CN115280166A - 检查治具以及包括所述检查治具的基板检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可抑制检查治具所用的基板的翘曲的结构。检查治具4包括：第一基板10；探针单元70，具有探针71；第二基板40，与第一基板10并排配置，与探针71电性连接；电性连接部80，将第一基板10及第二基板40电性连接，以及基板保持部50，以相对于第一基板10在厚度方向并排的状态保持第二基板40，且保持探针单元70。基板保持部50具有：探针侧保持板部52，位于第二基板40的探针单元70侧；以及保持板支撑部53，将探针侧保持板部52定位于相对于第一基板10在厚度方向并排的位置。基板保持部50通过第一基板10与第二基板40夹持电性连接部80，从而以经由电性连接部80将第一基板10与第二基板40电性连接的状态保持第二基板40。

Description

检查治具以及包括所述检查治具的基板检查装置

技术领域

本发明涉及一种检查治具以及包括所述检查治具的基板检查装置。

背景技术

已知有为了对半导体晶片进行检查而使用的检查治具。作为所述检查治具，专利文献1中，专利文献1中公开有下述结构，即包括：探针单元，具有与被检查体的检查用垫接触的探针；空间转换器(space transformer)，包含陶瓷基板；弹簧顶针(pogo pin)单元；以及印刷电路基板。

所述空间转换器在一个面具有与探针的配置图案对应的配线图案。通过对所述一个面连接探针单元，从而将所述探针与所述空间转换器电性连接。所述空间转换器在相反面具有与所述印刷电路基板对应的配线图案。所述空间转换器与所述印刷电路基板经由所述弹簧顶针单元而连接。

另外，已知有使用探针卡来检查半导体元件的电气特性的检查装置。所述检查装置中，使所述探针卡所具有的探针用针的前端接触所述半导体元件上的端子，进行所述半导体元件的检查。因此，所述检查装置具有用于进行所述探针卡与载置所述半导体元件的载置台的对位的结构。专利文献1中，专利文献2中公开有一种晶片检查装置，其具有探针卡、及搬送检查对象的晶片的搬送臂，通过使所述搬送臂所具有的定位销嵌合于所述探针卡所具有的缺口部，从而针对所述探针卡进行所述搬送臂相向的位置的对位。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2019-178961号公报

专利文献2：日本专利特开2013-191737号公报

发明内容

发明所要解决的问题

此外，用于检查印刷基板的检查治具中，作为相当于空间转换器的构件，通常可使用树脂制的基板。因此，在印刷基板的检查治具中，在使弹簧顶针单元那样的电性连接构件接触所述基板而将两者电性连接的情形时，可能所述基板承受所述电性连接构件的按压力而翘曲。若所述基板翘曲，则可能所述电性连接构件与所述基板的电性接触产生不良。于是，可能无法稳定地进行被检查基板的检查。

本发明的目的在于提供下述结构，即：在印刷基板的检查装置所用的检查治具及包括所述检查器具的基板检查装置中，可抑制检查治具所用的基板的翘曲。

另外，由于近年来的半导体元件的大规模化及微细化，检查对象的检查点不断增加。由此，检查装置中，检查治具所具有的探针的个数也不断增加。随着所述检查对象的检查点增加，在使用所述检查治具对检查对象进行检查时，所述检查治具的基板自所述探针承受的厚度方向的力增加。由此，有时所述基板相对于所述检查对象在厚度方向移位。

本发明的目的在于获得下述结构，即：在使用基板的检查治具、及具有所述检查治具的检查装置中，可抑制所述基板相对于检查装置本体的在厚度方向的移位。

解决问题的技术手段

本发明的一实施方式的检查治具安装于基板检查装置的检查处理部，所述基板检查装置对被检查基板所具有的电气电路进行检查。所述检查治具包括：第一基板，由所述检查处理部检测信号；探针单元，具有接触所述被检查基板的探针；第二基板，其中一个面与所述第一基板相向且在所述第一基板的厚度方向与所述第一基板并排配置，与所述探针电性连接；电性连接部，在所述厚度方向位于所述第一基板与所述第二基板之间且将所述第一基板及所述第二基板电性连接；以及基板保持部，以相对于所述第一基板在所述厚度方向并排的状态保持所述第二基板，且在与所述第一基板侧相反的一侧保持所述探针单元。所述基板保持部具有：板状的第一保持板部，位于所述第二基板的所述探针单元侧；以及保持板支撑部，将所述第一保持板部定位于相对于所述第一基板在所述厚度方向并排的位置，通过在所述第一基板与所述第二基板之间在所述厚度方向夹持所述电性连接部，从而以经由所述电性连接部将所述第一基板与所述第二基板电性连接的状态保持所述第二基板。

本发明的一实施方式的基板检查装置包括所述检查治具。

另外，本发明的一实施方式的检查治具安装于检查装置，所述检查装置以基板或半导体作为检查对象。所述检查治具包括：探针，接触所述检查对象，检测电气信号；第二基板，保持所述探针，传递所述探针所检测到的电气信号；第一基板，在所述第二基板的与所述探针侧相反的一侧在所述第二基板的厚度方向并排配置，且将所述第二基板传递的电气信号传递至所述检查装置；电性连接部，将所述第一基板及所述第二基板电性连接；板状的第一基板保持部，对所述检查装置保持所述第一基板；以及板状的第二基板保持部，在所述第一基板侧对所述第一基板保持所述第二基板。所述第二基板保持部具有：探针连接开口部，以平面观看所述第二基板保持部，在与所述探针重叠的位置沿厚度方向贯穿；电性连接收容部，沿厚度方向贯穿而收容所述电性连接部；以及第一突起部，向所述第一基板突出。以平面观看所述第二基板保持部，所述第一突起部与所述探针连接开口部的中心的距离比所述电性连接收容部与所述探针连接开口部的中心的距离更短，至少在使所述探针接触所述检查对象时，所述第一突起部接触所述检查装置或所述第一基板保持部。

本发明的一实施方式的检查装置具有：所述检查治具；检查处理部，检测所述第一基板的信号；以及板状的检查处理保持部，保持所述检查处理部。所述检查处理保持部或第一基板保持部具有第一突起部接触的第一被接触部。

发明的效果

根据本发明的一实施方式，可提供下述结构，即：在印刷基板的检查装置所用的检查治具及包括所述检查器具的基板检查装置中，可抑制检查治具所用的基板的翘曲。

另外，根据本发明的一实施方式，可获得下述结构，即：在使用多个基板的检查治具、及具有所述检查治具的检查装置中，可抑制所述多个基板相对于检查装置本体的在厚度方向的移位。

附图说明

[图1]图1为表示实施方式的基板检查装置的概略结构的立体图。

[图2]图2为基板检查装置的剖面图。

[图3]图3为表示平板部及检查治具的连结结构的图。

[图4]图4为检查治具的分解立体图。

[图5]图5为检查治具的分解立体图。

[图6]图6为表示使第二基板向远离平板部的方向移动的状态的图。

[图7]图7为表示使保持板支撑部相对于平板部沿水平方向移动的状态的图。

[图8]图8为表示从基板保持部卸除保持板支撑部的状态的图。

[图9]图9为表示使第二基板向靠近平板部的方向移动的状态的图。

[图10]图10为表示实施方式的检查装置的概略结构的立体图。

[图11]图11为图10的II-II线剖面图。

[图12]图12为自检查处理部侧观看的检查治具的分解立体图。

[图13]图13为自探针侧观看的检查治具的分解立体图。

[图14]图14为第二基板保持部的平面图。

[图15]图15为图14的局部放大图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。再者，对图中的相同或相当部分标注相同的符号，不重复进行其说明。另外，各图中的构成构件不限于各图中记载的尺寸及各构成构件的尺寸比率。

另外，以下的说明中，“固定”、“连接”及“安装”等(以下，固定等)的表述不仅是指将构件彼此直接固定等的情形，也包含经由其他构件进行固定等的情形。即，以下的说明中，固定等的表述中，包含构件彼此的直接固定及间接固定等含意。

另外，以下的说明中，“相等”等的表述不仅是指完全相同的情形，也包含误差的范围。

(整体结构)

图1为表示实施方式的基板检查装置1的概略结构的立体图。图2为基板检查装置1的剖面图。图3为表示平板部2及检查治具4的连结结构的图。基板检查装置1对被检查基板W所具有的电气电路进行检查。被检查基板W为树脂制的印刷基板。

如图1所示，基板检查装置1包括平板部2、检查处理部3、检查治具4、检查基板载置台5、控制部7及检查治具驱动部30。本实施方式中，作为一例，对检查处理部3的个数为六个的情形进行说明。然而，检查处理部的个数可少于六个，也可多于六个。

平板部2为支撑检查处理部3及检查治具4的构件。如图1及图2所示，平板部2为板状。平板部2具有沿厚度方向贯穿的矩形的开口部2a。本实施方式中，开口部2a的个数为与检查处理部3的个数相同的六个。六个开口部2a以三个为单位排成两列。平板部2通过在开口部2a收纳检查处理部3的一部分，从而在厚度方向其中一侧支撑检查处理部3。平板部2在厚度方向的另一侧支撑检查治具4。

平板部2具有沿厚度方向贯穿的四个连结孔2b。如图3所示，检查治具4的保持板支撑部53贯穿连结孔2b。保持板支撑部53向平板部2的其中一侧突出。

以下，为了说明，将平板部2的厚度方向称为“X方向”，将开口部2a的列方向称为“Y方向”，将三个开口部2a并排的方向称为“Z方向”。

检查处理部3根据控制部7的指令信号向被检查基板W的电气电路输入信号，并且检测被检查基板W的输出信号并输出至控制部7。六个检查处理部3各自的一部分以收容于各开口部2a内的状态支撑于平板部2。由此，检查处理部3在平板部2的其中一侧，沿Z方向以三个为单位且沿Y方向排成两列。

检查处理部3在收容于开口部2a内的一侧的端面上，具有包含多个端子的端子部。检查处理部3经由所述端子部而与检查治具4的第一基板10电性连接。

检查治具4相对于平板部2，安装于与检查处理部3侧相反的一侧。检查治具4与检查处理部3电性连接。另外，检查治具4在与检查处理部3侧相反的一侧具有探针71。探针71的前端接触被检查基板W所具有的电气电路的端子。以探针71的前端接触所述电气电路的端子的状态进行被检查基板W的电性检查。关于检查治具4的详细情况，将在后叙述。

检查基板载置台5载置被检查基板W。检查基板载置台5于在检查基板载置台5上固定有被检查基板W的状态下，向靠近检查治具4的方向及远离检查治具4的方向移动。再者，检查治具4也可相对于检查基板载置台5而移动。

本实施方式中，检查基板载置台5沿X方向、Y方向及Z方向移动。进而，检查基板载置台5绕X轴旋转360度。由此，检查基板载置台5可将被检查基板W相对于检查治具4高精度地定位。

控制部7控制检查处理部3的动作。控制部7对检查处理部3输出旨在检查被检查基板W的指令信号。另外，控制部7基于检查处理部3从被检查基板W接收的信号，判定被检查基板W的电气电路的不良状况等。

检查治具驱动部30使检查治具4的变换单元9沿X方向移动。另外，

检查治具驱动部30以向平板部2侧上抬的状态

相对于平板部2保持检查治具4的变换单元9。由此，检查处理部3与检查治具4电性连接。关于检查治具驱动部30的详细情况，将在后叙述。

(检查治具)

继而，使用图1至图5对检查治具4加以详细说明。检查治具4包括具有第一基板10的通用单元8、具有第二基板40的变换单元9、以及将第一基板10及第二基板40电性连接的电性连接部80。第一基板10及第二基板40相互相向，且从靠近平板部2的一侧起以第一基板10及第二基板40的顺序沿厚度方向并排配置。

检查治具4具有收容保持板支撑部53的沿X方向延伸的连结孔90。图4及图5为从检查治具4分离变换单元9而表示的立体图。再者，图4及图5中，为了说明，省略保持板支撑部53的图示。

(通用单元)

如图2、图4及图5所示，通用单元8具有第一基板10及第一基板收容部20。本实施方式中，检查治具4具有两个通用单元8。两个通用单元8分别安装于覆盖平板部2的并排三个的开口部2a的位置(参照图2)。即，各通用单元8与收容于开口部2a的检查处理部3的端面相向。两个通用单元8的各构成构件在通用单元8安装于平板部2的状态下，以平板部2的Y方向的中央线为中心而在Y方向对称地配置。两个通用单元8的结构相同，故而以下对一个通用单元8的结构进行说明。

第一基板10为沿Y方向及Z方向延伸的矩形的树脂制的印刷基板。在第一基板10形成有电气电路。如图2所示，第一基板10在平板部2侧的面上，具有构成电气电路的其中一侧的端子的本体侧端子部11。另外，第一基板10在第二基板40侧的面上，具有构成电气电路的另一侧的端子的第二基板侧端子部12。第一基板10在平板部2侧的面上具有三个本体侧端子部11，在第二基板40侧的面上具有三个第二基板侧端子部12。

本体侧端子部11与各检查处理部3的端子部接触。由此，将传递至第一基板10的电气电路的信号传递至检查处理部3。三个第二基板侧端子部12经由后述的电性连接部80而与第二基板40电性连接。

如图3及图4所示，第一基板10具有沿厚度方向贯穿的两个连结孔10a。保持板支撑部53贯穿连结孔10a。连结孔10a为连结孔90的一部分。

第一基板收容部20为沿Y方向及Z方向延伸的板状。第一基板收容部20由刚性高的金属材料构成。所述金属材料例如为含铝的金属。如图2及图4所示，第一基板收容部20在平板部2侧具有凹部20a。第一基板10收容于凹部20a内。

如图2及图5所示，第一基板收容部20在凹部20a的底面，具有沿厚度方向贯穿的三个矩形的开口部20b。三个开口部20b位于第一基板收容部20中与三个第二基板侧端子部12对应的位置。即，通过三个开口部20b，第二基板侧端子部12自第一基板收容部20露出。

如图3及图5所示，第一基板收容部20具有沿厚度方向贯穿的两个连结孔20c。保持板支撑部53贯穿连结孔20c。连结孔20c为连结孔90的一部分。

如上文所述，本实施方式中，检查治具4具有两个通用单元8。因此，检查治具4具有六个本体侧端子部11、六个第二基板侧端子部12、六个开口部20b及四个连结孔20c。即，开口部20b沿Z方向以三个为单位且沿Y方向排成两列。

两个第一基板收容部20分别以在凹部20a内收容有第一基板10的状态安装于平板部2。

(变换单元)

如图2所示，变换单元9具有第二基板40、基板保持部50、连接导线60及探针单元70。变换单元9未固定于通用单元8，而安装于通过后述的保持结构将通用单元8的六个开口部20b覆盖的位置。

第二基板40为沿Y方向及Z方向延伸的矩形的树脂制的印刷基板。第二基板40在中央具有沿厚度方向贯穿的探针连接孔40a。

如图2及图4所示，在第二基板40形成有电气电路。第二基板40在第一基板10侧的面上，具有构成电气电路的其中一侧的端子的第一基板侧端子部41。另外，第二基板40在第一基板10侧的面上，具有构成电气电路的另一侧的端子的探针端子部42。第二基板40在第一基板10侧的面上，具有六个第一基板侧端子部41及六个探针端子部42。

自X方向观看，六个探针端子部42以探针连接孔40a为中心沿周向等间隔地排列配置。

六个第一基板侧端子部41位于与第一基板10的六个第二基板侧端子部12分别相向的位置。即，自X方向观看，六个第一基板侧端子部41位于第二基板40的外周侧。

如图3所示，基板保持部50以相对于第一基板10在X方向并排的状态保持第二基板40。具体而言，基板保持部50具有：本体侧保持板部51，自第一基板10侧保持第二基板40；探针侧保持板部52，自探针71侧保持第二基板40；以及保持板支撑部53，对第一基板10保持第二基板40。探针侧保持板部52为第一保持板部。本体侧保持板部51为第二保持板部。

本体侧保持板部51为沿Y方向及Z方向延伸的板状。本体侧保持板部51的Y方向及Z方向的大小与第二基板40的Y方向及Z方向的大小相同。本体侧保持板部51由刚性高的金属材料构成。所述金属材料例如为含铝的金属。本体侧保持板部51位于第二基板40的第一基板侧。

如图2及图4所示，本体侧保持板部51具有沿厚度方向贯穿的六个矩形的开口部51a。六个开口部51a在本体侧保持板部51中，位于与第一基板侧端子部41对应的位置。即，通过六个开口部51a，第一基板侧端子部41自本体侧保持板部51露出。

如图4所示，本体侧保持板部51在中央具有沿厚度方向贯穿的、自X方向观看为六角形状的探针连接孔51b。探针连接孔51b在本体侧保持板部51中，位于与第二基板40的探针端子部42对应的位置。即，通过探针连接孔51b，探针端子部42自本体侧保持板部51露出。

如图3及图4所示，本体侧保持板部51具有沿厚度方向贯穿的四个收容孔51c。收容孔51c为连结孔90的一部分。从X方向观看，收容孔51c位于并排三个的开口部51a之间。收容孔51c具有：轴部收容空间51d，沿本体侧保持板部51的厚度方向延伸；以及爪部收容空间51e，在本体侧保持板部51的第二基板40侧，沿Y方向朝向与探针连接孔51b侧相反的一侧延伸。在轴部收容空间51d内，收容有保持板支撑部53的轴部54。在爪部收容空间51e内，收容有保持板支撑部53的爪部55。

探针侧保持板部52为沿Y方向及Z方向延伸的板状。探针侧保持板部52的Y方向及Z方向的大小与本体侧保持板部51的Y方向及Z方向的大小相同。探针侧保持板部52的厚度小于本体侧保持板部51的厚度。探针侧保持板部52由刚性高的金属材料构成。所述金属材料例如为含铝的金属。探针侧保持板部52位于第二基板40的探针71侧。

如图2所示，探针侧保持板部52在中央具有沿厚度方向贯穿的探针连接孔52a。自X方向观看，探针侧保持板部52的探针连接孔52a与第二基板40的探针连接孔40a位于相同位置。

本体侧保持板部51及探针侧保持板部52以在它们之间夹持有第二基板40的状态，由未图示的固定构件相互连结。如此，通过自厚度方向的两侧夹持第二基板40，从而可抑制第二基板40的厚度方向的变形。

如图3所示，保持板支撑部53为棒状的构件。保持板支撑部53具有轴部54及爪部55。轴部54为沿X方向延伸的柱状。爪部55在轴部54的前端，沿Y方向突出。如上文所述，保持板支撑部53收容于平板部2的连结孔2b、第一基板10的连结孔10a、第一基板收容部20的连结孔20c、本体侧保持板部51的收容孔51c。

如图2所示，连接导线60将第二基板40与后述的探针71电性连接。连接导线60的其中一个端部连接于第二基板40的探针端子部42。连接导线60的另一个端部穿过第二基板40的探针连接孔40a及探针侧保持板部52的探针连接孔52a而连接于探针71。

探针单元70在探针侧保持板部52的与第二基板40侧相反的一侧，安装于自X方向观看而与探针连接孔51b重叠的位置。探针单元70具有探针71及探针支撑部72。

探针71沿X方向延伸。探针71通过前端接触被检查基板W的端子，从而检测被检查基板W所具有的电气电路的信号。

在探针71的第二基板40侧的端部，电性连接有连接导线60的其中一个端部。连接导线60的另一个端部电性连接于第二基板40。由此，经由连接导线60，探针71所检测到的被检查基板W所具有的电气电路的信号传递至第二基板40。

探针支撑部72对基板保持部50支撑探针71。探针支撑部72由未图示的固定构件固定于探针侧保持板部52。所述固定构件例如为螺钉、螺杆等。由此，探针单元70保持于第二基板保持部50。

如图2所示，电性连接部80位于第一基板10与第二基板40之间。本实施方式中，检查治具4具有六个电性连接部80。各电性连接部80的第一基板10侧收容于第一基板收容部20的开口部20b内，由未图示的固定构件固定于第一基板收容部20。各电性连接部80的第二基板40侧收容于本体侧保持板部51的开口部51a内。

电性连接部80在第一基板10侧具有第一连接部81。第一连接部81包含与第一基板10的第二基板侧端子部12接触的多个接触端子。电性连接部80在第二基板40侧具有第二连接部82。第二连接部82包含与第二基板40的第一基板侧端子部41接触的多个接触端子。第一连接部81及第二连接部82中的至少一部分通过弹性构件的弹力而在X方向可伸缩。

本实施方式中，电性连接部80包含弹簧顶针。即，第一连接部81被按压于第一基板10的第二基板侧端子部12，第二连接部82被按压于第二基板40的第一基板侧端子部41。由此，第一基板10及第二基板40经由电性连接部80电性连接。

通过以上的结构的检查治具4，可经由探针71、连接导线60、第二基板40的探针端子部42及第一基板侧端子部41、电性连接部80、第一基板10的第二基板侧端子部12及本体侧端子部11进行被检查基板W的电性检查。再者，第二基板40中，可使第一基板侧端子部41的端子间的间隔比探针端子部42的端子间的间隔更宽。第一基板10中，可使本体侧端子部11的端子间的间隔比第二基板侧端子部12的端子间的间隔更宽。由此，检查治具4即便在被检查基板W的端子间的间隔非常窄的情形时，也可将本体侧端子部11的端子间的间隔设为可通过检查处理部3检测信号的间隔。

(保持结构)

继而，使用图3对第二基板40的保持结构进行说明。如图3所示，检查治具4与平板部2由保持板支撑部53连结。

保持板支撑部53的爪部55收容于收容孔51c的沿Y方向延伸的爪部收容空间51e内。保持板支撑部53的轴部54收容于本体侧保持板部51的收容孔51c的轴部收容空间51d、第一基板收容部20的连结孔20c、第一基板10的连结孔10a、平板部2的连结孔2b。

保持板支撑部53的爪部55在收容于收容孔51c的爪部收容空间51e的状态下，使X方向的两侧由本体侧保持板部51与第二基板40所夹持。由此，通过使保持板支撑部53向平板部2侧移动，从而可使第二基板40向平板部2侧接近。在使第二基板40向平板部2侧接近的状态下，检查治具驱动部30对平板部2保持保持板支撑部53。由此，保持板支撑部53以相对于第一基板10在X方向并排的状态保持第二基板40。另外，通过如此般保持板支撑部53对检查处理部3固定本体侧保持板部51，从而可将探针侧保持板部52定位于相对于第一基板10在X方向并排的位置。由此，可通过保持板支撑部53容易地支撑本体侧保持板部51。因此，可将探针侧保持板部52容易地定位于相对于第二基板40在X方向并排的位置。

本实施方式中，本体侧保持板部51的厚度大于探针侧保持板部52的厚度。由此，在经由本体侧保持板部51对平板部2保持基板保持部50的结构中，可确保基板保持部50的刚性。另外，通过所述结构，可对平板部2更可靠地支撑基板保持部50。

另外，基板检查装置1中，通过经由保持板支撑部53使第二基板40向第一基板10侧接近，从而将第一基板10与第二基板40电性连接。如上文所述，电性连接部80具有与第一基板10的端子及第二基板40的端子分别电性接触的多个接触端子，所述多个接触端子中的至少一部分沿X方向可伸缩。此种结构中，通过电性连接部80的接触端子的至少一部分，第二基板40容易在X方向承受反作用力而变形。在此种第二基板40承受反作用力的结构中，通过适用所述保持结构，从而可更可靠地抑制第二基板40的变形。因此，可抑制第二基板40由于沿X方向翘曲而远离电性连接部80，故而可进行稳定的电性连接。

另外，基板保持部50中，自X方向观看，开口部51a位于本体侧保持板部51的外周侧。即，于在开口部51a收容有电性连接部80的状态下，自X方向观看，电性连接部80位于第二基板40的外周侧。在电性连接部80位于第二基板40的外周侧的情形时，第二基板40更容易发生变形。通过对此种结构适用所述保持结构，从而可更可靠地抑制第二基板40的变形。

再者，保持板支撑部53为沿X方向贯穿本体侧保持板部51及检查处理部3而延伸的、棒状的构件。保持板支撑部53在所述保持板支撑部53的前端部，具有沿相对于保持板支撑部53的延伸方向交叉的方向延伸的爪部55，自X方向观看，本体侧保持板部51具有收容保持板支撑部53的前端部的收容孔51c。自X方向观看，收容孔51c具有向与探针单元70侧相反的方向延伸而收容保持板支撑部53的爪部55的爪部收容空间51e。

如此，收容保持板支撑部53的爪部55的爪部收容空间51e向与探针单元70侧相反的方向延伸。因此，与爪部收容空间51e向探针单元70侧延伸的结构相比，可在本体侧保持板部51的探针单元7的周围，抑制本体侧保持板部51的厚度方向的变形。

(检查治具驱动部)

继而，对检查治具驱动部30进行说明。如图1及图2所示，检查治具驱动部30具有驱动支撑部31、第一驱动部32及第二驱动部33。驱动支撑部31为平板状，在平板部2的厚度方向与平板部2并排配置。驱动支撑部31沿Y方向可移动地支撑于平板部2。变换单元9的保持板支撑部53沿厚度方向贯穿驱动支撑部31。

第一驱动部32使保持板支撑部53相对于驱动支撑部31及平板部2沿X方向移动。由此，可使收容保持板支撑部53的本体侧保持板部51相对于平板部2沿X方向移动。

另外，第一驱动部32可维持使保持板支撑部53移动的状态。由此，可将本体侧保持板部51相对于平板部2的厚度方向的位置固定。第一驱动部32例如包含气缸。

第二驱动部33使驱动支撑部31相对于平板部2沿Y方向移动。即，通过第二驱动部33，使贯穿驱动支撑部31的保持板支撑部53相对于平板部2沿Y方向移动。虽然详细情况将在后叙述，但由此可将保持板支撑部53自本体侧保持板部51卸除。第二驱动部33例如包含气缸。

(变换单元的更换方法)

继而，使用图6至图9对更换变换单元9的方法加以说明。

在自基板检查装置1卸除变换单元9的情形时，首先如图6所示，第一驱动部32使保持板支撑部53向X方向的检查治具4侧移动。由此，可使变换单元9远离平板部2。继而，如图7所示，第二驱动部33使保持板支撑部53向Y方向的探针单元70侧移动。由此，将保持板支撑部53的爪部55从收容孔51c的爪部收容空间51e抽出。然后，如图8所示，可将保持板支撑部53自变换单元9卸除。

在将另一变换单元9安装于基板检查装置1的情形时，首先在另一变换单元9的收容孔51c插入保持板支撑部53。继而，第二驱动部33使保持板支撑部53向Y方向的与探针单元70侧相反的一侧移动。由此，保持板支撑部53的爪部55收容于收容孔51c的爪部收容空间51e内。然后，第一驱动部32使保持板支撑部53向X方向的平板部2侧移动。由此，如图9所示，可将另一变换单元9安装于基板检查装置1。

通过以所述顺序更换变换单元9，从而可更换第二基板40。由此，由基板检查装置1的检查处理部3检测信号的通用单元8所具有的第一基板10的电气电路即便在被检查基板W的电气电路不同的情形时，也设为通用的电路结构，另一方面，可根据被检查基板W的电气电路来更换第二基板40。即，可获得能进行具有不同电气电路的被检查基板W的检查的、检查治具4。因此，根据被检查基板W的电气电路而仅更换第二基板40便可，可获得可短期间且价廉地制造的检查治具4。

如以上那样，本实施方式的检查治具4为安装于基板检查装置1的检查处理部3的检查治具，所述基板检查装置1对被检查基板W所具有的电气电路进行检查。检查治具4具有：第一基板10，由检查处理部3检测信号；探针单元70，具有接触被检查基板W的探针71；第二基板40，其中一个面与第一基板10相向且在第一基板10的厚度方向与所述第一基板10并排配置，与所述探针电性连接；电性连接部80，在所述厚度方向位于第一基板10与第二基板40之间且将第一基板10及第二基板40电性连接；以及基板保持部50，以相对于第一基板10在厚度方向并排的状态保持第二基板40，且在与所述第一基板侧相反的一侧保持所述探针单元70。基板保持部50具有：板状的探针侧保持板部52，位于第二基板40的探针单元70侧；以及保持板支撑部53，将探针侧保持板部52定位于相对于第一基板10在所述厚度方向并排的位置。基板保持部50通过在第一基板10与第二基板40之间在所述厚度方向夹持电性连接部80，从而以经由电性连接部80将第一基板10与第二基板40电性连接的状态保持第二基板40。

所述结构中，即便由在厚度方向夹持于第一基板10与第二基板40之间的电性连接部80导致第二基板40在厚度方向受力，也可通过探针侧保持板部52来抑制第二基板40的厚度方向的变形。而且，通过所述结构，可根据被检查基板W的电气电路而仅更换检查治具4的第二基板40。即，由基板检查装置1的检查处理部3检测信号的第一基板10的电气电路即便在被检查基板W的电气电路不同的情形时，也设为通用的电路结构，另一方面，根据被检查基板W的电气电路来更换第二基板40，由此可获得能检查具有不同电气电路的被检查基板的、检查治具4。因此，含有具有所述结构的检查治具4的基板检查装置1可容易地进行具有不同电气电路的被检查基板W的检查。

本实施方式中，基板保持部50还具有：板状的本体侧保持板部51，相对于第二基板40而位于第一基板10侧。探针侧保持板部52及本体侧保持板部51以在所述厚度方向夹持第二基板40的状态经固定。

如此，通过利用基板保持部50的探针侧保持板部52及本体侧保持板部51在厚度方向夹持第二基板40，从而可更可靠地抑制第二基板40的厚度方向的变形。

另外，本实施方式的基板检查装置1包括检查治具4。由此，可获得能抑制检查治具所用的基板的翘曲的、基板检查装置。

(其他实施方式)

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但所述实施方式仅为用于实施本发明的例示。因此，不限定于所述实施方式，可在不脱离其主旨的范围内将所述实施方式适当变形而实施。

所述实施方式中，以基板检查装置1具有六个检查处理部3的情形为例进行了说明。因此，平板部2具有六个开口部2a，两个第一基板收容部20共具有六个开口部20b，本体侧保持板部51具有六个开口部51a。然而，只要可构成与检查处理部的个数相应的电性连接，则各构件的开口部的个数无论为几个均可。

所述实施方式中，以基板检查装置1具有六个检查处理部3的情形为例进行了说明。因此，两个第一基板10共具有六个本体侧端子部11及六个第二基板侧端子部12，第二基板40具有六个第一基板侧端子部41及六个探针端子部42。另外，基板检查装置1具有六个电性连接部80。然而，只要可根据检查处理部的个数进行电性连接，则各构件的端子部的个数无论为几个均可。另外，电性连接部的个数无论为几个均可。

所述实施方式中，基板检查装置1具有两个通用单元8。然而，通用单元的个数也可为两个以外。

所述实施方式中，电性连接部80安装于通用单元8。然而，电性连接部也可为由第二基板及第一基板夹持而保持的结构。

所述实施方式中，保持第二基板40的基板保持部50具有本体侧保持板部51及探针侧保持板部52。然而，基板保持部也可为不具有本体侧保持板部的结构。

所述实施方式中，保持板支撑部53与本体侧保持板部51连接。然而，保持板支撑部只要可使变换单元相对于平板部而移动，则也可连接于基板保持部的任何构成零件。

所述实施方式中，保持板支撑部53可脱离地连接于本体侧保持板部51。然而，保持板支撑部也可为固定于本体侧保持板部51，且可脱离地连接于平板部的结构。

所述实施方式中，自X方向观看，开口部2a、开口部10a、开口部51a为矩形状。然而，开口部只要为不妨碍收容于开口部的构件的端子部、与因开口部而露出的构件的端子部的电性连接的形状即可。

所述实施方式中，自X方向观看，探针连接孔51b为六角形状。然而，探针连接孔也可为其他形状。

所述实施方式中，连结孔20c位于并排三个的开口部51a之间。然而，连结孔的位置只要为下述位置即可，即：可将探针侧保持板部定位于相对于第一基板在X方向并排的位置。

(整体结构)

本实施方式的检查装置1对检查对象W所具有的电气电路进行检查。本实施方式中，检查对象W为电路基板。再者，检查对象W也可为半导体晶片、半导体芯片、芯片尺寸封装(Chip size package，CSP)、晶片级封装(Wafer Level Package，WLP)、扇出型晶片级封装(Fan Out Wafer Level Package，FOWLP)或半导体元件等电子零件。

如图10所示，检查装置1包括检查处理保持部2、检查处理部3、检查治具4、检查基板载置台5、治具保持部6及控制部7。本实施方式中，作为一例，对检查处理部3的个数为六个的情形进行说明。然而，检查处理部的个数可为少于六个，也可为多于六个。

检查处理保持部2为支撑检查处理部3及检查治具4的构件。检查处理保持部2具有保持本体部30及第一被接触部31。

如图10至图12所示，保持本体部30为板状。保持本体部30具有沿厚度方向贯穿的矩形的检查处理收容部2a。本实施方式中，检查处理收容部2a的个数为与检查处理部3的个数相同的六个。六个检查处理收容部2a各三个排列成两列。保持本体部30通过在检查处理收容部2a内收纳检查处理部3的一部分，从而在厚度方向的其中一侧支撑检查处理部3。

以下，为了说明，将保持本体部30的厚度方向称为“X方向”，将检查处理收容部2a的列方向称为“宽度方向”或“Y方向”，将三个检查处理收容部2a并排的方向称为“Z方向”。

保持本体部30具有沿保持本体部30的厚度方向贯穿的四个连结孔2b。在连结孔2b收容有后述的连结构件91。连结构件91向保持本体部30的其中一侧突出，由治具固定部91a对保持本体部30进行固定。

第一被接触部31为自保持本体部30的与连结构件91突出的一侧为相反侧的面沿保持本体部30的厚度方向延伸的圆柱状的构件。第一被接触部31的前端与第一突起部61接触。本实施方式中，检查处理保持部2具有四个第一被接触部31。四个第一被接触部31的高度相同。关于第一突起部61，将在后叙述。

检查处理部3根据控制部7的指令信号而向检查对象W的电气电路输入信号，并且检测检查对象W的输出信号并输出至控制部7。检查处理部3为在X方向长的长方体状。检查处理部3的一部分收容于检查处理保持部2的检查处理收容部2a内。本实施方式中，如上文所述，检查处理部3的个数为六个。六个检查处理部3各自的一部分以收容于各检查处理收容部2a内的状态而支撑于检查处理保持部2。由此，检查处理部3在检查处理保持部2的其中一侧，沿Z方向以三个为单位且沿Y方向排成两列。

检查处理部3在收容于检查处理收容部2a内的一侧的端面上，具有包含多个端子的端子部。检查处理部3经由所述端子部而与检查治具4的第一基板10电性连接。

检查治具4安装于检查处理保持部2的与检查处理部3侧相反的一侧。检查治具4与检查处理部3电性连接。另外，检查治具4在与检查处理部3侧相反的一侧具有探针71。探针71的前端接触检查对象W所具有的电气电路的端子。在探针71的前端接触所述电气电路的端子的状态下，自检查处理部3经由检查治具4向检查对象W的电气电路输入信号，并且所述电气电路的输出信号经由检查治具4传递至检查处理部3。关于检查治具4的详细情况，将在后叙述。

检查基板载置台5载置检查对象W。检查基板载置台5于在检查基板载置台5上固定有检查对象W的状态下，向靠近检查治具4的方向及远离检查治具4的方向移动。再者，检查治具4也可相对于检查基板载置台5而移动。

本实施方式中，检查基板载置台5沿X方向、Y方向及Z方向移动。进而，检查基板载置台5绕X轴旋转360度。由此，载置于检查基板载置台5的检查对象W被定位于与检查治具4的探针71的前端接触的位置。

治具保持部6对检查处理保持部2固定检查治具4。详细而言，治具保持部6保持检查治具4的本体侧保持板部51的Y方向的两侧，使检查治具4向保持本体部30侧接近并固定。

连结构件91为对检查处理保持部2连结检查治具4的本体侧保持板部51的、棒状的构件。连结构件91贯穿检查处理保持部2、第一基板10、第一基板保持部20及本体侧保持板部51。连结构件91的前端部分收容于本体侧保持板部51的连结孔51c内。连结构件91的其中一侧固定于本体侧保持板部51。连结构件91的另一侧固定于检查处理保持部2。由此，由本体侧保持板部51保持的第二基板40相对于第一基板10在厚度方向并排而经定位。

控制部7控制检查处理部3的动作。控制部7对检查处理部3输出检查对象W的指令信号。另外，控制部7基于检查处理部3从检查对象W接收的信号，来判定检查对象W的电气电路的不良状况等。

(检查治具)

继而，使用图10至图15，对检查治具4加以详细说明。检查治具4具有第一基板单元8及第二基板单元9。

检查治具4具有收容连结构件91的沿X方向延伸的连结孔90。

(第一基板单元)

如图11至图13所示，第一基板单元8具有第一基板10及第一基板保持部20。本实施方式中，检查治具4具有两个第一基板单元8。两个第一基板单元8分别安装于覆盖检查处理保持部2的并排三个的检查处理收容部2a的位置。即，各第一基板单元8与收容于检查处理收容部2a的检查处理部3的端面相向。两个第一基板单元8的各构成构件在第一基板单元8安装于检查处理保持部2的状态下，以检查处理保持部2的Y方向的中央线为中心而在Y方向对称地配置。两个第一基板单元8的结构相同，故而以下对一个第一基板单元8的结构进行说明。

第一基板10为沿Y方向及Z方向延伸的矩形的树脂制的电路基板。如图11所示，第一基板10在保持本体部30侧的面上具有三个本体侧端子部11，在第二基板40侧的面上具有三个第二基板侧端子部12。各本体侧端子部11与各第二基板侧端子部12电性连接。

三个本体侧端子部11与三个检查处理部3分别相向。各本体侧端子部11与各检查处理部3的端子部接触。由此，传递至第一基板10的电气电路的信号传递至检查处理部3。三个第二基板侧端子部12经由后述的电性连接部80而与第二基板40电性连接。

如图12所示，第一基板10具有沿厚度方向贯穿的两个连结孔10a。连结孔10a为连结孔90的一部分。

第一基板保持部20为沿Y方向及Z方向延伸的板状。第一基板保持部20由为了保持第一基板10而具有充分强度的材料、例如含铝的金属构成。如图11及图12所示，第一基板保持部20在保持本体部30侧具有凹部20a。第一基板10收容于凹部20a内。

如图11及图13所示，第一基板保持部20在凹部20a的底面，具有沿厚度方向贯穿的三个矩形的第一连接收容部20b。三个第一连接收容部20b在第一基板保持部20中，位于与三个第二基板侧端子部12对应的位置。即，通过三个第一连接收容部20b，第二基板侧端子部12自第一基板保持部20露出。

如图13所示，第一基板保持部20具有沿厚度方向贯穿的两个连结孔20c。连结孔20c为连结孔90的一部分。

第一基板保持部20在第二基板40侧的面具有第二被接触部21。第二被接触部21在第一基板保持部20中，位于与后述的本体侧保持板部51的第二突起部62对应的位置。关于第二突起部62，将在后叙述。再者，第一基板保持部20也可具有第一被接触部，所述第一被接触部位于与本体侧保持板部51所具有的第一突起部61对应的位置。

如上文所述，本实施方式中，检查治具4具有两个第一基板单元8。因此，检查治具4具有六个本体侧端子部11、六个第二基板侧端子部12、六个第一连接收容部20b及四个连结孔20c。即，第一连接收容部20b沿Z方向以三个为单位且沿Y方向排成两列。

两个第一基板保持部20分别于在凹部20a内收容有第一基板10的状态下安装于检查处理保持部2。

(第二基板单元)

如图11所示，第二基板单元9具有第二基板40、本体侧保持板部51、探针侧保持板部52、连接导线55及探针单元70。第二基板单元9安装于覆盖第一基板单元8的六个第一连接收容部20b的位置。第二基板单元9由治具保持部6及连结构件91对检查处理保持部2进行固定。

第二基板40为沿Y方向及Z方向延伸的矩形的树脂制的电路基板。第二基板40在中央具有沿厚度方向贯穿的探针连接孔40a。

如图11及图123所示，第二基板40在第一基板10侧的面上具有六个第一基板侧端子部41及六个探针连接端子部42。各第一基板侧端子部41与各探针连接端子部42电性连接。

自X方向观看，六个探针连接端子部42以探针连接孔40a为中心在周向等间隔地排列配置。

六个第一基板侧端子部41位于与第一基板10的六个第二基板侧端子部12分别相向的位置。即，自X方向观看，六个第一基板侧端子部41位于第二基板40的外周侧。

如图11至图13所示，本体侧保持板部51为沿Y方向及Z方向延伸的板状。本体侧保持板部51的Y方向的长度比第二基板40的Y方向的长度更长。本体侧保持板部51的Z方向的长度与第二基板40的Z方向的长度相同。本体侧保持板部51由为了保持第二基板40而具有充分强度的材料、例如含铝的金属构成。本体侧保持板部51为第二基板保持部。

本体侧保持板部51以相对于第一基板10在厚度方向并排的状态保持第二基板40。本体侧保持板部51自第一基板10侧保持第二基板40。

本体侧保持板部51由治具保持部6保持Y方向的两侧，对检查处理保持部2进行固定。

如图12及图14所示，本体侧保持板部51具有六角形状的探针连接开口部51b，所述六角形状的探针连接开口部51b沿厚度方向贯穿，且以平面观看本体侧保持板部51而位于本体侧保持板部51的中央。探针连接开口部51b在本体侧保持板部51中，位于与第二基板40的探针连接端子部42对应的位置。即，通过探针连接开口部51b，探针连接端子部42自本体侧保持板部51露出。探针连接开口部51b为开口部。

如图14所示，本体侧保持板部51具有沿厚度方向贯穿的六个矩形的第二连接收容部51a。六个第二连接收容部51a在本体侧保持板部51中，位于与第一基板侧端子部41对应的位置。即，以平面观看本体侧保持板部51，六个第二连接收容部51a在比探针连接开口部51b更靠本体侧保持板部51的Y方向的其中一侧及Y方向的另一侧，分别沿Z方向以三个为单位排成一列。通过六个第二连接收容部51a，第一基板侧端子部41自本体侧保持板部51露出。第二连接收容部51a为电性连接收容部。

本体侧保持板部51具有沿厚度方向贯穿的四个连结孔51c。自X方向观看，连结孔51c位于并排三个的第二连接收容部51a之间。在连结孔51c收容有连结构件91的前端部。连结孔51c为连结孔90的一部分。

本体侧保持板部51在第一基板10侧的面具有圆柱状的突起部61、突起部62。通过突起部61、突起部62而抑制本体侧保持板部51向检查处理保持部2侧移位。关于突起部61、突起部62的详细情况，将在后叙述。

如图11至图13所示，探针侧保持板部52为沿Y方向及Z方向延伸的板状。探针侧保持板部52的Y方向及Z方向的长度与本体侧保持板部51的Y方向及Z方向的长度相同。探针侧保持板部52的厚度小于本体侧保持板部51的厚度。探针侧保持板部52由为了保持第二基板40而具有充分强度的材料、例如含铝的金属构成。

探针侧保持板部52位于隔着第二基板40而与本体侧保持板部51侧相反的一侧。即，本体侧保持板部51、第二基板40及探针侧保持板部52从第一基板10侧起以本体侧保持板部51、第二基板40、探针侧保持板部52的顺序沿它们的厚度方向并排。

如图11所示，探针侧保持板部52在中央具有沿厚度方向贯穿的探针连接孔52a。自X方向观看，探针侧保持板部52的探针连接孔52a与第二基板40的探针连接孔40a位于相同位置。

本体侧保持板部51及探针侧保持板部52于在它们之间夹持有第二基板40的状态下，由未图示的固定构件相互连结。如此，通过自厚度方向的两侧夹持第二基板40，从而可抑制第二基板40的厚度方向的变形。

如图11所示，连接导线55将第二基板40与后述的探针71电性连接。连接导线55的其中一个端部连接于第二基板40的探针连接端子部42。连接导线55的另一个端部穿过第二基板40的探针连接孔40a及探针侧保持板部52的探针连接孔52a而连接于探针71。

以平面观看本体侧保持板部51，探针单元70在与探针连接开口部51b重叠的位置安装于探针侧保持板部52。探针单元70具有探针71及探针支撑部72。

探针71为沿X方向延伸的针状构件。通过探针71的前端接触检查对象W的端子，从而检测检查对象W所具有的电气电路的信号。

如图11所示，在探针71的第二基板侧的端部，电性连接有连接导线55的其中一个端部。连接导线55的另一个端部电性连接于第二基板40。由此，检查对象W所具有的电气电路的信号经由探针71传递至第二基板40。

探针支撑部72对本体侧保持板部51支撑探针71。探针支撑部72由未图示的固定构件固定于探针侧保持板部52。

如图11所示，电性连接部80位于第一基板10与第二基板40之间。本实施方式中，检查治具4具有六个电性连接部80。各电性连接部80的第一基板10侧收容于第一基板保持部20的第一连接收容部20b内，由未图示的固定构件固定于第一基板保持部20。各电性连接部80的第二基板40侧收容于本体侧保持板部51的第二连接收容部51a内。

电性连接部80在第一基板10侧，具有与第一基板10的第二基板侧端子部12接触的第一连接部81。电性连接部80在第二基板40侧，具有与第二基板40的第一基板侧端子部41接触的第二连接部82。

本实施方式中，第一连接部81及第二连接部82包含弹簧顶针。即，第一连接部81被按压于第一基板10的第二基板侧端子部12，第二连接部82被按压于第二基板40的第一基板侧端子部41。由此，第一基板10及第二基板40经由电性连接部80电性连接。

此时，第二基板40承受电性连接部80的反作用力，故而容易向与第一基板10侧相反的一侧变形。然而，第二基板40由从与第一基板10侧相反的一侧进行保持的探针侧保持板部52所保持。由此，在电性连接部80电性接触第二基板40的状态下，抑制第二基板40在厚度方向变形。

通过以上的结构，检查治具4将检查对象W所具有的电气电路的信号经由探针71、第二基板40的探针连接端子部42及第一基板侧端子部41、电性连接部80、第一基板10的第二基板侧端子部12及本体侧端子部11传递至检查处理部3。再者，第二基板40中，可使第一基板侧端子部41的端子间的间隔比探针连接端子部42的端子间的间隔更宽。第一基板10中，可使本体侧端子部11的端子间的间隔比第二基板侧端子部12的端子间的间隔更宽。由此，检查治具4即便在检查对象W的端子间的间隔非常窄的情形时，也可将本体侧端子部11的端子间的间隔设为可通过检查处理部3检测信号的间隔。

(突起部)

继而，使用图11至图15对本体侧保持板部51所具有的突起部61、突起部62加以详细说明。

如图12所示，突起部61、突起部62为圆柱状。突起部61、突起部62自本体侧保持板部51的第一基板10侧的面向第一基板10突出。本实施方式中，突起部61、突起部62为本体侧保持板部51的一部分。例如，突起部61、突起部62是通过将本体侧保持板部51的突起部61、突起部62以外的部分在厚度方向切削从而制作。如图14所示，突起部61、突起部62的剖面形状为圆形。因此，切削本体侧保持板部51时无需形成角。由此，可容易地制作突起部61、突起部62。再者，突起部61、突起部62也可与本体侧保持板部51分开制作，并安装于本体侧保持板部51。此时，突起部61、突起部62的剖面形状为圆形，故而在安装突起部61、突起部62时，可不考虑相对于本体侧保持板部51的自轴方向观看的角度。另外，突起部61、突起部62也可通过对本体侧保持板部51进行压制加工从而制作。

如图14所示，本实施方式中，以平面观看本体侧保持板部51，突起部61、突起部62包含位于本体侧保持板部51的中央侧的四个第一突起部61、及位于本体侧保持板部51的外周侧的四个第二突起部62。

本实施方式中，四个第一突起部61的高度相同。另外，四个第二突起部62的高度相同。

四个第一突起部61位于本体侧保持板部51的探针连接开口部51b的周围。详细而言，如图15所示，以平面观看本体侧保持板部51，各第一突起部61与探针连接开口部51b的中心O的距离L1比第二连接收容部51a与探针连接开口部51b的中心O的距离L2更短。另外，以平面观看本体侧保持板部51，各第一突起部61与探针连接开口部51b的中心O的距离L1比对本体侧保持板部51连接有连结构件91的连结孔51c与探针连接开口部51b的中心O的距离L3更短。另外，各第一突起部61位于比收容连结构件91的连结孔51c更靠本体侧保持板部51的Y方向的中央侧。以平面观看本体侧保持板部51，四个第一突起部61在隔着探针连接开口部51b的Z方向的两侧，分别以两个为单位并排配置。如图11所示，四个第一突起部61向检查处理保持部2突起。

再者，此处，距离L1是指各第一突起部61与探针连接开口部51b的中心O的最短距离。另外，距离L2是指第二连接收容部51a的外缘与探针连接开口部51b的中心O的最短距离。另外，距离L3是指连结孔51c的外缘与探针连接开口部51b的中心O的最短距离。

如图14所示，以平面观看本体侧保持板部51，四个第二突起部62位于比探针连接开口部51b更靠本体侧保持板部51的外周侧。详细而言，四个第二突起部62中的两个第二突起部62分别位于比在本体侧保持板部51的Y方向其中一侧以列状并排三个的第二连接收容部51a更靠外周侧，且距所述以列状并排三个的第二连接收容部51a中相邻的第二连接收容部51a实质上相等的距离。四个第二突起部62中的另两个第二突起部62分别位于比在本体侧保持板部51的Y方向另一侧以列状并排三个的第二连接收容部51a更靠外周侧，且距以列状并排三个的第二连接收容部51a的相邻的第二连接收容部51a实质上相等的距离。如图11所示，四个第二突起部62向第一基板保持部20突起。

再者，此处所谓距相邻的第二连接收容部51a实质上相等的距离，是指以相邻的第二连接收容部51a中相互最接近的外缘的位置为基准点的、实质上相等的距离。另外，所谓比探针连接开口部51b更靠本体侧保持板部51的外周侧，是指本体侧保持板部51中比探针连接开口部51b的外缘更靠外周部分。所谓比本体侧保持板部51的第二连接收容部51a更靠外周侧，是指本体侧保持板部51中比第二连接收容部51a的外缘更靠外周部分。

如图11所示，四个第一突起部61的前端接触检查处理保持部2所具有的第一被接触部31。由此，通过四个第一突起部61而抑制本体侧保持板部51向检查处理保持部2侧移位。另外，四个第二突起部62的前端接触第一基板保持部20所具有的第二被接触部21(参照图13)。由此，通过四个第二突起部62而抑制本体侧保持板部51向检查处理保持部2侧移位。

再者，本实施方式中，检查处理保持部2具有与第一突起部61接触的第一被接触部31，第一基板保持部20具有与第二突起部62接触的第二被接触部21。然而，检查处理保持部也可具有与第二突起部接触的第二被接触部，且第一基板保持部具有与第一突起部接触的第一被接触部。

继而，对具有以上的结构的检查装置1的、第一突起部61及第二突起部62的效果进行说明。

检查装置1中，检查对象W所具有的电气电路的信号经由探针71、第二基板40、第一基板10传递至检查处理部3。探针71、第二基板40、第一基板10及检查处理部3分别保持于探针单元70、本体侧保持板部51、第一基板保持部20及检查处理保持部2。另外，第二基板40经由收容于第二连接收容部51a内的电性连接部80而与第一基板10电性连接。

因此，在检查时，为了将探针71所检测到的检查对象W的信号稳定地传递至检查处理部3，而必须将第二基板40的第一基板侧端子部41相对于电性连接部80的第二连接部82的位置保持于一定，维持电性连接部80的第二连接部82与由本体侧保持板部51所保持的第二基板40的第一基板侧端子部41的电性连接状态良好。因此，对于本体侧保持板部51而言，必须抑制相对于第一基板保持部20及检查处理保持部2的在厚度方向的移位。

以平面观看本体侧保持板部51，本体侧保持板部51在与探针71重叠的位置具有沿厚度方向贯穿的探针连接开口部51b。因此，本体侧保持板部51的刚性在探针连接开口部51b的周围降低。另外，本体侧保持板部51在与电性连接部80的连接位置具有第二连接收容部51a。因此，本体侧保持板部51的刚性在第二连接收容部51a的周围降低。

另外，本体侧保持板部51在第二连接收容部51a的周围，因来自电性连接部80的接触压力而承受向探针71侧移位的力。另外，本体侧保持板部51在连结孔51c的位置，由连结构件91相对于检查处理保持部2进行固定。另外，本体侧保持板部51在比探针连接开口部51b更靠本体侧保持板部51的外周侧，被拉向检查处理保持部2侧。因此，例如本体侧保持板部51可能一部分在厚度方向变形，或一部分相对于第一基板保持部20而倾斜。

进而，本体侧保持板部51在检查对象W的检查时，承受来自探针71的接触压力，在探针连接开口部51b的周围承受向检查处理保持部2侧移位的力。如此，探针连接开口部51b的周围承受向检查处理保持部2侧移位的力，导致作为本体侧保持板部51的中央部分的探针连接开口部51b的周围向检查处理保持部2侧移位。此时，位于比电性连接部80更靠外侧的本体侧保持板部51的外周侧以电性连接部80为支点而向与检查处理保持部2侧相反的一侧移位。由此，可能第二基板40的第一基板侧端子部41的一部分远离电性连接部80的第二连接部82，在电性连接部80与第二基板40之间产生接触不良。

另外，在检查对象W的检查时，本体侧保持板部51的探针连接开口部51b的周围向检查处理保持部2侧移位可能导致下述情况，即：探针71未由检查所需要的力按压于检查对象W。

然而，检查装置1中，本体侧保持板部51在探针连接开口部51b的周围，具有与检查处理保持部2接触的第一突起部61。由此，本体侧保持板部51抑制探针连接开口部51b的周围向检查处理保持部2侧移位。因此，本体侧保持板部51可将第二基板40的第一基板侧端子部41相对于电性连接部80的第二连接部82的位置保持于一定，抑制收容于第二连接收容部51a的电性连接部80与本体侧保持板部51保持的第二基板40之间的接触不良。另外，位于探针连接开口部51b的探针单元70向检查处理保持部2侧的移位得到抑制，故而可在检查时使探针71以必要的力接触检查对象W。

另外，检查装置1中，本体侧保持板部51在第二连接收容部51a的周围，具有与第一基板保持部20接触的第二突起部62。由此，抑制本体侧保持板部51在第二连接收容部51a的周围向第一基板保持部20侧移位。

因此，检查装置1中，通过第一突起部61，抑制本体侧保持板部51相对于检查处理保持部2向检查处理保持部2侧移位。另外，通过第一突起部61，抑制探针单元70相对于本体侧保持板部51及检查处理保持部2向检查处理保持部2侧移位。另外，通过第二突起部62，抑制电性连接部80的位置的本体侧保持板部51相对于第一基板保持部20向检查处理保持部2侧移位。由此，可在探针单元70支撑的探针71、本体侧保持板部51保持的第二基板40、第一基板保持部20保持的第一基板10及检查处理保持部2支撑的检查处理部3之间稳定地传递检查对象W的信号。

所述实施方式中，本体侧保持板部51具有四个第一突起部61及四个第二突起部62。然而，本体侧保持板部只要具有至少一个第一突起部61即可。另外，为了抑制本体侧保持板部51向检查处理保持部2侧移位，本体侧保持板部51优选为具有至少一个第二突起部62。

再者，为了抑制本体侧保持板部51向检查处理保持部2侧移位，本体侧保持板部51优选为具有多个第一突起部61。此时，多个第一突起部61优选为以平面观看本体侧保持板部51，而位于隔着探针连接开口部51b相向的位置。由此，本体侧保持板部51即便在检查对象W的检查时承受来自探针71的接触压力，在探针连接开口部51b的周围承受向检查处理保持部2侧移位的力，也可在隔着探针连接开口部51b的两侧的位置抑制向检查处理保持部2侧移位。因此，与相对于探针连接开口部51b而仅在其中一侧具有第一突起部61的结构相比，更容易在探针连接开口部51b的周围抑制本体侧保持板部51向检查处理保持部2侧移位。

另外，在本体侧保持板部51在隔着探针连接开口部51b而相向的位置具有多个第一突起部61的结构中，多个第一突起部61中的至少两个第一突起部61优选为以平面观看本体侧保持板部51，而位于隔着探针连接开口部51b的两处中的一者。由此，可在探针连接开口部51b的周围的至少三处，使本体侧保持板部51与检查处理保持部2接触。因此，可在本体侧保持板部51的厚度方向，在至少三处抑制探针单元70向检查处理保持部2侧移位。因此，在探针连接开口部51b的周围更容易抑制本体侧保持板部51向检查处理保持部2侧移位。

如以上所说明，检查治具4为安装于检查装置的检查治具，所述检查装置以基板或半导体作为检查对象。检查治具4含有：探针71，接触所述检查对象，检测电气信号；第二基板40，保持探针71，传递探针71所检测到的电气信号；第一基板10，在第二基板40的与探针71侧相反的一侧在第二基板40的厚度方向并排配置，且将第二基板40传递的电气信号传递至检查装置；电性连接部80，将第一基板10及第二基板40电性连接；板状的第一基板保持部20，对检查装置1保持第一基板10；以及板状的本体侧保持板部51，在第一基板10侧对第一基板10保持第二基板40。本体侧保持板部51具有：探针连接开口部51b，以平面观看本体侧保持板部51，在与探针71重叠的位置沿厚度方向贯穿；第二连接收容部51a，沿厚度方向贯穿而收容电性连接部80；以及第一突起部61，向第一基板10突出。以平面观看本体侧保持板部51，第一突起部61与探针连接开口部51b的中心的距离比第二连接收容部51a与探针连接开口部51b的中心的距离更短。至少在使探针71接触所述检查对象时，第一突起部61接触检查装置1或第一基板保持部20。

在保持第二基板40的本体侧保持板部51具有沿厚度方向贯穿本体侧保持板部51的探针连接开口部51b的情形时，本体侧保持板部51的刚性在探针连接开口部51b的周围降低。因此，可能第二基板40相对于第一基板10在厚度方向移位。相对于此，所述结构中，本体侧保持板部51在探针连接开口部51b的周围，具有接触检查处理保持部2或第一基板保持部20的第一突起部61。即，通过第一突起部61，本体侧保持板部51在第一突起部61所处的本体侧保持板部51的探针连接开口部51b的周围，使本体侧保持板部51接触检查处理保持部2或第一基板保持部20。由此，可在探针连接开口部51b的周围及第二连接收容部51a的周围，抑制由本体侧保持板部51所保持的第二基板40向检查处理保持部2或第一基板保持部20侧移位。因此，具有多个第一突起部61的本体侧保持板部51可将第二基板40的第一基板侧端子部41相对于电性连接部80的第二连接部82的位置保持于一定，使第二基板40与电性连接部80之间的电性接触稳定。另外，可在检查时使探针71以必要的力接触检查对象W。

另外，第二连接收容部51a包含：多个第二连接收容部51a，以平面观看本体侧保持板部51，在比探针连接开口部51b更靠本体侧保持板部51的宽度方向其中一侧及宽度方向另一侧的至少一侧排成列状，且以平面观看本体侧保持板部51，第二突起部62位于距相邻的第二连接收容部51a实质上相等的距离。

通过第二突起部62，可在第二连接收容部51a的周围使本体侧保持板部51接触检查处理保持部2或第一基板保持部20。因此，在第二连接收容部51a的周围，抑制本体侧保持板部51向检查处理保持部2侧或第一基板保持部20侧移位。而且，关于第二突起部62的个数，只要在距多个第二连接收容部51a实质上相等的距离有至少一个即可。因此，可利用个数比第二连接收容部51a的个数更少的第二突起部62，抑制本体侧保持板部51的第二连接收容部51a的周围的向检查处理保持部2侧或第一基板保持部20侧的移位。

另外，本实施方式中，以平面观看本体侧保持板部51，探针连接开口部51b位于本体侧保持板部51的中央。以平面观看本体侧保持板部51，多个第二连接收容部51a分别在比探针连接开口部51b更靠本体侧保持板部51的宽度方向其中一侧及宽度方向另一侧，且在与宽度方向正交的正交方向以三个为单位并排配置成一列。第一突起部61包含四个第一突起部61，以平面观看本体侧保持板部51，位于比所述四个连结构件91更靠本体侧保持板部51的宽度方向中央侧，并且所述四个第一突起部61中的两个第一突起部61位于隔着所述探针连接开口部51b而与另两个第一突起部61相反的一侧。以平面观看本体侧保持板部51，第二突起部62在比所述多个第二连接收容部51a的中央更靠本体侧保持板部51的宽度方向其中一外侧，位于距相邻的第二连接收容部51a实质上相等的距离，且在比多个第二连接收容部51a的中央更靠本体侧保持板部51的宽度方向另一外侧，位于距相邻的第二连接收容部51a实质上相等的距离。

具有六个第二连接收容部51a的检查治具4在探针连接开口部51b的周围的四处，具有接触检查处理保持部2或第一基板保持部20的第一突起部61。另外，检查治具4在Y方向，在位于比第一突起部61更靠本体侧保持板部51的其中一外侧及另一外侧的、第二连接收容部51a的周围，具有第二突起部62。由此，利用本体侧保持板部51的中央侧的四个第一突起部61、及在本体侧保持板部51的Y方向其中一侧及另一侧至少各配置一个的第二突起部62，可抑制本体侧保持板部51相对于检查处理保持部2或第一基板保持部20向检查处理保持部2侧移位。因此，本体侧保持板部51可将第二基板40的第一基板侧端子部41相对于电性连接部80的第二连接部82的位置保持于一定，抑制收容于第二连接收容部51a的电性连接部80与本体侧保持板部51保持的第二基板40之间的接触不良。

另外，检查装置1含有：检查治具4，具有所述结构；检查处理部3，检测第一基板10的信号；以及板状的检查处理保持部2，保持检查处理部3。检查处理保持部2或第一基板保持部20具有第一突起部61接触的第一被接触部31。

检查装置1的检查治具4在探针连接开口部51b的周围，具有接触第一被接触部31的第一突起部61。由此，抑制检查治具4的本体侧保持板部51在探针连接开口部51b的周围向检查处理保持部2侧移位。因此，抑制由本体侧保持板部51所保持的探针单元70相对于检查对象W向检查处理保持部2侧移位。因此，对于位于比电性连接部80更靠外侧的本体侧保持板部51的外周侧，向与检查处理保持部2侧相反的一侧的移位得到抑制。即，本体侧保持板部51不易将第二基板40的第一基板侧端子部41的一部分自电性连接部80的第二连接部82隔离。即，本体侧保持板部51可将第二基板40的第一基板侧端子部41相对于电性连接部80的第二连接部82的位置保持于一定，抑制收容于第二连接收容部51a的电性连接部80与本体侧保持板部51保持的第二基板40之间的接触不良。另外，可获得能在检查时使探针71以必要的力接触检查对象W的检查装置。

另外，检查装置1中，突起部包含：第二突起部62，以平面观看本体侧保持板部51，位于比第二连接收容部51a更靠本体侧保持板部51的外周侧，且接触检查装置1或本体侧保持板部51。检查处理保持部2或第一基板保持部20具有第二突起部62接触的第二被接触部21。

检查装置1的检查治具4在本体侧保持板部51的外周侧，具有接触第二被接触部21的第二突起部62。由此，抑制检查治具4的本体侧保持板部51在本体侧保持板部51的外周侧相对于检查处理部3在厚度方向移位。由此，可抑制本体侧保持板部51向检查处理保持部2侧的移位。因此，本体侧保持板部51可将第二基板40的第一基板侧端子部41相对于电性连接部80的第二连接部82的位置保持于一定，使检查治具4与检查处理部3的电性接触稳定。另外，可在检查时使探针71以必要的力接触检查对象W。

另外，检查装置1还具有：连结构件91，对检查装置1连结本体侧保持板部51。以平面观看本体侧保持板部51，第一突起部61与探针连接开口部51b的中心O的距离比连结构件91与探针连接开口部51b的中心的距离

更短。

在检查装置1具有连结构件91的情形时，本体侧保持板部51在收容有连结构件91的连结孔51c的位置，承受被按压向检查处理保持部2侧的力，可能本体侧保持板部51向检查处理保持部2侧移位。然而，第一突起部61位于比连接有连结构件91的位置更靠探针连接开口部51b的附近，故而可在探针连接开口部51b的周围，抑制本体侧保持板部51相对于检查处理保持部2或第一基板保持部20向检查处理保持部2侧移位。因此，可使检查治具4与检查处理部3的电性接触稳定。另外，可在检查时使探针71以必要的力接触检查对象W。

(其他实施方式)

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但所述实施方式仅为用于实施本发明的例示。因此，可不限定于所述实施方式，而在不脱离其主旨的范围内将所述实施方式适当变形而实施。

所述实施方式中，以检查装置1具有六个检查处理部3的情形为例进行了说明。因此，检查处理保持部2具有六个检查处理收容部2a，两个第一基板保持部20共具有六个第一连接收容部20b，本体侧保持板部51具有六个第二连接收容部51a。然而，只要可构成与检查处理部的个数相应的电性连接，则各构件的开口部的个数无论为几个均可。

所述实施方式中，以检查装置1具有六个检查处理部3的情形为例进行了说明。因此，两个第一基板10共具有六个本体侧端子部11及六个第二基板侧端子部12，第二基板40具有六个第一基板侧端子部41及六个探针连接端子部42。而且，检查装置1具有六个电性连接部80。但是，只要可根据检查处理部的个数进行电性连接，则各构件的端子部的个数无论为几个均可。另外，电性连接部的个数无论为几个均可。

所述实施方式中，检查装置1具有两个第一基板单元8。然而，第一基板单元的个数可为一个，也可多于两个。

所述实施方式中，电性连接部80安装于第一基板单元8。然而，电性连接部也可为由第二基板及第一基板夹持而保持的结构。

所述实施方式中，连结构件91的其中一侧固定于检查处理保持部2，另一侧固定于本体侧保持板部51。但是，连结构件只要可使检查处理保持部与第二基板保持板部相互远离，则可固定于任何构成零件。

所述实施方式中，自X方向观看，检查处理收容部2a、检查处理收容部10a、检查处理收容部51a为矩形状。然而，检查处理收容部只要为不妨碍收容于检查处理收容部的构件的端子部、与因检查处理收容部而露出的构件的端子部的电性连接的形状即可。

所述实施方式中，自X方向观看，探针连接开口部51b为六角形状。然而，探针连接开口部也可为其他形状。

所述实施方式中，连结孔20c位于并排三个的第二连接收容部51a之间。但是，连结孔的位置只要为下述位置即可，即：将探针侧保持板部定位于相对于第一基板在X方向并排的位置。

所述实施方式中，四个第一被接触部31的高度相同。另外，四个第一突起部的高度相同。但是，四个第一被接触部的高度也可互不相同。另外，四个第一突起部的高度也可互不相同。再者，将各第一被接触部的高度、与接触所述第一被接触部的第一突起部的高度合计的长度优选为针对四个组合而言相同。

所述实施方式中，第一被接触部31为自保持本体部30的检查治具4侧的面延伸的圆柱状的构件。然而，第一被接触部也可不为圆柱状。第一被接触部也可位于保持本体部的检查治具4侧的面上。

所述实施方式中，以平面观看本体侧保持板部51，第一突起部61在隔着探针连接开口部51b的Z方向的两侧，分别以两个为单位并排配置。然而，以平面观看本体侧保持板部，第一突起部也可在隔着探针连接开口部的Y方向的两侧，分别以两个为单位并排配置。

所述实施方式中，第二突起部62在本体侧保持板部51的Y方向其中一侧及另一侧，位于比并排三个的第二连接收容部51a更靠外周侧。然而，第二突起部也可为下述结构，即：以平面观看本体侧保持板部，位于比探针连接开口部更靠本体侧保持板部的外周侧。由此，可在所述本体侧保持板部的外周侧，抑制所述本体侧保持板部相对于第一基板保持部或检查处理保持部在厚度方向变形。另外，第二突起部也可为下述结构，即：以平面观看本体侧保持板部，位于比第二连接收容部的中央更靠所述本体侧保持板部的Y方向外侧。由此，可在比第二连接收容部的中央更靠本体侧保持板部的Y方向外侧，抑制所述本体侧保持板部的厚度方向的变形。因此，可抑制所述本体侧保持板部在所述第二连接收容部的周围相对于第一基板保持部或检查处理保持部在厚度方向变形。

所述实施方式中，第二突起部62位于距并排三个的第二连接收容部51a中相邻的第二连接收容部51a实质上相等的距离。然而，第二突起部也可位于距并排三个的第二连接收容部中相邻的第二连接收容部不同的距离。例如，也可在比第二连接收容部51a更靠本体侧保持板部的Y方向外侧位于任意位置。

产业上的可利用性

本发明可适用于使用探针来检查多种基板的基板检查装置。

另外，本发明可适于下述检查装置，所述检查装置使用具有多个基板的检查治具来进行电路基板的检查。

符号的说明

1：基板检查装置、检查装置

2：平板部、检查处理保持部

2a：开口部、检查处理收容部

2b：连结孔

3：检查处理部

4：检查治具

5：检查基板载置台

6：治具保持部

7：控制部

8：通用单元、第一基板单元

9：变换单元、第二基板单元

10：第一基板

10a：连结孔

11：本体侧端子部

12：第二基板侧端子部

20：第一基板收容部、第一基板保持部

20a：凹部

20b：开口部、第一连接收容部

20c：连结孔

21：第二被接触部

30：检查治具驱动部、保持本体部

31：驱动支撑部、第一被接触部

32：第一驱动部

33：第二驱动部

40：第二基板

40a：探针连接孔

41：第一基板侧端子部

42：探针端子部、探针连接端子部

50：基板保持部

51：本体侧保持板部(第二保持板部)、本体侧保持板部(第二基板保持部)

51a：开口部、第二连接收容部(电性连接收容部)

51b：探针连接孔、探针连接开口部

51c：收容孔、连结孔

51d：轴部收容空间、

1e：爪部收容空间

52：探针侧保持板部(第一保持板部)

52a：探针连接孔

53：保持板支撑部

54：轴部

55：爪部、连接导线

60：连接导线

61：第一突起部

62：第二突起部

70：探针单元

71：探针

72：探针支撑部

80：电性连接部

81：第一连接部

82：第二连接部

90：连结孔

91：连结构件

91a：治具固定部

W：被检查基板、检查对象

Claims (19)

1.一种检查治具，安装于基板检查装置的检查处理部，所述基板检查装置对被检查基板所具有的电气电路进行检查，且所述检查治具包括：

第一基板，由所述检查处理部检测信号；

探针单元，具有接触所述被检查基板的探针；

第二基板，其中一个面与所述第一基板相向且在所述第一基板的厚度方向与所述第一基板并排配置，与所述探针电性连接；

电性连接部，在所述厚度方向位于所述第一基板与所述第二基板之间且将所述第一基板及所述第二基板电性连接；以及

基板保持部，以相对于所述第一基板在所述厚度方向并排的状态保持所述第二基板，且在与所述第一基板侧相反的一侧保持所述探针单元，

所述基板保持部具有：

板状的第一保持板部，位于所述第二基板的所述探针单元侧；以及

保持板支撑部，将所述第一保持板部定位于相对于所述第一基板在所述厚度方向并排的位置，

通过在所述第一基板与所述第二基板之间在所述厚度方向夹持所述电性连接部，从而以经由所述电性连接部将所述第一基板与所述第二基板电性连接的状态保持所述第二基板。

2.根据权利要求1所述的检查治具，其中所述基板保持部还具有：板状的第二保持板部，相对于所述第二基板位于所述第一基板侧，

所述第一保持板部及所述第二保持板部以在所述厚度方向夹持所述第二基板的状态经固定。

3.根据权利要求2所述的检查治具，其中所述保持板支撑部通过对所述检查处理部固定所述第二保持板部，从而将所述第一保持板部定位于相对于所述第一基板在所述厚度方向并排的位置。

4.根据权利要求3所述的检查治具，其中所述保持板支撑部为沿所述厚度方向贯穿所述第二保持板部及所述检查处理部而延伸的、棒状的构件，

在所述保持板支撑部的前端部，具有沿相对于所述保持板支撑部的延伸方向交叉的方向延伸的爪部，

自所述厚度方向观看，所述第二保持板部具有收容所述保持板支撑部的前端部的收容孔，

自所述厚度方向观看，所述收容孔向与所述探针单元侧相反的方向延伸，具有收容所述保持板支撑部的爪部的爪部收容空间。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的检查治具，其中所述第一保持板部的厚度小于所述第二保持板部的厚度。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的检查治具，其中所述电性连接部具有：多个接触端子，分别电性接触所述第一基板的端子及所述第二基板的端子，

所述多个接触端子中的至少一部分能够在所述厚度方向伸缩。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的检查治具，其中在厚度方向观看所述第二基板，所述电性连接部位于所述第二基板的外周侧。

8.一种基板检查装置，包括如权利要求1至7中任一项所述的检查治具。

9.一种检查治具，安装于检查装置，所述检查装置以基板或半导体作为检查对象，且

所述检查治具包括：

探针，接触所述检查对象，检测电气信号；

第二基板，保持所述探针，传递所述探针所检测到的电气信号；

第一基板，在所述第二基板的与所述探针侧相反的一侧在所述第二基板的厚度方向并排配置，且将所述第二基板传递的电气信号传递至所述检查装置；

电性连接部，将所述第一基板及所述第二基板电性连接；

板状的第一基板保持部，对所述检查装置保持所述第一基板；以及

板状的第二基板保持部，在所述第一基板侧对所述第一基板保持所述第二基板，

所述第二基板保持部具有：探针连接开口部，以平面观看所述第二基板保持部，在与所述探针重叠的位置沿厚度方向贯穿；电性连接收容部，沿厚度方向贯穿而收容所述电性连接部；以及第一突起部，向所述第一基板突出，

以平面观看所述第二基板保持部，所述第一突起部与所述探针连接开口部的中心的距离比所述电性连接收容部与所述探针连接开口部的中心的距离更短，

至少在使所述探针接触所述检查对象时，所述第一突起部接触所述检查装置或所述第一基板保持部。

10.根据权利要求9所述的检查治具，其中所述第一突起部包含多个第一突起部，

以平面观看所述第二基板保持部，所述多个第一突起部位于隔着所述探针连接开口部而相向的位置。

11.根据权利要求10所述的检查治具，其中以平面观看所述第二基板保持部，所述多个第一突起部中的至少两个第一突起部位于隔着所述探针连接开口部的两处中的一者。

12.根据权利要求9所述的检查治具，还具有第二突起部，

以平面观看所述第二基板保持部，所述第二突起部位于比所述探针连接开口部更靠所述第二基板保持部的外周侧，且接触所述检查装置或所述第一基板保持部。

13.根据权利要求12所述的检查治具，其中以平面观看所述第二基板保持部，所述第二突起部位于比所述电性连接收容部的中央更靠所述第二基板保持部的宽度方向外侧。

14.根据权利要求12或13所述的检查治具，其中所述电性连接收容部包含：多个电性连接收容部，以平面观看所述第二基板保持部，在比所述探针连接开口部更靠所述第二基板保持部的宽度方向其中一侧及宽度方向另一侧的至少一侧排成列状，

以平面观看所述第二基板保持部，所述第二突起部位于距相邻的电性连接收容部实质上相等的距离。

15.根据权利要求14所述的检查治具，其中以平面观看所述第二基板保持部，所述探针连接开口部位于所述第二基板保持部的中央，

以平面观看所述第二基板保持部，所述多个电性连接收容部在比所述探针连接开口部更靠所述第二基板保持部的宽度方向其中一侧及宽度方向另一侧，分别沿与宽度方向正交的正交方向以三个为单位并排配置成一列，

所述第一突起部包含四个第一突起部，以平面观看所述第二基板保持部，位于比所述多个电性连接收容部更靠所述第二基板保持部的宽度方向中央侧，并且所述四个第一突起部中的两个第一突起部位于隔着所述探针连接开口部而与另两个第一突起部相反的一侧，

以平面观看所述第二基板保持部，所述第二突起部在比所述多个电性连接收容部的中央更靠所述第二基板保持部的宽度方向其中一外侧，位于距相邻的电性连接收容部相等的距离，且在比所述多个电性连接收容部的中央更靠所述第二基板保持部的宽度方向另一外侧，位于距相邻的电性连接收容部相等的距离。

16.根据权利要求9至15中任一项所述的检查治具，其中所述突起部为圆柱状。

17.一种检查装置，包括：

如权利要求9至16中任一项所述的检查治具；

检查处理部，检测所述第一基板的信号；以及

板状的检查处理保持部，保持所述检查处理部，

所述检查处理保持部或第一基板保持部具有第一突起部接触的第一被接触部。

18.根据权利要求17所述的检查装置，还具有：

第二突起部，以平面观看所述第二基板保持部，位于比所述探针连接开口部更靠所述第二基板保持部的外周侧，且接触所述检查装置或所述第一基板保持部，

所述检查处理保持部或第一基板保持部具有所述第二突起部接触的第二被接触部。

19.根据权利要求17或18所述的检查治具，还具有：

连结构件，对所述检查装置连结所述第二基板保持部，

以平面观看所述第二基板保持部，所述第一突起部与所述探针连接开口部的中心的距离比所述连结构件与所述探针连接开口部的中心的距离更短。

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