３７は、自律走行台車本体３１の走行時において、ロボットアーム４０が動かないように自律走行台車本体３１に対してロボットアーム４０を固定するように構成されている。

　図３に示すように、自律走行台車３０は、部品実装装置１５において使用される複数種類の物を載置する載置部５０が設けられている。載置部５０は、基板Ｓを支持するバックアップピン６１ａが複数配置されたバックアップピンストッカ６１が載置されるバックアップピン載置部５１と、部品Ｅを吸着するノズル６２ａが複数配置されたノズルストッカ６２が載置されるノズル載置部５２と、廃棄箱６３内の廃棄物を収容する廃棄物載置部５３とを含んでいる。

　図４および図５に示すように、部品実装装置１５は、クリーム半田が印刷された基板Ｓの所定の実装位置に部品Ｅを実装（搭載）する機能を有する。部品実装装置１５は、基台１５１と、一対のコンベア１５２と、部品供給部１５３と、ヘッドユニット１５４と、支持部１５５と、一対のレール部１５６と、部品認識撮像部１５７と、制御部１５８とを備えている。また、部品実装装置１５は、図５に示すように、筐体１５ａと、筐体１５ａに設けられた搬入口１５ｂとを備えている。

　一対のコンベア１５２は、基台１５１上に設置され、基板ＳをＸ方向に搬送するように構成されている。また、一対のコンベア１５２は、搬送中の基板Ｓを実装作業位置で停止させた状態で保持するように構成されている。また、一対のコンベア１５２は、基板Ｓの寸法に合わせてＹ方向の間隔を調整可能に構成されている。

　部品供給部１５３は、一対のコンベア１５２の外側（Ｙ１側およびＹ２側）に配置されている。また、部品供給部１５３には、部品供給台車１５３ｂ（図２０参照）に保持された複数のテープフィーダ１５３ａが配置されている。

　テープフィーダ１５３ａは、複数の部品Ｅを所定の間隔を隔てて保持したテープが巻き付けられたリールを保持している。テープフィーダ１５３ａは、リールを回転させて部品Ｅを保持するテープを送出することにより、テープフィーダ１５３ａの先端から部品Ｅを供給するように構成されている。

　ヘッドユニット１５４は、一対のコンベア１５２の上方と部品供給部１５３の上方との間を移動するように設けられている。また、ヘッドユニット１５４は、ノズルが下端に取り付けられた複数（５つ）の実装ヘッド１５４ａと、基板認識撮像部１５４ｂと、を含んでいる。なお、実装ヘッド１５４ａは、請求の範囲の「作業部」の一例である。また、基板認識撮像部１５４ｂは、請求の範囲の「カメラ」の一例である。

　実装ヘッド１５４ａは、基板に対して作業を行うように構成されている。実装ヘッド１５４ａは、基板Ｓに対して部品Ｅを実装するように構成されている。具体的には、実装ヘッド１５４ａは、昇降可能（Ｚ方向に移動可能）に構成され、空気圧発生部によりノズル６２ａの先端部に発生された負圧によって、テープフィーダ１５３ａから供給される部品Ｅを吸着して保持し、基板Ｓにおける実装位置に部品Ｅを装着（実装）するように構成されている。

　基板認識撮像部１５４ｂは、作業対象の基板Ｓの位置および姿勢を認識するために、基板ＳのフィデューシャルマークＦを撮像するように構成されている。そして、フィデューシャルマークＦの位置を撮像して認識することにより、基板Ｓにおける部品Ｅの実装位置を正確に取得することが可能である。基板認識撮像部１５４ｂは、上方（Ｚ１方向側）から基板Ｓを撮像するように構成されている。また、基板認識撮像部１５４ｂは、実装ヘッド１５４ａの可動範囲に、ロボットアーム４０により搬入された物を撮像するように構成されている。

　支持部１５５は、Ｘ軸モータ１５５ａを含んでいる。支持部１５５は、Ｘ軸モータ１５５ａを駆動させることにより、支持部１５５に沿ってヘッドユニット１５４をＸ方向に移動させるように構成されている。支持部１５５は、両端部が一対のレール部１５６により支持されている。

　一対のレール部１５６は、基台１５１上に固定されている。Ｘ１側のレール部１５６は、Ｙ軸モータ１５６ａを含んでいる。レール部１５６は、Ｙ軸モータ１５６ａを駆動させることにより、支持部１５５を一対のレール部１５６に沿ってＸ方向と直交するＹ方向に移動させるように構成されている。ヘッドユニット１５４が支持部１５５に沿ってＸ方向に移動可能であるとともに、支持部１５５がレール部１５６に沿ってＹ方向に移動可能であることによって、ヘッドユニット１５４はＸＹ方向に移動可能である。

　部品認識撮像部１５７は、基台１５１の上面上に固定されている。部品認識撮像部１５７は、一対のコンベア１５２の外側（Ｙ１側およびＹ２側）に配置されている。部品認識撮像部１５７は、部品Ｅの実装に先立って部品Ｅの吸着状態（吸着姿勢）を認識するために、実装ヘッド１５４ａのノズルに吸着された部品Ｅを下方（Ｚ２方向側）から撮像するように構成されている。これにより、実装ヘッド１５４ａのノズルに吸着された部品Ｅの吸着状態を取得することが可能である。

　基台１５１の上面上には、廃棄箱６３が配置されている。廃棄箱６３は、ロボットアーム４０により搬送可能に基台１５１上に載置されている。

　制御部１５８は、ＣＰＵを含んでおり、一対のコンベア１５２による基板Ｓの搬送動作、ヘッドユニット１５４による実装動作、部品認識撮像部１５７、基板認識撮像部１５４ｂによる撮像動作などの部品実装装置１５の全体の動作を制御するように構成されている。また、制御部１５８は、サーバ２０と通信可能に構成されている。制御部１５８は、サーバ２０と、生産情報や部品情報などの情報を送受信するように構成されている。

　筐体１５ａは、部品実装装置１５を覆うように設けられている。搬入口１５ｂは、部品実装装置１５の内部に通じる開口を含んでいる。搬入口１５ｂは、ロボットアーム４０が挿入されるように構成されている。搬入口１５ｂは、ロボットアーム４０が挿入されない場合には、カバー１５ｄ（図１９参照）により覆われている。また、搬入口１５ｂは、ロボットアーム４０が挿入される場合には、カバー１５ｄが移動して開放される。

　図３に示すように、ロボットアーム４０は、自律走行台車本体３１に設けられている。また、ロボットアーム４０は、部品実装装置１５において使用される物を、部品実装装置１５に対して搬送するように構成されている。図６に示すように、ロボットアーム４０は、上下方向に回動する回動軸を有する上下移動部４１と、上下移動部４１に接続され、水平方向に沿って伸縮する水平移動部４２と、水平移動部４２に接続され、水平方向に回動する水平回動部４３と、水平回動部４３に接続され、先端に異なる種類のハンド４５を着脱可能なハンド保持部４４と、を含んでいる。上下移動部４１は、基台４１ａと、アーム４１ｂと、アーム４１ｃとを有している。水平移動部４２は、スライダ４２ａと、スライダ４２ｂとを有している。水平回動部４３は、アーム４３ａと、接続部４３ｂとを含んでいる。

　上下移動部４１の基台４１ａは、自律走行台車本体３１に固定されている。アーム４１ｂは、基台４１ａに対して回動軸線Ａ１を中心に回動可能に設けられている。アーム４１ｃは、アーム４１ｂに対して回動軸線Ａ２を中心に回動可能に設けられている。

　水平移動部４２のスライダ４２ａは、上下移動部４１のアーム４１ｃに対してＢ１方向（アーム４１ｂおよび４１ｃが回動していない場合の水平方向）にスライド移動可能に設けられている。スライダ４２ｂは、スライダ４２ａに対してＢ２方向（アーム４１ｂおよび４１ｃが回動していない場合の水平方向）にスライド移動可能に設けられている。

　水平回動部４３のアーム４３ａは、水平移動部４２のスライダ４２ｂに対して回動軸線Ｃ１を中心に回動可能に設けられている。接続部４３ｂは、アーム４３ａに対して回動軸線Ｃ２を中心に回動可能に設けられている。

　ハンド保持部４４は、水平回動部４３の接続部４３ｂに対して回動軸線Ｄ１を中心に回動可能に設けられている。ハンド保持部４４は、先端にハンド４５（図３参照）を着脱可能に保持するように構成されている。また、ハンド保持部４４は、図１５に示すように、バックアップピンストッカ６１を着脱可能に保持するように構成されている。また、ハンド保持部４４は、図２０に示すように、部品供給台車１５３ｂに連結可能に構成されている。

　図７に示すように、搬入口１５ｂには、複数のマーク１５ｃが設けられている。マーク１５ｃは、自律走行台車３０のカメラ３３により撮像されて認識されるために設けられている。自律走行台車３０の制御部３２は、カメラ３３によるマーク１５ｃの撮像結果に基づいて、搬入口１５ｂの位置を取得するように構成されている。具体的には、制御部３２は、サーバ２０から搬送するツール６０（バックアップピン６１ａ、ノズル６２ａ、廃棄箱６３）の要求のあった部品実装装置１５の情報を取得する。取得する情報には、部品実装装置１５が要求しているツール６０の種類、部品実装装置１５の平面的な位置情報、部品実装装置１５の搬入口１５ｂの立体的な位置情報が含まれる。制御部３２は、部品実装装置１５の平面的な位置情報に基づいて、自律走行台車本体３１を移動させる。制御部３２は、自律走行台車本体３１を目的の部品実装装置１５の前まで移動させた後、搬入口１５ｂの周辺をカメラ３３により撮像する。制御部３２は、撮像結果から搬入口１５ｂに設けられたマーク１５ｃを認識して、搬入口１５ｂの位置を取得する。

　図８に示すように、ロボットアーム４０により、部品実装装置１５に搬入されるツール６０には、複数のマーク６０ａが設けられている。マーク６０ａは、部品実装装置１５の基板認識撮像部１５４ｂにより撮像されて認識されるために設けられている。部品実装装置１５の制御部１５８は、基板認識撮像部１５４ｂによるマーク６０ａの撮像結果に基づいて、搬入されたツール６０の位置を取得するように構成されている。つまり、制御部１５８は、基板認識撮像部１５４ｂにより実装ヘッド１５４ａの可動範囲に搬入された物を撮像して、撮像結果に基づいて物を認識するように構成されている。具体的には、制御部１５８は、ロボットアーム４０の位置決め完了通知を受信した場合に、通知とともに送信されたツール確認位置情報または事前に定義されたツール確認位置情報から基板認識撮像部１５４ｂを対応する位置に移動させる。そして、制御部１５８は、ツール６０のマーク６０ａを基板認識撮像部１５４ｂにより撮像してツール６０の位置を取得する。

　また、制御部１５８は、実装ヘッド１５４ａの可動範囲に搬入された物を認識し、認識結果に基づいてロボットアーム４０から実装ヘッド１５４ａにより物を受け取るように構成されている。また、制御部１５８は、実装ヘッド１５４ａの可動範囲に搬入された物の種類を認識するように構成されている。

　サーバ２０は、部品実装装置１５からツール６０の要求があった場合に、図９～図１２に示す情報を用いて、自律走行台車３０によりツール６０を部品実装装置１５に対して搬送する処理を行う。

　サーバ２０は、図９に示すように、自律走行台車３０（ＡＧＶ）のシリアルＮＯ．と、自律走行台車３０（ＡＧＶ）の名前と、自律走行台車３０（ＡＧＶ）のＩＰアドレスと、対応するサーバ２０のＩＰアドレスと、載置部５０（ツールボックス）に載置されたツール６０の情報と、自律走行台車３０（ＡＧＶ）の現在位置情報とを管理している。また、サーバ２０は、自律走行台車３０（ＡＧＶ）のツール保持情報（種類、高さ、配置情報）を管理している。

　また、サーバ２０は、図１０に示すように、載置部５０（ツールボックス）に載置されたツール６０のツールボックスＮＯ．に対応したツール６０の情報を管理している。ツール６０の情報は、ツール６０の複数のマーク６０ａの位置情報、ノズル６２ａのタイプ情報、バックアップピン６１ａのタイプ情報が含まれている。

　また、サーバ２０は、図１１に示すように、生産計画情報を管理している。生産計画情報は、機種名、ラインＮＯ．生産開始予定時刻、生産終了要諦時刻、生産枚数が含まれている。サーバ２０は、生産計画に基づいて、ツール６０の搬送が必要な装置を予想し、自律走行台車３０を向かわせることが可能なように、自律走行台車３０を予め確保する管理を行うように構成されている。

　また、サーバ２０は、図１２に示すように、複数の部品実装装置１５の位置情報を管理している。部品実装装置１５の位置情報は、ライン情報、部品実装装置情報（実装装置名）、装置位置情報、部品実装装置１５の搬入口１５ｂの位置情報を含んでいる。

　図１３に示すように、ロボットアーム４０のハンド保持部４４は、複数の爪４４ａを有している。複数の爪４４ａは、内側に移動することにより、ハンド４５を固定するように構成されている。爪４４ａは、制御部３２の制御により電動で駆動されるように構成されている。

　図１４に示すように、ロボットアーム４０は、自律走行台車３０に設けられたノズル載置部５２のノズルストッカ６２を保持して搬送する。図１４（Ａ）に示すように、ロボットアーム４０は、搬送するノズルストッカ６２の側方にハンド４５を移動させる。そして、図１４（Ｂ）に示すように、ハンド４５は、ハンド４５の一対の把持部４５１を上下方向に沿って並ぶように回動する。つまり、ハンド４５は、伸縮部４５２の先端の凸部が水平方向に突出するように回動する。なお、ハンド４５は、ハンド保持部４４に対して回転可能に構成されている。また、ハンド４５は、一対の把持部４５１を開閉可能に構成されている。また、ハンド４５は、伸縮部４５２を伸縮可能に構成されている。ハンド４５は、ロボットアーム４０のハンド保持部４４に保持された場合に、端子が接続されて、ロボットアーム４０から給電されるように構成されている。また、ハンド４５は、ロボットアーム４０から供給される電力により駆動するように構成されている。

　図１４（Ｃ）に示すように、ハンド４５は、伸縮部４５２を伸ばす。そして、図１４（Ｄ）に示すように、ハンド４５は、ハンド４５の一対の把持部４５１を水平方向に沿って並ぶように回動する。つまり、ハンド４５は、伸縮部４５２の先端の凸部が上方向に突出するように回動する。これにより、伸縮部４５２の先端の凸部が搬送するノズルストッカ６２に引っ掛けられる。図１４（Ｅ）に示すように、ハンド４５は、伸縮部４５２を縮める。これにより、ノズルストッカ６２が一対の把持部４５１側に引き寄せられる。その結果、ハンド４５にノズルストッカ６２が保持される。なお、ハンド４５にノズルストッカ６２を保持した状態において、伸縮部４５２によりノズルストッカ６２の切替部を操作することが可能である。これにより、ハンド４５により保持されたノズルストッカ６２を、ノズル６２ａを保持する状態と、ノズル６２ａの保持を解除する状態とに切り替えることが可能である。

　図１５に示すように、ロボットアーム４０は、自律走行台車３０に設けられたバックアップピン載置部５１のバックアップピンストッカ６１を保持して搬送する。ロボットアーム４０は、ハンド４５を取り外した状態で、搬送するバックアップピンストッカ６１を下方から把持する。具体的には、ロボットアーム４０は、ハンド保持部４４により、バックアップピンストッカ６１を保持する。なお、バックアップピンストッカ６１の下方には、ハンド４５と同様の形状を有する被把持部が設けられている。

　図１６に示すように、自律走行台車３０の移動規制部３７は、自律走行台車本体３１の走行時において、ロボットアーム４０が動かないように自律走行台車本体３１に対してロボットアーム４０を固定するように構成されている。具体的には、自律走行台車本体３１から上方に棒状の移動規制部材を伸ばして、ロボットアーム４０の各部に設けられた貫通孔に移動規制部材を通すことにより、ロボットアーム４０が自律走行台車本体３１に対して固定される。

　図１７および図１８に示すように、自律走行台車本体３１は、部品実装装置１５に対して連結する。ここで、部品実装装置１５は、実装ライン１０と平行に延びる通路側に、自律走行台車本体３１を連結して固定する連結部７０を備えている。そして、ロボットアーム４０は、自律走行台車本体３１が部品実装装置１５の連結部７０に連結した状態で、部品実装装置１５において使用される物を、部品実装装置１５の内部に搬送するように構成されている。

　また、自律走行台車本体３１は、上下方向に沿った回転軸線回りに回転可能な一対のローラ３８ａと、水平方向に沿った回転軸線回りに回転可能な複数のローラ３８ｂとを有している。ローラ３８ａは、自律走行台車本体３１の左右に１つずつ設けられている。ローラ３８ｂは、自律走行台車本体３１の左右に２つずつ設けられている。左右各々の一対のローラ３８ｂは、ローラ３８ａを挟み込むように上下方向に間隔を隔てて配置されている。

　連結部７０は、水平方向に沿って配置された一対のクランプ部７１を有している。一対のクランプ部７１は、各々、テーパ７１ａと、テーパ７１ｂとを有している。テーパ７１ａは、図１８に示すように、平面視において、部品実装装置１５に向かうにしたがって、間隔が狭まるように形成されている。これにより、自律走行台車本体３１がテーパ７１ａに沿って一対のクランプ部７１の間に誘導される。また、この際、自律走行台車本体３１のローラ３８ａは、クランプ部７１に当接した場合に回転する。テーパ７１ｂは、図１７に示すように、一対のクランプ部７１の各々に対して、上下に一対配置されている。テーパ７１ｂは、部品実装装置１５に向かうにしたがって、間隔が広がるように形成されている。これにより、自律走行台車本体３１がクランプ部７１に乗り上げるように誘導される。また、この際、自律走行台車本体３１のローラ３８ｂは、クランプ部７１に当接した場合に回転する。連結部７０のクランプ部７１は、自律走行台車本体３１が間に配置されると、間隔を狭めることにより、自律走行台車本体３１をクランプして固定する。

　図１９に示すように、ロボットアーム４０は、部品実装装置１５において使用される物を、部品実装装置１５の開口を介して、部品実装装置１５の内部に搬送するように構成されている。具体的には、ロボットアーム４０は、部品実装装置１５の搬入口１５ｂから、部品実装装置１５により使用されるツール６０を搬入および搬出するように構成されている。また、部品実装装置１５の開口（搬入口１５ｂ）は、部品実装装置１５の前方から部品実装装置１５の基板Ｓを搬送するコンベア１５２（基板搬送部）に向けてロボットアーム４０が挿入されるように設けられている。また、部品実装装置１５の開口（搬入口１５ｂ）は、図５に示すように、基板Ｓの搬送方向（Ｘ方向）における一方側の端部近傍に設けられている。ロボットアーム４０は、搬入口１５ｂから基板Ｓの高さ位置と略同じ高さ位置に、ツール６０を搬送するように構成されている。

　また、制御部３２は、部品実装装置１５内の実装ヘッド１５４ａの平面視における可動範囲において、部品実装装置１５において使用される物を搬入および搬出するように、ロボットアーム４０の駆動を制御する。具体的には、制御部３２は、部品実装装置１５内において、実装ヘッド１５４ａに対して部品実装装置１５において使用される物を授受するようにロボットアーム４０の駆動を制御する。

　図１９に示すように、搬入口１５ｂには、カバー１５ｄと、カバー１５ｄを移動させる駆動部１５ｅが設けられている。カバー１５ｄは、駆動部１５ｅにより、搬入口１５ｂを開放する開状態と、搬入口１５ｂを閉塞する閉状態とに切り替えられる。

　図１９（Ａ）に示すように、自律走行台車３０が部品実装装置１５の前に到着する。この際に、制御部３２は、部品実装装置１５にロボットアーム４０を挿入する開口（搬入口１５ｂ）の位置を認識して、自律走行台車本体３１を搬入口１５ｂの位置まで移動させる。そして、図１９（Ｂ）に示すように、カバー１５ｄが開状態とされる。これにより、搬入口１５ｂが開放される。そして、図１９（Ｃ）に示すように、開放された搬入口１５ｂからロボットアーム４０を部品実装装置１５の内部に挿入する。この際に、ロボットアーム４０の上下移動部４１により、搬送するツール６０（バックアップピンストッカ６１）の高さ位置を合わせた状態で、水平移動部４２を伸ばすことにより、ツール６０が部品実装装置１５の内部に挿入される。また、ツール６０が部品実装装置１５の内部に挿入された状態で、水平回動部４３を回動させることにより、ツール６０の位置が調整される。

　ここで、制御部３２は、部品実装装置１５により指示された位置、または、部品実装装置１５の予め設定された位置に、部品実装装置１５において使用される物を搬送するように、ロボットアーム４０の駆動を制御する。また、部品実装装置１５は、ロボットアーム４０が挿入される際に、実装ヘッド１５４ａをロボットアーム４０に干渉しないように退避させる。

　図２０に示すように、ロボットアーム４０は、部品供給台車１５３ｂを部品実装装置１５から取り外すとともに、部品供給台車１５３ｂを部品実装装置１５から取り外したことにより生じる開口を介して、部品実装装置１５において使用される物を、部品実装装置１５の内部に搬送するように構成されている。

　図２０（Ａ）に示すように、ロボットアーム４０は、ハンド保持部４４により、部品供給台車１５３ｂを把持する。なお、部品供給台車１５３ｂの外側には、ハンド４５と同様の形状を有する被把持部が設けられている。図２０（Ｂ）に示すように、ロボットアーム４０により、部品供給台車１５３ｂが把持して連結された状態で、自律走行台車３０は、部品供給台車１５３ｂを部品実装装置１５から取り外すように移動する。

　その後、自律走行台車３０は、部品供給台車１５３ｂを邪魔とならない位置まで移動させる。そして、ロボットアーム４０は、ハンド保持部４４による部品供給台車１５３ｂの把持を解除する。図２０（Ｃ）に示すように、自律走行台車３０は、部品供給台車１５３ｂを取り外した位置まで移動する。また、ロボットアーム４０は、部品供給台車１５３ｂを部品実装装置１５から取り外したことにより生じる開口を介して、部品実装装置１５において使用される物を、部品実装装置１５の内部に搬送する。

　図２１に示すように、ロボットアーム４０は、廃棄箱６３に溜まった廃棄物Ｅ１を回収するように構成されている。廃棄物Ｅ１は、部品Ｅの不良品や、実装を失敗した部品Ｅなどである。廃棄物Ｅ１は、実装ヘッド１５４ａにより、廃棄箱６３に廃棄される。廃棄箱６３には、スロープ６３ａと、ストッパ６３ｂとが設けられている。また、廃棄箱６３は、回収用容器６３ｃが設けられている。

　実装ヘッド１５４ａにより廃棄された廃棄物Ｅ１は、廃棄箱６３に貯留される。ロボットアーム４０は、回収用容器６３ｃをストッパ６３ｂに当接させて、スロープ６３ａを介して廃棄箱６３から回収用容器６３ｃに廃棄物Ｅ１を回収する。また、ロボットアーム４０は、回収用容器６３ｃの廃棄物Ｅ１を自律走行台車３０の廃棄物載置部５３に回収する。この際、ストッパ６３ｂによりスロープ６３ａの下端が覆われて、廃棄物Ｅ１が流出するのが抑制される。

　図２２に示すように、ロボットアーム４０は、部品実装装置１５の校正に用いる校正治具６４を、部品実装装置１５の内部に搬送する。校正治具６４は、治具部品６４ａと、台座６４ｂとを有している。また、校正治具６４は、部品実装装置１５の実装ヘッド１５４ａにより治具部品６４ａが吸着されて、台座６４ｂに載置される。そして、台座６４ｂに載置された治具部品６４ａの位置を基板認識撮像部１５４ｂにより撮像し、撮像結果に基づいて、実装ヘッド１５４ａの移動が校正（調整）される。台座６４ｂには、負圧を供給するための空気通路６４ｃが設けられている。空気通路６４ｃは、バックアップピン６１ａが載置される板部６１ｂを介して負圧が供給されるように構成されている。これにより、台座６４ｂに対して負圧により治具部品６４ａを吸着して固定することができるので、台座６４ｂに載置された治具部品６４ａが位置ずれするのを抑制することが可能である。なお、ロボットアーム４０により、校正治具６４を搬送する際には、ハンド４５の爪により治具部品６４ａの上方を覆うことにより、台座６４ｂから治具部品６４ａが落下することが抑制される。

　図２３および図２４に示すように、サーバ２０は、自律走行台車３０による部品実装装置１５へのツール６０の供給を制御するように構成されている。つまり、サーバ２０は、部品実装装置１５から必要な物の情報を受信し、対応する自律走行台車３０に対して部品実装装置１５に物を搬送する指示を送信するように構成されている。

　図２３のステップＳ１において、部品実装装置１５からツール６０の要求がサーバ２０に送信される。ステップＳ２において、ツール６０の要求をサーバ２０が受信する。ステップＳ３において、サーバ２０は、要求するツール６０を保持する自律走行台車３０（ＡＧＶ）が出動可能であるか否かを判断する。要求するツール６０を保持する自律走行台車３０が他の装置に出動するなどにより出動不可である場合は、ステップＳ４において、サーバ２０は、部品実装装置１５にエラーを通知する。

　要求するツール６０を保持する自律走行台車３０が出動可能であれば、ステップＳ５において、サーバ２０は、移動先情報（部品実装装置１５の情報）およびツール６０の情報を、対応する自律走行台車３０に通知する。ステップＳ６において、自律走行台車３０は、移動先情報およびツール情報を受信し、指定された部品実装装置１５への移動を開始する。

　ステップＳ７において、自律走行台車３０は、指定された部品実装装置１５の前に到着すると、部品実装装置１５に対するツール６０の搬送の承認を、サーバ２０に依頼する。ステップＳ８において、サーバ２０は、自律走行台車３０から受信した承認依頼を部品実装装置１５に対して通知する。

　ステップＳ９において、部品実装装置１５は、承認するか否かを判断する。搬入口１５ｂを開放することができないなどにより承認不可である場合は、ステップＳ１０において、部品実装装置１５は、サーバ２０を介して、自律走行台車３０にエラーを通知する。承認可能であれば、ステップＳ１１において、部品実装装置１５は、実装ヘッド１５４ａを退避させる動作を行う。ステップＳ１２において、部品実装装置１５は、搬入口１５ｂを開放する。そして、部品実装装置１５は、搬入口１５ｂを開放したことをサーバ２０に通知する。

　ステップＳ１３において、サーバ２０は、ツール６０の搬入許可およびツール６０の情報を自律走行台車３０に通知する。ステップＳ１４において、自律走行台車３０は、搬入許可およびツール情報を受信する。ステップＳ１５において、自律走行台車３０は、搬入口１５ｂの位置を認識する。

　ステップＳ１６において、自律走行台車３０は、搬入口１５ｂの位置を認識したか否かを判断する。搬入口１５ｂの位置を認識できなかった場合、ステップＳ１７において、自律走行台車３０は、サーバ２０にエラーを通知する。

　搬入口１５ｂの位置を認識できた場合、図２４のステップＳ１８において、自律走行台車３０は、ロボットアーム４０により、ツール６０の搬入を開始する。ステップＳ１９において、自律走行台車３０は、ロボットアーム４０を所定位置まで移動させる。ステップＳ２０において、自律走行台車３０は、ロボットアーム４０によるツール６０の搬入が終了したことをサーバ２０に通知する。

　ステップＳ２１において、サーバ２０は、自律走行台車３０から受信した搬入が終了したことおよび搬入したツール６０の情報を部品実装装置１５に対して通知する。ステップＳ２２において、部品実装装置１５は、サーバ２０から通知を受信し、基板認識撮像部１５４ｂによる撮像結果に基づいて、ツール６０の位置を認識する。

　ステップＳ２３において、部品実装装置１５は、ツール６０の位置を認識したか否かを判断する。ツール６０の位置を認識できなかった場合、ステップＳ２４において、部品実装装置１５は、サーバ２０にエラーを通知する。ツール６０の位置を認識できた場合、ステップＳ２５において、部品実装装置１５は、実装ヘッド１５４ａにより、ロボットアーム４０により搬入されたツール６０を受け取って交換する。ステップＳ２６において、部品実装装置１５は、ツール６０の交換の終了をサーバ２０に通知する。

　ステップＳ２７において、サーバ２０は、部品実装装置１５からの交換終了の通知を受信し、自律走行台車３０に対して、交換終了を通知する。ステップＳ２８において、サーバ２０は、供給するツール６０がまだあるか否かを判断する。供給するツール６０がある場合、サーバ２０は、自律走行台車３０に通知を行い、ステップＳ１８に戻る。供給するツール６０がない場合、サーバ２０は、自律走行台車３０にツール６０の供給が終了したことを通知する。

　ステップＳ２９において、自律走行台車３０は、サーバからの終了通知を受信し、ロボットアーム４０を、部品実装装置１５から退避させる。ステップＳ３０において、自律走行台車３０は、ロボットアーム４０の退避終了をサーバ２０に通底する。

　ステップＳ３１において、サーバ２０は、自律走行台車３０からの退避終了通知を受信し、退避終了通知を部品実装装置１５に通知する。ステップＳ３２において、部品実装装置１５は、搬入口１５ｂを閉塞する。ステップＳ３３において、部品実装装置１５は、搬入口１５ｂの閉塞をサーバ２０に送信する。ステップＳ３４において、サーバ２０は、搬入口１５ｂの閉塞を受信し、自律走行台車３０による部品実装装置１５へのツール６０の供給処理を終了する。

（本実施形態の効果）
　本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

　本実施形態では、上記のように、制御部３２を、部品実装装置１５内の実装ヘッド１５４ａの平面視における可動範囲において、部品実装装置１５において使用される物を搬入および搬出するように、ロボットアーム４０の駆動を制御するように構成する。これにより、部品実装装置１５内において使用される物をロボットアーム４０により搬入および搬出することができるので、作業者が部品実装装置１５に対して物を搬入および搬出する作業を行う必要がない。その結果、部品実装装置１５内において使用される物を部品実装装置１５に対して搬入および搬出する際の作業者の作業負担を軽減することができる。また、作業者により部品実装装置１５内に物を搬入および搬出する場合と異なり、部品実装装置１５の動作を完全に止める必要がない。これにより、部品実装装置１５による基板製造の効率（生産性）が低下するのを抑制することができる。また、部品実装装置１５において必要な場合に、ロボットアーム４０により物を搬入および搬出することができるので、部品実装装置１５内に使用する物を必要な場合に備えて、部品実装装置１５内に物を保管するための保管スペースを設ける必要がない。これにより、部品実装装置１５の小型化を図ることができる。

　また、本実施形態では、上記のように、制御部３２を、部品実装装置１５内において、実装ヘッド１５４ａに対して部品実装装置１５において使用される物を授受するようにロボットアーム４０の駆動を制御するように構成する。これにより、基板Ｓに対して作業を行う実装ヘッド１５４ａを用いてロボットアーム４０から物を授受することができるので、ロボットアーム４０から物を授受するための専用の部材を設ける必要がない。これにより、部品実装装置１５の部品点数が増加するのを抑制することができるとともに、装置構成が複雑化するのを抑制することができる。

　また、本実施形態では、上記のように、部品実装装置１５を、実装ヘッド１５４ａの可動範囲に搬入された物を認識し、認識結果に基づいてロボットアーム４０から実装ヘッド１５４ａにより物を受け取るように構成する。これにより、搬入された物の位置を精度よく認識して、実装ヘッド１５４ａにより搬入された物を確実に受け取ることができる。

　また、本実施形態では、上記のように、部品実装装置１５を、実装ヘッド１５４ａの可動範囲に搬入された物の種類を認識するように構成する。これにより、搬入された物の種類に応じて、実装ヘッド１５４ａにより適した方法により物を受け取ることができる。

　また、本実施形態では、上記のように、部品実装装置１５を、基板認識撮像部１５４ｂにより実装ヘッド１５４ａの可動範囲に搬入された物を撮像して、撮像結果に基づいて物を認識するように構成する。これにより、基板Ｓを認識する基板認識撮像部１５４ｂを用いて搬入された物を撮像して認識することができるので、搬入された物を認識するための専用の部材を設ける必要がない。これにより、部品実装装置１５の部品点数が増加するのを抑制することができるとともに、装置構成が複雑化するのを抑制することができる。

　また、本実施形態では、上記のように、制御部３２を、部品実装装置１５の実装ヘッド１５４ａに対して、部品実装装置１５において使用される物を授受するようにロボットアーム４０の駆動を制御するように構成する。これにより、部品実装装置１５において使用される物を、ロボットアーム４０により、部品実装装置１５の実装ヘッド１５４ａに授受することができるので、部品実装装置１５において使用される物を部品実装装置１５に対して搬入および搬出する際の作業者の作業負担を軽減することができる。

　また、本実施形態では、上記のように、サーバ２０を、部品実装装置１５から必要な物の情報を受信し、対応する自律走行台車３０に対して部品実装装置１５に物を搬送する指示を送信するように構成する。これにより、サーバ２０により複数の部品実装装置１５に搬送する物の管理を一括して行うことができるので、複数の部品実装装置１５に対する物の搬送を効率よく行うことができる。

　また、本実施形態では、上記のように、制御部３２を、部品実装装置１５にロボットアーム４０を挿入する開口の位置を認識して、自律走行台車を開口の位置まで移動させるように構成する。これにより、部品実装装置１５の開口に対して容易にロボットアーム４０を挿入して、ロボットアーム４０により部品実装装置１５に対して物を容易に搬入および搬出することができる。

　また、本実施形態では、上記のように、制御部３２を、部品実装装置１５により指示された位置、または、部品実装装置１５の予め設定された位置に、部品実装装置１５において使用される物を搬送するように、ロボットアーム４０の駆動を制御するように構成する。これにより、ロボットアーム４０により部品実装装置１５において使用される物を所定の位置に搬送することができるので、搬送される物を部品実装装置１５の所定の動作により容易に授受することができる。

　また、本実施形態では、上記のように、部品実装装置１５を、ロボットアーム４０が挿入される際に、実装ヘッド１５４ａをロボットアーム４０に干渉しないように退避させるように構成する。これにより、ロボットアーム４０による物の搬送中に、ロボットアーム４０と部品実装装置１５の実装ヘッド１５４ａとが干渉するのを抑制することができるので、ロボットアーム４０から物が落下するのを抑制することができる。

　また、本実施形態では、上記のように、部品実装装置１５において使用される物は、基板Ｓを支持するバックアップピン６１ａ、部品Ｅを吸着するノズル６２ａ、部品Ｅを廃棄する廃棄箱６３、および、部品実装装置１５の校正に用いる校正治具６４を含む。これにより、部品実装装置１５にバックアップピン６１ａ、ノズル６２ａ、廃棄箱６３、校正治具６４を搬送する際の作業者の作業負担を軽減することができる。

（変形例）
　なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく請求の範囲によって示され、さらに請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

　たとえば、上記実施形態では、基板作業装置としての部品実装装置において使用される物は、基板を支持するバックアップピン、部品を吸着するノズル、部品を廃棄する廃棄箱、および、基板作業装置の校正に用いる校正治具を含む構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、基板作業装置において使用される物は、基板を支持するバックアップピン、部品を吸着するノズル、部品を廃棄する廃棄箱、および、基板作業装置の校正に用いる校正治具のうち少なくとも１つを含んでいればよい。

　また、上記実施形態では、ロボットアームの駆動を制御する制御部が自律走行台車本体に設けられている構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ロボットアームの駆動を制御する制御部は、ロボットアームに設けられていてもよい。

　また、上記実施形態では、基板作業装置の開口の位置を検出するための検出部としてのカメラが自律走行台車本体に設けられている構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、基板作業装置の開口の位置を検出するための検出部は、ロボットアームに設けられていてもよい。

　また、上記実施形態では、基板製造システムに複数の実装ラインが設けられている構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、基板製造システムに１つの実装ラインが設けられていてもよい。

　また、上記実施形態では、ハンド保持部が複数の爪によりハンドを固定する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ハンド保持部は、球を移動させる機構によりハンドを固定してもよい。

　また、上記実施形態では、サーバを介する通信を行うことにより、基板作業装置としての部品実装装置に対して、自律走行台車が物を搬送する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、基板作業装置および自律走行台車が直接通信することにより、基板作業装置に対して、自律走行台車が物を搬送する構成でもよい。

　また、上記実施形態では、説明の便宜上、制御処理を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローを用いて説明したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御処理を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型（イベントドリブン型）の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。

　１０　実装ライン
　１１　ローダ（基板作業装置）
　１２　印刷機（基板作業装置）
　１３　印刷検査機（基板作業装置）
　１４　ディスペンサ装置（基板作業装置）
　１５　部品実装装置（基板作業装置）
　１６　外観検査装置（基板作業装置）
　１７　リフロー装置（基板作業装置）
　１８　外観検査装置（基板作業装置）
　１９　アンローダ（基板作業装置）
　２０　サーバ
　３０　自律走行台車
　３１　自律走行台車本体（自律走行台車）
　３２　制御部
　４０　ロボットアーム
　４１　上下移動部
　４２　水平移動部
　４３　水平回動部
　４４　ハンド保持部
　４５　ハンド
　５０　載置部
　６１ａ　バックアップピン
　６２ａ　ノズル
　６３　廃棄箱
　６４　校正治具
　７０　連結部
　１００　基板製造システム
　１５３ｂ　部品供給台車
　１５４ａ　実装ヘッド（作業部）
　１５４ｂ　基板認識撮像部（カメラ）
　Ｅ　部品
　Ｓ　基板

Claims

　基板に部品を実装する部品実装装置を含む基板作業装置を複数含む実装ラインと、
　前記実装ラインの前記基板作業装置において使用される物を搬送する自律走行台車と、
　前記自律走行台車に設けられ、前記基板作業装置において使用される物を、前記基板作業装置に対して搬送するロボットアームと、
　前記自律走行台車または前記ロボットアームに設けられ、前記ロボットアームの駆動を制御する制御部と、を備え、
　前記基板作業装置は、基板に対して作業を行う作業部を含み、
　前記制御部は、前記基板作業装置内の前記作業部の平面視における可動範囲において、前記基板作業装置において使用される物を搬入および搬出するように、前記ロボットアームの駆動を制御するように構成されている、基板製造システム。
　前記制御部は、前記基板作業装置内において、前記作業部に対して前記基板作業装置において使用される物を授受するように前記ロボットアームの駆動を制御するように構成されている、請求項１に記載の基板製造システム。
　前記基板作業装置は、前記作業部の可動範囲に搬入された物を認識し、認識結果に基づいて前記ロボットアームから前記作業部により物を受け取るように構成されている、請求項２に記載の基板製造システム。
　前記基板作業装置は、前記作業部の可動範囲に搬入された物の種類を認識するように構成されている、請求項３に記載の基板製造システム。
　前記基板作業装置は、作業対象の基板を認識するカメラを含み、前記カメラにより前記作業部の可動範囲に搬入された物を撮像して、撮像結果に基づいて物を認識するように構成されている、請求項３または４に記載の基板製造システム。
　前記制御部は、前記部品実装装置の前記作業部としての実装ヘッドに対して、前記部品実装装置において使用される物を授受するように前記ロボットアームの駆動を制御するように構成されている、請求項２～５のいずれか１項に記載の基板製造システム。
　前記自律走行台車および複数の前記基板作業装置と通信可能なサーバをさらに備え、
　前記サーバは、前記基板作業装置から必要な物の情報を受信し、対応する前記自律走行台車に対して前記基板作業装置に物を搬送する指示を送信するように構成されている、請求項１～６のいずれか１項に記載の基板製造システム。
　前記制御部は、前記基板作業装置に前記ロボットアームを挿入する開口の位置を認識して、前記自律走行台車を前記開口の位置まで移動させるように構成されている、請求項１～７のいずれか１項に記載の基板製造システム。
　前記制御部は、前記基板作業装置により指示された位置、または、前記基板作業装置の予め設定された位置に、前記基板作業装置において使用される物を搬送するように、前記ロボットアームの駆動を制御するように構成されている、請求項１～８のいずれか１項に記載の基板製造システム。
　前記基板作業装置は、前記ロボットアームが挿入される際に、前記作業部を前記ロボットアームに干渉しないように退避させるように構成されている、請求項１～９のいずれか１項に記載の基板製造システム。
　前記基板作業装置において使用される物は、基板を支持するバックアップピン、部品を吸着するノズル、部品を廃棄する廃棄箱、および、前記基板作業装置の校正に用いる校正治具のうち少なくとも１つを含む、請求項１～１０のいずれか１項に記載の基板製造システム。
　基板に部品を実装する部品実装装置を含む基板作業装置を複数含む実装ラインの前記基板作業装置において使用される物を搬送する自律走行台車本体と、
　前記自律走行台車本体に設けられ、前記基板作業装置において使用される物を、前記基板作業装置に対して搬送するロボットアームと、
　前記自律走行台車本体または前記ロボットアームに設けられ、前記ロボットアームの駆動を制御する制御部と、を備え、
　前記制御部は、前記基板作業装置内の基板に対して作業を行う作業部の平面視における可動範囲において、前記基板作業装置において使用される物を搬入および搬出するように、前記ロボットアームの駆動を制御するように構成されている、自律走行台車。
　基板に部品を実装する部品実装装置を含む基板作業装置を複数含む実装ラインにおける基板製造方法であって、
　前記実装ラインの前記基板作業装置において使用される物を自律走行台車により搬送し、
　前記基板作業装置内の基板に対して作業を行う作業部の平面視における可動範囲において、前記基板作業装置において使用される物を搬入および搬出するように、ロボットアームを駆動させる、基板製造方法。