CN214747867U - 一种薄膜厚度自动检测装置 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 53
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 9
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 8
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
本实用新型适用于薄膜厚度检测技术领域，提供了一种薄膜厚度自动检测装置，包括：下基座；上基座，相对所述下基座活动设置；驱动机构，用于驱动所述上基座沿着靠近或者远离所述下基座的方向移动；测量机构，安装在所述上基座上；以及固定机构，安装在所述基座上，所述固定机构的数量为多个且布设在测量机构的外围；所述固定机构包括伸缩固定单元以及用于连接所述伸缩固定单元和所述上基座的连接组件；所述伸缩固定单元上开设有至少一个气孔，所述气孔的出气方向朝向所述测量机构，从而达到对薄膜进行自动测量的同时，还可以自动对薄膜上的灰尘进行清理，使得检测数据更加精确，结构巧妙。
Description
技术领域
本实用新型属于薄膜厚度检测技术领域，尤其涉及一种薄膜厚度自动检测装置。
背景技术
不同厚度的薄膜具有不同强度的性能，现有的薄膜生产根据市场需求将薄膜厚度分为几类。
现有的薄膜厚度检测装置大多通过手持测量尺进行校验，保证薄膜厚度在允许的范围内，也有采用自动设备对薄膜进行自动测量。
现有的自动测量设备具有以下问题，即测量时，由于薄膜上可能出现灰尘等杂质，易导致检测探头测量数据出现误差。
实用新型内容
本实用新型实施例的目的在于提供一种薄膜厚度自动检测装置，旨在解决动设备对薄膜进行自动测量时，薄膜上可能出现灰尘等杂质，易导致检测探头测量数据出现误差的问题。
本实用新型实施例是这样实现的，一种薄膜厚度自动检测装置，所述装置包括：
下基座；
上基座，相对所述下基座活动设置；
驱动机构，用于驱动所述上基座沿着靠近或者远离所述下基座的方向移动；
测量机构，安装在所述上基座上；以及
固定机构，安装在所述基座上，所述固定机构的数量为多个且布设在测量机构的外围；
所述固定机构包括伸缩固定单元以及用于连接所述伸缩固定单元和所述上基座的连接组件；
所述伸缩固定单元上开设有至少一个气孔，所述气孔的出气方向朝向所述测量机构。
优选地，所述测量机构包括安装于上基座上的安装单元和安装于安装单元上的检测探头。
优选地，所述连接组件包括与上基座滑动连接的连接滑杆，所述连接滑杆靠近薄膜一端设置有安装座，安装座与伸缩固定单元连接，所述连接滑杆处于安装座与上基座之间的位置套设有弹性件。
优选地，所述连接滑杆延伸至上基座外并固定连接有限位块。
优选地，所述驱动机构包括与上基座固定连接的若干个螺杆，所述螺杆螺纹连接有螺套，螺套与下基座转动连接，相邻的所述螺套通过同步带连接，一个所述螺套通过动力组件驱动其旋转。
优选地，所述动力组件包括安装于螺套上的涡轮，涡轮啮合连接有蜗杆，蜗杆通过驱动件驱动其旋转。
优选地，所述伸缩固定单元为吸盘。
本实用新型实施例提供的一种薄膜厚度自动检测装置，通过上基座、下基座、测量机构、驱动机构和固定机构，达到对薄膜进行自动测量的同时，还可以自动对薄膜上的灰尘进行清理，使得检测数据更加精确，结构巧妙。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的一种薄膜厚度自动检测装置的结构示意图；
图2为本实用新型实施例提供的一种薄膜厚度自动检测装置中下基座的立体结构图；
图3为本实用新型实施例提供的一种薄膜厚度自动检测装置中螺杆、螺套的立体结构图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
以下结合具体实施例对本实用新型的具体实现进行详细描述。
如图1所示，为本实用新型的一个实施例提供的一种薄膜厚度自动检测装置的结构图，包括：
下基座12；
上基座1，相对所述下基座12活动设置；
驱动机构，用于驱动所述上基座1沿着靠近或者远离所述下基座12的方向移动；
测量机构，安装在所述上基座1上；以及
固定机构，安装在所述上基座1上，所述固定机构的数量为多个且布设在测量机构的外围；
所述固定机构包括伸缩固定单元8以及用于连接所述伸缩固定单元8和所述上基座1的连接组件；
所述伸缩固定单元8上开设有至少一个气孔，所述气孔的出气方向朝向所述测量机构。
在本实用新型实施例中，通过驱动机构带动上基座1移动从而带动测量机构对薄膜进行厚度检测，此时所述上基座81动作的同时带动连接组件从而带动伸缩固定单元8向薄膜靠近，伸缩固定单元8接触薄膜并对薄膜进行压紧，在伸缩固定单元8压缩的同时，伸缩固定单元8内的气流受到挤压从气孔排出，气流对薄膜上的灰尘进行清理，从而可以让测量机构进行准确测量。
如图1所示，作为本实用新型的一种优选实施例，所述测量机构包括安装于上基座1上的安装单元2和安装于安装单元2上的检测探头3。
在本实用新型实施例中，当所述驱动机构带动上基座1向薄膜靠近时，上基座1带动安装单元2从而带动检测探头3接触薄膜对薄膜进行厚度检验，此处须知，所述检测探头3为现有技术，并且所述检测探头3测量原理为以薄膜远离检测探头3的一面为基准点，进行数据化操控，为常规技术，在此不再赘述，当然此处也不只是一种测量方式和具体结构，仅仅是选用一种优选方案，只需要满足接触薄膜并对薄膜进行测量的条件即可。
如图1所示，作为本实用新型的另一种优选实施例，所述连接组件包括与上基座1滑动连接的连接滑杆4，所述连接滑杆4靠近薄膜一端设置有安装座7，安装座7与伸缩固定单元8连接，所述连接滑杆4处于安装座7与上基座1之间的位置套设有弹性件5。
在本实用新型实施例中，如图示方向，当所述驱动机构带动上基座1下降时，上基座1带动连接滑杆4下降，首先伸缩固定单元8接触薄膜，继续下降，伸缩固定单元8压缩，伸缩固定单元8内的气流受到挤压从气孔排出，气流对薄膜上的灰尘进行清理，从而可以让测量机构进行准确测量，此时所述弹性件5 处于压缩状态，当所述上基座1上升时，通过弹性件5的弹力可以驱动连接滑杆4复位。
在本实用新型的一个实施例中，所述伸缩固定单元8优选为吸盘，吸盘伸缩部分采用橡胶材质，既可以方便开设气孔，又有利于进行更换，属于常用的部件，当吸盘进行压缩时，通过气孔排气对薄膜上的灰尘进行清理，当吸盘复位时，洗盘通过气孔吸引外界气流，从而不会对薄膜吸引，从而造成带起薄膜的问题。
如图1所示，作为本实用新型的另一种优选实施例，所述连接滑杆4延伸测量机构外并固定连接有限位块6。
在本实用新型实施例中，通过设置限位块6，可以便于对连接滑杆4进行加以限定，避免连接滑杆4在滑动过程中脱离测量机构，起到一个限定的作用。
如图1-3所示，作为本实用新型的另一种优选实施例，所述驱动机构包括与上基座1连接的若干个螺杆9，所述螺杆9螺纹连接有螺套10，螺套10转动连接有下基座12，相邻的所述螺套10通过同步带连接，一个所述螺套10通过动力组件驱动其旋转。
在本实用新型实施例中，通过动力组件驱动螺套10旋转，螺套10旋转的同时通过同步带带动其他所述螺套10旋转，由于每个所述螺杆9通过上基座1 进行连接，因此无法随着螺套10旋转，因此螺杆9在螺套10旋转的时候，螺杆9带动上基座1移动。
在本实施例的一种情况中，所述下基座12的具体形状不加以限制，采用现有技术即可，所述下基座12固定连接有与螺套10转动连接的连接基座11，从而通过连接基座11对螺套10起到一个固定限定的作用。
如图1所示，作为本实用新型的另一种优选实施例，所述动力组件包括安装于螺套10上的涡轮13，涡轮13啮合连接有蜗杆14，蜗杆14通过驱动件驱动其旋转。
在本实用新型实施例中，通过驱动件带动蜗杆14旋转，蜗杆14带动涡轮13旋转，涡轮13带动螺套10旋转，螺套10从而进一步带动螺杆9移动，进而达到带动测量机构对薄膜进行测量。
实际情况中，所述驱动机构为伺服电机15，当然所述驱动机构也可以采用气缸、液压缸等常见的驱动方式，上述方式仅仅只是一种优选方案。
另外，通过设置控制箱16对电气部件进行控制，属于常规技术在此不再赘述。
本实用新型上述实施例中提供了一种薄膜厚度自动检测装置，通过上基座 1、下基座12、测量机构、驱动机构和固定机构，达到对薄膜进行自动测量的同时，还可以自动对薄膜上的灰尘进行清理，使得检测数据更加精确，结构巧妙。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种薄膜厚度自动检测装置，其特征在于，所述装置包括：
下基座；
上基座，相对所述下基座活动设置；
驱动机构，用于驱动所述上基座沿着靠近或者远离所述下基座的方向移动；
测量机构，安装在所述上基座上；以及
固定机构，安装在所述基座上，所述固定机构的数量为多个且布设在测量机构的外围；
所述固定机构包括伸缩固定单元以及用于连接所述伸缩固定单元和所述上基座的连接组件；
所述伸缩固定单元上开设有至少一个气孔，所述气孔的出气方向朝向所述测量机构。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜厚度自动检测装置，其特征在于，所述测量机构包括安装于上基座上的安装单元以及安装于安装单元上的检测探头。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜厚度自动检测装置，其特征在于，所述连接组件包括与上基座滑动连接的连接滑杆，所述连接滑杆靠近薄膜一端设置有安装座，安装座上与伸缩固定单元连接，所述连接滑杆处于安装座与上基座之间的位置套设有弹性件。
4.根据权利要求3所述的一种薄膜厚度自动检测装置，其特征在于，所述连接滑杆延伸至上基座外并固定连接有限位块。
5.根据权利要求1所述的一种薄膜厚度自动检测装置，其特征在于，所述驱动机构包括与上基座固定连接的若干个螺杆，所述螺杆螺纹连接有螺套，螺套与下基座转动连接，相邻的所述螺套通过同步带连接，一个所述螺套通过动力组件驱动其旋转。
6.根据权利要求5所述的一种薄膜厚度自动检测装置，其特征在于，所述动力组件包括安装于螺套上的涡轮，涡轮啮合连接有蜗杆，蜗杆通过驱动件驱动其旋转。
7.根据权利要求1-6任一所述的一种薄膜厚度自动检测装置，其特征在于，所述伸缩固定单元为吸盘。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120845029.5U CN214747867U (zh) | 2021-04-23 | 2021-04-23 | 一种薄膜厚度自动检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120845029.5U CN214747867U (zh) | 2021-04-23 | 2021-04-23 | 一种薄膜厚度自动检测装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN214747867U true CN214747867U (zh) | 2021-11-16 |
Family
ID=78612411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202120845029.5U Expired - Fee Related CN214747867U (zh) | 2021-04-23 | 2021-04-23 | 一种薄膜厚度自动检测装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN214747867U (zh) |
-
2021
- 2021-04-23 CN CN202120845029.5U patent/CN214747867U/zh not_active Expired - Fee Related
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