CN114636844A - 半导体器件测试探针台 - Google Patents
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Abstract
本发明属于半导体器件技术领域，公开了半导体器件测试探针台，包括检测台，所述检测台的顶部设置有检测槽，所述检测台的顶部设置用操作台，所述操作台上安装有工作箱，所述工作箱的底部安装有调节装置，所述调节装置的底部固定安装有测试摄像头，所述工作箱的底部固定连接有两个电动推杆，两个所述电动推杆分别位于测试摄像头的左右两侧，两个所述电动推杆相对的一端均安装有安装架，所述安装架上安装有探针杆，所述探针杆的底端设置有探针头。本发明，能够对探针头以及晶圆双向保护，避免探针头的弯折以及晶圆的破损，保证测试探针台的正常使用，提高其使用寿命，提高半导体器件的测试结果精确性。
Description
技术领域
本发明涉及半导体器件技术领域，更具体地说，涉及半导体器件测试探针台。
背景技术
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
现有的半导体器件测试探针台在使用时，需要多次的与晶圆的表面进行接触，一旦系统程序出现略微偏差，或者人工操作出现失误，往往会导致探针过度位移，导致对晶圆的表面造成划伤、破损或探针的弯折，不但影响检测精准度，还是耽误测试效率，整体的防护效果不足，无法满足使用者的使用需求。
发明内容
针对背景技术中提到的相关问题，本发明的目的在于提供半导体器件测试探针台。
为解决上述问题，本发明采用如下的技术方案。
半导体器件测试探针台，包括检测台，所述检测台的顶部设置有检测槽，所述检测台的顶部设置用操作台，所述操作台上安装有工作箱，所述工作箱的底部安装有调节装置，所述调节装置的底部固定安装有测试摄像头，所述工作箱的底部固定连接有两个电动推杆，两个所述电动推杆分别位于测试摄像头的左右两侧，两个所述电动推杆相对的一端均安装有安装架，所述安装架上安装有探针杆，所述探针杆的底端设置有探针头，所述探针杆与探针头相对的一侧均固定连接有环形槽，所述探针杆与探针头之间设置有橡胶连接块，所述橡胶连接块的两侧分别延伸至相邻的环形槽的内侧并与环形槽的内壁卡接。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述调节装置包含有伺服电机，所述伺服电机固定安装于工作箱的底部，所述伺服电机的输出轴固定连接有转动盘，所述转动盘的顶部与工作箱转动连接，所述转动盘的底部固定连接有两个第一电动导轨，两个所述第一电动导轨之间安装有第二电动导轨，所述第二电动导轨的底部安装有安装板，所述电动推杆与测试摄像头均安装于安装板的底部。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述安装架包含有固定板，所述固定板的一侧通过螺栓与电动推杆固定连接，所述固定板上铰接有活动板，所述活动板上通过螺丝固定连接有夹板，所述探针杆安装于活动板与夹板之间，所述活动板与固定板的铰接处固定安装有复位弹簧。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述固定板远离电动推杆的一端向下弯折形成限制部，所述限制部的弯折部分位于活动板与固定板的铰接处。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述环形槽的截面形状为凸形，所述橡胶连接块的两侧均一体成型有卡环，所述卡环与环形槽的形状相匹配。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述橡胶连接块与探针杆的内侧均开设有通线槽，相邻的两个所述通线槽相连通。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述检测台上套接有防护罩，所述防护罩的内侧设置有空腔。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述检测台上固定安装有伺服马达，所述伺服马达的输出轴固定连接有螺纹套管，所述螺纹套管的内侧螺纹连接有推杆，所述推杆的顶端贯穿检测台并延伸至检测槽的内侧，所述推杆的顶端固定连接有顶板，所述推杆与检测台之间滑动连接。
相比于现有技术，本发明的优点在于：
本方案，通过将半导体器件的晶圆放置于检测槽的内侧，然后调节装置通电工作，带动其底部的测试摄像头与电动推杆同步移动，从而带动两个探针头移动至晶圆上待检测位置，并通过测试摄像头实时拍摄，并将画面上传显示器，以便于进一步调整探针头的位置，对其检测部位后，操作台带动工作箱下移，让探针头与晶圆接触，从而完成对晶圆的检测，当探针头下压时，避免对晶圆造成损坏，利用橡胶连接块与环形槽配合卡接将探针头与探针杆连接，从而使得探针头与探针杆能够形成一定的弯折，确保接触的同时，能够对探针头以及晶圆双向保护，避免探针头的弯折以及晶圆的破损，保证测试探针台的正常使用，提高其使用寿命，提高半导体器件的测试结果精确性。
本方案，通过夹板将探针杆夹持固定在活动板上，利用与活动板与固定板的铰接，使的探针杆能够一定角度的偏转，利用复位弹簧的弹力，让探针杆的一端向下偏移，从而方便与晶圆接触，同时给予探针杆回转空间，能够进一步避免探针头与晶圆的过度接触导致晶圆的破损以及探针头的弯折损坏，提高检测稳定性与探针头的使用寿命。
附图说明
图1为本发明的正视剖视结构示意图；
图2为本发明图1中A部的放大结构示意图；
图3为本发明探针头与橡胶连接块的连接结构示意图；
图4为本发明图1中B部的放大结构示意图；
图5为本发明橡胶连接块的结构示意图。
图中标号说明：
1、检测台；2、检测槽；3、操作台；4、工作箱；5、测试摄像头；6、电动推杆；7、安装架；71、固定板；711、限制部；72、活动板；73、夹板；74、复位弹簧；8、探针杆；9、探针头；10、环形槽；11、橡胶连接块；111、卡环；12、调节装置；121、伺服电机；122、转动盘；123、第一电动导轨；124、第二电动导轨；125、安装板；13、通线槽；14、防护罩；15、空腔；16、伺服马达；17、螺纹套管；18、推杆；19、顶板。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；
实施例1
请参阅图1～5，本发明中，半导体器件测试探针台，包括检测台1，检测台1的顶部设置有检测槽2，检测台1的顶部设置用操作台3，操作台3上安装有工作箱4，工作箱4的底部安装有调节装置12，调节装置12的底部固定安装有测试摄像头5，工作箱4的底部固定连接有两个电动推杆6，两个电动推杆6分别位于测试摄像头5的左右两侧，两个电动推杆6相对的一端均安装有安装架7，安装架7上安装有探针杆8，探针杆8的底端设置有探针头9，探针杆8与探针头9相对的一侧均固定连接有环形槽10，探针杆8与探针头9之间设置有橡胶连接块11，橡胶连接块11的两侧分别延伸至相邻的环形槽10的内侧并与环形槽10的内壁卡接。
本发明中，通过将半导体器件的晶圆放置于检测槽2的内侧，然后调节装置12通电工作，带动其底部的测试摄像头5与电动推杆6同步移动，从而带动两个探针头9移动至晶圆上待检测位置，并通过测试摄像头5实时拍摄，并将画面上传显示器，以便于进一步调整探针头9的位置，对其检测部位后，操作台3带动工作箱4下移，让探针头9与晶圆接触，从而完成对晶圆的检测，当探针头9下压时，避免对晶圆造成损坏，利用橡胶连接块11与环形槽10配合卡接将探针头9与探针杆8连接，从而使得探针头9与探针杆8能够形成一定的弯折，确保接触的同时，能够对探针头9以及晶圆双向保护，避免探针头9的弯折以及晶圆的破损，保证测试探针台的正常使用，提高其使用寿命，提高半导体器件的测试结果精确性。
请参阅图1，其中：调节装置12包含有伺服电机121，伺服电机121固定安装于工作箱4的底部，伺服电机121的输出轴固定连接有转动盘122，转动盘122的顶部与工作箱4转动连接，转动盘122的底部固定连接有两个第一电动导轨123，两个第一电动导轨123之间安装有第二电动导轨124，第二电动导轨124的底部安装有安装板125，电动推杆6与测试摄像头5均安装于安装板125的底部。
本发明中，通过伺服电机121带动转动盘122转动，从而匹配晶圆的摆放角度，然后根据晶圆上的检测芯片位置，通过第一电动导轨123与第二电动导轨124调整电动推杆6与测试摄像头5的X轴与Y轴位置，以便于根据检测需求进行调整，无需特地定位晶圆的摆放角度。
请参阅图1与图2，其中：安装架7包含有固定板71，固定板71的一侧通过螺栓与电动推杆6固定连接，固定板71上铰接有活动板72，活动板72上通过螺丝固定连接有夹板73，探针杆8安装于活动板72与夹板73之间，活动板72与固定板71的铰接处固定安装有复位弹簧74。
本发明中，通过夹板73将探针杆8夹持固定在活动板72上，利用与活动板72与固定板71的铰接，使的探针杆8能够一定角度的偏转，利用复位弹簧74的弹力，让探针杆8的一端向下偏移，从而方便与晶圆接触，同时给予探针杆8回转空间，能够进一步避免探针头9与晶圆的过度接触导致晶圆的破损以及探针头9的弯折损坏，提高检测稳定性与探针头9的使用寿命。
实施例2
请参阅图1与图2，其中：固定板71远离电动推杆6的一端向下弯折形成限制部711，限制部711的弯折部分位于活动板72与固定板71的铰接处。
本发明中，通过限制部711能够限制活动板72的下翻角度，避免探针杆8过度向下倾斜，结构合理可靠，满足使用者的使用需求。
请参阅图3与图5，其中：环形槽10的截面形状为凸形，橡胶连接块11的两侧均一体成型有卡环111，卡环111与环形槽10的形状相匹配。
本发明中，通过凸形的卡环111与环形槽10配合，方便橡胶连接块11与探针杆8及探针头9的对接，使用方便，保证结构稳定性的同时，在探针杆8与探针头9弯折角度过大时，通过橡胶连接块11脱落，从而对探针头9进行保护。
请参阅图3与图5，其中：橡胶连接块11与探针杆8的内侧均开设有通线槽13，相邻的两个通线槽13相连通。
本发明中，通过通线槽13方便探针头9的导线通过，结构科学合理，方便上传测试数据。
请参阅图1，其中：检测台1上套接有防护罩14，防护罩14的内侧设置有空腔15。
本发明中，通过防护罩14对测试探针台进行保护，同时方便改变检测台1上检测环境，并通过空腔15进行隔温，方便在低温与高温环境下对半导体器件进行测试。
请参阅图1与图4，其中：检测台1上固定安装有伺服马达16，伺服马达16的输出轴固定连接有螺纹套管17，螺纹套管17的内侧螺纹连接有推杆18，推杆18的顶端贯穿检测台1并延伸至检测槽2的内侧，推杆18的顶端固定连接有顶板19，推杆18与检测台1之间滑动连接。
本发明中，当伺服马达16通电工作，能够带动螺纹套管17旋转，利用螺纹套管17与推杆18的螺纹连接，带动推杆18上的顶板19上升，从而将放置于检测槽2内侧的晶圆顶出，以便于晶圆取放，方便了使用者的使用。
工作原理：通过将半导体器件的晶圆放置于检测槽2的内侧，通过伺服电机121带动转动盘122转动，从而匹配晶圆的摆放角度，然后根据晶圆上的检测芯片位置，通过第一电动导轨123与第二电动导轨124调整电动推杆6与测试摄像头5的X轴与Y轴位置，以便于根据检测需求进行调整，无需特地定位晶圆的摆放角度，从而带动两个探针头9移动至晶圆上待检测位置，并通过测试摄像头5实时拍摄，并将画面上传显示器，以便于进一步调整探针头9的位置，对其检测部位后，操作台3带动工作箱4下移，让探针头9与晶圆接触，从而完成对晶圆的检测，当探针头9下压时，避免对晶圆造成损坏，利用橡胶连接块11与环形槽10配合卡接将探针头9与探针杆8连接，从而使得探针头9与探针杆8能够形成一定的弯折，确保接触的同时，能够对探针头9以及晶圆双向保护，避免探针头9的弯折以及晶圆的破损，通过夹板73将探针杆8夹持固定在活动板72上，利用与活动板72与固定板71的铰接，使的探针杆8能够一定角度的偏转，利用复位弹簧74的弹力，让探针杆8的一端向下偏移，从而方便与晶圆接触，同时给予探针杆8回转空间，能够进一步避免探针头9与晶圆的过度接触导致晶圆的破损以及探针头9的弯折损坏，提高检测稳定性与探针头9的使用寿命，保证测试探针台的正常使用，提高其使用寿命，提高半导体器件的测试结果精确性。
以上，仅为本发明较佳的具体实施方式；但本发明的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围内。
Claims (8)
1.半导体器件测试探针台，包括检测台(1)，其特征在于：所述检测台(1)的顶部设置有检测槽(2)，所述检测台(1)的顶部设置用操作台(3)，所述操作台(3)上安装有工作箱(4)，所述工作箱(4)的底部安装有调节装置(12)，所述调节装置(12)的底部固定安装有测试摄像头(5)，所述工作箱(4)的底部固定连接有两个电动推杆(6)，两个所述电动推杆(6)分别位于测试摄像头(5)的左右两侧，两个所述电动推杆(6)相对的一端均安装有安装架(7)，所述安装架(7)上安装有探针杆(8)，所述探针杆(8)的底端设置有探针头(9)，所述探针杆(8)与探针头(9)相对的一侧均固定连接有环形槽(10)，所述探针杆(8)与探针头(9)之间设置有橡胶连接块(11)，所述橡胶连接块(11)的两侧分别延伸至相邻的环形槽(10)的内侧并与环形槽(10)的内壁卡接。
2.根据权利要求1所述的半导体器件测试探针台，其特征在于：所述调节装置(12)包含有伺服电机(121)，所述伺服电机(121)固定安装于工作箱(4)的底部，所述伺服电机(121)的输出轴固定连接有转动盘(122)，所述转动盘(122)的顶部与工作箱(4)转动连接，所述转动盘(122)的底部固定连接有两个第一电动导轨(123)，两个所述第一电动导轨(123)之间安装有第二电动导轨(124)，所述第二电动导轨(124)的底部安装有安装板(125)，所述电动推杆(6)与测试摄像头(5)均安装于安装板(125)的底部。
3.根据权利要求1所述的半导体器件测试探针台，其特征在于：所述安装架(7)包含有固定板(71)，所述固定板(71)的一侧通过螺栓与电动推杆(6)固定连接，所述固定板(71)上铰接有活动板(72)，所述活动板(72)上通过螺丝固定连接有夹板(73)，所述探针杆(8)安装于活动板(72)与夹板(73)之间，所述活动板(72)与固定板(71)的铰接处固定安装有复位弹簧(74)。
4.根据权利要求3所述的半导体器件测试探针台，其特征在于：所述固定板(71)远离电动推杆(6)的一端向下弯折形成限制部(711)，所述限制部(711)的弯折部分位于活动板(72)与固定板(71)的铰接处。
5.根据权利要求1所述的半导体器件测试探针台，其特征在于：所述环形槽(10)的截面形状为凸形，所述橡胶连接块(11)的两侧均一体成型有卡环(111)，所述卡环(111)与环形槽(10)的形状相匹配。
6.根据权利要求1所述的半导体器件测试探针台，其特征在于：所述橡胶连接块(11)与探针杆(8)的内侧均开设有通线槽(13)，相邻的两个所述通线槽(13)相连通。
7.根据权利要求1所述的半导体器件测试探针台，其特征在于：所述检测台(1)上套接有防护罩(14)，所述防护罩(14)的内侧设置有空腔(15)。
8.根据权利要求1所述的半导体器件测试探针台，其特征在于：所述检测台(1)上固定安装有伺服马达(16)，所述伺服马达(16)的输出轴固定连接有螺纹套管(17)，所述螺纹套管(17)的内侧螺纹连接有推杆(18)，所述推杆(18)的顶端贯穿检测台(1)并延伸至检测槽(2)的内侧，所述推杆(18)的顶端固定连接有顶板(19)，所述推杆(18)与检测台(1)之间滑动连接。
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| CN202210306620.2A CN114636844A (zh) | 2022-03-25 | 2022-03-25 | 半导体器件测试探针台 |
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| CN202210306620.2A CN114636844A (zh) | 2022-03-25 | 2022-03-25 | 半导体器件测试探针台 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115825352A (zh) * | 2022-12-09 | 2023-03-21 | 南京博克纳自动化系统有限公司 | 一种探伤检测设备 |
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2022
- 2022-03-25 CN CN202210306620.2A patent/CN114636844A/zh active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN115825352A (zh) * | 2022-12-09 | 2023-03-21 | 南京博克纳自动化系统有限公司 | 一种探伤检测设备 |
| CN115825352B (zh) * | 2022-12-09 | 2024-03-26 | 南京博克纳自动化系统有限公司 | 一种探伤检测设备 |
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