CN215768862U - 一种半导体绝缘测试治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型适用于半导体测试技术领域，提供了一种半导体绝缘测试治具，包括框体、探针、升降机构、夹持机构和调节机构，所述升降机构滑动安装于框体上，与所述夹持机构滑动连接，且所述升降机构工作时调节夹持机构的位置；所述夹持机构与框体侧壁滑动连接，用于对不同类型的半导体元件进行固定，以便快速更换元件；所述调节机构安装于框体的内壁上，用以调节探针的位置，本测试治具在半导体绝缘测试的过程中定位简单，能够快速完成多种半导体元件的更换工作，从而提高测试效率，并通过推动元件的移动方式替代探针的升降，能够有效避免测试过程中对元件造成的损坏。

Description

一种半导体绝缘测试治具

技术领域

本实用新型属于半导体测试技术领域，尤其涉及一种半导体绝缘测试治具。

背景技术

半导体常温下的导电性能介于导体与绝缘体之间，在集成电路、消费电子、通讯系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，对科技或经济发展具有重要意义。半导体元件在投入使用之前需要进行测试，目前的测试治具通常在抽拉过程中完成对元件的更换工作，探针下降与之接触进行测试，存在更换时间长测试时间相对短以及容易损坏元件的情况。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于提供一种半导体绝缘测试治具，旨在解决现有的治具不便于快速更换半导体元件及测试过程中对元件造成损坏的技术问题。

本实用新型实施例是这样实现的，包括框体和探针，还包括：

升降机构，所述升降机构滑动安装于框体上，与所述夹持机构滑动连接，且所述升降机构工作时调节夹持机构的位置；

夹持机构，所述夹持机构与框体侧壁滑动连接，用于对不同类型的半导体元件进行固定，以便快速更换元件；以及

调节机构，所述调节机构安装于框体的内壁上，用以调节探针的位置。

优选地，所述升降机构包括驱动组件和执行组件；

所述驱动组件包括伸缩件、设置于伸缩件顶端的限位杆、以及与所述限位杆滑动连接的活动板；

所述伸缩件的一端与框体固定连接，另一端与安装架铰接，且所述安装架与限位杆铰接；

所述活动板转动安装于所述框体上，其侧面设置有齿并与执行组件啮合。

优选地，所述执行组件包括齿板；

所述齿板的底端与框体以及框体底部的支座在高度方向滑动连接；

所述齿板的顶端与夹持机构在水平方向滑动连接。

优选地，所述夹持机构包括传动轴、设置于传动轴上的齿轮一和齿轮二、与所述齿轮一啮合的L形板一、与所述齿轮二啮合的L形板二；

所述L形板一和L形板二上设置有导向槽，且L形板一和L形板二通过定位柱相连接；

所述L形板一和L形板二上安装有凸起板，凸起板相对的一侧设置有压力板；

所述L形板一和L形板二的侧面安装有导向杆，所述导向杆与齿板滑动连接，且框体的外壁在高度方向设置有供所述导向杆滑动的限位槽。

优选地，所述压力板上粘接有绝缘层，用于避免所述凸起板在靠拢时导电。

优选地，所述调节机构包括安装盘，

所述安装盘上设置有多个连接孔，其内安装有探针；

所述安装盘中部的凹槽内安装有磁极一，所述框体的内壁上位于磁极一两侧设置有磁性相反的磁极二。

本实用新型实施例提供的一种半导体绝缘测试治具，本测试治具在半导体绝缘测试的过程中定位简单，能够快速完成多种半导体元件的更换工作，从而提高测试效率，并通过推动元件的移动方式替代探针的升降，能够有效避免测试过程中对元件造成的损坏。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种半导体绝缘测试治具的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种半导体绝缘测试治具夹持机构俯视图；

图3为图1中A处局部放大图；

图4为本实用新型实施例提供的一种半导体绝缘测试治具中安装盘的立体结构示意图；

附图中：1、框体；2、伸缩件；3、安装架；4、限位杆；5、活动板；6、齿板；7、传动轴；8、齿轮一；9、L形板一；10、齿轮二；11、L形板二；12、导向槽；13、定位柱；14、凸起板；15、压力板；16、导向杆；17、限位槽；18、安装盘；19、连接孔；20、凹槽；21、磁极一；22、磁极二；23、探针；24、支座；100、升降机构；200、夹持机构；300、调节机构。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

以下结合具体实施例对本实用新型的具体实现进行详细描述。

如图1所示，为本实用新型的一个实施例提供的一种半导体绝缘测试治具的结构图，包括框体1、探针23、升降机构100、夹持机构200和调节机构300，所述升降机构100滑动安装于框体1上，与所述夹持机构200滑动连接，且所述升降机构100工作时调节夹持机构200的位置；所述夹持机构200与框体1侧壁滑动连接，用于对不同类型的半导体元件进行固定，以便快速更换元件；所述调节机构300安装于框体1的内壁上，用以调节探针23的位置。

在本实用新型的一个实施例中，本测试治具在半导体绝缘测试的过程中定位简单，能够快速完成多种半导体元件的更换工作，从而提高测试效率，并通过推动元件的移动方式替代探针23的升降，能够有效避免测试过程中对元件造成的损坏。

在本实用新型的一个实例中，本实施例中所述夹持机构200通过外置的电机驱动，在升降机构100的推动下沿其表面水平滑动，并在升降的过程中沿着框体1的外壁滑动，避免发生运动干涉。

如图1所示，作为本实用新型的一种优选实施例，所述升降机构100包括驱动组件和执行组件；

所述驱动组件包括伸缩件2、设置于伸缩件2顶端的限位杆4、以及与所述限位杆4滑动连接的活动板5；

所述伸缩件2的一端与框体1固定连接，另一端与安装架3铰接，且所述安装架3与限位杆4铰接；

所述活动板5转动安装于所述框体1上，其侧面设置有齿并与执行组件啮合。

在本实用新型的一个实例中，所述伸缩件2在本实施例中可以选用气缸、液压缸、电动伸缩杆等设备，当伸缩件2工作时拉动安装架3进而带动限位杆4摆动，从而带动活动板5沿着框体1摆动，进而带动执行组件在高度方向滑动。

如图1所示，作为本实用新型的另一种优选实施例，所述执行组件包括齿板6；

所述齿板6的底端与框体1以及框体1底部的支座24在高度方向滑动连接；

所述齿板6的顶端与夹持机构200在水平方向滑动连接。

框体在本实用新型的一个实例中，当所述齿板6沿着框体1滑动时，底端沿着穿过框体1沿支座24运动，其顶端推动夹持机构200升降。

如图2所示，作为本实用新型的另一种优选实施例，所述夹持机构200包括传动轴7、设置于传动轴7上的齿轮一8和齿轮二10、与所述齿轮一8啮合的L形板一9、与所述齿轮二10啮合的L形板二11；

所述L形板一9和L形板二11上设置有导向槽12，且L形板一9和L形板二11通过定位柱13相连接；

所述L形板一9和L形板二11上安装有凸起板14，凸起板14相对的一侧设置有压力板15；

所述L形板一9和L形板二11的侧面安装有导向杆16，所述导向杆16与齿板6滑动连接，且框体1的外壁在高度方向设置有供所述导向杆16滑动的限位槽17。

在本实用新型的一个实例中，所述传动轴17通过外接的电机驱动转动，并带动齿轮一8和齿轮二10一起运动，其中齿轮一8带动L形板一9平动，齿轮二10带动L形板二11沿着L形板一9滑动，导向杆16在沿着齿板6滑动的同时在升降机构100的推动下沿着限位槽17滑动，凸起板14运动完成对半导体元件的夹持或更换工作。

如图2所示，作为本实用新型的另一种优选实施例，所述压力板15上粘接有绝缘层，用于避免所述凸起板14在靠拢时导电；

所述压力板15上设置有对力进行检测的传感器，且传感器与外置的处理器电性连接，防止在夹持的过程中对半导体元件造成损坏。

在本实用新型的一个实例中，压力板15在更换半导体元件的过程中通过设置的传感器对夹持力的大小进行检测，将检测结果传递给处理器进行数据化分析，能够及时控制夹持过程。

如图3和图4所示，作为本实用新型的另一种优选实施例，所述调节机构300包括安装盘18，

所述安装盘18上设置有多个连接孔19，其内安装有探针23；

所述安装盘18中部的凹槽20内安装有磁极一21，所述框体1的内壁上位于磁极一21两侧设置有磁性相反的磁极二22。

在本实用新型的一个实例中，使用时，预先将探针23装在安装盘18上，利用磁极一21和磁极二22磁性相反的性质，将安装盘18快速固定在框体1上，能够在半导体元件升降的过程中对其不同位置进行测试。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.一种半导体绝缘测试治具，包括框体和探针，其特征在于，还包括：

升降机构，所述升降机构滑动安装于框体上，与夹持机构滑动连接，且所述升降机构工作时调节夹持机构的位置；

夹持机构，所述夹持机构与框体侧壁滑动连接，用于对不同类型的半导体元件进行固定，以便快速更换元件；以及

调节机构，所述调节机构安装于框体的内壁上，用以调节探针的位置。

2.根据权利要求1所述的半导体绝缘测试治具，其特征在于，所述升降机构包括驱动组件和执行组件；

所述驱动组件包括伸缩件、设置于伸缩件顶端的限位杆、以及与所述限位杆滑动连接的活动板；

所述伸缩件的一端与框体固定连接，另一端与安装架铰接，且所述安装架与限位杆铰接；

所述活动板转动安装于所述框体上，其侧面设置有齿并与执行组件啮合。

3.根据权利要求2所述的半导体绝缘测试治具，其特征在于，所述执行组件包括齿板；

所述齿板的底端与框体以及框体底部的支座在高度方向滑动连接；

所述齿板的顶端与夹持机构在水平方向滑动连接。

4.根据权利要求1所述的半导体绝缘测试治具，其特征在于，所述夹持机构包括传动轴、设置于传动轴上的齿轮一和齿轮二、与所述齿轮一啮合的L形板一、与所述齿轮二啮合的L形板二；

所述L形板一和L形板二上设置有导向槽，且L形板一和L形板二通过定位柱相连接；

所述L形板一和L形板二上安装有凸起板，凸起板相对的一侧设置有压力板；

所述L形板一和L形板二的侧面安装有导向杆，所述导向杆与齿板滑动连接，且框体的外壁在高度方向设置有供所述导向杆滑动的限位槽。

5.根据权利要求4所述的半导体绝缘测试治具，其特征在于，所述压力板上粘接有绝缘层，用于避免所述凸起板在靠拢时导电。

6.根据权利要求1所述的半导体绝缘测试治具，其特征在于，所述调节机构包括安装盘，

所述安装盘上设置有多个连接孔，其内安装有探针；

所述安装盘中部的凹槽内安装有磁极一，所述框体的内壁上位于磁极一两侧设置有磁性相反的磁极二。

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