CN115628862B - 一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置及检漏方法 - Google Patents

Abstract

本申请涉及检测装置领域，尤其涉及一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置及检漏方法；本申请第一方面提供一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，包括：检测座，检测座包括检测罩和下检测座；检测罩和下检测座扣合后，在检测座内腔中，压力传感器上的金属波纹膜片与检测罩之间形成膜片内腔，金属波纹膜片与压力传感器上的压环内壁之间形成膜片外腔；压环外壁与下检测座的内壁，以及部分传感器外壳之间形成检漏腔。与进气孔连通的微型真空泵和氦气储气罐；与检漏孔连通的氦质谱检漏仪。本申请第二方面提供一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏方法，可以在未填充硅油之前对焊缝处进行检漏，节省了工时和工序所要花费的材料，提高了工作效率以及检漏的准确性。

Description

一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置及检漏方法

技术领域

本申请实施例涉及检测装置领域，尤其涉及一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置及检漏方法。

背景技术

压力传感器是工业现场中应用最广泛的传感器之一，为了使压力敏感芯片与被测介质隔离，典型的压力传感器都采用金属波纹膜片进行隔离，如图1所示，图1为压力传感器的剖视图，其中包括：压力敏感芯片100、充油口200、压环300、金属波纹膜片400和传感器外壳500；隔绝金属波纹膜片400和压力敏感芯片100之间通过充油口200填充硅油，金属波纹膜片400除了起到介质隔离的作用外，还将压力无损地传递给压力敏感芯片100。

金属波纹膜片400的厚度大多在3～30μm之间，在实际生产中，常将金属波纹膜片400夹在压环300与传感器外壳500之间，采用激光、电子束、等离子等方式将压环300、金属波纹膜片400、传感器外壳500焊接在一起。金属波纹膜片400焊接是压力传感器生产过程中的重要工序，焊接质量决定整个传感器的性能，在生产中经常出现由于膜片焊接不好而出现焊缝微漏，填充硅油后出现漏油的现象，这样将导致整个传感器报废，降低了产品的合格率。

目前，压力传感器金属波纹膜片400焊缝检漏大多在填充硅油后，采用高倍显微镜下人工检查是否出现漏硅油的检测方法，该方法检测准确度差、检测效率低，容易出现漏检、错检的情况，同时填充硅油后才检测出不合格品还造成了工时和材料的浪费。

发明内容

为解决上述人工检漏准确度差、检测效率低且浪费工时和材料的问题，本申请第一方面提供一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，包括：检测座，检测座包括相互扣合的检测罩和下检测座，检测罩和下检测座共同围合成检测座的内腔。

检测座的内腔用于放置待检测的压力传感器，且压力传感器通过传感器固定架固定在下检测座的内底壁上，压力传感器的金属波纹膜片与检测罩之间形成膜片内腔，金属波纹膜片与压环的内壁之间形成膜片外腔；压环的外壁与下检测座的内壁，以及部分传感器外壳之间形成检漏腔。

检测座内壁中设有通气管道；膜片内腔与膜片外腔之间通过通气管道连通。

检测罩上还设有进气孔和检漏孔；进气孔与膜片内腔连通，检漏孔与检漏腔连通。

与进气孔连通的微型真空泵，微型真空泵用于对检测座内腔抽真空。

与进气孔连通的氦气充气阀门，氦气充气阀门还连通氦气储气罐，当氦气充气阀门打开时，氦气储气罐向检测座内腔中通入氦气。

与检漏孔连通的检漏仪阀门，检漏仪阀门还连通氦质谱检漏仪，当检漏仪阀门打开时，氦质谱检漏仪检测检漏腔内的氦气含量。

在一种可行的实现方式中，还包括第一密封圈、第二密封圈和第三密封圈。

第一密封圈设在压力传感器压环与下检测座的内底壁之间。

第二密封圈设在传感器外壳与下检测座的内壁之间。

第三密封圈设在检测罩和下检测座之间，第三密封圈上设有密封孔。

通气管道包括上通气管道和下通气管道，上通气管道设在检测罩的内壁中，下通气管道设在下检测座的内壁中；密封孔与上通气管道和下通气管道连通。

在一种可行的实现方式中，还包括抽真空阀门和氦气回收阀门。

抽真空阀门与微型真空泵连通，抽真空阀门打开时，微型真空泵对膜片内腔抽真空。

氦气回收阀门一端连通微型真空泵，另一端连通氦气储气罐，氦气回收阀门打开时，微型真空泵从膜片内腔和膜片外腔中抽取氦气并回收到氦气储气罐中。

在一种可行的实现方式中，还包括空气充气阀门和空气气源。

空气充气阀门一端连通膜片内腔，另一端连通空气气源。

当空气充气阀门打开时，空气气源向检测座内腔中通入空气。

在一种可行的实现方式中，还包括气泵阀门和气泵。

气泵阀门一端连通检测罩上的检漏孔，另一端连通气泵。

当检测罩与下检测座分离后，开启气泵阀门、启动气泵可以抽出检测罩上检漏孔内残留的氦气。

在一种可行的实现方式中，还包括压力变送器，压力变送器设在检测罩上的进气孔与氦气充气阀门之间，压力变送器用于检测充入膜片内腔中的氦气压力。

在一种可行的实现方式中，还包括：三轴滑台模组和承载盘。

三轴滑台模组上设有检测罩夹持工装，检测罩夹持工装用于固定检测罩。

承载盘设有若干安装孔，安装孔用于放置下检测座。

在一种可行的实现方式中，还包括：测控主机和控制器；

三轴滑台模组还设有上定位器，承载盘上还设有下定位器，上定位器与下定位器信号连接，控制器与三轴滑台模组和上定位器均为信号连接，控制器被配置为控制三轴滑台模组移动所述检测罩夹持工装；

上定位器被配置为：在上定位器与所述下定位器之间的距离符合预设距离时，发出定位信号；

控制器被配置为：获取并根据所述定位信号，记录上定位器的位置坐标，并将位置坐标作为控制三轴滑台模组移动检测罩夹持工装的基准；

测控主机与控制器也为信号连接，测控主机被配置为：通过人机交互控制所述控制器的操作。

在一种可行的实现方式中，还包括：传送带；

控制器与传送带信号连接，控制器还被配置为：控制传送带的启动和停止；

传送带上设置有按照固定距离等距分布的若干个放置区域，放置区域用于放置承载盘，传送带用于传送承载盘到三轴滑台模组下方的待检测位置；

当传送带移动一个所述固定距离时，控制器控制传送带停止，再控制三轴滑台模组移动检测罩夹持工装，对当前承载盘上的所有待检测压力传感器进行检漏；

当完成对当前所述承载盘上的所有待检测压力传感器的检漏操作后，控制器控制传送带启动，再移动一个所述固定距离后停止，此时下一个承载盘到达所述待检测位置。

本申请第二方面提供一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏方法，应用于上述任意一种的一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，焊缝检漏方法包括：

将检测罩与下检测座紧紧扣合在一起。

启动微型真空泵将膜片内腔和膜片外腔内的空气抽出。

关闭微型真空泵，打开氦气充气阀门，通过氦气储气罐与膜片内腔和膜片外腔之间的压力差，将氦气储气罐内的氦气充入膜片内腔和膜片外腔内。

关闭氦气充气阀门，打开检漏仪阀门，通过氦质谱检漏仪对检漏腔进行抽真空，若在预设时长内，氦质谱检漏仪检测到检漏腔的真空度达到预设数值后，则执行下一步骤；若在预设时长内，氦质谱检漏仪检测到检漏腔的真空度未达到预设数值后，说明当前被检的压力传感器波纹膜片焊缝有漏点。

氦质谱检漏仪对检漏腔进行氦气检测，若氦气检测结果为检出氦气时，说明当前被检的压力传感器波纹膜片焊缝有漏点，若氦气检测结果信号为未检出氦气时，表明此时被检测的下检测座内的压力传感器的焊缝没有漏点。

由上述技术方案可知，本申请第一方面提供一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，包括：检测座，检测座包括检测罩和下检测座；下检测座用于放置待检测的压力传感器；检测罩和下检测座扣合后，在检测座内腔中，压力传感器上的金属波纹膜片与检测罩之间形成膜片内腔，金属波纹膜片与压力传感器上的压环内壁之间形成膜片外腔；压环外壁与下检测座的内壁，以及部分传感器外壳之间形成检漏腔。与进气孔连通的微型真空泵和氦气储气罐；与检漏孔连通的氦质谱检漏仪。通过检测座可以将金属波纹膜片两侧的膜片内腔和膜片外腔连通，使得金属波纹膜片两侧具有相同的压力；检漏腔与膜片内腔、膜片外腔隔绝，通过氦质谱检漏仪可以检测出检漏腔是否存在氦气泄漏，进而确定焊缝位置是否存在漏点。本申请第二方面提供一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏方法，可以在未填充硅油之前对焊缝处进行检漏，本申请通过装置检漏大大提高了工作效率以及检漏的准确性，同时在未填充硅油之前对焊缝处进行检漏，节省了填充硅油的工时和工序所要花费的材料。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明实施的实施例，并与说明书一起用于解释本发明实施例的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明实施的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为压力传感器的剖视图；

图2为本申请一示例性实施例示出的检测座的剖视图；

图3为本申请一示例性实施例示出的压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置连接结构示意图；

图4为本申请一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏方法的流程示意图；

图5为本申请一示例性实施例示出的装置整体结构示意图。

附图标记说明：

1-测控主机；2-控制器；3-承载盘；4-检测座；5-气泵；6-三轴滑台模组；7-空气气源；8-氦质谱检漏仪；9-微型真空泵；10-氦气储气罐；11-膜片内腔；12-膜片外腔；13-检漏腔；14-压力变送器；15-传送带；31-安装孔；32-下定位器；41-检测罩；42-下检测座；43-通气管道；44-传感器固定架；51-气泵阀门；61-检测罩夹持工装；62-上定位器；71-空气充气阀门；81-检漏仪阀门；91-抽真空阀门；92-氦气回收阀门；101-氦气充气阀门；411-进气孔；412-检漏孔；421-第一密封圈；422-第二密封圈；423-第三密封圈；423a-密封孔；431-上通气管道；432-下通气管道；100-压力敏感芯片；200-充油口；300-压环；400-金属波纹膜片；500-传感器外壳。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本发明实施例将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本发明实施例的实施方式的充分理解。

压力传感器是工业现场中应用最广泛的传感器之一，为了使压力敏感芯片与被测介质隔离，典型的压力传感器都采用金属波纹膜片进行隔离，如图1所示，图1为压力传感器的剖视图，其中包括：压力敏感芯片100、充油口200、压环300、金属波纹膜片400和传感器外壳500；金属波纹膜片400和压力敏感芯片100之间通过充油口200填充硅油，金属波纹膜片400除了起到介质隔离的作用外，还将压力无损地传递给压力敏感芯片100。

金属波纹膜片400的厚度大多在3～30μm之间，在实际生产中，常将金属波纹膜片400夹在压环300与传感器外壳500之间，采用激光、电子束、等离子等方式将压环300、金属波纹膜片400、传感器外壳500焊接在一起。金属波纹膜片400焊接是压力传感器生产过程中的重要工序，焊接质量决定整个传感器的性能，在生产中经常出现由于膜片焊接不好而出现焊缝微漏，填充硅油后出现漏油的现象，这样将导致整个传感器报废，降低了产品的合格率。

目前，压力传感器金属波纹膜片400焊缝检漏大多在填充硅油后，采用高倍显微镜下人工检查是否出现漏硅油的检测方法，该方法检测准确度差、检测效率低，容易出现漏检、错检的情况。

另一方面，膜片焊接一般是硅油充灌、传感器测试的前道工序，由于大多膜片焊缝的漏点都是微小的，在焊接后不易被发现，甚至在充灌硅油后都不能被发现，在传感器低温环境测试阶段才出现传感器漏油的现象，而此时传感器已完成了充油及一部分测试工作了，膜片焊缝的泄漏不可避免地浪费了人力、物力、财力。

与其他的膜片焊缝检漏相比，金属波纹膜片焊缝检漏的难点在于不能采用膜片单侧加压另一侧检漏的方法，必须保证在整个检漏过程中，金属波纹膜片两侧的压力相同，否则检漏中会使膜片变形、甚至损坏。因此，压力传感器金属波纹膜片焊缝检漏才会采用高倍显微镜下人工的检测方法。

由上述背景可知，本发明意在提供一种检漏效果好、检漏效率高、易于装配、使用方便的压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置及其检漏方法。

本申请实施例第一方面提供一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，如图1、图2和图5所示，图2为本申请一示例性实施例示出的检测座的剖视图；图5为本申请一示例性实施例示出的装置整体结构示意图；其中包括：检测座4，检测座4包括相互扣合的检测罩41和下检测座42，检测罩41和下检测座42共同围合成检测座4的内腔；检测座4的内腔用于放置待检测的压力传感器，且压力传感器通过传感器固定架44固定在下检测座42的内底壁上，压力传感器的金属波纹膜片400与检测罩41之间形成膜片内腔11，金属波纹膜片400与压环300的内壁之间形成膜片外腔12；压环300的外壁与下检测座42的内壁，以及部分传感器外壳500之间形成检漏腔13。

传感器外壳500和压环300之间设有金属波纹膜片400，金属波纹膜片400与压环300之间的焊接点在检漏腔13的内壁上，因此焊接点如果出现焊接问题，就可以通过对检漏腔13进行检测发现。

检测座4内壁中设有通气管道43；膜片内腔11与膜片外腔12之间通过通气管道43连通；通过通气管道43可以使膜片内腔11与膜片外腔12保证气体通畅，实现了金属波纹膜片400两侧压力相同，因此检测中也不会使膜片变形及损坏。

检测罩41上还设有进气孔411和检漏孔412；进气孔411与膜片内腔11连通，检漏孔412与检漏腔13连通。

与进气孔411连通的微型真空泵9，微型真空泵9用于对检测座4内腔抽真空，抽真空时通过进气孔411只会抽出膜片内腔11和膜片外腔12中的气体，而不会将检漏腔13中的气体抽出。

与进气孔411连通的氦气充气阀门101，氦气充气阀门101还连通氦气储气罐10，当氦气充气阀门101打开时，氦气储气罐10向检测座4内腔中通入氦气，此时通过进气孔411，膜片内腔11和膜片外腔12中被充进氦气，而检漏腔13中没有氦气进入。

与检漏孔412连通的检漏仪阀门81，检漏仪阀门81还连通氦质谱检漏仪8，当检漏仪阀门81打开时，氦质谱检漏仪8检测检漏腔13内的氦气含量，可以理解的是，如果检测出氦气，说明检漏腔13中泄漏进氦气，进而说明焊缝有漏点，如果没有检测出氦气，说明检漏腔13中未泄漏进氦气，进而说明焊缝质量合格。

由上述技术方案可知，本申请第一方面提供一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，包括：检测座4，检测座4包括检测罩41和下检测座42；下检测座42用于放置待检测的压力传感器；检测罩41和下检测座42扣合后，在检测座4内腔中，压力传感器上的金属波纹膜片400与检测罩4之间形成膜片内腔11，金属波纹膜片400与压力传感器上的压环300内壁之间形成膜片外腔12；压环300外壁与下检测座42内壁，以及部分传感器外壳500之间形成检漏腔13。与膜片内腔11和膜片外腔12连通的微型真空泵9和氦气储气罐10；与检漏腔13连通的氦质谱检漏仪8。通过检测座4可以将金属波纹膜片400两侧的膜片内腔11和膜片外腔12连通，使得金属波纹膜片400两侧具有相同的压力；检漏腔13与膜片内腔11、膜片外腔12隔绝，通过氦质谱检漏仪8可以检测出检漏腔13是否存在氦气泄漏，进而确定焊接位置是否存在漏点。

本申请另一方面提供一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏方法，应用于上述压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，如图4所示，图4为本申请一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏方法的流程示意图；焊缝检漏方法包括：

S1:将检测罩41与下检测座42紧紧扣合在一起；确保检测座4内部空间密闭，待检测压力传感器位置固定，不会出现没有对准导致泄漏的情况。

S2:启动微型真空泵9将膜片内腔11和膜片外腔12内的空气抽出；此时金属波纹膜片400两侧保持相同的压力，抽真空可以方便氦气进入到膜片内腔11和膜片外腔12。

S3:关闭微型真空泵9，打开氦气充气阀门101，通过氦气储气罐10与膜片内腔11和膜片外腔12之间的压力差，将氦气储气罐内10的氦气充入膜片内腔11和膜片外腔12内；此时金属波纹膜片400两侧依然保持相同的压力，不会对金属波纹膜片400造成损伤。

S4:关闭氦气充气阀门101，打开检漏仪阀门81，通过氦质谱检漏仪8对检漏腔13进行抽真空，若在预设时长内，氦质谱检漏仪8检测到检漏腔13的真空度达到预设数值后，则执行下一步骤S5；若在预设时长内，氦质谱检漏仪8检测到检漏腔13的真空度未达到预设数值后，说明当前被检的压力传感器波纹膜片焊缝有较大的漏点。

由于预设时间的原因，短时间内可检测出真空度不符合，说明焊缝漏点较大，此时可以不需要进行氦气的检测就可以确定该压力传感器不合格。可以理解的是，即使真空度数值符合要求也不能说明焊缝一定没有漏点，因为存在漏点较小，氦气泄漏较慢的情况，也会使真空度数值符合要求，还需要进行下一步检测。一般预设时长为30秒，也可根据实际情况设置不同的预设时间，本申请不做具体限制。

S5:氦质谱检漏仪8对检漏腔13进行氦气检测，若氦气检测结果为检出氦气时，说明当前下检测座42内被检测的压力传感器金属波纹膜片400焊缝有漏点，若氦气检测结果信号为未检出氦气时，表明当前下检测座42内被检测的压力传感器金属波纹膜片400的焊缝没有漏点。在真空度符合要求的情况下，检漏腔13中没有残留的空气，氦质谱检漏仪8检测到氦气，可以确认是由膜片内腔11和膜片外腔12中泄漏进来的，因此可以判断金属波纹膜片400焊缝处有漏点。

本申请第二方面提供一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏方法，可以在未填充硅油之前对焊缝进行检漏，本申请通过装置检漏大大提高了工作效率以及检漏的准确性，同时在未填充硅油之前对焊缝进行检漏，节省了填充硅油的工时和工序所要花费的材料。

在本申请的一些实施例中，继续参照图2所示，压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置还包括：

第一密封圈421设在压力传感器压环与下检测座42的内底壁之间；

第二密封圈422设在传感器外壳与下检测座42的内壁之间；

第三密封圈423设在检测罩41和下检测座42之间，第三密封圈423上设有密封孔423a。

通气管道43包括上通气管道431和下通气管道432，上通气管道431设在检测罩41的内壁中，下通气管道432设在下检测座42的内壁中；密封孔423a与上通气管道431和下通气管道432连通。

本实施例中采用第一密封圈421、第二密封圈422可以确保膜片内腔11、膜片外腔12与检漏腔13的密封隔离，同时确保膜片内腔11、膜片外腔12除了与进气孔411连通外，与其他部位均为密闭，检漏腔13除了与检漏孔412连通外，与其他部位均为密闭，不会存在气体泄漏的情况，影响检漏结果；第三密封圈423可以确保在检测罩41和下检测座42扣合时与外部的密封隔离，同时第三密封圈423上设有密封孔423a可以与上通气管道431和下通气管道432连通，不会影响通气管道43的连通性。

在本申请的一些实施例中，继续参照图2和图5所示，压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置还包括：抽真空阀门91和氦气回收阀门92；

抽真空阀门91与微型真空泵9连通，抽真空阀门91打开，氦气回收阀门92关闭时，启动微型真空泵9可以对膜片内腔11抽真空；通过控制抽真空阀门91、氦气回收阀门92和微型真空泵9的开启或关闭，可以对抽真空的效果进行控制。

氦气回收阀门92一端连通微型真空泵9，另一端连通氦气储气罐10，氦气回收阀门92打开，抽真空阀门91关闭时，启动微型真空泵9可以从膜片内腔11和膜片外腔12中抽取氦气并回收到氦气储气罐10中，以备下次捡漏时重复使用，节约氦气，避免浪费。

在本申请的一些实施例中，继续参照图2和图5所示，还包括气泵阀门51和气泵5；气泵阀门51一端连通检测罩41上的检漏孔412，另一端连通气泵5；当检测罩41与下检测座42分离后，开启气泵阀门、启动气泵5可以抽出检测罩41上检漏孔412内残留的氦气，避免对下一次检漏造成干扰。

在本申请的一些实施例中，继续参照图2和图5所示，还包括空气充气阀门71和空气气源7；空气充气阀门71一端连通检测罩41上的进气孔411，另一端连通空气气源7；当完成对待检测压力传感器检漏操作并回收氦气后，开启空气充气阀门71，空气气源7向检测座4内腔中通入空气，可以使检测座4内腔回到常压状态，以利于检测罩41与下检测座42的分离。空气气源7可以为环境中的大气，也可以采用空气管道、容器等方式，在此不做特别规定。

在本申请的一些实施例中，继续参照图2和图5所示，还包括压力变送器14，压力变送器14设在检测罩41上的进气孔411与氦气充气阀门101之间，压力变送器14用于检测充入膜片内腔11中的氦气压力，调整充入膜片内腔11中氦气的量，避免充入氦气的量过多或过少，给检漏造成影响。

在本申请的一些实施例中，参照图3所示，图3为本申请一示例性实施例示出的压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置连接结构示意图；还包括：三轴滑台模组6和承载盘3；

三轴滑台模组6上设有检测罩夹持工装61，检测罩夹持工装61用于固定检测罩41；承载盘3上设有若干安装孔31，安装孔31用于放置下检测座42。通过三轴滑台模组6和承载盘3可以实现对待检测压力传感器的批量检漏，加快检漏效率。

在本申请的一些实施例中，继续参照图3和图5所示，还包括：

测控主机1和控制器2。

三轴滑台模组6还设有上定位器62，承载盘3上还设有下定位器32，上定位器62与下定位器32信号连接，控制器2与三轴滑台模组6和上定位器62均为信号连接，控制器2被配置为控制三轴滑台模组6移动检测罩夹持工装61。上定位器62被配置为：当上定位器62与下定位器32之间的距离符合预设距离时，发出定位信号。控制器2被配置为：获取并根据定位信号，记录上定位器62的位置坐标，并将位置坐标作为控制所述三轴滑台模组6移动的基准；以后控制器2在控制三轴滑台模组6沿上下、前后、左右三个方向移动检测罩夹持工装61，实现检测罩41与承载盘3上所有下检测座42对接时，均以此位置坐标为依据；本申请实施例中，通过控制器2控制三轴滑台模组6沿上下、前后、左右三个方向移动检测罩夹持工装61，当检测罩夹持工装61上的上定位器62移动到与下定位器32之间的距离达到预设范围内时，上定位器62向控制器2发送定位信号，此时检测罩41与承载盘3上的第一个下检测座42位置相对；控制器2控制三轴滑台模组6向靠近承载盘3的方向移动，进而带动检测罩41向下移动，最终使检测罩41与承载盘3上的第一个下检测座42紧紧扣合在一起。由于承载盘3上的每一个下检测座42之间的相对位置是固定的，依据三轴滑台模组6的基准，通过控制器2控制三轴滑台模组6沿上下、前后、左右三个方向移动预设距离，可以实现检测罩41与承载盘3上的每一个下检测座42的精准对接。

可以理解的是，控制器2同时也可以控制各个阀门的开启和关闭，测控主机1与控制器2也为信号连接，测控主机1被配置为：通过人机交互控制所述控制器2的操作，检测人员可以通过测控主机1控制和确认压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置的状态。

在本申请的一些实施例中，继续参照图3和图5所示，还包括：传送带15，控制器2与传送带15信号连接，控制器2还被配置为：控制传送带15的启动和停止；传送带15上设置有按照固定距离等距分布的若干个放置区域，放置区域用于放置承载盘3，传送带15用于传送承载盘3到三轴滑台模组6下方的待检测位置。当传送带15移动一个所述固定距离时，控制器2控制传送带15停止，控制三轴滑台模组6移动检测罩夹持工装61，对当前承载盘3上的所有待检测压力传感器进行检漏；当完成对当前承载盘3上的所有待检测压力传感器的检漏操作后，控制器2控制传送带15启动，再移动一个所述固定距离后停止，下一个承载盘3到达所述待检测位置。本申请采用传送带15可以使得压力传感器波纹膜片焊缝检漏为半自动化的检测，大大节省了人力并提高了检测效率。

在基于上述的实施例中的压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，本申请的压力传感器波纹膜片焊缝检漏方法在一些实施例中，包括步骤：

S100：将所有待检测压力传感器依次装配到下检测座42中，并放置在承载盘3上的安装孔31内；

S200：将装配好的承载盘3依次放置在传送带15上的预设区域内；

S300：通过测控主机1启动控制器2，控制传送带15移动，当传送带15移动固定距离后，传送带15上的一个承载盘3移动至三轴滑台模组6下方区域；

S400：通过测控主机1控制控制器2开启压力传感器波纹膜片焊缝自动检漏流程，自动检漏流程如下：

S401：通过控制器2控制三轴滑台模组6沿上下、前后、左右三个方向移动检测罩夹持工装17，当检测罩夹持工装17上的上定位器62移动到与下定位器32之间的距离达到预设范围内时，上定位器62向控制器2发送定位信号，此时检测罩41与承载盘3上的第一个下检测座42位置相对；控制器2记录此时三轴滑台模组6所处的坐标位置，并将此坐标位置作为三轴滑台模组6的移动基准；

S402：通过控制器2控制三轴滑台模组6向下移动预设距离，进而带动检测罩41向下移动，最终使检测罩41与下检测座42紧紧扣合在一起；

S403：通过控制器2开启抽真空阀门91，关闭氦气回收阀门92，启动微型真空泵9将膜片内腔11和膜片外腔12内的空气抽出后，关闭抽真空阀门91；

S404：通过控制器2开启氦气充气阀门101，通过氦气储气罐10与膜片内腔11和膜片外腔12之间的压力差，将氦气储气罐10内的氦气充入膜片内腔11和膜片外腔12内；通过压力变送器14实时检测膜片内腔11和膜片外腔12内氦气的压力，当压力变送器14检测到的压力值达到预设压力值时，关闭氦气充气阀门101；

S405：通过控制器2开启检漏仪阀门81，关闭气泵阀门51，通过控制器2启动氦质谱检漏仪8对检漏腔13进行抽真空；

S406：通过控制器2采集氦质谱检漏仪8输出的真空度信号，当在预设时间内，氦质谱检漏仪8检测到检漏腔13的真空度达到预设数值后，执行S407步骤；当在预设时间内，氦质谱检漏仪8检测到检漏腔13的真空度未达到预设数值后，说明当前被检测的压力传感器波纹膜片焊缝有漏点，控制器2记录当前被检测的压力传感器所位于的承载盘3的编号，以及所位于承载盘3中的下检测座42的编号，执行S408步骤；

S407：通过控制器2采集氦质谱检漏仪8输出的氦气检测结果信号，若氦气检测结果信号为检出氦气时，表明此时被检测的下检测座42内的压力传感器的焊缝有漏点，控制器2记录当前被检测的压力传感器所位于的承载盘3的编号，以及所位于承载盘3中的下检测座42的编号，若氦气检测结果信号为未检出氦气时，表明此时被检测的下检测座42内的压力传感器的焊缝没有漏点；

S408：通过控制器2关闭检漏仪阀门81，开启氦气回收阀门92，并启动微型真空泵9将膜片内腔11和膜片外腔12内的氦气抽回到氦气储气罐10中，抽气完毕后关闭氦气回收阀门92；

S409：通过控制器2开启空气充气阀门71，通过空气气源7与膜片内腔11和膜片外腔12的压力差，将空气气源7内的空气充入膜片内腔11和膜片外腔12内，操作完成后，关闭空气充气阀门71；

S410：通过控制器2控制三轴滑台模组6向上移动预设距离，使检测罩41与下检测座42分离；

S411：通过控制器2开启气泵阀门51，启动气泵5，通过气泵5抽出检测罩41上检漏孔412内残留的氦气；

S412：通过控制器2判断当前承载盘3上所有待检测压力传感器是否都被检测完，若未全部被检测完，执行S413步骤，若全部被检测完，执行S414步骤；

S413：通过控制器2控制三轴滑台模组6沿前后、左右方向移动预设距离后，控制三轴滑台模组6向下移动预设距离，使检测罩41与承载盘3上的下一个下检测座42紧紧扣合在一起，重复执行S403～S412步骤；

S414：通过控制器2将所有膜片焊缝有漏点的压力传感器所位于的承载盘3的编号，以及所位于承载盘3中的下检测座42的编号传送至测控主机1，测控主机1显示并存储当前承载盘3上所有被检测的压力传感器的检测结果；

S500：重复执行S300～S400，直至传送带15上所有承载盘3上的压力传感器被全部检测完毕，结束检漏流程。

由上述实施例可知，本申请第一方面提供一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，包括：检测座，检测座包括检测罩和下检测座；下检测座用于装配待检测的压力传感器；检测罩和下检测座扣合后，在检测座内腔中，压力传感器上的金属波纹膜片与检测罩之间形成膜片内腔，金属波纹膜片与压力传感器上的压环内壁之间形成膜片外腔；压环外壁与下检测座的内壁，以及部分传感器外壳之间形成检漏腔。与膜片内腔和膜片外腔连通的微型真空泵和氦气储气罐；与检漏腔连通的氦质谱检漏仪。通过检测座可以将金属波纹膜片两侧的膜片内腔和膜片外腔连通，使得金属波纹膜片两侧具有相同的压力；检漏腔与膜片内腔、膜片外腔隔绝，通过氦质谱检漏仪可以检测出检漏腔是否存在氦气泄漏，进而确定焊缝位置是否存在漏点。本申请第二方面提供一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏方法，可以在未填充硅油之前对焊缝处进行检漏。本申请通过装置检漏大大提高了工作效率以及检漏的准确性，同时在未填充硅油之前对焊缝处进行检漏，节省了填充硅油的工时和工序所要花费的材料。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的公开后，将容易想到本公开的其它实施方案。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由下面的权利要求指出。

应当理解的是，本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (10)

1.一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，其特征在于，包括：检测座（4），所述检测座（4）包括相互扣合的检测罩（41）和下检测座（42），所述检测罩（41）和所述下检测座（42）共同围合成所述检测座（4）的内腔；

所述压力传感器，包括：压力敏感芯片（100）、充油口（200）、压环（300）、金属波纹膜片（400）、传感器外壳（500）；

所述检测座（4）的内腔用于放置待检测的压力传感器，且所述压力传感器通过传感器固定架（44）固定在所述下检测座（42）的内底壁上，所述压力传感器的金属波纹膜片（400）与所述检测罩（41）之间形成膜片内腔（11），所述金属波纹膜片（400）与所述压环（300）的内壁之间形成膜片外腔（12）；所述压环（300）的外壁与所述下检测座（42）内壁，以及部分传感器外壳（500）之间形成检漏腔（13）；

所述检测座（4）内壁中设有通气管道（43）；所述膜片内腔（11）与所述膜片外腔（12）之间通过通气管道（43）连通；

所述检测罩（41）上还设有进气孔（411）和检漏孔（412）；所述进气孔（411）与所述膜片内腔（11）连通，所述检漏孔（412）与所述检漏腔（13）连通；

与所述进气孔（411）连通的微型真空泵（9），所述微型真空泵（9）用于对所述检测座（4）内腔抽真空；

与所述进气孔（411）连通的氦气充气阀门（101），所述氦气充气阀门（101）还连通氦气储气罐（10），当所述氦气充气阀门（101）打开时，所述氦气储气罐（10）向所述检测座（4）内腔中通入氦气；

与检漏孔（412）连通的检漏仪阀门（81），所述检漏仪阀门（81）还连通氦质谱检漏仪（8），当所述检漏仪阀门（81）打开时，所述氦质谱检漏仪（8）检测所述检漏腔（13）内的氦气含量。

2.根据权利要求1所述的一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，其特征在于，还包括第一密封圈（421）、第二密封圈（422）和第三密封圈（423）；

所述第一密封圈（421）设在所述压力传感器压环（300）与所述下检测座（42）的内壁之间；

所述第二密封圈（422）设在所述传感器外壳（500）与所述下检测座（42）的内壁之间；

所述第三密封圈（423）设在所述检测罩（41）和下检测座（42）之间，所述第三密封圈（423）上设有密封孔（423a）；

所述通气管道（43）包括上通气管道（431）和下通气管道（432），所述上通气管道（431）设在所述检测罩（41）的内壁中，所述下通气管道（432）设在所述下检测座（42）的内壁中；所述密封孔（423a）与所述上通气管道（431）和所述下通气管道（432）连通。

3.根据权利要求1所述的一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，其特征在于，还包括抽真空阀门（91）和氦气回收阀门（92）；

所述抽真空阀门（91）与所述微型真空泵（9）连通，所述抽真空阀门（91）打开时，所述微型真空泵（9）对所述膜片内腔（11）抽真空；

所述氦气回收阀门（92）一端连通所述微型真空泵（9），另一端连通所述氦气储气罐（10），所述氦气回收阀门（92）打开时，所述微型真空泵（9）从所述膜片内腔（11）和膜片外腔（12）中抽取氦气并回收到所述氦气储气罐（10）中。

4.根据权利要求1所述的一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，其特征在于，还包括空气充气阀门（71）和空气气源（7）；

所述空气充气阀门（71）一端连通所述膜片内腔（11），另一端连通所述空气气源（7）；

当所述空气充气阀门（71）打开时，所述空气气源（7）向所述检测座（4）内腔中通入空气。

5.根据权利要求1所述的一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，其特征在于，还包括气泵阀门（51）和气泵（5）；

所述气泵阀门（51）一端连通所述检测罩（41）上的所述检漏孔（412），另一端连通所述气泵（5）；

当所述气泵阀门（51）打开时，所述气泵（5）吸取所述检测罩（41）上的所述检漏孔（412）内残留的氦气。

6.根据权利要求1所述的一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，其特征在于，还包括压力变送器（14），所述压力变送器（14）设在所述检测罩（41）上的进气孔（411）与氦气充气阀门（101）之间，所述压力变送器（14）用于检测充入所述膜片内腔（11）中的氦气压力。

7.根据权利要求1所述的一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，其特征在于，还包括：三轴滑台模组（6）和承载盘（3）；

所述三轴滑台模组（6）上设有检测罩夹持工装（61），所述检测罩夹持工装（61）用于固定所述检测罩（41）；

所述承载盘（3）设有若干安装孔（31），所述安装孔（31）用于放置所述下检测座（42）。

8.根据权利要求7所述的一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，其特征在于，还包括：测控主机（1）和控制器（2）；

所述三轴滑台模组（6）还设有上定位器（62），所述承载盘（3）上还设有下定位器（32），所述上定位器（62）与所述下定位器（32）信号连接，所述控制器（2）与所述三轴滑台模组（6）和所述上定位器（62）均为信号连接，所述控制器（2）被配置为控制所述三轴滑台模组（6）移动所述检测罩夹持工装（61）；

所述上定位器（62）被配置为：当所述上定位器（62）与所述下定位器（32）之间的距离符合预设距离时，发出定位信号；

所述控制器（2）被配置为：获取并根据所述定位信号，记录所述上定位器（62）的位置坐标，并将所述位置坐标作为控制所述三轴滑台模组（6）移动的基准；

所述测控主机（1）与所述控制器（2）也为信号连接，所述测控主机（1）被配置为：通过人机交互控制所述控制器（2）的操作。

9.根据权利要求8所述的一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，其特征在于，还包括：传送带（15）；

所述控制器（2）与所述传送带（15）信号连接，所述控制器（2）还被配置为：控制所述传送带（15）的启动和停止；

所述传送带（15）上设置有按照固定距离等距分布的若干个放置区域，所述放置区域用于放置所述承载盘（3），所述传送带（15）用于传送所述承载盘（3）到所述三轴滑台模组（6）下方的待检测位置；

当传送带（15）移动一个所述固定距离时，所述控制器（2）控制所述传送带（15）停止，控制所述三轴滑台模组（6）移动所述检测罩夹持工装（61），对当前所述承载盘（3）上的所有待检测压力传感器进行检漏；

当完成对当前所述承载盘（3）上的所有待检测压力传感器的检漏操作后，所述控制器（2）控制所述传送带（15）启动，再移动一个所述固定距离后停止，此时下一个所述承载盘（3）到达所述待检测位置。

10.一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏方法，其特征在于，应用于上述权利要求1-9中任意一项所述的一种压力传感器波纹膜片焊缝检漏装置，所述焊缝检漏方法包括：

将检测罩与下检测座紧紧扣合在一起；

启动微型真空泵将膜片内腔和膜片外腔内的空气抽出；

关闭微型真空泵，打开氦气充气阀门，通过氦气储气罐与所述膜片内腔和所述膜片外腔之间的压力差，将所述氦气储气罐内的氦气充入所述膜片内腔和所述膜片外腔内；

关闭所述氦气充气阀门，打开检漏仪阀门，通过氦质谱检漏仪对检漏腔进行抽真空，若在预设时长内，所述氦质谱检漏仪检测到所述检漏腔的真空度达到预设数值后，则执行下一步骤；若在预设时长内，所述氦质谱检漏仪检测到所述检漏腔的真空度未达到预设数值后，说明当前被检的所述压力传感器波纹膜片焊缝有漏点；

所述氦质谱检漏仪对所述检漏腔进行氦气检测，若所述氦气检测结果为检出氦气时，说明当前被检的所述压力传感器波纹膜片焊缝有漏点，若所述氦气检测结果信号为未检出氦气时，表明此时被检测的所述下检测座内的所述压力传感器的焊缝没有漏点。

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