CN1150397A - 清洗方法以及清洗装置 - Google Patents

Abstract

一种清洗方法以及清洗装置，在放有清洗液2的浸渍清洗槽3内，沿浸渍清洗槽3的槽壁例如沿底面1a平行地设置有多个喷嘴4a、4b、4c、4d来喷射使清洗液2强制流动的流体、例如清洗液、压缩空气以及这些的混合流体。上述多个流体喷嘴4分成两组(例如4a、4d和4b、4c)，喷射时间控制装置6交替地切换各组的多个流体喷嘴4的喷射时间，以使清洗液2的强制流动方向大致逆转。或者，可以通过使流体喷嘴移动而使清洗液的强制流动方向大致逆转。由此，能够在与被清洗物的部位及位置无关的情况下均匀地清洗被清洗物的所有面。

Description

清洗方法以及清洗装置

技术领域

本发明涉及到在各种元件的工业清洗中所利用的清洗方法以及清洗装置。

技术背景

金属元件、电镀元件、喷漆元件、电子元件、半导体元件等各种元件在制造过程以及组装过程中，会附着加工油以及灰尘等污物。以前一般是利用以CFC为代表的卤化烃类溶剂对带有这种污物的各种元件进行清洗。

但是，根据有机溶剂中毒预防规则等法规，以前就清楚卤化烃类溶剂对人体会有损害肝脏以及致癌性等恶劣影响。而且，近来也看到了不仅对人体，还具有对地下水的产生污染及破坏臭氧层等影响环境的问题。因此，强烈要求使用能够取代卤化烃类溶剂且对人体及环境无恶劣影响的清洗剂以及清洗方法。所以，提出了能够取代卤化烃类溶剂的各种替代清洗剂，并对使用其的清洗方法进行了研究。

清洗性能主要以清洗液的清洗能力为依据，但作为其补充因素可以举出清洗时间、清洗液温度以及由于清洗液的振动、喷射、搅拌、流动等引起的在清洗液和被清洗物之间的机械力等，通过这些因素可以提高清洗性能。例如，以前所使用的把作用力作用于被清洗物的方法有：将超声波照射到清洗液中的被清洗物的方法、喷射清洗液的方法、在清洗液中输入压缩空气等使其发泡的方法、使放入被清洗物的筐等旋转的方法(旋转清洗)、摇动被清洗物的方法等等。

但是，超声波照射以及喷射清洗液、压缩空气等方法存在下述的问题：即使能够把对着照射或喷射的面清洗得非常干净，但对没有直接照射及喷射的背面则不能得到充分的清洗效果。旋转清洗的问题是被清洗物在筐内移动因而容易受损，而且在筐的中心附近因为相对速度基本为零，所以不能获得洗净的效果，另外，由于清洗液随着被清洗物的旋转也旋转，所以，难以提高被清洗物和清洗液之间的相对速度，很难期待有充分的洗净效果。而且，摇动被清洗物的方法与旋转清洗相同，难以提高被清洗物和清洗液之间的相对速度，很难期待有充分的洗净效果。而且，如果被清洗物的摇动速度过快，则容易损伤被清洗物。

因此，为了弥补上述的问题而采用了如下的方法，例如一边从相对的两个方向喷射清洗液，一边使清洗液等的喷嘴摆头从而扩大喷射角度，或者将超声波清洗和旋转清洗相结合等。这些方法中，例如在从相对的两个方向喷射清洗液等的场合下，液体的速度在中间点相抵消而基本为零，从而会产生清洗不充分的位置。而且，即使使喷嘴摆头，没有对着喷射的面也不能获得到充分的洗净效果。即使把超声波清洗和旋转清洗相结合，也会出现放在筐内的被清洗物不能得到充分清洗的问题。而且，虽然也考虑了设置多个超声波振荡器来防止清洗不充分的情况，但是装置费用很高，而且因为超声波的波长短，所以筐内的元件也不能获得到充分的洗净效果。

进而，提出了在清洗槽的各个角落设置第1以及第2喷嘴以使清洗槽内产生以被清洗物为中心的顺时针转向以及逆时针转向的旋转流(参照实开平6-2740公报)。但是，这种方法存在的问题是：因为清洗槽中央的清洗液基本不流动，所以位于中央的被清洗物不能获得充分的洗净效果。而且，因为清洗液的流动被限制成沿清洗槽侧壁的旋转流，所以，在平行设置多个大型印刷电路板等进行清洗的场合中，存在清洗液在各印刷电路板间的缝隙中流动困难的问题。

另外，在喷射压缩空气的方法中，不仅有上述的清洗效果的问题，而且当压缩空气膨胀破裂时，会产生雾沫并引起各种问题。例如，不使用需要巨大投资的作为后处理的水处理设施的溶剂性净化处理作为能取代卤化烃类溶剂的净化处理很引人注目，但是很多溶剂性清洗剂具有燃点，当出现上述雾沫时，从安全角度看是最不理想的状况。而且，在通常的清洗装置中，多在清洗工序后继续进行干燥，当出现上述雾沫时，会对干燥性能带来恶劣影响。

如上所述，传统的根据机械力来提高清洗性能的方法，都是限定机械力作用的位置，因为机械力的位置会产生偏差，所以不能对被清洗物的所有面、特别是对重叠放入筐内的被清洗物的所有面产生均匀的作用力，因而有清洗不均的缺点。

本发明的目的是提供能够与被清洗物的部位以及位置无关从而能对被清洗物的所有面进行均匀清洗的清洗方法以及清洗装置。

发明的说明

本发明第1清洗方法的特征在于：在放有清洗液的清洗槽内浸渍并清洗被清洗物的方法中，沿前述清洗槽的1个槽壁平行而且大致向着同一方向设置有多个流体喷嘴，这些流体喷嘴喷射使前述清洗液向被清洗物强制流动的流体，这些喷嘴分成两组，通过交替地切换这两组流体喷嘴的流体喷射时间，可使得前述清洗液的强制流动方向一边大致逆转，一边进行前述的清洗。

第2清洗方法的特征在于：在放有清洗液的清洗槽内浸渍并清洗被清洗物的方法中，在前述清洗槽内以围住前述被清洗物的方式设置有多个流体喷嘴，这些流体喷嘴喷射使前述清洗液向被清洗物强制流动的流体，通过依次切换前述多个流体喷嘴向前述被清洗物喷射前述流体的喷射时间并进行喷射，由此，一边依次改变前述清洗液的强制流动方向，一边进行前述的清洗。

第3清洗方法的特征在于：在放有清洗液的清洗槽内浸渍并清洗被清洗物的方法中，在前述清洗槽内设置至少一个流体喷嘴，该流体喷嘴喷射使前述清洗液向前述被清洗物强制流动的流体，通过使前述流体喷嘴移动，一边改变前述清洗液的强制流动方向，一边进行前述的清洗。特别是，第3清洗方法通过使前述流体喷嘴沿大致水平的方向移动而使前述清洗液的强制流动方向大致逆转。

第4清洗方法的特征在于：在放有清洗液而且设置超声波振荡器的清洗槽内浸渍并清洗被清洗物的方法中，在前述清洗槽内设置有流体喷嘴，该流体喷嘴喷射使前述清洗液沿与前述超声波振荡器的超声波振荡方向大致相反的方向强制流动的流体，一边交替地切换前述超声波振荡器的超声波振荡和前述流体喷嘴的流体喷射，一边进行前述的清洗。

而且，上述第1、第2、第3以及第4清洗方法的特征在于：从前述流体喷嘴中喷射前述清洗液的单一流体或前述清洗液与气体的混合流体。

本发明的第1清洗装置的特征是：该清洗装置具备：放有清洗液并在该清洗液中浸渍被清洗物的清洗槽；在前述清洗槽内沿该清洗槽的一个槽壁平行而且大致沿同一方向设置并分成第1、第2组的多个流体喷嘴、这些流体喷嘴喷射使前述清洗液向前述清洗物强制流动的流体；该清洗装置还具备喷射时间控制装置，它可交替地切换前述第1组流体喷嘴的流体喷射时间和前述第2组流体喷嘴的流体喷射时间从而使前述清洗液的强制流动方向大致逆转。

第2清洗装置特征是：该清洗装置具备：放有清洗液并在前述清洗液中浸渍被清洗物的清洗槽；设置在前述清洗槽内的围住前述被清洗物的多个流体喷嘴，这些流体喷嘴喷射使前述清洗液向前述被清洗物强制流动的流体，喷射时间控制装置，它可依次切换前述多个流体喷嘴的流体喷射时间从而使前述清洗液的强制流动方向依次变化。

第3清洗装置的特征是：该清洗装置具备：放有清洗液并在前述清洗液中浸渍被清洗物的清洗槽；以可移动方式设置在前述清洗槽内的至少一个流体喷嘴，该流体喷嘴喷射使前述清洗液向前述被清洗物强制流动的流体；使前述流体喷嘴移动从而改变前述清洗液强制流动方向的喷嘴移动装置。第3清洗装置特别是由于前述喷嘴的移动而使前述流体喷嘴沿大致水平的方向移动，从而使前述清洗液的强制流动方向大致逆转。

第4清洗装置的特征是：该装置具备：放有清洗液并在前述清洗液中浸渍被清洗物的清洗槽；设置在前述清洗槽内的超声波振荡器和设置在前述清洗槽内的流体喷嘴，该流体喷嘴喷射使前述清洗液沿与前述超声波振荡器的超声波振荡方向大致相反方向强制流动的流体；使前述超声波振荡器的超声波振荡和前述流体喷嘴的流体喷射交替地切换的装置。

而且，在上述第1、第2、第3以及第4清洗装置中，其特征在于：这些清洗装置具备：使前述清洗液作为前述流体从前述流体喷嘴喷射出的输液泵或者使前述清洗液从前述流体喷嘴喷射出的输液泵；设置在前述输液泵和前述流体喷嘴之间的向前述清洗液中混合输入压缩气体的气体输入装置；可以使前述清洗液和气体的混合流体作为前述流体从前述流体喷嘴喷射。

在第1及第2清洗方法中，因为从多个流体喷嘴交替喷射使清洗液向被清洗物强制流动的流体，所以能够使清洗液的强制流动方向发生变化。因此，浸渍在清洗槽内的被清洗物分别直接暴露于来自不同方向的清洗液的强制流动液流中，从而所有的面都被均匀地清洗。而且，因为改变了清洗液向被清洗物强制流动的方向，所以，在清洗液的流动中不会产生停留点(流速为零的点)。因此能在与清洗槽内被清洗物的位置无关的情况下均匀地清洗。而且，在第1清洗方法中，因为一边使清洗液的强制流动方向大致逆转一边进行清洗，所以能够确实均匀地清洗被清洗物的所有面。在第2清洗方法中，因为一边依次切换直接朝向被清洗物的清洗液的强制流动方向、一边进行清洗，所以能够确实均匀地清洗被清洗物的所有面。

在第3清洗方法中，因为使流体喷嘴移动，而该流体喷嘴喷射使清洗液向被清洗物强制流动的流体，所以能够使清洗液的强制流动方向发生变化。因此，浸渍在清洗槽内的被清洗物分别直接暴露于不同方向的清洗液的强制流动的液流中，从而所有的面都能被均匀地清洗。而且，因为使清洗液朝向被清洗物强制流动的方向连续发生变化，所以在清洗液的流动中不会产生停留点。因此，能够在与清洗槽内被清洗物的位置无关的情况下均匀地清洗。特别是，由于使流体喷嘴沿大致水平的方向移动，从而能够一边大致逆转清洗液的强制流动方向、一边进行清洗，因此能够更确实地均匀清洗被清洗物的所有面。

在第4清洗方法中，因为使清洗液沿与超声波振荡器的超声波振荡方向的大致相反的方向强制移动，所以浸渍在清洗槽内的被清洗物分别受到从不同方向作用的机械清洗力。因此，被清洗物的所有面能够被均匀地清洗，而且能在与清洗槽内被清洗物的位置无关的情况下均匀地进行清洗。而且，由于超声波产生的空穴作用，会以机械的方式去除非溶解性污物，而且由于清洗液的强制流动可以促使去除溶解性污物，所以，能够高效率地清洗混合附着有非溶解性污物和溶解性污物的被清洗物。

而且，在本发明的上述清洗方法中，特别是在从流体喷嘴喷射清洗液和气体的混合流体的场合下，因为流体被分离为气体和液体的二相流，所以，在向清洗液中喷射该流体时，气体会变成微小的气泡。因此，通过微小气泡的作用力，能够更均匀地清洗被清洗物。而且，由于使气体变成微小气泡而能防止雾沫的产生。

而且，在第1以及第2清洗装置中，因为具备喷射时间控制装置来切换从多个流体喷嘴中喷射使清洗液向被清洗物强制流动的流体的喷射时间，从而使得清洗液的强制流动方向发生变化，所以，浸渍在清洗槽内的被清洗物会分别直接暴露于不同方向的清洗液的强制流动的液流中。因此，能够均匀地清洗被清洗物的所有面。而且，因为会使清洗液向被清洗物的强制流动方向发生变化，所以，在清洗液的流动中不会产生停留点。因此，能在与清洗槽内被清洗物的位置无关的情况下均匀地进行清洗。而且，在第1清洗装置中，因为使清洗液的强制流动方向大致逆转，所以，能够确实均匀地清洗被清洗物的所有面。而且，在第2清洗装置中，因为使清洗液直接朝向被清洗物的强制流动方向依次变化，所以，能够确实均匀地清洗被清洗物的所有面。

在第3清洗装置中，因为具有喷嘴移动装置使流体喷嘴移动，而该流体喷嘴会喷射使清洗液强制流动的流体，从而使清洗液的强制流动方向发生变化，所以，浸渍在清洗槽内的被清洗物分别直接暴露于不同方向的清洗液的强制流动的液流中。因此，能够均匀地清洗被清洗物的所有面。而且，因为会使清洗液朝向被清洗物的强制流动方向发生变化，所以，在清洗液的流动中不会产生停留点。因此，能在与清洗槽内被清洗物的位置无关的情况下均匀地进行清洗。特别是，由于使流体喷嘴沿大致水平的方向移动从而使清洗液的强制流动方向大致逆转，所以能够更确实地均匀清洗被清洗物的所有面。

在第4清洗装置中，因为具有流体喷嘴，而该喷嘴能使清洗液沿与超声波振荡器的超声波振荡方向大致相反的方向强制流动，所以，浸渍在清洗槽内的被清洗物分别受到不同方向作用的机械清洗力。因此，被清洗物的所有面能够被均匀地清洗，而且能在与清洗槽内被清洗物的位置无关的情况下加以均匀地清洗。而且，由于超声波的空穴作用，会以机械的方式去除非溶解性的污物，而且由于清洗液的强制流动会促进去除溶解性的污物，所以，能够高效率地清洗混合附着有非溶解性污物与溶解性污物的被清洗物。

在本发明的上述清洗装置中，特别是，由于使用了气体输入装置把清洗液和气体的混合流体作为使清洗液强制流动的流体，所以，在上述流体被喷入清洗液时，能使气体变成微小的气泡。由此，通过微小气泡的作用力，能够更均匀地清洗被清洗物。而且，由于使气体变成微小的气泡而能够防止雾沫的发生。

图的简单说明：

图1是表示本发明第1实施例的清洗装置结构的图；

图2是说明在图1所示清洗装置的操作的图；

图3表示的是在图1所示清洗装置中作为气体输入装置使用的喷射泵的图；

图4是表示图1所示清洗装置中的清洗液再生装置的概略结构图；

图5是表示第1实施例的变形例的清洗装置的清洗槽部分的图；

图6是说明在图5示出了主要部分的清洗装置的操作的图；

图7是表示第1实施例的其它变形例的清洗装置的清洗槽部分的图；

图8是说明在图7示出了主要部分的清洗装置的操作的图；

图9是表示本发明第2实施例清洗装置的清洗槽部分的图；

图10是说明在图9示出了主要部分的清洗装置的操作的图；

图11是表示本发明第3实施例清洗装置的清洗槽部分的图；

图12是说明在图11示出了主要部分的清洗装置的操作的图；

图13是表示在清洗液和气体的混合流体的具体例中使用的清洗装置的图；

图14是表示本发明第4实施例清洗装置的清洗槽部分的图。

实施本发明的最佳形式：

下面，根据实施例详细说明本发明。

图1是表示适用于本发明第1清洗方法的一个实施例的清洗装置的结构模式的图。该图中所示的清洗装置1具有盛放清洗液2的浸渍清洗槽3。在浸渍清洗槽3的底部附近设置有流体喷嘴4来喷射使清洗液2强制流动的流体。本实施例中，沿作为浸渍清洗槽3的1个槽壁的底面3a平行地设置4个流体喷嘴4a、4b、4c、4d。各流体喷嘴4分别具有朝向同一方向、也即向上方开口的10个喷射口5。而且，流体喷嘴4的个数并不是只限定为4个，可以根据清洗液的流动状态以及清洗槽3的大小来设定，

上述4个流体喷嘴4a、4b、4c、4d被分成由外侧2个流体喷嘴4a、4d组成的第1喷嘴组和由内侧的2个流体喷嘴4b、4c组成的第2喷嘴组这样两组，而且分别在每组喷嘴上设置有切换流体喷射时间、使清洗液2的强制流动方向大致逆转的喷射时间控制装置6。

在浸渍清洗槽3的底部设有清洗液输出口7，该清洗液输出口7与清洗液循环系统8相连接。在清洗液循环系统8上，通过第1清洗液阀9、Y型滤网10以及过滤器11插接着使清洗液循环的输液泵12的加压泵(高压泵)。在输液泵12的排出侧通过作为清洗液闸门阀13的电磁阀与上述喷射时间控制装置6连接。在清洗液闸门阀13和喷射时间控制装置6之间插接有后述的气体输入装置14。

喷射时间控制装置6具有连接第1喷嘴组以及第2喷嘴组的清洗液循环用配管15a、15b，以使上述外侧的流体喷嘴4a、4d组成的第1喷嘴组和内侧的流体喷嘴4b、4c组成的第2喷嘴组能够进行流体喷射。该清洗液循环用配管15a、15b分别与清洗液循环系统8相连接，而且在各第1喷嘴组以及第2喷嘴组中插接有控制流体喷射时间的第1及第2喷射时间控制用电磁阀16a、16b。这些喷射时间控制用电磁阀16a、16b的操作由未示出的控制系统进行控制。

前述气体输入装置14是向通过上述输液泵12而循环的清洗液2中输入压缩气体例如输入压缩空气的装置，本实施例中使用的是喷射泵。作为气体输入装置14的喷射泵通过防止逆流用的单向阀17、压缩空气闸门阀18以及减压阀19而与压缩空气供给源20连接。而且，根据清洗液的种类也可以将惰性气体等用作压缩气体。关于喷射泵后面详细介绍。

而且，上述清洗装置1具有通过连接在浸渍清洗槽3底部附近处的清洗液排出配管21把清洗液2送至清洗液再生装置22这样的结构。清洗液2通过上述清洗液再生装置22再生，再生的清洗液被再次供给浸渍清洗槽3。关于清洗液再生装置22后面将详细介绍。而且，在浸渍清洗槽3内设有清洗液加热装置23，由此能够对清洗液2进行加温或者加热。根据清洗液2的种类等可适当地将以阻燃性油等作为加热媒体的加热装置以及加热器等直接加热装置用作清洗液加热装置23。

而且，根据需要可以在浸渍清洗槽3内联合使用超声波清洗以及被清洗物的摇动清洗、旋转清洗、滚筒清洗等。而且，根据需要可以在浸渍清洗槽3内以连续的方式设置冲洗槽以及干燥装置等。

在上述清洗装置1中，通过关闭压缩空气闸门阀18并打开第1清洗液阀9以及清洗液闸门阀13，能够从流体喷嘴4中仅喷射出作为使清洗液2强制流动的流体的清洗液。而且，通过关闭清洗液闸门阀13且打开压缩空气闸门阀18，能够从流体喷嘴4中仅喷射出作为使清洗液2强制流动的流体的压缩空气等气体。进而，通过同时打开清洗液闸门阀13以及压缩空气闸门阀15，能够从流体喷嘴4中喷射出清洗液和压缩空气等的混合流体。

而且，在仅使用压缩空气等气体作为使清洗液2强制流动的流体时，打开插接在与输液泵12的排出侧相连的清洗液副循环系统24上的第2清洗液阀25，可使清洗液2循环。这样，通过使清洗液2继续循环，能够使清洗液2的温度保持均匀。而且，即使在实际进行清洗工序以外的时间，最好也同样地打开第2清洗液阀25以使清洗液2的循环继续。这时，可以同时打开清洗液闸门阀13。

如上所述，虽然清洗液、压缩气体、清洗液与压缩气体的混合流体中的任一种都可以使清洗液2强行流动，但从后面所述的防止产生雾沫和防止工厂气体的大量消费以及从形成清洗液2的更良好的强制流动的观点来看，最好是使用清洗液或者清洗液和压缩空气等混合流体。清洗液和压缩空气等混合流体也有助于提高清洗性能。而且，只要能使浸渍清洗槽3内的清洗液2强制流动，则对清洗液、压缩空气以及它们的混合流体的喷射量没有特殊的限定，可以根据被清洗物的形态、污染的程度、所要得到的清洗效果等来设定。

虽然可以使用水性清洗剂、溶剂性清洗剂这样的非水性清洗剂等各种清洗剂作为上述清洗装置1中使用的清洗液2，但对本发明的清洗装置1来说，最好是具体使用溶剂性清洗剂。作为溶剂性清洗剂，可以列举出聚硅酮类溶剂、烃类溶剂、全氟化碳类溶剂、萜烯类溶剂以及这些溶剂的混合溶剂等，或者在这些溶剂中添加有乙醇等有效清洗成分以及各种添加剂的溶剂。而且，也可以在使用包含烷基胺氧化物类溶剂、聚乙二醇类溶剂、萜烯类溶剂、烃类溶剂以及这些溶剂和表面活性剂的清洗剂等以溶剂为主要成分的组成物进行清洗以后，可以使用一种能用水清洗上述清洗组成物的称为准水性清洗剂中的一种溶剂性清洗剂。

而且，作为水性清洗剂，还可以列举出以无机酸、有机酸、碱等水溶剂、表面活性剂为主要成分的清洗剂和这些清洗剂的水溶液以及在这些水溶液中添加了各种添加剂的清洗剂等。关于清洗液与后述的其它实施例相同。

如上所述，最好将本发明的清洗装置与溶剂性清洗剂那样的可以通过清洗剂自身的溶解力束发挥清洗效果的清洗剂结合起来使用。因为本发明的清洗装置可通过强制流动而加速清洗液的扩散，所以，可以更进一步提高清洗剂自身溶解力的清洗效果。

而且，与水性清洗剂使污物分散在清洗剂中这种情况相反，因为溶剂性清洗剂把油脂等污物溶解于清洗剂中，所以这也可以说是本发明清洗装置中的优点，即：水性清洗剂大多含有表面活性剂，由表面活性剂的亲水基及疏水基(亲油基)的作用去除油脂等污物并使之分散在水性清洗剂中。这时，因为油脂的比重比水的比重轻，所以，由表面活性剂去除的油脂等污物会浮在水性清洗剂的水面上。在取出水性清洗剂中洗净的被洗净物时，这些污物往往又会附着在被清洗物上，从而再次污染被清洗物。而且，由表面活性剂去除的油脂等污物会进入循环系统从而会停留在管路流通的停留处而污染管路，并附着在滤芯上而成为过滤器堵塞的原因。溶剂性清洗剂与水性清洗剂不同，它和油脂等污物相互溶解而成为均匀状态。因此，如果在溶剂性清洗剂的液体表面上没有浮出的物体，也就不会导致在管路内的停留及在滤芯上的附着等。在强力搅拌清洗槽内清洗液的本发明的清洗装置中，因为不能缺少清洗液循环系统8等管路系统，所以，考虑到对这些管路的影响，也可以说使用溶剂性清洗剂是最理想的。

最好使用溶剂性清洗剂的又一理由是产生的泡沫少。如前所述，水性清洗剂大多含有表面活性剂，因为这些表面活性剂的原因而不能避免在水性清洗剂中产生泡沫。如果产生大量的泡沫，则在使清洗液强制流动时，泡沫会从清洗槽溢出，从而与设置在清洗装置内各处的电动机、电磁阀、传感器类等带电元件接触，这就会导致无绝缘保护的危险状态。而且，泡沫也会混入清洗槽内强力搅拌的清洗液中，当这些清洗液进入管路系统而被送至输液泵时，会成为降低泵能力及引起故障的原因。或者，由于被送至输液泵的气泡以绝热的方式被压缩，所以会导致清洗液的液温异常上升的不正常状况。没有使用表面活性剂的溶剂性清洗剂基本不产生泡沫，如果考虑不产生起泡的问题，则可以说在本发明的清洗装置中使用溶剂性清洗剂是最理想的。

以下，说明用上述清洗装置1清洗被清洗物的方法。

如图2所示，放入筐26内的被清洗物27浸渍在清洗槽3内以去除附着在其表面的油类、水类等各种污物。这时，首先如图2(a)所示，通过打开第1喷射时间控制用电磁阀16a且关闭第2喷射时间控制用电磁阀16b，可以从外侧2个流体喷嘴4a、4d组成的第1喷嘴组中喷射出使清洗液2强制流动的流体。喷射的流体可以是上述的清洗液、压缩气体以及它们的混合流体中的任一种。

如图中箭头所示，当从外侧2个流体喷嘴4a、4d组成的第1喷嘴组中喷射流体时，浸渍清洗槽3的左半部分会产生顺时针的强制流动、右半部分会产生逆时针的强制流动，而且，在浸渍清洗槽3的两端处清洗液2则从下向上流动，而在中间部位附近清洗液2则从上向下流动。这样，在被清洗物27所在的浸渍清洗槽3的中间部位附近，清洗液2会相对被清洗物27从上向下强制流动。由于清洗液2的这种强制流动，机械清洗力会主要地作用于被清洗物27的上面一侧。

其次，如图2(b)所示，通过打开第2喷射时间控制用电磁阀16b且关闭第1喷射时间控制用电磁阀16a，可从内侧2个流体喷嘴4b、4c组成的第2喷嘴组中喷射出使清洗液2强制流动的流体。当从内侧2个流体喷嘴4b、4C组成的第2喷嘴组中喷射出流体时，如图中箭头所示，强制流动的方向逆转，浸渍清洗槽3的左半部分会产生逆时针的强制流动、右半部分会产生顺时针的强制流动，而且，在浸渍清洗槽3的中间部位附近处清洗液2从下向上流动，而在两端清洗液2则从上向下流动。这样，在被清洗物27所在的浸渍清洗槽3的中间部位附近，清洗液2会相对被清洗物27从下向上强制流动。由于清洗液2的这种强制流动，机械清洗力会主要地作用于清洗物27的下面一侧。

这样，通过交替切换从外侧流体喷嘴4a、4d组成的第1喷嘴组中的流体喷射和从内侧流体喷嘴4b、4c组成的第2喷嘴组中的流体喷射而使清洗液2向被清洗物27的强制流动方向逆转，从而使被清洗物27分别直接暴露于上下180度相反方向的2种清洗液液流中。因此，与1个方向的强制流动相比，可以使清洗物27的所有面都均匀地作用有机械清洗力，从而能够进行无清洗不均的良好清洗。而且，由于交替切换喷射时间，如同从相对的2个方向同时喷射以及同清洗液的旋转流一样，不会在特殊的位置产生清洗液的停留点，从而能够防止因在浸渍清洗槽3内的被清洗物27的位置而引起的清洗不均等。虽然每一次浸渍只要至少进行一次交替切换外侧的流体喷嘴4a、4d组成的第重喷嘴组的流体喷射时间和内侧的流体喷嘴4b、4c组成的第2喷嘴组的流体喷射时间，就可以得到上述的效果，但为了提高清洗效果最好是进行多次切换。

而且，即使是在平行地设置并清洗多个大型印刷电路板的场合下，如果浸渍时使清洗液2的强制流动方向和印刷电路板的间隙平行，则会产生以印刷电路板间的间隙作为通道的清洗液2的液流，而且因为通过切换流体喷射时间而使流动方向逆转，所以能够获得去除污物的良好效果。而且，在上述实施例的清洗装置1中，因为在清洗槽3的底部设置流体喷嘴4，所以不会影响放入和取出被清洗物27，因而能使浸渍清洗槽3小型化并提高空间效率。

对被清洗物27没有特别的限定，而是可以进行金属、陶瓷、塑料等工业用途的清洗，具体可以是金属元件、表面处理元件、电子元件、半导体元件、电器元件、精密仪器元件、光学元件、玻璃元件、陶瓷元件等。特别是在筐26中放入大量物品进行清洗时效果更为显著。但是不使用筐26等也能够清洗被清洗物27。

其次，说明上述清洗工序的具体实例及其评价结果。

将テクノケアFRE-90(商品名、(株)东芝制)用作清洗液2，而且把附着有压力加工油污物的900个冲压元件作为被清洗物27放入筐26内，在浸渍清洗槽3内浸渍30秒进行清洗。

这时，从流体喷嘴4中喷射出清洗液和压缩空气的混合流体，同时，每30秒交替切换外侧流体喷嘴4a、4d组成的第1喷嘴组和内侧流体喷嘴4b、4c组成的第2喷嘴组间的流体喷射来进行清洗。具体的条件为：  泵喷出压力5.8kg/cm²、喷出量26升/分、空气压力4.6kg/cm²。

而且，作为与本发明的比较例，除了清洗液只从下向上流动之外，其它与上述实施例的条件相同来进行清洗。而且，在以上各清洗例中，都是把冲压元件的突起部分作为上侧而放入筐内的。

用肉眼来观察由实施例以及比较例清洗的冲压元件的外观，在比较例的清洗中，未直接暴露在喷射流体的上面部分留有污物残迹，而在实施例的清洗中能够干净地清洗到上面部分。

以下，详细说明作为前述气体输入装置14的喷射泵和清洗液再生装置22。

如图3所示，喷射泵是这样一种装置：由于把流体流动的配管28的一处颈缩、并在该处设置有开口部29，所以，由伯努利原理利用当颈缩部分28a处流速增加时压力会降低这一现象，对连接开口部29的部分进行减压·吸引。在上述实施例的清洗装置1中，清洗液在配管28中通过，而且从开口部29输入压缩空气等。

由于将上述的喷射泵作为气体输入装置14，所以能够使输入的空气压力降低。例如，因为在一般工厂中能得到的空气压最大为5kg/cm²，相对于此，从输液泵(加压泵)12排出的液体压力为6～7kg/cm²，所以，不能简单地使用T字型接头等来输入压缩空气。另外，如果为了输入压缩空气而降低液体的排出压力，则当然会降低清洗效果。与此相反，通过使用喷射泵，因为能把比液体侧的压力低1～2kg/cm²的压力空气等输入到清洗液中，所以，不会因清洗液喷射而降低清洗效果，因而用一般工厂的空气压就能够充分地把空气输入到清洗液中。

因为考虑到在浸渍清洗槽3内清洗液2的强制流动的状态等而使得清洗液循环流的压力最好是3～8kg/cm²，所以，要预先准备好比前述压力低1～2kg/cm²空气压的压缩空气。而且，为了只用T字型接头就能把压缩空气输入到清洗液循环流中，则必须要有比上述压力高0.2～2kg/cm²气压的压缩空气，而本发明中并不是一定要排除这样的结构。

而且，例如图4所示，最好是将带有减压式蒸馏釜30等蒸馏装置的设备用作为清洗液再生装置22。图4所示的清洗液再生装置22主要是由清洗液供给配管31、减压式蒸馏釜30、凝结用冷却器32、再生清洗液贮存槽33、再生清洗液循环用泵34等组成的。

在减压式蒸馏釜30的下部设有清洗液注入口30a，该清洗液注入口30a与液位调整器35相连接。液位调整器35通过热交换器37例如通过节热器而与清洗液供给配管31相连接，而热交换器37则在连接于减压式蒸馏釜30上部的蒸汽用配管36和供给的清洗液之间进行热交换。清洗液供给配管31例如直接与清洗液排出配管21相连接，但也可以在它们中间设置清洗液贮存槽等。减压式蒸馏釜30和凝结用冷却器32例如冷凝器通过蒸汽用配管36相连接，在凝结用冷却器32的下部连接有再生清洗液贮存槽33。

减压泵38与再生清洗液贮存槽33相连接，减压泵38使得从液位调整器35至减压式蒸馏釜30有预定的减压状态。当减压式蒸馏釜30内的液面降低时，会将清洗液从液位调整器35输入至减压式蒸馏釜30内。清洗液的输入是通过电磁阀39进行的。在减压式蒸馏釜30的周围设置加热装置40例如加热器，由该加热装置40在减压状态下加热输入至减压式蒸馏釜30内的清洗液，使作为回收的成分成为蒸汽。

在大气压状态下低温加热而产生的蒸汽，通过蒸汽用配管36被送至凝结用冷却器32。在凝结用冷却器32内，从未示出的冷却水供给装置供给冷却水，使供给的蒸汽凝结，将凝结液作为再生清洗液41放入再生清洗液贮存槽33。放入再生清洗液贮存槽33的再生清洗液41由再生清洗液循环用泵34供给浸渍清洗槽3，从而作为清洗液2再次利用。

这样，通过经常处理清洗液2并使其循环，能保持清洗液2的清洁度。而且，由于用减压蒸馏进行处理，不会使高负荷的清洗液稀释，从而直接处理、再生，而且因为能够较低地设置加热处理温度，所以能够提高热效率。而且，即使在处理具有易燃性溶剂的场合下，也减少了危险性。减压蒸馏不仅能提高处理效率以及热效率，而且可以抑制清洗液中所含各种物质的蒸发及热分解，防止污垢附着在配管系统等。在减压蒸馏处理时，使用聚硅酮类消泡剂等是有效的。

在上述实施例的清洗装置1中，因为时常使清洗液2强制流动，从被清洗物27分离出来的污物成分也和清洗液2一起循环，所以，可通过上述清洗液再生装置22来保持清洗液2的清洁度以防止再次附着污物成分是最好的。

如上所述，清洗液再生装置22本来是为了精制清洗液2以便再次使用而设置的，但在象本发明那样使用高压泵的情况下，清洗液的蒸馏再生对保护泵以及阀也是有效的。即：放入清洗装置的被清洗物中不仅只附着有油污物等的液体污物，也会附着由于切削加工而产生的切削粉末、研磨加工时使用的磨料碎粒等固体污物。对于产生高压的泵来说，这样的固体污物是大敌，当固体污物的量多时，在短时间内就会磨损泵以及阀。为此，通常是在连接清洗槽和高压泵之间的管路上插入滤网以去除固体污物。在上述实施例的清洗装置1中，在清洗液循环系统8中也插有滤网10。但是，因为仍会存在能透过滤网的微粒，所以，就能够确实去除这种微粒的清洗液的蒸馏再生来说，可以说本发明的清洗装置有很有效的。

实际上，在图1所示的清洗装置1中，把一边使用清洗液再生装置22一边进行清洗的情况和不使用清洗液再生装置22而进行清洗的情况进行了比较，如下表1所示，可以确认，进行蒸馏再生的清洗液再生装置22可以有效地去除清洗液2中的固体污物。

表1

微粒子尺寸	微粒子混入量(个/ml)
				使用前液体	有蒸馏	无蒸馏
	0.5μm以下	194	132				453
0.5μm以上1μm以下				6	4	17
	1μm以上2μm以下	0	0				0
2μm以上				0	0	0

而且，在上述实施例的清洗装置1中，虽然就分别设置有流体喷射用的清洗液循环系统与用于清洗液再生的循环系统的实例进行了说明，但也可以在用于清洗液再生的循环系统上连接流体喷嘴4等。而且，也可以从另外设置的清洗液贮存槽等向流体喷嘴4进行输液。

以下，参照图5说明适用于本发明第1清洗方法的清洗装置的其它实施例。

在圆形的浸渍清洗槽42的底部附近以同心圆的方式沿浸渍清洗槽42的底面平行地设置2个圆形流体喷嘴43a、43b，这两个流体喷嘴43a、43b喷射使清洗液强制流动的流体。两个圆形状的流体喷嘴43a、43b分别带有在同一方向上即向上部开口的喷射口5。除此以外的结构与图1所示清洗装置1的结构相同，两个圆形流体喷嘴43a、43b分别与喷射时间控制装置6相连接。即：外侧的圆形流体喷嘴43a与第1喷射时间控制用电磁阀16a相连接，而内侧的圆形流体喷嘴43b与第2喷射时间控制用电磁阀16b相连接。

在上述实施例的清洗装置中，首先打开第1喷射时间控制用电磁阀16a同时关闭第2喷射时间控制用电磁阀16b，因此，如图6(a)所示，仅会从外侧的圆形流体喷嘴43a喷射出使清洗液2强制流动的流体。当从外侧的圆形流体喷嘴43a喷射流体时，如图中箭头所示，清洗液2在圆形浸渍清洗槽42外周从下向上流动，而在中央附近清洗液2则从上向下流动。这样，在放有图中未示出的被清洗物的浸渍清洗槽42的中央附近，清洗液2向着被清洗物从上向下强制流动。由于该清洗液2的强制流动，机械清洗力会主要地作用于被清洗物的上面一侧。

接着，打开第2喷射时间控制用电磁阀16b，同时关闭第1喷射时间控制用电磁阀16a，因此，如图6(b)所示，仅会从内侧的圆形流体喷嘴43b喷射出使清洗液2强制流动的流体。当从内侧的圆形流体喷嘴43b喷射流体时，如图中箭头所示，清洗液2在圆形浸渍清洗槽42的中央附近从下向上流动，清洗液2在外周从上向下流动。这样，在放有图中未示出的被清洗物的浸渍清洗槽42的中央附近，清洗液2向着被清洗物从下向上强制流动。由于该清洗液2的强制流动，机械清洗力会主要作用于被清洗物的下面一侧。

这样，由于交替切换外侧圆形流体喷嘴43a的喷射以及内侧圆形流体喷嘴43b的喷射而使清洗液2的强制流动方向逆转，因此，与前述实施例相同，在圆形浸渍清洗槽42内也能够对被清洗物的所有面进行均匀的清洗。而且，因为在清洗液的流动中也不会产生停留点，所以也不会发生因被清洗物在圆形槽42内位置而引起的清洗不均。而且，有关清洗槽的小型化等也和前述的实施例相同。

以下，参照图7说明适用于本发明第1清洗方法的清洗装置的其它实施例。

在清洗槽3内的1个侧壁附近，沿浸渍清洗槽3的侧壁3b平行地立着设置4个流体喷嘴4a、4b、4c、4d，这些喷嘴喷射使清洗液强制流动的流体。各流体喷嘴4分别带有朝向同一方向即向水平方向开口的10个喷射口5。除此以外的结构与图1所示的清洗装置1的结构相同。4个流体喷嘴4a、4b、4c、4d分成由外侧的2个流体喷嘴4a、4d组成的第1喷嘴组和由内侧的2个流体喷嘴4b、4c组成的第2喷嘴组，每组都与喷射时间控制装置6相连接。即：外侧2个流体喷嘴4a、4d组成的第1喷嘴组与第1喷射时间控制用电磁阀16a相连接，而内侧2个流体喷嘴4b、4c组成的第2喷嘴组则与第2喷射时间控制用电磁阀16b相连接。

在上述实施例的清洗装置中，首先打开第1喷射时间控制用电磁阀16a且关闭第2喷射时间控制用电磁阀16b，因此，如图8(a)所示，会从外侧流体喷嘴4a、4d组成的第1喷嘴组喷射出使清洗液2强制流动的流体。当从外侧流体喷嘴4a、4d组成的第1喷嘴组喷射流体时，如图中箭头所示，清洗液2会在浸渍清洗槽3的端部处沿流体喷射方向流动，而在中央附近则沿相反方向流动。由于清洗液2向着被清洗物的这种强制流动，机械清洗力会主要作用于被清洗物与流体喷嘴4的相反侧面。

其次，打开第2喷射时间控制用电磁阀16b且关闭第1喷射时间控制用电磁阀16a，由此，如图8(b)所示，会从内侧流体喷嘴4b、4c组成的第2喷嘴组喷射出使清洗液2强制流动的流体。当从内侧流体喷嘴4b、4c组成的第2喷嘴组喷射流体时，如图中箭头所示，清洗液2在浸渍清洗槽3的中央附近沿流体喷射方向流动，而在端部处清洗液2则沿相反方向流动。由于清洗液2向着被清洗物的这种强制流动，机械清洗力会主要作用于被清洗物与流体喷嘴4相对的面。

这样，由于交替切换由外侧流体喷嘴4a、4d组成的第1喷嘴组的喷射和由内侧流体喷嘴4b、4c组成的第2喷嘴组的喷射而使清洗液2的强制流动方向逆转，因此，和前述的实施例相同，即使在使用立着设置的流体喷嘴4的场合中，也能够均匀地清洗被清洗物的所有面。而且，因为在清洗液的流动中不会产生停留点，所以也不会发生因被清洗物在浸渍清洗槽3内的位置而引起的清洗不均等。

就上述实施例的清洗装置而言，虽然浸渍清洗槽3的外形要比在底部设置有流体喷嘴4的清洗槽大，但具有例如适应被清洗物的形状等而能够易于更换流体喷嘴4的优点。

以下，参照图9说明适于本发明第2清洗方法的清洗装置的实施例。

在圆形浸渍清洗槽42的侧壁附近，以等分的位置立着设置围住被清洗物的4个流体喷嘴4a、4b、4c、4d，这些喷嘴喷射使清洗液强制流动的流体。这4个流体喷嘴4a、4b、4c、4d分别与图中未示出的喷射时间控制用电磁阀相连接，从而能够分别控制4个流体喷嘴4a、4b、4c、4d的流体喷射时间。即：上述实施例的清洗装置具备图中未示出的喷射时间控制装置，而所述喷射时间控制装置则具有如上所述的喷射时间控制用电磁阀等。而除此以外的结构与图1所示的清洗装置1相同。

在上述实施例的清洗装置中，首先只打开第1喷射时间控制用电磁阀，如图10(a)所示，仅会从第1流体喷嘴4a喷射出使清洗液2向被清洗物强制流动的流体。然后，如图10(b)所示，仅会从第2流体喷嘴4a喷射出使清洗液2向被清洗物强制流动的流体。这样，由于依次从流体喷嘴4a、4b、4c、4d喷射出流体，从而在维持清洗液2向被清洗物强制流动的基础上，还能够使清洗液2的强制流动方向每次变化约90度。

这样，也是由于交替切换围绕着被清洗物的多个流体喷嘴4的流体喷射，和前述的各实施例相同能够均匀地清洗被清洗物的所有面。而且，因为在清洗液2的流动中也不会产生停留点，所以也不会发生因被清洗物在圆形浸渍清洗槽42内的位置而引起的清洗不均等。

以下，参照图11说明适用于本发明的第3清洗方法的清洗装置的实施例。

图11是表示该实施例的清洗装置的清洗槽部分的图，在清洗槽3的底部附近平行地设置有2个喷嘴44a、44b，这些喷嘴会喷射使清洗液2强制流动的流体。这两个流体喷嘴44a、44b呈L形状，分别固定在设置于清洗槽3外侧的喷嘴移动装置45上。而且，2个流体喷嘴44a、44b可通过上述喷嘴移动装置45而在清洗槽3内沿着底面在大致水平的方向上相对移动。

与图1所示的清洗装置1相同，上述2个流体喷嘴44a、44b与安装有输液泵12以及气体输入装置14的清洗液循环系统8相连接。但是，在本实施例的清洗装置中，2个流体喷嘴44a、44b与清洗液循环用配管15相连，此配管与气体输入装置14相连。上述清洗液循环用配管15由挠性配管构成，从而不会妨碍流体喷嘴44a、44b的移动。除此以外与图1所示的清洗装置1的结构相同。

在上述实施例的清洗装置中，首先如图12(a)所示，当2个流体喷嘴44a、44b分别在位于最外侧的位置处喷射流体时，如图中箭头A所示，清洗液2在清洗槽3的两端从下向上流动，而清洗液2在中央附近从上向下流动。通过清洗液2这种在中央附近的向被清洗物的强制流动，机械清洗力会主要作用于被清洗物的上面一侧。

然后，使2个流体喷嘴44a、44b如图中箭头B所示分别向槽中央方向移动。如图12(b)所示，当2个流体喷嘴44a、44b分别移至靠近最内侧位置时，如图中箭头C所示，清洗液2在浸渍清洗槽3的中央附近从下向上流动，而清洗液2在两端处从上向下流动。

通过连续地使2个流体喷嘴44a、44b如上所述那样移动，清洗液2的流动方向会从初期的状态(图12(a)所示)连续地变化成逆转180度的状态(图12(b)所示)。因此，由于被清洗物正反两面直接暴露在从中间方向的清洗液2的液流中，所以能够均匀地清洗被清洗物的所有面。而且，因为流体喷嘴44a、44b的喷射是平行喷射的，所以，即使在流体喷嘴44a、44b的移动时，也不会在清洗液2的流动中产生停留点，因此不会因浸渍清洗槽3内被清洗物的位置而产生清洗不均等。

而且，在上述实施例中，虽然说明的是使2个流体喷嘴44a、44b相对移动的例子，但是，也可作成使例如1个或多个流体喷嘴在整个浸渍清洗槽3范围内移动的结构。这样，通过使流体喷嘴移动而变化清洗液2的流动方向，最好是如果能使其逆转180度，能得到与上述实施例相同的效果。

而且，流体喷嘴44的设置位置不只限于浸渍清洗槽3的底部附近，也可以位于在浸渍清洗槽3的侧壁旁。这样，由于在浸渍清洗槽的侧壁旁设置有流体喷嘴，所以，在圆形浸渍清洗槽等内也可以使用喷嘴移动式的清洗装置。这种情况，最好是使流体喷嘴移动180度以上。

其次，说明将清洗液和压缩气体的混合流体用作使清洗液强制流动的流体的具体例及其评价效果。清洗装置使用具有图13所示的大致结构的装置。图13所示的清洗装置与图1所示的清洗装置相同，在浸渍清洗槽3的底部附近设置有4个流体喷嘴4来喷射使清洗液2强制流动的流体。

在浸渍清洗槽3的底部设有清洗液排出口7，该清洗液排出口7与清洗液循环系统8相连接。在清洗液循环系统8上依次插接有第1清洗液阀9、Y型滤网10、过滤器11、以及作为使清洗液循环的输液泵12的加压泵。在输液泵12的排出侧通过作为清洗液闸门阀13的电磁阀与气体输入装置14例如前述的喷射泵相连接。而且，气体输入装置14通过清洗液循环用配管15与4个流体喷嘴4相连接。作为气体输入装置14的喷射泵通过防止逆流用止回阀17、压缩空气闸门阀18以及减压阀19与压缩空气供给源20相连接。关于清洗液再生装置22以及清洗液加热装置23与前述的相同。

在上述清洗装置中，通过同时打开清洗液闸门阀13以及压缩空气闸门阀18，可以一边从流体喷嘴4中喷射出清洗液和压缩空气等的混合流体，一边进行图中未示出的被清洗物的清洗。这样，当喷射清洗液和压缩空气的混合流体时，因为流体被分离为气体和液体的二相流，所以，在把该流体喷入清洗液2中时，压缩空气会变成微小的气泡。因此，微小气泡的机械力能提高对清洗物的均匀清洗性能。

而且，由于把清洗液和压缩空气的混合流体喷入清洗液2中，所以，清洗液2能够使压缩空气成为不能雾沫化的微小气泡。与此相反，在仅喷射压缩空气的场合下，例如压缩空气的压力达到0.5kg/cm²以上时会发生雾沫。为了仅在喷射压缩空气的场合下防止雾沫的发生，不得不使空气压力成为基本上不能获得清洗效果的压力。另外，由于向清洗液2中喷射清洗液和压缩空气的混合流体，所以，即使例如压缩空气的压力在5kg/cm²以上，也能够防止产生雾沫。

有关雾沫的实验，首先使用テクノケアFRE-90(商品名，(株)东芝制)作为清洗液2，观察从流体喷嘴4中仅喷射出0.2kg/cm²压缩空气时的清洗液2表面的状态。结果产生了大量的雾沫。其次，使用同一清洗液2，观察借助排出压力为5kg/cm²的加压泵而从流体喷嘴4中仅喷射清洗液时的清洗液2表面的状态，未产生雾沫。然后，使用同一清洗液2，通过排出压力为5kg/cm²的加压泵使清洗液循环同时由喷射泵将4.2kg/cm²的压缩空气输入进循环流中，观察从流体喷嘴4喷射上述混合流体时的清洗液2的表面的状态。结果与仅喷射清洗液的情况相同，也未产生雾沫。

如上所述，通过把压缩空气等气体作为和清洗液的混合流体喷射，能够防止产生雾沫并得到良好的清洗效果。例如，很多溶剂性清洗剂具有燃点，当产生雾沫时从防火的观点是最不理想的的状况。与此相反，由于防止了产生雾沫从而能够安全地使用具有燃点的溶剂性清洗剂。而且，在清洗工序后连续进行干燥工序的场合下，也不会对干燥性能带来恶劣影响。

以下参照图14说明适用于本发明第4清洗方法的清洗装置的实施例。

图14是表示上述实施例清洗装置的清洗槽部分的图，在浸渍清洗槽3内的底部附近设置有超声波振荡器46。该超声波振荡器46向上方发射超声波。而且，在浸渍清洗槽3内的底部外侧设置有2个喷射使清洗液强制流动的流体的流体喷嘴4。虽然从这2个流体喷嘴4向上方喷射流体，而在实际的清洗区域即在筐26的放置位置附近清洗液2会从上向下流动。换句话说，清洗液2在浸渍清洗槽3内的实际清洗区域中沿与超声波振荡器46的超声波振荡方向大致相反的方向即向着被清洗物从上向下被强制流动，流体喷嘴4的附属设备与前述的各实施例相同。

作为切换装置的图中未示出的控制系统交替地切换下述操作即：超声波振荡器46的超声波振荡和流体喷嘴4的流体喷射。也就是说，在停止从流体喷嘴4喷射流体的状态下进行预定时间的来自超声波振荡器46的超声波振荡之后，停止超声波振荡而从流体喷嘴4进行预定时间的流体喷射。

这样，通过使清洗液2在与超声波振荡器46的超声波振荡方向大致相反的方向上强制流动，同时交替地切换超声波振荡器46的超声波振荡和清洗液2的强制流动，可以使得浸渍在浸渍清洗槽3内的被清洗物依次从正反两面受到机械清洗力的作用。因此，能够均匀地清洗被清洗物的所有面，而且能在与清洗槽内被清洗物的位置无关的情况下均匀地清洗。

而且，由于超声波引起的空穴作用，非溶解性的污物被以机械的方式去除，而且，清洗液2的强制流动加速了去除溶解性的污物，所以，能够高效率地清洗混合附着有非溶解性污物和溶解性污物的被清洗物。这样，由于同时使用了超声波振荡器46和使清洗液2强制流动的流体喷嘴4，所以构成能够对混合附着有非溶解性污物和溶解性污物的被清洗物的有效的清洗装置。

工业利用的可行性：

根据以上说明，因为由本发明的清洗方法以及清洗装置能够抑制因被清洗物的部位以及在清洗槽内的位置而产生的清洗不均的现象，所以，能够分别均匀地清洗被清洗物特别是大量被清洗物的所有面。这种清洗方法以及清洗装置，对于各种工业用途的清洗是很有用的。而且，第4清洗方法及第4清洗装置除了上述的效果之外，还能够高效率地清洗混合附着有非溶解性污物和溶解性污物的被清洗物。进而，由于使用清洗液和气体的混合流体作为使清洗液强制流动的流体，所以除了上述的效果之外，还能够防止产生雾沫并提高清洗效果，因此，能够提高安全性以及清洗·干燥性等。

Claims (19)

1.一种清洗方法，在放有清洗液的清洗槽内浸渍并清洗被清洗物的方法中，其特征在于：沿前述清洗槽的一个槽壁平行而且大致向着同一方向设置多个流体喷嘴，这些喷嘴喷射使前述清洗液向前述被清洗物强制流动的流体，前述多个流体喷嘴分成两组，通过交替地切换上述分成两组的多个流体喷嘴的流体喷射时间，可以一边使前述清洗液的强制流动方向大致逆转，一边进行前述清洗。

2.一种清洗方法，在放有清洗液的清洗槽内浸渍并清洗被清洗物的方法中，其特征在于：在前述清洗槽内设置围住前述被清洗物的多个流体喷嘴，这些流体喷嘴喷射使前述清洗液向前述被清洗物强制流动的流体，通过一边依次切换从前述多个流体喷嘴向前述被清洗物喷射流体的喷射时间，一边进行喷射，从而能一边依次改变前述清洗液的强制流动方向，一边进行前述清洗。

3.一种清洗方法，在放有清洗液的清洗槽内浸渍并清洗被清洗物的方法中，其特征在于：在前述清洗槽内设置至少一个流体喷嘴，该流体喷嘴喷射使前述清洗液向前述被清洗物强制流动的流体，通过使前述流体喷嘴移动，可以一边改变前述清洗液的强制流动方向，一边进行前述清洗。

4.如权利要求3所述的清洗方法，其特征在于：通过使前述流体喷嘴沿大致水平的方向移动，可以使得前述清洗液的强制流动方向大致逆转。

5.一种清洗方法，在放有清洗液而且设置有超声波振荡器的清洗槽内浸渍并清洗被清洗物的方法中，其特征在于：在前述清洗槽内设置流体喷嘴，该流体喷嘴喷射使前述清洗液在与前述超声波振荡器振荡方向大致相反的方向上强制流动的流体，一边交替地切换前述超声波振荡器的超声波振荡和前述流体喷嘴的流体喷射，一边进行前述清洗。

6.如权利要求1至5任一项所述的清洗方法，其特征在于：从前述流体喷嘴喷射前述清洗液的单一流体或者前述清洗液和气体的混合流体。

7.如权利要求1至5任一项所述的清洗方法，其特征在于：将溶剂性清洗剂作为前述清洗液。

8.如权利要求7所述的清洗方法，其特征在于：前述溶剂性清洗剂是以从聚硅酮类溶剂、烃类溶剂、全氟化碳类溶剂、萜烯类溶剂、烷基胺氧化物类溶剂及聚乙二醇类溶剂中选出的至少一种为主要成分的清洗剂。

9.一种清洗装置，其特征在于，该清洗装置具备：放有清洗液并在该清洗液中浸渍被清洗物的清洗槽；在前述清洗槽内沿该清洗槽的1个槽壁平行而且大致向着同一方向设置的分成第1组与第2组的多个流体喷嘴，这些流体喷嘴喷射使前述清洗液向前述被清洗物强制流动的流体；喷射时间控制装置，该喷射时间控制装置交替地切换前述第1组流体喷嘴的流体喷射时间和前述第2组流体喷嘴的流体喷射时间，从而使前述清洗液的强制流动方向大致逆转。

10.一种清洗装置，其特征在于，该清洗装置具备：放有清洗液并在该清洗液中浸渍被清洗物的清洗槽；在前述清洗槽内以包围前述被清洗物的方式设置有多个流体喷嘴，这些流体喷嘴喷射使前述清洗液向前述被清洗物强制流动的流体；喷射时间控制装置，该喷射时间控制装置依次切换前述多个流体喷嘴的流体喷射时间，从而使前述清洗液的强制流动方向依次变化。

11.一种清洗装置，其特征在于，该清洗装置具备：放有清洗液并在该清洗液中浸渍被清洗物的清洗槽；在前述清洗槽内以可移动的方式设置有至少一个流体喷嘴，该流体喷嘴喷射使前述清洗液向前述被清洗物强制流动的流体；使前述流体喷嘴移动从而使得前述清洗液的强制流动方向发生变化的喷嘴移动装置。

12.如权利要求11所述的清洗装置，其特征在于：前述喷嘴移动装置使前述流体喷嘴沿大致水平的方向移动，从而使得前述清洗液的强制流动方向大致逆转。

13.一种清洗装置，其特征在于，该清洗装置具备：放有清洗液并在该清洗液中浸渍被清洗物的清洗槽；设置在前述清洗槽内的超声波振荡器；设置在前述清洗槽内的流体喷嘴，该流体喷嘴喷射使前述清洗液在与前述超声波振荡器的超声波振荡方向大致相反的方向上强制流动的流体；交替切换前述超声波振荡器的超声波振荡和前述流体喷嘴的流体喷射的切换装置。

14.如权利要求9至13任一项所述的清洗装置，其特征在于，该清洗装置具备输液泵，该输液泵使前述清洗液作为前述流体从前述流体喷嘴喷出。

15.如权利要求9至13任一项所述的清洗装置，其特征在于，该清洗装置配备有使前述清洗液从前述流体喷嘴喷出的输液泵以及设置在前述输液泵和前述流体喷嘴之间的把压缩气体混合输入前述清洗液中的气体输入装置，从而能把前述清洗液和气体的混合流体作为前述流体从前述流体喷嘴喷出。

16.如权利要求15所述的清洗装置，其特征在于，前述气体输入装置是喷射泵。

17.如权利要求9至13任一项所述的清洗装置，其特征在于，该清洗装置具备清洗液再生装置，该清洗液再生装置具有进行前述清洗液蒸馏再生的蒸馏装置。

18.如权利要求9至13任一项所述的清洗装置，其特征在于，前述清洗液是溶剂性清洗剂。

19.如权利要求18所述的清洗装置，其特征在于，前述溶剂性清洗剂是以从聚硅酮类溶剂、烃类溶剂、全氟化碳类溶剂、萜烯类溶剂、烷基胺氧化物类溶剂以及聚乙二醇类溶剂选出的至少一种为主要成分的清洗剂。

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