CN114939539B - 一种晶圆表面缺陷智能检测设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆表面缺陷智能检测设备，包括机座和设置于所述机座上的料盘输送机构、晶圆移送机构、送检机构、检测机构、分转机构、装箱机构、料箱输送机构及隔板移送机构；所述料盘输送机构用于输送料盘；所述晶圆移送机构用于从料盘上抓取待测晶圆放置于所述送检机构和从送检机构上抓取已测晶圆放置于所述分转机构；所述送检机构用于承载晶圆沿水平纵向移动；所述检测机构用于对所述送检机构上承载的晶圆进行检测；所述料箱输送机构用于输送料箱；所述装箱机构用于从所述良品晶圆移送组件上抓取已测良品晶圆放置到料箱内；所述隔板移送机构用于抓取隔板放置到料箱中分隔已测良品晶圆。

Description

一种晶圆表面缺陷智能检测设备

技术领域

本发明涉及光学检测技术领域，具体涉及一种晶圆表面缺陷智能检测设备。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。

晶圆作为显示模组中的重要部件，对晶圆的检测是显示模组制程中重要的一环，现有对晶圆表面缺陷的检测通过采用人工进行检测，该方式检测速度慢、效率低、且容易损伤晶圆。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶圆表面缺陷智能检测设备用于解决上述问题。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种晶圆表面缺陷智能检测设备，包括机座和设置于所述机座上的料盘输送机构、晶圆移送机构、送检机构、检测机构、分转机构、装箱机构、料箱输送机构及隔板移送机构；

所述料盘输送机构用于输送料盘；

所述晶圆移送机构用于从料盘上抓取待测晶圆放置于所述送检机构和从送检机构上抓取已测晶圆放置于所述分转机构；

所述送检机构用于承载晶圆沿水平纵向移动；

所述检测机构用于对所述送检机构上承载的晶圆进行检测；

所述分转机构包括良品晶圆移送组件和次品晶圆移送组件，所述良品晶圆移送组件和次品晶圆移送组件分别用于输送已测良品晶圆和已测次品晶圆；

所述料箱输送机构用于输送料箱；

所述装箱机构用于从所述良品晶圆移送组件上抓取已测良品晶圆放置到料箱内；

所述隔板移送机构用于抓取隔板放置到料箱中分隔已测良品晶圆。

优选地，所述料盘输送机构包括料盘输入组件、空盘输出组件、料盘抓取组件、空盘抓取组件及料盘移送组件，所述料盘输入组件和空盘输出组件相邻设置；

所述料盘输入组件包括第一料盘输入辊组、第二料盘输入辊组、料盘支撑架及料盘升降模组，所述第一料盘输入辊组和第二料盘输入辊组相衔接，其用于输送料盘，所述第二料盘输入辊组上设有用于容纳所述料盘支撑架的第一容纳槽口，料盘升降模组驱动所述料盘支撑架升降，所述第一料盘输入辊组的两侧还设有料盘导向板；

所述空盘输出组件包括第一空盘输出辊组、第二空盘输出辊组、空盘支撑架及空盘升降模组，所述第一空盘输出辊组和第二空盘输出辊组相衔接，其用于输送空盘，所述第二空盘输出辊组上设有用于容纳所述空盘支撑架的第二容纳槽口，空盘升降模组驱动所述空盘支撑架升降，所述第二空盘输出辊组的两侧还设有空盘导向板；

所述料盘移送组件包括料盘台驱动模组和料盘放置台，所述料盘台驱动模组驱动所述料盘放置台在所述料盘输入组件和空盘输出组件的上方之间移动，所述料盘放置台用于承载料盘；

所述料盘抓取组件包括料盘抓取头和料盘抓取升降模组，所述料盘抓取升降模组设置在所述第二料盘输入辊组的上方驱动所述料盘抓取头沿竖直方向升降，所述料盘抓取头用于抓取料盘；

所述空盘抓取组件包括空盘抓取头和空盘抓取升降模组，所述空盘抓取升降模组设置在所述第二空盘输出辊组的上方驱动所述空盘抓取头沿竖直方向升降，所述空盘抓取头用于抓取空盘。

优选地，所述料盘输送机构还包括两组料盘分离组件，其分别相向设置在所述第二料盘输入辊组的两侧，所述料盘分离组件包括料盘分离头、分离驱动气缸及分离位置调节模组，所述分离驱动气缸驱动料盘分离头沿第二空盘输出组件方向移动分离空盘，所述分离位置调节模组驱动所述分离驱动气缸沿所述第二空盘输出辊组的传送方向移动，所述料盘分离头上设有L型分离槽。

优选地，所述晶圆移送机构包括第一晶圆移送组件、晶圆中转组件及第二晶圆移送组件；

所述第一晶圆移送组件包括第一晶圆抓取头、第一抓取升降模组、第一移送架、第一移送模组及第一读码相机，所述第一移送模组驱动第一移送架在料盘输送机构和晶圆中转组件的上方之间移动，所述第一抓取升降模组固设在所述第一移送架上驱动所述第一晶圆抓取头沿竖直方向升降，所述第一晶圆抓取头用于抓取所述料盘输送机构上的晶圆放置于所述晶圆中转组件，所述第一读码相机设置在所述第一移送架上用于获取待测晶圆的产品信息；

所述第二晶圆移送组件包括沿水平纵向相邻设置的若干组，所述晶圆中转组件包括晶圆中转台和中转台驱动模组，所述中转台驱动模组用于驱动所述晶圆中转台在若干组所述第二晶圆移送组件的始端下方之间移动；

所述第二晶圆移送组件包括第二移送模组、待测晶圆移送架、已测晶圆移送架、第三抓取升降模组、第四抓取升降模组、待测晶圆抓取头及已测晶圆抓取头，所述第二移送模组用于驱动待测晶圆移送架和已测晶圆移送架在所述晶圆中转组件和分转机构的上方之间移动，所述第三抓取升降模组固设在所述待测晶圆移送架上驱动所述待测晶圆抓取头沿竖直方向升降，所述待测晶圆抓取头用于从所述晶圆中转组件抓取待测晶圆放置到所述送检机构，所述第四抓取升降模组固设在所述已测晶圆移送架上驱动所述已测晶圆抓取头沿竖直方向升降，所述已测晶圆抓取头用于从所述送检机构抓取已测晶圆放置到分转机构上。

优选地，所述晶圆中转台包括中转底架、第一支撑调节架及第二支撑调节架，所述第一支撑调节架和第二支撑调节架呈十字交叉状设置在所述中转底架上；

所述第一支撑调节架包括第一调节轨道、第一支撑杆、第一驱动杆及第一调节电机，所述第一调节轨道沿水平横向固设在所述中转底架上，所述第一调节轨道上滑动设有两所述第一支撑杆，且两所述第一支撑杆镜像对称，所述第一调节轨道的两端设有第一旋转轴承，所述第一驱动杆转动设置所述第一旋转轴承上，且其通过所述第一调节电机驱动，所述第一驱动杆上设有镜像对称的第一正螺纹段、第一反螺纹段和用于连接第一正螺纹段、第一反螺纹段的第一连接段，两所述第一支撑杆上分别设有与第一正螺纹段、第一反螺纹段螺纹配合的第一正螺纹孔和第二正螺纹孔，所述第一支撑杆上设有若干第一中转吸嘴；

所述第二支撑调节架包括第二调节轨道、第二支撑杆、第二驱动杆及第二调节电机，所述第二调节轨道沿水平纵向固设在所述中转底架上，且其中心位置设有供所述第一调节轨道穿过的交叉口，所述第二调节轨道上滑动设有两所述第二支撑杆，且两所述第二支撑杆镜像对称，所述第二调节轨道的两端设有第二旋转轴承，所述第二驱动杆转动设置所述第二旋转轴承上，且其通过所述第二调节电机驱动，所述第二驱动杆上设有镜像对称的第二正螺纹段、第二反螺纹段和用于连接第二正螺纹段、第二反螺纹段的第二连接段，两所述第二支撑杆上分别设有与第二正螺纹段、第二反螺纹段螺纹配合的第二正螺纹孔和第二正螺纹孔，所述第二支撑杆上设有若干第二中转吸嘴。

优选地，所述良品晶圆移送组件包括良品移送台和良品移送模组，所述良品移送模组用于驱动所述良品移送台在若干组所述第二晶圆移送组件的末端下方之间移动；

所述次品晶圆移送组件设置在所述良品移送台的下方，其包括移动滑轨、安装基架、皮带驱动辊、传送皮带、驱动电机及防掉板，所述移动滑轨固设在所述机座上，所述安装基架的底侧设有滑动卡设在所述移动滑轨上的滑动底座，所述安装基架的两端分别设有一所述皮带驱动辊用于配合带动所述传送皮带传送，所述驱动电机的输出轴与其中一组所述皮带驱动辊连接，所述防掉板固设在所述传送皮带的上下层之间，所述防掉板上沿皮带传送方向间隔设有若干晶圆传感器用于监测传送皮带上是否放置有晶圆，所述安装基架的一端还设有拉手；

所述装箱机构包括机械手臂、良品晶圆抓取头及第二定位相机，所述良品晶圆抓取头用于抓取良品移送台上的良品晶圆，并通过所述机械手臂带动至所述料箱输送机构上的料箱内放置，所述第二定位相机设置在所述良品移送台上方用于获取良品晶圆的位置信息。

优选地，所述送检机构包括送检驱动模组、送检安装台、晶圆旋转模组、送检台及离子风机，所述送检驱动模组固设在所述机座上驱动所述送检安装台沿水平纵向移动，所述晶圆旋转模组固设在送检安装台上驱动所述送检台转动，所述送检台用于放置晶圆，所述离子风机通过风机安装架设置在所述送检台的上方。

优选地，所述检测机构包括检测移动模组、检测移动台、检测升降模组、检测升降架、检测组件及检测定位相机，所述检测移动模组固设在所述机座上驱动所述检测移动台沿水平横向移动，所述检测升降模组固设在所述检测移动台上驱动所述检测升降架沿竖直方向升降，所述检测组件设置在所述检测升降架上，所述检测定位相机通过固定安装架固设在所述检测移动台上，且其镜头朝上；

所述检测组件包括激光调节台、激光安装架、激光发射器、激光控制器、相机安装架及检测相机，所述激光调节台固设在所述检测升降架上用于调节所述激光安装架的位置，所述激光发射器设置在所述激光安装架上，且其通过所述激光控制器控制，所述激光发射器包括相向设置的左发射头和右发射头，且发射角度均倾斜向上，所述检测相机通过所述相机安装架固设在所述检测升降架上，所述检测相机的检测镜头朝上，并位于所述左发射头和右发射头的下方之间，所述检测相机的检测镜头周侧设有包围板；

所述激光调节台包括两组叠加设置的调节组件，且其中一组所述调节组件沿水平横向进行调节，另一组所述调节组件沿竖直升降进行调节，所述调节组件包括固定板、调节板及微调旋钮，所述调节板滑动设置在所述固定板上，所述固定板沿滑动方向的一侧设有第一接头，所述调节板沿滑动方向的一侧设有第二接头，所述微调旋钮的一端固定连接在所述第一接头上，另一端连接有所述第二接头。

优选地，所述料箱输送机构包括第一料箱输送辊组、第二料箱输送辊组、第三料箱输送辊组及料箱升降模组，所述第一料箱输送辊组和第二料箱输送辊组上下相邻设置分别用于输送料箱和空箱，且输送方向相反，所述料箱升降模组驱动所述第三料箱输送辊组沿竖直方向升降用于衔接所述第一料箱输送辊组或第二料箱输送辊组，所述第三料箱输送辊组两侧设有料箱导向板，所述第三料箱输送辊组上方设有第二定位相机用于获取料箱的位置信息；

所述隔板移送机构包括隔板输送台、输送台升降模组、隔板抓取头、隔板抓取升降模组、隔板移送架及隔板移送模组，所述第三料箱输送辊组的两侧分别设有一所述输送台升降模组，所述输送台升降模组用于驱动所述隔板输送台沿竖直方向升降，所述隔板输送台用于放置隔板，所述隔板移送模组驱动所述隔板移送架在所述第三料箱输送辊组和隔板输送台的上方之间移动，所述隔板抓取升降模组固设在所述隔板移送架上驱动所述隔板抓取头沿竖直方向升降，所述隔板抓取头用于抓取隔板。

优选地，还包括贴标机构，所述贴标机构包括标签打印机、标签中转组件、标签移送组件及第二读码相机；

所述标签中转组件包括双轴驱动模组和标签中转台，所述双轴驱动模组用于驱动所述标签中转台在水平XY双轴方向上移动，所述标签打印机打印标签放置于所述标签中转台，所述第二读码相机设置在所述标签中转台的上方用于获取标签的产品信息；

所述标签移送组件用于抓取所述标签中转台上方的料箱标签并移送至料箱输送机构进行贴标，所述标签移送组件包括三轴驱动模组、贴标基架、贴标旋转轴、贴标旋转电机及标签吸取头，所述三轴驱动模组用于驱动所述贴标基架在空间XYZ三轴方向上移动，所述贴标基架上设有贴标旋转轴承，所述贴标旋转轴转动设置在所述贴标旋转轴承上，且其通过贴标旋转电机驱动，所述贴标吸取头固定连接在所述贴标旋转轴上用于吸取标签。

采用上述技术方案后，本发明与背景技术相比，具有如下优点：

本发明提供一种晶圆表面缺陷智能检测设备，自动化程度高，取代人力，排除人为参与对晶圆接触的不良影响，不会对晶圆造成损伤，减小劳动强度，节省成本，且检测效果精准，一致性强，有效的保证产品的品质。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明前段结构示意图；

图3为本发明中段结构示意图；

图4为本发明后端结构示意图；

图5为本发明料盘输送机构和晶圆移送机构结构示意图；

图6为本发明料盘分离组件结构示意图；

图7为本发明晶圆移送机构、送检机构及检测机构结构示意图；

图8为本发明送检机构结构示意图；

图9为本发明检测机构结构示意图；

图10为本发明检测组件结构示意图；

图11为本发明激光调节台结构示意图；

图12为本发明分转机构和装箱机构结构示意图；

图13为本发明料箱输送机构结构示意图；

图14为本发明隔板移送机构结构示意图；

图15为本发明贴标机构结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

在本发明中需要说明的是，术语“上”“下”“左”“右”“竖直”“水平”“内”“外”等均为基于附图所示的方位或位置关系，仅仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示本发明的装置或元件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本发明的限制。

实施例

配合图1至图15所示，本发明公开了一种晶圆表面缺陷智能检测设备，包括机座和设置于机座上的料盘输送机构1、晶圆移送机构2、送检机构3、检测机构4、分转机构5、装箱机构6、料箱输送机构7及隔板移送机构8；

料盘输送机构1用于输送料盘；

晶圆移送机构2用于从料盘上抓取待测晶圆放置于送检机构3和从送检机构3上抓取已测晶圆放置于分转机构5；

送检机构3用于承载晶圆沿水平纵向移动；

检测机构4用于对送检机构3上承载的晶圆进行检测；

分转机构5包括良品晶圆移送组件51和次品晶圆移送组件52，良品晶圆移送组件51和次品晶圆移送组件52分别用于输送已测良品晶圆和已测次品晶圆；

料箱输送机构7用于输送料箱；

装箱机构6用于从良品晶圆移送组件51上抓取已测良品晶圆放置到料箱内；

隔板移送机构8用于抓取隔板放置到料箱中分隔已测良品晶圆。

料盘输送机构1包括空盘输出组件11、料盘输入组件12、空盘抓取组件13、料盘抓取组件14及料盘移送组件15，料盘输入组件12和空盘输出组件11相邻设置；

空盘输出组件11包括第一空盘输出辊组111、第二空盘输出辊组112、空盘支撑架113及空盘升降模组114，第一空盘输出辊组111和第二空盘输出辊组112相衔接，其用于输送空盘，第二空盘输出辊组112上设有用于容纳空盘支撑架113的第二容纳槽口，空盘升降模组114驱动空盘支撑架113升降，第二空盘输出辊组112的两侧还设有空盘导向板115；

料盘输入组件12包括第一料盘输入辊组121、第二料盘输入辊组122、料盘支撑架123及料盘升降模组124，第一料盘输入辊组121和第二料盘输入辊组122相衔接，其用于输送料盘，第二料盘输入辊组122上设有用于容纳料盘支撑架123的第一容纳槽口，料盘升降模组124驱动料盘支撑架123升降，第一料盘输入辊组121的两侧还设有料盘导向板125；

料盘移送组件15包括料盘台驱动模组151和料盘放置台152，料盘台驱动模组151驱动料盘放置台152在料盘输入组件11和空盘输出组件12的上方之间移动，料盘放置台152用于承载料盘；

料盘抓取组件14包括料盘抓取头141和料盘抓取升降模组142，料盘抓取升降模组142设置在第二料盘输入辊组112的上方驱动料盘抓取头141沿竖直方向升降，料盘抓取头141用于抓取料盘；

空盘抓取组件13包括空盘抓取头131和空盘抓取升降模组132，空盘抓取升降模组132设置在第二空盘输出辊组122的上方驱动空盘抓取头131沿竖直方向升降，空盘抓取头131用于抓取空盘。

料盘输送机构1还包括两组料盘分离组件16，其分别相向设置在第二空盘输出辊组112的两侧，料盘分离组件16包括料盘分离头161、分离驱动气缸162及分离位置调节模组163，分离驱动气缸162驱动料盘分离头161沿第二空盘输出组件122方向移动分离空盘，分离位置调节模组163驱动分离驱动气缸162沿第二空盘输出辊组122的传送方向移动，料盘分离头161上设有L型分离槽。

晶圆移送机构2包括第一晶圆移送组件21、晶圆中转组件22及第二晶圆移送组件23；

第一晶圆移送组件21包括第一晶圆抓取头211、第一抓取升降模组212、第一移送架213、第一移送模组214及第一读码相机215，第一移送模组214驱动第一移送架213在料盘输送机构1和晶圆中转组件22的上方之间移动，第一抓取升降模组212固设在第一移送架213上驱动第一晶圆抓取头211沿竖直方向升降，第一晶圆抓取头212用于抓取料盘输送机构1上的晶圆放置于晶圆中转组件22，第一读码相机215设置在第一移送架213上用于获取待测晶圆的产品信息；

第二晶圆移送组件23包括沿水平纵向相邻设置的若干组，晶圆中转组件22包括晶圆中转台221和中转台驱动模组222，中转台驱动模组222用于驱动晶圆中转台221在若干组第二晶圆移送组件23的始端下方之间移动；

第二晶圆移送组件23包括第二移送模组231、待测晶圆移送架232、已测晶圆移送架233、第三抓取升降模组234、第四抓取升降模组235、待测晶圆抓取头236及已测晶圆抓取头237，第二移送模组231用于驱动待测晶圆移送架232和已测晶圆移送架233在晶圆中转组件22和分转机构5的上方之间移动，第三抓取升降模组234固设在待测晶圆移送架232上驱动待测晶圆抓取头236沿竖直方向升降，待测晶圆抓取头236用于从晶圆中转组件22抓取待测晶圆放置到送检机构3，第四抓取升降模组235固设在已测晶圆移送架233上驱动已测晶圆抓取头237沿竖直方向升降，已测晶圆抓取头237用于从送检机构3抓取已测晶圆放置到分转机构5上。

晶圆中转台221包括中转底架2211、第一支撑调节架2212及第二支撑调节架2213，第一支撑调节架2212和第二支撑调节架2213呈十字交叉状设置在中转底架2211上；

第一支撑调节架2212包括第一调节轨道22121、第一支撑杆22122、第一驱动杆22123及第一调节电机22124，第一调节轨道22121沿水平横向固设在中转底架2211上，第一调节轨道22121上滑动设有两第一支撑杆22122，且两第一支撑杆22122镜像对称，第一调节轨道22121的两端设有第一旋转轴承22125，第一驱动杆22123转动设置第一旋转轴承22125上，且其通过第一调节电机22124驱动，第一驱动杆22123上设有镜像对称的第一正螺纹段、第一反螺纹段和用于连接第一正螺纹段、第一反螺纹段的第一连接段，两第一支撑杆22122上分别设有与第一正螺纹段、第一反螺纹段螺纹配合的第一正螺纹孔和第二正螺纹孔，第一支撑杆22122上设有若干第一中转吸嘴22126；

第二支撑调节架2213包括第二调节轨道22131、第二支撑杆22132、第二驱动杆22133及第二调节电机22134，第二调节轨道22131沿水平纵向固设在中转底架2211上，且其中心位置设有供第一调节轨道22121穿过的交叉口，第二调节轨道22131上滑动设有两第二支撑杆22132，且两第二支撑杆22132镜像对称，第二调节轨道22131的两端设有第二旋转轴承22135，第二驱动杆22133转动设置第二旋转轴承22135上，且其通过第二调节电机22134驱动，第二驱动杆22133上设有镜像对称的第二正螺纹段、第二反螺纹段和用于连接第二正螺纹段、第二反螺纹段的第二连接段，两第二支撑杆22132上分别设有与第二正螺纹段、第二反螺纹段螺纹配合的第二正螺纹孔和第二正螺纹孔，第二支撑杆22132上设有若干第二中转吸嘴22136。

良品晶圆移送组件51包括良品移送台511和良品移送模组512，良品移送模组512用于驱动良品移送台511在若干组第二晶圆移送组件23的末端下方之间移动；

次品晶圆移送组件52设置在良品移送台511的下方，其包括移动滑轨521、安装基架522、皮带驱动辊523、传送皮带524、驱动电机525及防掉板526，移动滑轨521固设在机座上，安装基架522的底侧设有滑动卡设在移动滑轨521上的滑动底座527，安装基架522的两端分别设有一皮带驱动辊523用于配合带动传送皮带524传送，驱动电机525的输出轴与其中一组皮带驱动辊523连接，防掉板526固设在传送皮带254的上下层之间，防掉板526上沿皮带传送方向间隔设有若干晶圆传感器528用于监测传送皮带524上是否放置有晶圆，安装基架522的一端还设有拉手529用于拉出次品晶圆移送组件52；

装箱机构6包括机械手臂61、良品晶圆抓取头62及第二定位相机63，良品晶圆抓取头62用于抓取良品移送台511上的良品晶圆，并通过机械手臂61带动至料箱输送机构7上的料箱内放置，第二定位相机63设置在良品移送台上方用于获取良品晶圆的位置信息。

送检机构3包括送检驱动模组31、送检安装台32、晶圆旋转模组33、送检台34及离子风机35，送检驱动模组31固设在机座上驱动送检安装台32沿水平纵向移动，晶圆旋转模组33固设在送检安装台32上驱动送检台34转动，送检台34用于放置晶圆，离子风机35通过风机安装架设置在送检台34的上方。

检测机构4包括检测移动模组41、检测移动台42、检测升降模组43、检测升降架44、检测组件45及检测定位相机46，检测移动模组41固设在机座上驱动检测移动台42沿水平横向移动，检测升降模组43固设在检测移动台42上驱动检测升降架44沿竖直方向升降，检测组件45设置在检测升降架44上，检测定位相机46通过固定安装架47固设在检测移动台42上，且其镜头朝上；

检测组件45包括激光调节台451、激光安装架452、激光发射器453、激光控制器454、相机安装架455及检测相机456，激光调节台451固设在检测升降架44上用于调节激光安装架452的位置，激光发射器453设置在激光安装架452上，且其通过激光控制器454控制，激光发射器453包括相向设置的左发射头4531和右发射头4532，且发射角度均倾斜向上，检测相机456通过相机安装架455固设在检测升降架44上，检测相机456的检测镜头朝上，并位于左发射头4531和右发射头4532的下方之间，检测相机456的检测镜头周侧设有包围板457；

激光调节台451包括两组叠加设置的调节组件4511，且其中一组调节组件4511沿水平横向进行调节，另一组调节组件4511沿竖直升降进行调节，调节组件4511包括固定板45111、调节板45112及微调旋钮45113，调节板45112滑动设置在固定板45111上，固定板45111沿滑动方向的一侧设有第一接头45114，调节板45112沿滑动方向的一侧设有第二接头45115，微调旋钮45113的一端固定连接在第一接头45114上，另一端连接有第二接45115头，通过微调旋钮45113调节固定板45111和调节板45112的相对距离。

料箱输送机构7包括第一料箱输送辊组71、第二料箱输送辊组72、第三料箱输送辊组73及料箱升降模组74，第一料箱输送辊组71和第二料箱输送辊组72上下相邻设置分别用于输送料箱和空箱，且输送方向相反，料箱升降模组74驱动第三料箱输送辊组73沿竖直方向升降用于衔接第一料箱输送辊组71或第二料箱输送辊组72，第三料箱输送辊组73两侧设有料箱导向板731，第三料箱输送辊组73上方设有第二定位相机75用于获取料箱的位置信息；

隔板移送机构8包括隔板输送台81、输送台升降模组82、隔板抓取头83、隔板抓取升降模组84、隔板移送架85及隔板移送模组86，第三料箱输送辊组73的两侧分别设有一输送台升降模组82，输送台升降模组82用于驱动隔板输送台81沿竖直方向升降，隔板输送台81用于放置隔板，隔板移送模组86驱动隔板移送架85在第三料箱输送辊组73和隔板输送台81的上方之间移动，隔板抓取升降模组84固设在隔板移送架85上驱动隔板抓取头83沿竖直方向升降，隔板抓取头83用于抓取隔板。

还包括贴标机构9，贴标机构9包括标签打印机91、标签中转组件92、标签移送组件93及第二读码相机94；

标签中转组件92包括双轴驱动模组921和标签中转台922，双轴驱动模组921用于驱动标签中转台922在水平XY双轴方向上移动，标签打印机91打印标签放置于标签中转台922，第二读码相机94设置在标签中转台922的上方用于获取标签的产品信息；

标签移送组件93用于抓取标签中转台922上方的料箱标签并移送至料箱输送机构7在料箱上进行贴标，标签移送组件93包括三轴驱动模组931、贴标基架932、贴标旋转轴933、贴标旋转电机934及标签吸取头935，三轴驱动模组931用于驱动贴标基架932在空间XYZ三轴方向上移动，贴标基架932上设有贴标旋转轴承936，贴标旋转轴933转动设置在贴标旋转轴承936上，且其通过贴标旋转电机934驱动，贴标吸取头935固定连接在贴标旋转轴933上用于吸取标签。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。

Claims (5)

1.一种晶圆表面缺陷智能检测设备，其特征在于：包括机座和设置于所述机座上的料盘输送机构、晶圆移送机构、送检机构、检测机构、分转机构、装箱机构、料箱输送机构及隔板移送机构；

所述料盘输送机构用于输送料盘；

所述晶圆移送机构用于从料盘上抓取待测晶圆放置于所述送检机构和从送检机构上抓取已测晶圆放置于所述分转机构；

所述送检机构用于承载晶圆沿水平纵向移动；

所述检测机构用于对所述送检机构上承载的晶圆进行检测；

所述分转机构包括良品晶圆移送组件和次品晶圆移送组件，所述良品晶圆移送组件和次品晶圆移送组件分别用于输送已测良品晶圆和已测次品晶圆；

所述料箱输送机构用于输送料箱；

所述装箱机构用于从所述良品晶圆移送组件上抓取已测良品晶圆放置到料箱内；

所述隔板移送机构用于抓取隔板放置到料箱中分隔已测良品晶圆；

所述料盘输送机构包括料盘输入组件、空盘输出组件、料盘抓取组件、空盘抓取组件及料盘移送组件，所述料盘输入组件和空盘输出组件相邻设置；

所述料盘输入组件包括第一料盘输入辊组、第二料盘输入辊组、料盘支撑架及料盘升降模组，所述第一料盘输入辊组和第二料盘输入辊组相衔接，其用于输送料盘，所述第二料盘输入辊组上设有用于容纳所述料盘支撑架的第一容纳槽口，料盘升降模组驱动所述料盘支撑架升降，所述第一料盘输入辊组的两侧还设有料盘导向板；

所述空盘输出组件包括第一空盘输出辊组、第二空盘输出辊组、空盘支撑架及空盘升降模组，所述第一空盘输出辊组和第二空盘输出辊组相衔接，其用于输送空盘，所述第二空盘输出辊组上设有用于容纳所述空盘支撑架的第二容纳槽口，空盘升降模组驱动所述空盘支撑架升降，所述第二空盘输出辊组的两侧还设有空盘导向板；

所述料盘移送组件包括料盘台驱动模组和料盘放置台，所述料盘台驱动模组驱动所述料盘放置台在所述料盘输入组件和空盘输出组件的上方之间移动，所述料盘放置台用于承载料盘；

所述料盘抓取组件包括料盘抓取头和料盘抓取升降模组，所述料盘抓取升降模组设置在所述第二料盘输入辊组的上方驱动所述料盘抓取头沿竖直方向升降，所述料盘抓取头用于抓取料盘；

所述空盘抓取组件包括空盘抓取头和空盘抓取升降模组，所述空盘抓取升降模组设置在所述第二空盘输出辊组的上方驱动所述空盘抓取头沿竖直方向升降，所述空盘抓取头用于抓取空盘；

所述料盘输送机构还包括两组料盘分离组件，其分别相向设置在所述第二料盘输入辊组的两侧，所述料盘分离组件包括料盘分离头、分离驱动气缸及分离位置调节模组，所述分离驱动气缸驱动料盘分离头沿第二空盘输出组件方向移动分离空盘，所述分离位置调节模组驱动所述分离驱动气缸沿所述第二空盘输出辊组的传送方向移动，所述料盘分离头上设有L型分离槽；

所述料箱输送机构包括第一料箱输送辊组、第二料箱输送辊组、第三料箱输送辊组及料箱升降模组，所述第一料箱输送辊组和第二料箱输送辊组上下相邻设置分别用于输送料箱和空箱，且输送方向相反，所述料箱升降模组驱动所述第三料箱输送辊组沿竖直方向升降用于衔接所述第一料箱输送辊组或第二料箱输送辊组，所述第三料箱输送辊组两侧设有料箱导向板，所述第三料箱输送辊组上方设有第二定位相机用于获取料箱的位置信息；

所述隔板移送机构包括隔板输送台、输送台升降模组、隔板抓取头、隔板抓取升降模组、隔板移送架及隔板移送模组，所述第三料箱输送辊组的两侧分别设有一所述输送台升降模组，所述输送台升降模组用于驱动所述隔板输送台沿竖直方向升降，所述隔板输送台用于放置隔板，所述隔板移送模组驱动所述隔板移送架在所述第三料箱输送辊组和隔板输送台的上方之间移动，所述隔板抓取升降模组固设在所述隔板移送架上驱动所述隔板抓取头沿竖直方向升降，所述隔板抓取头用于抓取隔板；

所述晶圆移送机构包括第一晶圆移送组件、晶圆中转组件及第二晶圆移送组件；

所述第一晶圆移送组件包括第一晶圆抓取头、第一抓取升降模组、第一移送架、第一移送模组及第一读码相机，所述第一移送模组驱动第一移送架在料盘输送机构和晶圆中转组件的上方之间移动，所述第一抓取升降模组固设在所述第一移送架上驱动所述第一晶圆抓取头沿竖直方向升降，所述第一晶圆抓取头用于抓取所述料盘输送机构上的晶圆放置于所述晶圆中转组件，所述第一读码相机设置在所述第一移送架上用于获取待测晶圆的产品信息；

所述第二晶圆移送组件包括沿水平纵向相邻设置的若干组，所述晶圆中转组件包括晶圆中转台和中转台驱动模组，所述中转台驱动模组用于驱动所述晶圆中转台在若干组所述第二晶圆移送组件的始端下方之间移动；

所述第二晶圆移送组件包括第二移送模组、待测晶圆移送架、已测晶圆移送架、第三抓取升降模组、第四抓取升降模组、待测晶圆抓取头及已测晶圆抓取头，所述第二移送模组用于驱动待测晶圆移送架和已测晶圆移送架在所述晶圆中转组件和分转机构的上方之间移动，所述第三抓取升降模组固设在所述待测晶圆移送架上驱动所述待测晶圆抓取头沿竖直方向升降，所述待测晶圆抓取头用于从所述晶圆中转组件抓取待测晶圆放置到所述送检机构，所述第四抓取升降模组固设在所述已测晶圆移送架上驱动所述已测晶圆抓取头沿竖直方向升降，所述已测晶圆抓取头用于从所述送检机构抓取已测晶圆放置到分转机构上；

所述晶圆中转台包括中转底架、第一支撑调节架及第二支撑调节架，所述第一支撑调节架和第二支撑调节架呈十字交叉状设置在所述中转底架上；

所述第一支撑调节架包括第一调节轨道、第一支撑杆、第一驱动杆及第一调节电机，所述第一调节轨道沿水平横向固设在所述中转底架上，所述第一调节轨道上滑动设有两所述第一支撑杆，且两所述第一支撑杆镜像对称，所述第一调节轨道的两端设有第一旋转轴承，所述第一驱动杆转动设置所述第一旋转轴承上，且其通过所述第一调节电机驱动，所述第一驱动杆上设有镜像对称的第一正螺纹段、第一反螺纹段和用于连接第一正螺纹段、第一反螺纹段的第一连接段，两所述第一支撑杆上分别设有与第一正螺纹段、第一反螺纹段螺纹配合的第一正螺纹孔和第二正螺纹孔，所述第一支撑杆上设有若干第一中转吸嘴；

所述第二支撑调节架包括第二调节轨道、第二支撑杆、第二驱动杆及第二调节电机，所述第二调节轨道沿水平纵向固设所述中转底架上，且其中心位置设有供所述第一调节轨道穿过的交叉口，所述第二调节轨道上滑动设有两所述第二支撑杆，且两所述第二支撑杆镜像对称，所述第二调节轨道的两端设有第二旋转轴承，所述第二驱动杆转动设置所述第二旋转轴承上，且其通过所述第二调节电机驱动，所述第二驱动杆上设有镜像对称的第二正螺纹段、第二反螺纹段和用于连接第二正螺纹段、第二反螺纹段的第二连接段，两所述第二支撑杆上分别设有与第二正螺纹段、第二反螺纹段螺纹配合的第二正螺纹孔和第二正螺纹孔，所述第二支撑杆上设有若干第二中转吸嘴。

2.如权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷智能检测设备，其特征在于：所述良品晶圆移送组件包括良品移送台和良品移送模组，所述良品移送模组用于驱动所述良品移送台在若干组所述第二晶圆移送组件的末端下方之间移动；

所述次品晶圆移送组件设置在所述良品移送台的下方，其包括移动滑轨、安装基架、皮带驱动辊、传送皮带、驱动电机及防掉板，所述移动滑轨固设在所述机座上，所述安装基架的底侧设有滑动卡设在所述移动滑轨上的滑动底座，所述安装基架的两端分别设有一所述皮带驱动辊用于配合带动所述传送皮带传送，所述驱动电机的输出轴与其中一组所述皮带驱动辊连接，所述防掉板固设在所述传送皮带的上下层之间，所述防掉板上沿皮带传送方向间隔设有若干晶圆传感器用于监测传送皮带上是否放置有晶圆，所述安装基架的一端还设有拉手；

所述装箱机构包括机械手臂、良品晶圆抓取头及第二定位相机，所述良品晶圆抓取头用于抓取良品移送台上的良品晶圆，并通过所述机械手臂带动至所述料箱输送机构上的料箱内放置，所述第二定位相机设置在所述良品移送台上方用于获取良品晶圆的位置信息。

3.如权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷智能检测设备，其特征在于：所述送检机构包括送检驱动模组、送检安装台、晶圆旋转模组、送检台及离子风机，所述送检驱动模组固设在所述机座上驱动所述送检安装台沿水平纵向移动，所述晶圆旋转模组固设在送检安装台上驱动所述送检台转动，所述送检台用于放置晶圆，所述离子风机通过风机安装架设置在所述送检台的上方。

4.如权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷智能检测设备，其特征在于：所述检测机构包括检测移动模组、检测移动台、检测升降模组、检测升降架、检测组件及检测定位相机，所述检测移动模组固设在所述机座上驱动所述检测移动台沿水平横向移动，所述检测升降模组固设在所述检测移动台上驱动所述检测升降架沿竖直方向升降，所述检测组件设置在所述检测升降架上，所述检测定位相机通过固定安装架固设在所述检测移动台上，且其镜头朝上；

所述检测组件包括激光调节台、激光安装架、激光发射器、激光控制器、相机安装架及检测相机，所述激光调节台固设在所述检测升降架上用于调节所述激光安装架的位置，所述激光发射器设置在所述激光安装架上，且其通过所述激光控制器控制，所述激光发射器包括相向设置的左发射头和右发射头，且发射角度均倾斜向上，所述检测相机通过所述相机安装架固设在所述检测升降架上，所述检测相机的检测镜头朝上，并位于所述左发射头和右发射头的下方之间，所述检测相机的检测镜头周侧设有包围板；

所述激光调节台包括两组叠加设置的调节组件，且其中一组所述调节组件沿水平横向进行调节，另一组所述调节组件沿竖直升降进行调节，所述调节组件包括固定板、调节板及微调旋钮，所述调节板滑动设置在所述固定板上，所述固定板沿滑动方向的一侧设有第一接头，所述调节板沿滑动方向的一侧设有第二接头，所述微调旋钮的一端固定连接在所述第一接头上，另一端连接有所述第二接头。

5.如权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷智能检测设备，其特征在于：还包括贴标机构，所述贴标机构包括标签打印机、标签中转组件、标签移送组件及第二读码相机；

所述标签中转组件包括双轴驱动模组和标签中转台，所述双轴驱动模组用于驱动所述标签中转台在水平XY双轴方向上移动，所述标签打印机打印标签放置于所述标签中转台，所述第二读码相机设置在所述标签中转台的上方用于获取标签的产品信息；

所述标签移送组件用于抓取所述标签中转台上方的料箱标签并移送至料箱输送机构进行贴标，所述标签移送组件包括三轴驱动模组、贴标基架、贴标旋转轴、贴标旋转电机及标签吸取头，所述三轴驱动模组用于驱动所述贴标基架在空间XYZ三轴方向上移动，所述贴标基架上设有贴标旋转轴承，所述贴标旋转轴转动设置在所述贴标旋转轴承上，且其通过贴标旋转电机驱动，所述贴标吸取头固定连接在所述贴标旋转轴上用于吸取标签。