CN220854697U - 玻璃边缘检查装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出一种玻璃边缘检查装置,包括机架,机架外部设有用于将玻璃抓取至机架的机械手臂,机架上沿玻璃进料方向依次设有用于校准玻璃进料位置的第一校位机构、用于对玻璃边缘进行检测的检测机构和用于将玻璃运输出机架的运输机构,第一校位机构、检测机构和运输机构之间还设有用于抓取玻璃并将玻璃在三者间依次传输的传送抓取机构。该装置以高集成度的方式提供了一站式玻璃边缘检测。
Description
技术领域
本实用新型涉及玻璃检测技术领域,具体涉及一种玻璃边缘检查装置。
背景技术
在半导体行业中,玻璃具有重要的作用,如用于载体基板,晶圆封装等,诸如此类的用途愈发广泛。由于生产、技术及工艺方面的原因,在玻璃生产的过程中,不仅会出现气泡、划痕等各种各样的缺陷,也会出现亮边、焦边、爆边、崩边等边角缺陷,这些缺陷的存在会影响玻璃的质量,故玻璃边缘缺陷检测是玻璃质量检测中重要的一环。
由于玻璃基板本身的板型以及设备传送精度问题,会导致检测到的玻璃边缘图像不清晰或无法拍摄到玻璃基板边缘图像,存在缺陷漏检风险,影响产品品质。
发明内容
为克服现有技术的不足,本实用新型提出一种玻璃边缘检查装置,结合多种传输方式,以高集成度的方式实现了一站式玻璃边缘检测。
为实现上述目的,本实用新型的玻璃边缘检查装置,包括机架,机架外部设有用于将玻璃抓取至机架的机械手臂,机架上沿玻璃进料方向依次设有用于校准玻璃进料位置的第一校位机构、用于对玻璃边缘进行检测的检测机构和用于将玻璃运输出机架的运输机构,第一校位机构、检测机构和运输机构之间还设有用于抓取玻璃并将玻璃在三者间依次传输的传送抓取机构。
进一步地,第一校位机构包括设置在机台进料一端顶部的4条校准支架,4条校准支架围成一矩形,2条校准支架平行于进料方向,2条校准支架垂直于进料方向,校准支架的中部分别设有校准气缸,校准气缸的活塞杆均朝向校准支架所围成矩形的中央,校准气缸的活塞杆分别垂直于其所在校准支架,校准气缸活塞杆的端部连接有校准板,校准板的上表面设有若干沿竖直方向向上延伸的校准柱。
进一步地,校准支架中部还设有支撑支架,支撑支架上设有用于支撑玻璃的支撑柱。
进一步地,检测机构包括设置在机台中间顶部的玻璃转盘,玻璃转盘的转盘体顶部设有玻璃吸附孔位,玻璃转盘的底部设有用于驱动转盘体转动的旋转电机。
进一步地,检测机构还包括纵向检测支架,纵向检测支架垂直于进料方向设置,纵向检测支架上设有横向检测支架,横向检测支架垂直于纵向检测支架设置,横向检测支架上设有检测器,纵向检测支架和横向检测支架上分别设有直线滑动模组,检测器能够沿横向检测支架移动,横向检测支架能够沿纵向检测支架移动,纵向检测支架的两端分别设有感应器。
进一步地,运输机构包括设置在机台出料一端顶部的传输轨道,传输轨道上设有若干平行的传输滚轮组,传输轨道的侧面设有传输轴,机台上设有驱动传输轴转动的传输电机,传输轴上设有若干磁力驱动轮,传输滚轮组的端部设有于磁力驱动轮配合的磁力从动轮。
进一步地,传输导轨接近进料方向的一端设有第二校位机构,第二校位机构包括一对平行于进料方向的调整支架,调整支架上分别设有调整气缸,调整气缸的活塞杆垂直于调整支架,调整气缸的活塞杆设置在调整支架内侧,调整气缸活塞杆的端部连接调整板,调整板的顶部设有调整柱,传输导轨远离机台出料的一端设有若干阻挡柱。
进一步地,传送抓取机构包括设置在机台侧面的传动框架,传动框架沿机台的进料方向设置,传动框架上设有水平传动模组,水平传输模组上滑移连接有平移板,平移板上设有抓取组件,平移板上设有水平移动电机。
进一步地,平移板上设有上下滑轨,上下滑轨上滑移连接有安装板,安装板上设有上下移动电机,抓取组件包括设置在安装板上的抓取支架,抓取支架的底部连接有抓取支板,抓取支板平行于机台顶面设置,抓取支板的四边分别设有抓取气缸,抓取气缸的活塞杆向外设置,抓取气缸活塞杆的顶部连接有抓取板,抓起板远离抓取气缸的一侧设有玻璃卡爪。
进一步地,抓取支板的底部设有若干吸盘。
本实用新型的玻璃边缘检查装置,结合多种传输方式,以高集成度的方式实现了一站式玻璃边缘检测。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步描写和阐述。
图1是本实用新型首选实施方式的玻璃边缘检查装置的结构示意图。
图2是用于体现第一校位机构的结构示意图。
图3是用于体现检测机构的结构示意图。
图4是用于体现运输机构的结构示意图。
图5是用于体现第二校位机构的结构示意图。
图6是用于体现传送抓取机构的结构示意图。
附图标记:1、机架;2、机械手臂;3、第一校位机构;31、校准支架;32、校准气缸;33、校准板;34、校准柱;35、支撑支架;36、支撑柱;4、检测机构;41、玻璃转盘;42、玻璃吸附孔位;43、旋转电机;44、纵向检测支架;45、横向检测支架;46、检测器;5、运输机构;51、传输轨道;52、传输滚轮组;53、传输轴;54、传输电机;6、第二校位机构;61、调整支架;62、调整气缸;63、调整板;64、调整柱;65、阻挡柱;7、传送抓取机构;71、传动框架;72、水平传动模组;73、平移板;74、水平移动电机;75、上下滑轨;76、安装板;77、上下移动电机;81、抓取支架;82、抓取支板;83、抓取气缸;84、抓取板;85、玻璃卡爪;86、吸盘。
具体实施方式
下面将结合附图、通过对本实用新型的优选实施方式的描述,更加清楚、完整地阐述本实用新型的技术方案。
如图1所示,本实用新型首选实施方式的玻璃边缘检查装置,包括机架1,机架1外部设有用于将玻璃抓取至机架1的机械手臂2,机架1上沿玻璃进料方向依次设有用于校准玻璃进料位置的第一校位机构3、用于对玻璃边缘进行检测的检测机构4和用于将玻璃运输出机架1的运输机构5,第一校位机构3、检测机构4和运输机构5之间还设有用于抓取玻璃并将玻璃在三者间依次传输的传送抓取机构7。
如图1和图2所示,第一校位机构3包括设置在机台进料一端顶部的4条校准支架31,4条校准支架31围成一矩形,2条校准支架31平行于进料方向,2条校准支架31垂直于进料方向,校准支架31的中部分别设有校准气缸32,校准气缸32的活塞杆均朝向校准支架31所围成矩形的中央,校准气缸32的活塞杆分别垂直于其所在校准支架31,校准气缸32活塞杆的端部连接有校准板33,校准板33的上表面设有若干沿竖直方向向上延伸的校准柱34。校准支架31中部还设有支撑支架35,支撑支架35上设有用于支撑玻璃的支撑柱36。
如图1和图3所示,检测机构4包括设置在机台中间顶部的玻璃转盘41和设置在机台侧面的纵向检测支架44,玻璃转盘41的转盘体顶部设有玻璃吸附孔位42,玻璃转盘41的底部设有用于驱动转盘体转动的旋转电机43。纵向检测支架44垂直于进料方向设置,纵向检测支架44上设有横向检测支架45,横向检测支架45垂直于纵向检测支架44设置,横向检测支架45上设有检测器46,纵向检测支架44和横向检测支架45上分别设有直线滑动模组,检测器46能够沿横向检测支架45移动,横向检测支架45能够沿纵向检测支架44移动,纵向检测支架44的两端分别设有感应器。
如图4和图5所示,运输机构5包括设置在机台出料一端顶部的传输轨道51,传输轨道51上设有若干平行的传输滚轮组52,传输轨道51的侧面设有传输轴53,机台上设有驱动传输轴53转动的传输电机54,传输轴53上设有若干磁力驱动轮,传输滚轮组52的端部设有于磁力驱动轮配合的磁力从动轮。传输导轨接近进料方向的一端设有第二校位机构6,第二校位机构6包括一对平行于进料方向的调整支架61,调整支架61上分别设有调整气缸62,调整气缸62的活塞杆垂直于调整支架61,调整气缸62的活塞杆设置在调整支架61内侧,调整气缸62活塞杆的端部连接调整板63,调整板63的顶部设有调整柱64,传输导轨远离机台出料的一端设有若干阻挡柱65。
如图1和图6所示,传送抓取机构7包括设置在机台侧面的传动框架71,传动框架71沿机台的进料方向设置,传动框架71上设有水平传动模组72,水平传输模组上滑移连接有平移板73,平移板73上设有抓取组件,平移板73上设有水平移动电机74。平移板73上设有上下滑轨75,上下滑轨75上滑移连接有安装板76,安装板76上设有上下移动电机77,抓取组件包括设置在安装板76上的抓取支架81,抓取支架81的底部连接有抓取支板82,抓取支板82平行于机台顶面设置,抓取支板82的四边分别设有抓取气缸83,抓取气缸83的活塞杆向外设置,抓取气缸83活塞杆的顶部连接有抓取板84,抓起板远离抓取气缸83的一侧设有玻璃卡爪85。抓取支板82的底部设有若干吸盘86。
具体实施过程:首先通过装置外部的机械手臂2把玻璃放置在第一校位机构3的支撑柱36上,通过校准气缸32的运动,推动校准柱34使玻璃在准确的固定位置之内,再通过传输抓取机构运输到检测装置。传输抓取机构通过四向的玻璃卡爪85夹住玻璃边缘,中间部分通过吸盘86来固定玻璃,使玻璃下沉量减少。通过安装板76在上下滑轨75上的移动调整高度,通过平移板73在水平传动模组72上移动来将玻璃在不同机构之间转移。玻璃通过真空吸附在玻璃吸附孔位42上,旋转电机43驱动玻璃转盘41转动,以对玻璃的每一边分别进行检测。检测器46沿直线滑动模块到检测玻璃位置内进行对玻璃得检测。检测合格后再次通过传输抓取机构将玻璃传送到运输机构5,由第二校位机构6对玻璃进行位置更正后,传输滚轮组52将玻璃传送直至下一个工位。
本实用新型的玻璃边缘检查装置,结合多种传输方式,以高集成度的方式实现了一站式玻璃边缘检测。
上述具体实施方式仅仅对本实用新型的优选实施方式进行描述,而并非对本实用新型的保护范围进行限定。在不脱离本实用新型设计构思和精神范畴的前提下,本领域的普通技术人员根据本实用新型所提供的文字描述、附图对本实用新型的技术方案所作出的各种变形、替代和改进,均应属于本实用新型的保护范畴。本实用新型的保护范围由权利要求确定。
Claims (10)
1.一种玻璃边缘检查装置,其特征在于,包括机架(1),机架(1)外部设有用于将玻璃抓取至机架(1)的机械手臂(2),所述机架(1)上沿玻璃进料方向依次设有用于校准玻璃进料位置的第一校位机构(3)、用于对玻璃边缘进行检测的检测机构(4)和用于将玻璃运输出机架(1)的运输机构(5),所述第一校位机构(3)、检测机构(4)和运输机构(5)之间还设有用于抓取玻璃并将玻璃在三者间依次传输的传送抓取机构(7)。
2.根据权利要求1所述的玻璃边缘检查装置,其特征在于,所述第一校位机构(3)包括设置在机台进料一端顶部的4条校准支架(31),4条所述校准支架(31)围成一矩形,2条所述校准支架(31)平行于进料方向,2条所述校准支架(31)垂直于进料方向,所述校准支架(31)的中部分别设有校准气缸(32),所述校准气缸(32)的活塞杆均朝向校准支架(31)所围成矩形的中央,所述校准气缸(32)的活塞杆分别垂直于其所在校准支架(31),所述校准气缸(32)活塞杆的端部连接有校准板(33),所述校准板(33)的上表面设有若干沿竖直方向向上延伸的校准柱(34)。
3.根据权利要求2所述的玻璃边缘检查装置,其特征在于,所述校准支架(31)中部还设有支撑支架(35),所述支撑支架(35)上设有用于支撑玻璃的支撑柱(36)。
4.根据权利要求1所述的玻璃边缘检查装置,其特征在于,所述检测机构(4)包括设置在机台中间顶部的玻璃转盘(41),所述玻璃转盘(41)的转盘体顶部设有玻璃吸附孔位(42),所述玻璃转盘(41)的底部设有用于驱动转盘体转动的旋转电机(43)。
5.根据权利要求4所述的玻璃边缘检查装置,其特征在于,所述检测机构(4)还包括纵向检测支架(44),所述纵向检测支架(44)垂直于进料方向设置,所述纵向检测支架(44)上设有横向检测支架(45),所述横向检测支架(45)垂直于纵向检测支架(44)设置,所述横向检测支架(45)上设有检测器(46),所述纵向检测支架(44)和横向检测支架(45)上分别设有直线滑动模组,所述检测器(46)能够沿横向检测支架(45)移动,所述横向检测支架(45)能够沿纵向检测支架(44)移动,所述纵向检测支架(44)的两端分别设有感应器。
6.根据权利要求1所述的玻璃边缘检查装置,其特征在于,所述运输机构(5)包括设置在机台出料一端顶部的传输轨道(51),所述传输轨道(51)上设有若干平行的传输滚轮组(52),所述传输轨道(51)的侧面设有传输轴(53),所述机台上设有驱动传输轴(53)转动的传输电机(54),所述传输轴(53)上设有若干磁力驱动轮,所述传输滚轮组(52)的端部设有于磁力驱动轮配合的磁力从动轮。
7.根据权利要求6所述的玻璃边缘检查装置,其特征在于,所述传输轨道(51)接近进料方向的一端设有第二校位机构(6),所述第二校位机构(6)包括一对平行于进料方向的调整支架(61),所述调整支架(61)上分别设有调整气缸(62),所述调整气缸(62)的活塞杆垂直于调整支架(61),所述调整气缸(62)的活塞杆设置在调整支架(61)内侧,所述调整气缸(62)活塞杆的端部连接调整板(63),所述调整板(63)的顶部设有调整柱(64),所述传输轨道(51)远离机台出料的一端设有若干阻挡柱(65)。
8.根据权利要求1所述的玻璃边缘检查装置,其特征在于,所述传送抓取机构(7)包括设置在机台侧面的传动框架(71),所述传动框架(71)沿机台的进料方向设置,所述传动框架(71)上设有水平传动模组(72),所述水平传动模组(72)上滑移连接有平移板(73),所述平移板(73)上设有抓取组件,所述平移板(73)上设有水平移动电机(74)。
9.根据权利要求8所述的玻璃边缘检查装置,其特征在于,所述平移板(73)上设有上下滑轨(75),所述上下滑轨(75)上滑移连接有安装板(76),所述安装板(76)上设有上下移动电机(77),所述抓取组件包括设置在安装板(76)上的抓取支架(81),所述抓取支架(81)的底部连接有抓取支板(82),所述抓取支板(82)平行于机台顶面设置,所述抓取支板(82)的四边分别设有抓取气缸(83),所述抓取气缸(83)的活塞杆向外设置,所述抓取气缸(83)活塞杆的顶部连接有抓取板(84),所述抓取支板(82)远离抓取气缸(83)的一侧设有玻璃卡爪(85)。
10.根据权利要求9所述的玻璃边缘检查装置,其特征在于,所述抓取支板(82)的底部设有若干吸盘(86)。
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