JPH0513587U

JPH0513587U - 超音波洗浄装置

Info

Publication number: JPH0513587U
Application number: JP6240991U
Authority: JP
Inventors: 正幸永井; 敏博久保
Original assignee: Kitamura Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Kitamura Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1991-08-07
Filing date: 1991-08-07
Publication date: 1993-02-23

Abstract

(57)【要約】【目的】長尺物や空洞部分を有する多種多様な被洗浄
物に対して、洗浄効果を高める。【構成】超音波洗浄槽６に超音波振動子6Aを設け、こ
の超音波洗浄槽６の内部に被洗浄物２に向けて気体と洗
浄液10とを噴射する噴射ノズル16を設ける。【効果】噴射ノズル16から洗浄液10とともに空気を気
泡とし噴射し、その噴流によって生じる乱流撹拌作用よ
り、被洗浄物２の外面付着物が除去できる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、プリント配線基板、シリコンウェハー等の電子部品や自動車，金属機械等の各種精密部品等の被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来この種の装置として、特開昭５９−２２８９８４号公報には粗洗浄槽、超音波洗浄槽、蒸気洗浄槽を並設し、被洗浄物を搬入部から順次粗洗浄槽、超音波洗浄槽に浸漬した後、さらに蒸気洗浄槽で洗浄して搬出部より搬出する循環式洗浄装置が開示されている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

前記従来例においては、フロン等の洗浄液を収容した超音波洗浄槽の底面に超音波振動子を設け、この超音波振動子を励振させて洗浄液の微振動によって被洗浄物の表面に付着するミクロン単位のゴミや汚れ等を剥離除去するものである。しかし、被洗浄物として空洞部や凹部を有する複雑な形状の機械加工部品等を超音波洗浄する場合、洗浄液に浸漬する際に空洞部や凹部内に空気が入り込んで気泡となって残り、このような洗浄液と接触しない部分は充分な洗浄効果が得られない。また、この種の超音波洗浄装置は超音波洗浄槽の底面に超音波振動子を設けているため、その振動作用は超音波洗浄槽の上部に向かうに従って次第に減衰し、被洗浄物として長尺物を超音波洗浄する場合、被洗浄物の下部側に比べて上部側の洗浄効果が低下するという問題がある。さらに、近年、洗浄液としてフロン及び塩素系有機溶剤を用いた場合には、オゾン層破壊や環境汚染等の問題があり、これらの代替品として例えば水溶性洗浄剤等を使用する傾向にある。しかし、この種の水系洗浄剤はフロン及び塩素系有機溶剤に比べ、その洗浄効果が低く、このため、フロン及び塩素系有機溶剤代替品を用いて超音波洗浄する際には、前述した長尺物上部や空洞部分の洗浄効果の低下が一層顕著に表われる。

【０００４】本考案はこのような課題に基づいて成されたものあり、異なる形状の多種多様な被洗浄物に対して、優れた洗浄効果を発揮することのできる超音波洗浄装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案は、洗浄槽に超音波振動子を備えた超音波洗浄装置において、前記洗浄槽内部に被洗浄物に向けて気体と洗浄液とを噴射する噴射ノズルを設けたものである。

【０００６】

【作用】

本考案は、上記構成により、噴射ノズルから洗浄液とともに空気を気泡として噴射することにより、フロンガスに比べ、その洗浄効果が低い水溶性洗浄剤等を用いたとしても噴射ノズルよって生じる乱流撹拌作用によって、超音波洗浄だけでは除去困難な形状が複雑な被洗浄物の外面付着物が剥離除去される。

【０００７】

【実施例】

以下本考案の実施例を添付図面を参照して説明する。

【０００８】図１及び図２は本考案の一実施例を示し、洗浄機１の外筺体1Aには例えば自動車用部品等の被洗浄物２を収容するバスケット３の搬入台４と搬出台５が相対向して設けられ、外筺体1A内部には前記搬入台４側から超音波洗浄槽６及び第１，第２，第３の水洗槽７，８，９が順次並設されている。超音波洗浄槽６は底部に超音波振動子6Aを備え、内部に洗浄剤として例えば水溶性洗浄剤（商品名「ネオス・デタージェントシリーズ」，（株）ネオス社製）から成る洗浄液10が収容される。また、超音波洗浄槽６の側部にはオーバーフロー槽11が隣設されており、このオーバーフロー槽11と超音波洗浄槽６とは循環給水路12によって連通接続されるとともに、オーバーフロー槽11内の洗浄液10はその下部に設けたヒータ13によって、例えば60℃の温度に制御され、このように温度設定された洗浄液10を循環給水路12中に設けたストレーナ14を経由してポンプ15によって超音波洗浄槽６内部に設けた複数の噴射ノズル16に圧送し、その噴射ノズル16から吐出する洗浄液10の一部をオーバーフロー槽11に還流させる。また、前記第１の水洗槽７内の純水10A は、水洗槽７の底部に設けた循環給水路12A によってストレーナ14A ，ポンプ15A を介して活性炭吸収塔17によって濾過されて再び第１の水洗槽７内に循環する。一方、第２及び第３の水洗槽８，９にはそれぞれオーバーフロー槽18 ，18A が隣設され、各オーバーフロー槽18，18A の底部には純水10A を例えば60 ℃の水温に制御するヒータ19が設けられており、そのオーバーフロー槽18の純水 10A を前記超音波洗浄槽６内の洗浄液10と同様に第２の水洗槽８の底部に設けた第１の循環給水路12B 中のスレーナ14B を経由してポンプ15B によって水洗槽８内部の設けた噴射ノズル16に圧送し、さらに、オーバーフロー槽18内の純水10A の一部は前記第１の循環給水路12B と並設する第２の循環給水路12C 中に設けたストレーナ14C ，ポンプ15C を介してイオン交換装置20によってイオン交換されて第３の水洗槽９内に循環させる。前記噴射ノズル16は空気と水とを合流して噴射する２流体噴射型ノズルであり、一側にはテーパ状の噴射口21が設けられており、他側には水の入口部22が設けられ、これら噴射口21と水の入口部22との連通路23に臨ませて空気の入口部24をノズルの上部に形成し、この空気の入口部24に空気供給パイプ25の一端を接続し、その他端は前記超音波洗浄槽６並び第２の水洗槽８の外部に延設させて大気に開放させる。一方、水の入口部22には、超音波洗浄槽６並び第２の水洗槽８の内周面に沿って設けたコ字状の水供給パイプ26に接続され、この水供給パイプ25は前記超音波洗浄槽６並び第２の水洗槽８の各循環給水路12，12B に各々連通接続されている。

【０００９】以上のように構成される本考案の作用について説明する。

【００１０】まず、被洗浄物２を収容するバスケット３を搬入台３上に載置し、これを搬送装置（図示しない）によって超音波洗浄槽６上に移送した後、超音波洗浄槽６内の洗浄液10に浸漬させて、超音波洗浄槽６の底部に設けた超音波振動子6Aを励振させて被洗浄物２を超音波洗浄する。この場合、超音波洗浄槽６に付設するオーバーフロー槽11内の洗浄液10は予めヒータ13により所定温度、例えば60℃に制御されるとともに、ポンプ15の作動によってストレーナ14で濾過された洗浄液10が水供給パイプ26を介して噴射ノズル16に圧送され噴射口21から毎分４Ｉの流量で吐出し、この吐出圧によって空気供給パイプ24を介して噴射ノズル16内に外部の空気が吸引されて噴射口21から洗浄液10と同時に空気が気泡となって噴射され、その噴流によって超音波洗浄槽６内の洗浄液10が撹拌されるとともに、噴射ノズル16から吐出する洗浄液10の一部を再びオーバーフロー槽11内に還流する。このように、超音波洗浄工程における被洗浄物２は、超音波振動子6Aによる超音波洗浄に加えて、噴射ノズル16による洗浄液10の乱流撹拌作用によって外面付着物を効果的に剥離除去できる。そして、超音波洗浄工程の終了した被洗浄物２は、再び搬送装置によって第１乃至第３の水洗槽７，８，９に順次搬送されて純水10A により水洗いされた後、搬出台５上に搬送されて洗浄を完了する。また、水洗い工程途中、第２の水洗槽８においては、前述した超音波洗浄工程と同様に噴射ノズル16による純水10A の乱流撹拌作用によって、外面付着物が効果的に剥離除去されるものである。

【００１１】このように、本考案においては、空気と水とを合流させて噴射する２流体噴射型ノズル16を超音波洗浄槽６内に設け、この噴射ノズル16から洗浄液10とともに空気を気泡として噴射することにより、フロン及び塩素系有機溶剤に比べ、その洗浄効果が低い水溶性洗浄剤等を用いたとしても噴射ノズル16よって生じる乱流撹拌作用によって、従来の超音波洗浄だけでは除去困難な形状が複雑な被洗浄物２の外面付着物を迅速かつ容易に剥離除去することができる。さらに本実施例では水洗い工程中においても第２の水洗槽８に配置する噴射ノズル16によって外面付着物を剥離除去する構成のため、噴射ノズル16によって多段階に渡って外面付着物を剥離除去して効果的な洗浄が成される。

【００１２】以上、本考案の一実施例について詳述したが、上記一実施例に限定されるものではなく、本考案の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。例えば超音波洗浄槽並びに水洗槽の数や構造等は各種タイプに適用可能であり、また、噴射ノズルの吐出圧は適宜設定すればよく、また、噴射ノズルの数や配列方向及びその取り付け位置等は適宜設定すればよい。さらに、噴射ノズルに供給する空気はコンプレッサー等適宜装置によって強制的に供給するように構成してもよい。また、本実施例においては、水洗槽にも噴射ノズルを設けたものを示したが、必ずしも別に設ける必要はない。

【００１３】

【考案の効果】

本考案は、洗浄槽に超音波振動子を備えた洗浄装置において、前記洗浄槽内部に被洗浄物に向けて気体と洗浄液とを噴射する噴射ノズルを設けたことにより、異なる形状の多種多様な被洗浄物に対して優れた洗浄効果を発揮することのできる超音波洗浄装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す概略説明図である。

【図２】同要部の断面図である。

【符号の説明】

１超音波洗浄装置２被洗浄物６超音波洗浄槽 10 洗浄液 10A 純水 16 噴射ノズル

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】洗浄槽に超音波振動子を備えた超音波洗
浄装置において、前記洗浄槽内部に被洗浄物に向けて気
体と洗浄液とを噴射する噴射ノズルを設けて成ることを
特徴とする超音波洗浄装置。