CN219434022U - 一种激光芯片性能测试机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种激光芯片性能测试机构，属于激光芯片性能测试设备技术领域，工作台和固定安装在工作台上表面的安装板，安装板上转动安装有微调丝杆，安装板上固定安装有微型电机，微型电机的输出端与微调丝杆的一端固定连接，工作台的上表面固定安装有固定板，微调丝杆远离安装板的一端与固定板转动连接，固定板上开设有滑槽且滑槽内滑动安装有滑块，微调丝杆的外表面螺纹安装有滑套，滑套的两侧均铰接有铰接杆，铰接杆的另一端与同侧的滑块相铰接；从而通过对比若干个激光位移传感器的读数即可以确定激光芯片的平整度情况和弯曲部分的具体位置，达到对激光芯片进行的测试目的。

Description

一种激光芯片性能测试机构

技术领域

本实用新型属于激光芯片性能测试设备技术领域，具体涉及一种激光芯片性能测试机构。

背景技术

激光芯片在生产加工过程中需要经过硅晶圆制造、IC设计、IC制造、IC封测等一系列过程，最终制成一小片芯片，在激光芯片生产后需要对激光芯片的各项性能进行测试。

在激光芯片的性能测试中包括对激光芯片的平整度进行检测，以避免由于平整度误差较大可能会出现激光芯片受到外力时力量分布不均匀，导致断裂的情况发生，或者是在自动贴片生产线上由干芯片平面度不符合公差标准，导致抓取位置产生偏移，进而出现贴片位置出错、引脚压弯的情况。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种激光芯片性能测试机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种激光芯片性能测试机构，包括工作台和固定安装在工作台上表面的安装板，所述安装板上转动安装有微调丝杆，所述安装板上固定安装有微型电机，所述微型电机的输出端与微调丝杆的一端固定连接，所述工作台的上表面固定安装有固定板，所述微调丝杆远离安装板的一端与固定板转动连接，所述固定板上开设有滑槽且滑槽内滑动安装有滑块，所述微调丝杆的外表面螺纹安装有滑套，所述滑套的两侧均铰接有铰接杆，所述铰接杆的另一端与同侧的滑块相铰接，所述滑块上固定安装有U形板，所述U形板上设置有测试组件，所述工作台的上表面固定安装有若干个电动推杆，若干个电动推杆的顶端固定安装有同一个放置板，所述U形板上固定安装有若干个伸缩杆，若干个所述伸缩杆的端部固定安装有同一个夹持板。

采用上述方案，通过设置微调丝杆、微型电机、滑槽、滑块、滑套和铰接杆，微型电机带动微调丝杆转动，微调丝杆转动带动滑套运动，滑套运动通过两侧的铰接杆带动两个滑块互相靠近，两个滑块互相靠近带动两侧的U形板和夹持板互相靠近，从而可以对放置在放置板上的激光芯片进行贴合限位，操作简单，使用方便。

作为一种优选的实施方式，所述测试组件包括若干个滑杆，所述U形板上开设有若干个插孔，所述滑杆滑动在插孔内，所述U形板的上表面固定安装安装架，所述安装架内壁上安装有若干个激光位移传感器。

采用上述方案，电动推杆通过推动放置板带动放置在放置板上的待测试激光芯片向上运动，当激光芯片与橡胶防护垫相接触时，在电动推杆的推动下会通过橡胶防护垫带动滑杆向上运动，滑杆在向上运动的过程中，通过与之对应的激光位移传感器显示其位移距离，若干个位置处激光位移传感器读数一样，说明激光芯片平整度良好，激光位移传感器读数较大位置处说明该处凹陷，激光位移传感器读数较小的位置处说明该处凸起，从而通过对比若干个激光位移传感器的读数即可以确定激光芯片的平整度情况和弯曲部分的具体位置，达到对激光芯片进行的测试目的。

作为一种优选的实施方式，所述滑杆的底端固定安装有橡胶防护垫。

采用上述方案，通过设置橡胶防护垫可以对芯片进行保护，避免在测试时滑杆与激光芯片时对激光芯片造成损伤。

作为一种优选的实施方式，所述滑杆的外表面套设有第一弹簧，所述第一弹簧的两端分别与橡胶防护垫和U形板内壁固定连接。

采用上述方案，通过设置第一弹簧，可以利用第一弹簧的弹性在测试结束后便于滑杆快速回归原位。

作为一种优选的实施方式，所述滑杆和激光位移传感器一一对应布设。

采用上述方案，便于确定激光芯片弯曲部分的具体位置。

作为一种优选的实施方式，所述伸缩杆外套设有第二弹簧，所述第二弹簧的两端分别与夹持板和U形板内壁固定连接。

采用上述方案，通过设置第二弹簧，利用第二弹簧自身弹性可以对激光芯片进行缓冲防护，避免在贴合限位的过程中对激光芯片造成损伤。

作为一种优选的实施方式，所述滑槽内固定安装有导杆，所述滑块滑动在导杆的外表面。

采用上述方案，通过设置导杆可以对滑块的运动进行导向限位，提高滑块运动的稳定性。

作为一种优选的实施方式，所述U形板的下表面具有凸出部，所述U形板的凸出部滑动安装在工作台上表面开设的导向槽内。

采用上述方案，通过凸出部和导向槽配合使用，可以对U形板的运动进行限位导向，进一步提高U形板运动的稳定性。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

该一种激光芯片性能测试机构通过设置电动推杆、放置板、U形板和测试组件，电动推杆通过推动放置板带动放置在放置板上的待测试激光芯片向上运动，当激光芯片与橡胶防护垫相接触时，在电动推杆的推动下会通过橡胶防护垫带动滑杆向上运动，滑杆在向上运动的过程中，通过与之对应的激光位移传感器显示其位移距离，若干个位置处激光位移传感器读数一样，说明激光芯片平整度良好，激光位移传感器读数较大位置处说明该处凹陷，激光位移传感器读数较小的位置处说明该处凸起，从而通过对比若干个激光位移传感器的读数即可以确定激光芯片的平整度情况和弯曲部分的具体位置，达到对激光芯片进行的测试目的；

该一种激光芯片性能测试机构通过设置微调丝杆、微型电机、滑槽、滑块、滑套和铰接杆，微型电机带动微调丝杆转动，微调丝杆转动带动滑套运动，滑套运动通过两侧的铰接杆带动两个滑块互相靠近，两个滑块互相靠近带动两侧的U形板和夹持板互相靠近，从而可以对放置在放置板上的激光芯片进行贴合限位，操作简单，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的工作台另一角度结构示意图；

图3为本实用新型的测试组件结构示意图；

图4为本实用新型的U形板剖面结构示意图；

图5为本实用新型的图1中A处放大结构示意图。

图中：1、工作台；2、安装板；3、微调丝杆；4、微型电机；5、固定板；6、伸缩杆；7、滑块；8、滑套；9、测试组件；901、滑杆；902、安装架；903、激光位移传感器；904、橡胶防护垫；905、第一弹簧；10、铰接杆；11、U形板；12、电动推杆；13、放置板；14、导杆；15、导向槽；16、夹持板；17、第二弹簧。

实施方式

请参阅图1-5，本实用新型提供一种激光芯片性能测试机构，包括工作台1和固定安装在工作台1上表面的安装板2，安装板2上转动安装有微调丝杆3，安装板2上固定安装有微型电机4，微型电机4的输出端与微调丝杆3的一端固定连接，工作台1的上表面固定安装有固定板5，微调丝杆3远离安装板2的一端与固定板5转动连接，固定板5上开设有滑槽且滑槽内滑动安装有滑块7，微调丝杆3的外表面螺纹安装有滑套8，滑套8的两侧均铰接有铰接杆10，铰接杆10的另一端与同侧的滑块7相铰接，滑块7上固定安装有U形板11，U形板11上设置有测试组件9，工作台1的上表面固定安装有若干个电动推杆12，若干个电动推杆12的顶端固定安装有同一个放置板13，U形板11上固定安装有若干个伸缩杆6，若干个伸缩杆6的端部固定安装有同一个夹持板16，微型电机4带动微调丝杆3转动，微调丝杆3转动带动滑套8运动，滑套8运动通过两侧的铰接杆10带动两个滑块7互相靠近，两个滑块7互相靠近带动两侧的U形板11和夹持板16互相靠近，从而可以对放置在放置板13上的激光芯片进行贴合限位，操作简单，使用方便。

其中，测试组件9包括若干个滑杆901，U形板11上开设有若干个插孔，滑杆901滑动在插孔内，U形板11的上表面固定安装安装架902，安装架902内壁上安装有若干个激光位移传感器903，电动推杆12通过推动放置板13带动放置在放置板13上的待测试激光芯片向上运动，当激光芯片与橡胶防护垫904相接触时，在电动推杆12的推动下会通过橡胶防护垫904带动滑杆901向上运动，滑杆901在向上运动的过程中，通过与之对应的激光位移传感器903显示其位移距离，若干个位置处激光位移传感器903读数一样，说明激光芯片平整度良好，激光位移传感器903读数较大位置处说明该处凹陷，激光位移传感器903读数较小的位置处说明该处凸起，从而通过对比若干个激光位移传感器903的读数即可以确定激光芯片的平整度情况和弯曲部分的具体位置，达到对激光芯片进行的测试目的。

其中，滑杆901的底端固定安装有橡胶防护垫904，橡胶防护垫904可以对芯片进行保护，避免在测试时滑杆901与激光芯片时对激光芯片造成损伤。

其中，滑杆901的外表面套设有第一弹簧905，第一弹簧905的两端分别与橡胶防护垫904和U形板11内壁固定连接，可以利用第一弹簧905的弹性在测试结束后便于滑杆901快速回归原位。

其中，滑杆901和激光位移传感器903一一对应布设，便于确定激光芯片弯曲部分的具体位置。

其中，伸缩杆6外套设有第二弹簧17，第二弹簧17的两端分别与夹持板16和U形板11内壁固定连接，利用第二弹簧17自身弹性可以在对激光芯片进行缓冲防护，避免在贴合的过程中对激光芯片造成损伤。

其中，滑槽内固定安装有导杆14，滑块7滑动在导杆14的外表面，导杆14可以对滑块7的运动进行导向限位，提高滑块7运动的稳定性。

其中，U形板11的下表面具有凸出部，U形板11的凸出部滑动安装在工作台1上表面开设的导向槽15内，凸出部和导向槽15配合使用，可以对U形板11的运动进行限位导向，进一步提高U形板11运动的稳定性。

在使用时，将待测试的激光芯片放置在放置板13上，启动微型电机4，微型电机4带动微调丝杆3转动，微调丝杆3转动带动滑套8运动，滑套8运动通过两侧的铰接杆10并配合滑槽和导杆14带动两个滑块7互相靠近，两个滑块7互相靠近带动两侧的U形板11和夹持板16互相靠近，使得两侧的夹持板16分别与激光芯片的两侧相贴合，然后启动电动推杆12，电动推杆12通过推动放置板13带动放置在放置板13上的待测试激光芯片向上运动，当激光芯片与橡胶防护垫904相接触时，在电动推杆12的推动下会通过橡胶防护垫904带动滑杆901向上运动，滑杆901在向上运动的过程中，通过与之对应的激光位移传感器903显示其位移距离，若干个位置处激光位移传感器903读数一样，说明激光芯片平整度良好，激光位移传感器903读数较大位置处说明该处凹陷，激光位移传感器903读数较小的位置处说明该处凸起，从而通过对比若干个激光位移传感器903的读数即可以确定激光芯片的平整度情况和弯曲部分的具体位置，达到对激光芯片进行的测试目的，操作简单，使用方便。

Claims (8)

1.一种激光芯片性能测试机构，其特征在于：包括工作台（1）和固定安装在工作台（1）上表面的安装板（2），所述安装板（2）上转动安装有微调丝杆（3），所述安装板（2）上固定安装有微型电机（4），所述微型电机（4）的输出端与微调丝杆（3）的一端固定连接，所述工作台（1）的上表面固定安装有固定板（5），所述微调丝杆（3）远离安装板（2）的一端与固定板（5）转动连接，所述固定板（5）上开设有滑槽且滑槽内滑动安装有滑块（7），所述微调丝杆（3）的外表面螺纹安装有滑套（8），所述滑套（8）的两侧均铰接有铰接杆（10），所述铰接杆（10）的另一端与同侧的滑块（7）相铰接，所述滑块（7）上固定安装有U形板（11），所述U形板（11）上设置有测试组件（9），所述工作台（1）的上表面固定安装有若干个电动推杆（12），若干个电动推杆（12）的顶端固定安装有同一个放置板（13），所述U形板（11）上固定安装有若干个伸缩杆（6），若干个所述伸缩杆（6）的端部固定安装有同一个夹持板（16）。

2.根据权利要求1所述的一种激光芯片性能测试机构，其特征在于：所述测试组件（9）包括若干个滑杆（901），所述U形板（11）上开设有若干个插孔，所述滑杆（901）滑动在插孔内，所述U形板（11）的上表面固定安装安装架（902），所述安装架（902）内壁上安装有若干个激光位移传感器（903）。

3.根据权利要求2所述的一种激光芯片性能测试机构，其特征在于：所述滑杆（901）的底端固定安装有橡胶防护垫（904）。

4.根据权利要求3所述的一种激光芯片性能测试机构，其特征在于：所述滑杆（901）的外表面套设有第一弹簧（905），所述第一弹簧（905）的两端分别与橡胶防护垫（904）和U形板（11）内壁固定连接。

5.根据权利要求2所述的一种激光芯片性能测试机构，其特征在于：所述滑杆（901）和激光位移传感器（903）一一对应布设。

6.根据权利要求1所述的一种激光芯片性能测试机构，其特征在于：所述伸缩杆（6）外套设有第二弹簧（17），所述第二弹簧（17）的两端分别与夹持板（16）和U形板（11）内壁固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种激光芯片性能测试机构，其特征在于：所述滑槽内固定安装有导杆（14），所述滑块（7）滑动在导杆（14）的外表面。

8.根据权利要求1所述的一种激光芯片性能测试机构，其特征在于：所述U形板（11）的下表面具有凸出部，所述U形板（11）的凸出部滑动安装在工作台（1）上表面开设的导向槽（15）内。