CN115287605A - 坩埚结构及蒸镀源装置 - Google Patents

Abstract

本公开提供了一种坩埚结构及蒸镀源装置。该坩埚结构包括：埚体，包括底壁与侧围壁，侧围壁连接于底壁；隔板组件，设于埚体内，且连接于侧围壁，隔板组件与底壁相对设置，以将埚体内的空间分成多个容置空间；在隔板组件的厚度方向上，隔板组件包括能够相对滑动的第一隔板和第二隔板；第一隔板设有间隔分布的多个第一通孔，第二隔板设有间隔分布的多个第二通孔，多个第二通孔与多个第一通孔一一对应；在第一隔板相对第二隔板运动至第一位置时，第一通孔与第二通孔连通；在第一隔板相对第二隔板运动至第二位置时，第一通孔与第二通孔错开。本公开能够提高蒸镀效果。

Description

坩埚结构及蒸镀源装置

技术领域

本公开涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种坩埚结构及蒸镀源装置。

背景技术

随着显示技术的发展，具有更快反应速度和更高对比度的有机发光二极管显示器件的用途愈加广泛，且其制作工艺也越来越引起了人们的重视。其中，蒸镀是一种比较成熟的制作有机发光二极管显示器件的工艺，且已经运用于量产。然而，现有的蒸镀效果较差。

发明内容

本公开的目的在于提供一种坩埚结构及蒸镀源装置，能够提高蒸镀效果。

根据本公开的一个方面，提供一种坩埚结构，包括：

埚体，包括底壁与侧围壁，所述侧围壁连接于所述底壁；

隔板组件，设于所述埚体内，且连接于所述侧围壁，所述隔板组件与所述底壁相对设置，以将所述埚体内的空间分成多个容置空间；在所述隔板组件的厚度方向上，所述隔板组件包括能够相对滑动的第一隔板和第二隔板；所述第一隔板设有间隔分布的多个第一通孔，所述第二隔板设有间隔分布的多个第二通孔，多个第二通孔与多个第一通孔一一对应；在所述第一隔板相对所述第二隔板运动至第一位置时，所述第一通孔与所述第二通孔连通；在所述第一隔板相对所述第二隔板运动至第二位置时，所述第一通孔与所述第二通孔错开。

进一步地，所述第一隔板设于所述第二隔板远离所述底壁的一侧，所述第二隔板包括：

支撑片，与所述第一隔板相对设置；

多个空心柱，间隔设置于所述支撑片面向所述第一隔板的一侧，所述支撑片设有与所述空心柱的内腔连通的开口，所述开口与所述空心柱的内腔构成所述第二通孔；

隔热层，设于所述支撑片面向所述第一隔板的一侧，且围绕多个所述空心柱。

进一步地，所述空心柱的高度范围为1cm-1.5cm；和/或

所述第一隔板的厚度为2mm-3mm。

进一步地，所述第一隔板内设有加热结构。

进一步地，所述隔板组件的数量为多个，且多个隔板组件沿着与所述底壁垂直的方向间隔分布。

进一步地，对于任意的两个所述第一隔板，靠近所述底壁的所述第一隔板上的第一通孔的横截面面积大于远离所述底壁的所述第一隔板上的第一通孔的横截面面积。

进一步地，所述第一通孔的孔径为5mm-50mm。

进一步地，所述第一隔板设于所述第二隔板远离所述底壁的一侧，沿着靠近所述底壁的方向，所述第一通孔的横截面面积逐渐减小。

进一步地，所述坩埚结构还包括：

推杆，包括相反的第一端和第二端，所述第一端固定于所述第一隔板的侧边，所述第二端端穿出所述侧围壁；

驱动机构，与所述第二端连接，以驱动所述第一隔板滑动。

根据本公开的一个方面，提供一种蒸镀源装置，包括所述的坩埚结构。

本公开的坩埚结构及蒸镀源装置，在使用过程中，向埚体内填充蒸镀材料，由于隔板组件将所述埚体内的空间分成多个容置空间，从而使埚体内的蒸镀材料被分隔为多个部分，在加热蒸镀时，首先使上述的第一通孔和第二通孔错开，并对蒸镀材料的一个部分进行加热蒸镀，在该部分蒸镀材料蒸镀完成或接近蒸镀完成时，使第一通孔和第二通孔连通，并对蒸镀材料的下一个部分进行蒸镀，如此设置，相比于采用一个腔室蒸镀所有蒸镀材料，本公开可以实现蒸镀材料的分室蒸镀，提高蒸镀材料受热的均一性，提升位于中间部分的材料的利用率，提高蒸镀效果。

附图说明

图1是本公开实施方式的坩埚结构的示意图。

图2是本公开实施方式的坩埚结构的截面示意图。

图3是本公开实施方式的隔板组件的示意图。

图4是本公开实施方式的第一隔板的示意图。

图5是本公开实施方式的第二隔板的示意图。

图6是本公开实施方式中第一通孔和第二通孔连通后的示意图。

图7是本公开实施方式中第一通孔和第二通孔错开后的示意图。

图8-图10是本公开实施方式中第一隔板的平面示意图。

图11是本公开实施方式第一通孔和第二通孔的示意图。

附图标记说明：1、埚体；101、底壁；102、侧围壁；103、顶壁；2、第一隔板；201、第一通孔；3、第二隔板；301、支撑片；302、隔热层；303、空心柱；304、第二通孔；4、喷嘴；5、推杆；6、驱动机构；7、容置空间；8、挡板；100、隔板组件。

具体实施方式

这里将详细地对示例性实施方式进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施方式中所描述的实施方式并不代表与本公开相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本公开的一些方面相一致的装置的例子。

在本公开使用的术语是仅仅出于描述特定实施方式的目的，而非旨在限制本公开。除非另作定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开说明书以及权利要求书中使用的“第一”“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“多个”或者“若干”表示两个及两个以上。除非另行指出，“前部”、“后部”、“下部”和/或“上部”等类似词语只是为了便于说明，而并非限于一个位置或者一种空间定向。“包括”或者“包含”等类似词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而且可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。在本公开说明书和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。

相关技术中，在采用坩埚进行加热蒸镀时，坩埚腔室内外围部分的蒸镀材料距离加热装置较近，坩埚腔室内中间部分的蒸镀材料距离加热装置较远，导致坩埚腔室内中间部分的蒸镀材料无法被充分加热，进而导致该部分蒸镀材料无法气化，造成了浪费，降低了蒸镀材料的利用率。

本公开实施方式提供一种坩埚结构。如图1和图2所示，该坩埚结构可以包括埚体1和隔板组件100，其中：

该埚体1包括底壁101与侧围壁102，所述侧围壁102连接于所述底壁101。该隔板组件100设于所述埚体1内，且连接于所述侧围壁102。所述隔板组件100与所述底壁101相对设置，以将所述埚体1内的空间分成多个容置空间7。如图6和图7所示，在所述隔板组件100的厚度方向上，所述隔板组件100包括能够相对滑动的第一隔板2和第二隔板3。所述第一隔板2设有间隔分布的多个第一通孔201，所述第二隔板3设有间隔分布的多个第二通孔304，多个第二通孔304与多个第一通孔201一一对应。如图6所示，在所述第一隔板2相对所述第二隔板3运动至第一位置时，所述第一通孔201与所述第二通孔304连通；如图7所示，在所述第一隔板2相对所述第二隔板3运动至第二位置时，所述第一通孔201与所述第二通孔304错开。

本公开实施方式的坩埚结构，在使用过程中，向埚体1内填充蒸镀材料，由于隔板组件100将所述埚体1内的空间分成多个容置空间7，从而使埚体1内的蒸镀材料被分隔为多个部分，在加热蒸镀时，首先使上述的第一通孔201和第二通孔304错开，并对蒸镀材料的一个部分进行加热蒸镀，在该部分蒸镀材料蒸镀完成或接近蒸镀完成时，使第一通孔201和第二通孔304连通，并对蒸镀材料的下一个部分进行蒸镀，如此设置，相比于采用一个腔室蒸镀所有蒸镀材料，本公开可以实现蒸镀材料的分室蒸镀，提高蒸镀材料受热的均一性，提升位于中间部分的材料的利用率，提高蒸镀效果；同时，还可以平衡受热不均造成的材料孤岛效应。

下面对本公开实施方式的坩埚结构的各部分进行详细说明：

如图2所示，该埚体1包括底壁101与侧围壁102。该侧围壁102为筒状侧壁，该侧围壁102的两端为开放端，且一个开放端可以与底壁101连接，以形成埚体1的容置腔，以容置蒸镀材料。该侧围壁102可以由耐高温材料制备而成，以延长侧围壁102在高温蒸镀环境下的工作寿命。该耐高温材料可以为石墨或氮化硼，但不以此为限，还可以为白金等其它材料。该侧围壁102的横截面可以为矩形，当然，该横截面还可以为圆形、梯形等，在此不再一一列举。

该底壁101也可以由耐高温材料制备而成。该底壁101可以与侧围壁102的材料相同，也可以不同。举例而言，该底壁101的材料为氮化硼。该底壁101的形状可以与侧围壁102的横截面的形状一致，其尺寸可以等于或大于侧围壁102的横截面的尺寸，以使侧围壁102的横截面在底壁101上的正投影不伸出底壁101的边缘。

由底壁101与侧围壁102围设而成的容置腔可用于容纳液体。其中，容置腔的内壁可以设有不沾涂层，方便操作人员在蒸镀完成后对容置腔的内壁进行清洁，避免不同的蒸镀材料互相污染，影响蒸镀膜的质量。其中，该不沾涂层可以为聚四氟乙烯涂层，但不以此为限，还可以为陶瓷涂层等。

该侧围壁102的开放端与底壁101可以密封连接，以避免容置腔中的液体漏液。例如，该侧围壁102的开放端与底壁101的连接面之间涂有耐高温密封胶。当然，该侧围壁102的开放端与底壁101还可以通过焊接等其它方式实现密封连接。在本公开其它实施方式中，该侧围壁102还可以与底壁101一体成型，在此不对其一体成型方式做特殊限定。此外，如图1和图2所示，该埚体1还可以包括顶壁103以及设于顶壁103的喷嘴4。该顶壁103连接于侧围壁102的另一个开放端。该喷嘴4与埚体1内的空间连通，气化后的蒸镀材料可以通过喷嘴4进入外界环境。

如图1和图2所示，该隔板组件100设于所述埚体1内，且连接于所述侧围壁102。所述隔板组件100与所述底壁101相对设置，以将所述埚体1内的空间分成多个容置空间7，即通过隔板组件100将上述的容置腔分成多个容置空间7，从而使埚体1内的蒸镀材料分成多层，不同层的蒸镀材料被隔板组件100隔开。对于相邻的两层蒸镀材料，本公开将靠近喷嘴4的蒸镀材料称为上层蒸镀材料，将靠近底壁101的蒸镀材料称为下层蒸镀材料。所述隔板组件100的数量为多个，且多个隔板组件100沿着与所述底壁101垂直的方向间隔分布。

在所述隔板组件100的厚度方向上，所述隔板组件100包括第一隔板2和第二隔板3。该第一隔板2与埚体1的底壁101相对设置。该第一隔板2可以与埚体1的侧围壁102密封连接。所述第一隔板2的厚度可以为2mm-3mm。如图3和图4所示，所述第一隔板2可以设有间隔分布的多个第一通孔201。该第一通孔201的形状可以为矩形，当然，也可以三角形(见图8和图9)，但不限于此，还可以为圆形、方形(见图10)等。如图11所示，沿着靠近底壁101的方向，任意第一通孔201的横截面面积可以逐渐变小，如此设置，在第一通孔201和第二通孔304连通时，残留的上层蒸镀材料可以流动至下层。其中，该第一通孔201的横截面面积指的是第一通孔201在与底壁101平行的方向上的横截面的面积。该第一通孔201的孔径可以为5mm-50mm，如此设置，在保证不易塞孔的同时，也不至于内部产生过高的蒸气压力，避免蒸镀速率发生较大波动。以上述隔板组件100的数量为多个为例，对于任意的两个第一隔板2，靠近所述底壁101的所述第一隔板2上的第一通孔201的横截面面积大于远离所述底壁101的所述第一隔板2上的第一通孔201的横截面面积，如此设置，可以平衡蒸镀材料的蒸气压。此外，所述第一隔板2内还可以设有加热结构。该加热结构可以为电加热丝等。

如图2、图3以及图5所示，该第二隔板3与埚体1的底壁101相对设置。该第二隔板3可以与埚体1的侧围壁102密封连接。该第二隔板3可以设于第一隔板2面向埚体1的底壁101的一侧，即第一隔板2设于第二隔板3与喷嘴4之间，如此设置，在蒸镀过程中，设有加热结构的第一隔板2可以对上层蒸镀材料的底部进行加热，以使受热更加均匀。所述第二隔板3可以设有间隔分布的多个第二通孔304。多个第二通孔304与多个第一通孔201一一对应。该第一通孔201的形状可以为矩形，当然，也可以三角形，但不限于此，还可以为圆形、方形等。该第二通孔304的形状可以与第一通孔201的形状相同，当然，也可以不同。该第二通孔304可以具有均匀的横截面面积，但本公开不限于此。该第二通孔304的孔径可以与第一通孔201的孔径相同，当然，该第二通孔304的孔径可以大于或小于第一通孔201的孔径。以上述隔板组件100的数量为多个为例，对于任意的两个第二隔板3，靠近所述底壁101的所述第二隔板3上的第二通孔304的横截面面积大于远离所述底壁101的所述第二隔板3上的第二通孔304的横截面面积。

进一步地，如图3和图5所示，所述第二隔板3可以包括支撑片301、空心柱303以及隔热层302。该支撑片301与所述第一隔板2相对设置。该支撑片301的厚度可以为2mm、3mm、4mm等，但本公开不限于此。该空心柱303可以为筒状结构，即空心柱303具有两端开放的内腔。该空心柱303的数量为多个，且多个空心柱303间隔设置于所述支撑片301面向所述第一隔板2的一侧。所述空心柱303的高度范围可以为1cm-1.5cm，例如1cm、1.3cm、1.5cm等。所述支撑片301可以设有与所述空心柱303的内腔连通的开口，所述开口与所述空心柱303的内腔构成所述第二通孔304。该开口的内径与空心柱303的内径可以相同。该隔热层302可以设于所述支撑片301面向所述第一隔板2的一侧，且围绕多个所述空心柱303，如此设置，可以降低第一隔板2内的加热结构对下层蒸镀材料的温度的影响。此外，该隔热层302远离支撑片301的表面可以与空心柱303远离支撑片301的端面平齐。此外，如图1所示，本公开的埚体1内还可以设有挡板8。该挡板8可以与埚体1的底壁101垂直设置。该挡板8的数量可以为多个，且沿着与底壁101平行的方向间隔分布。

如图6和图7所示，该第一隔板2和第二隔板3能够相对滑动。举例而言，该第一隔板2可滑动地设于第二隔板3，且第一隔板2可以滑动至第一位置和第二位置。需要说明的是，可滑动的第一隔板2未伸出埚体1的侧围壁102。进一步地，如图2所示，该坩埚结构还可以包括推杆5和驱动机构6。该推杆5可以包括相反的第一端和第二端，所述推杆5的第一端固定于所述第一隔板2的侧边，所述推杆5的第二端端穿出埚体1的所述侧围壁102。以隔板组件100的数量为多个为例，该推杆5的数量也可以为多个，且多个推杆5一一对应地连接于多个第一隔板2。该驱动机构6与所述推杆5的第二端连接，以驱动所述第一隔板2在第一位置和第二位置之间来回滑动。在所述第一隔板2相对所述第二隔板3运动至第一位置时，所述第一通孔201与所述第二通孔304连通；在所述第一隔板2相对所述第二隔板3运动至第二位置时，所述第一通孔201与所述第二通孔304错开。

工作原理：

以坩埚结构包括四个隔板组件100为例，埚体1内的容置腔被四个隔板组件100分为五个容置空间7。沿着从喷嘴4到埚体1的底壁101的方向，本公开将五个容置空间7命名为第一容置空间、第二容置空间、第三容置空间、第四容置空间以及第五容置空间。在第n个容置空间内的蒸镀材料进行升温蒸镀时，该第n个容置空间与第(n+1)个容置空间之间的隔板组件100的第一通孔201和第二通孔304错开；在第(n+1)个容置空间内的蒸镀材料进行升温蒸镀时，第n个容置空间与第(n+1)个容置空间之间的隔板组件100的第一通孔201和第二通孔304连通，n为1、2、3、或4。蒸镀开始前，每个容置空间7中均容置有蒸镀材料。蒸镀过程包括第一阶段、第二阶段、第三阶段、第四阶段以及第五阶段，各个阶段的状态如下表。“升温蒸镀”表示容置空间7内的蒸镀材料在进行升温蒸镀。“高温0rate”表示容置空间7内的蒸镀材料处于蒸镀的临界状态，在此状态下对蒸镀材料进行加热，蒸镀材料便可气化。“不加热”表示蒸镀材料未进行加热。每个容置空间7的外周均设有对应的加热系统。在对每个容置空间7内的蒸镀材料加热时，对应的加热系统和设于第一隔板2内的加热结构可以同时开启。

本公开实施方式还提供一种蒸镀源装置。该蒸镀源装置可以包括上述任一实施方式所述的蒸镀坩埚。由于本公开实施方式的蒸镀源装置中的蒸镀坩埚同上述蒸镀坩埚的实施方式中的蒸镀坩埚相同，因此，其具有相同的有益效果，在此不再赘述。

以上所述仅是本公开的较佳实施方式而已，并非对本公开做任何形式上的限制，虽然本公开已以较佳实施方式揭露如上，然而并非用以限定本公开，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本公开技术方案的范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施方式，但凡是未脱离本公开技术方案的内容，依据本公开的技术实质对以上实施方式所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本公开技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种坩埚结构，其特征在于，包括：

埚体，包括底壁与侧围壁，所述侧围壁连接于所述底壁；

隔板组件，设于所述埚体内，且连接于所述侧围壁，所述隔板组件与所述底壁相对设置，以将所述埚体内的空间分成多个容置空间；在所述隔板组件的厚度方向上，所述隔板组件包括能够相对滑动的第一隔板和第二隔板；所述第一隔板设有间隔分布的多个第一通孔，所述第二隔板设有间隔分布的多个第二通孔，多个第二通孔与多个第一通孔一一对应；在所述第一隔板相对所述第二隔板运动至第一位置时，所述第一通孔与所述第二通孔连通；在所述第一隔板相对所述第二隔板运动至第二位置时，所述第一通孔与所述第二通孔错开。

2.根据权利要求1所述的坩埚结构，其特征在于，所述第一隔板设于所述第二隔板远离所述底壁的一侧，所述第二隔板包括：

支撑片，与所述第一隔板相对设置；

多个空心柱，间隔设置于所述支撑片面向所述第一隔板的一侧，所述支撑片设有与所述空心柱的内腔连通的开口，所述开口与所述空心柱的内腔构成所述第二通孔；

隔热层，设于所述支撑片面向所述第一隔板的一侧，且围绕多个所述空心柱。

3.根据权利要求2所述的坩埚结构，其特征在于，所述空心柱的高度范围为1cm-1.5cm；和/或

所述第一隔板的厚度为2mm-3mm。

4.根据权利要求1或2所述的坩埚结构，其特征在于，所述第一隔板内设有加热结构。

5.根据权利要求1所述的坩埚结构，其特征在于，所述隔板组件的数量为多个，且多个隔板组件沿着与所述底壁垂直的方向间隔分布。

6.根据权利要求5所述的坩埚结构，其特征在于，对于任意的两个所述第一隔板，靠近所述底壁的所述第一隔板上的第一通孔的横截面面积大于远离所述底壁的所述第一隔板上的第一通孔的横截面面积。

7.根据权利要求1或6所述的坩埚结构，其特征在于，所述第一通孔的孔径为5mm-50mm。

8.根据权利要求1所述的坩埚结构，其特征在于，所述第一隔板设于所述第二隔板远离所述底壁的一侧，沿着靠近所述底壁的方向，所述第一通孔的横截面面积逐渐减小。

9.根据权利要求1所述的坩埚结构，其特征在于，所述坩埚结构还包括：

推杆，包括相反的第一端和第二端，所述第一端固定于所述第一隔板的侧边，所述第二端端穿出所述侧围壁；

驱动机构，与所述第二端连接，以驱动所述第一隔板滑动。

10.一种蒸镀源装置，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的坩埚结构。

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