CN114505989A - 树脂供给装置、树脂密封装置和树脂密封品的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可抑制缺陷的产生的树脂供给装置、树脂密封装置和树脂密封品的制造方法。一种树脂供给装置，向配置有分别排列在第一方向和与第一方向交叉的第二方向上的元件的工件上供给树脂，所述树脂供给装置包括：取得部，取得工件上的元件的配置信息；供给部，向工件上供给树脂；算出部，基于配置信息算出树脂供给图案；以及驱动部，沿着树脂供给图案，使工件和供给部中的至少一者相对于另一者相对地移动，树脂供给图案具有沿着第一方向延伸的多个线状路径，多个线状路径中的相互邻接的线状路径之间的区域向工件的外侧开放。

Description

树脂供给装置、树脂密封装置和树脂密封品的制造方法

技术领域

本发明涉及一种树脂供给装置、树脂密封装置和树脂密封品的制造方法。

背景技术

已知通过压缩成形对工件进行树脂密封。利用此种压缩成形的树脂密封装置一般包括向工件上供给树脂的树脂供给装置、以及将树脂在工件上展开并进行加热加压的树脂密封模具。

此处，专利文献1中公开了关于由所述树脂供给装置供给的树脂供给图案，在为真空状态的腔室内形成螺旋状或格子状的树脂供给图案。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2018-134846号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，即使如专利文献1中记载的树脂供给装置那样在真空腔室内供给树脂，在进行成形的模具内存在空气或由树脂产生的气体的情况下，其也会被卷入树脂中，有时会产生填充不良引起的气穴(air trap)或空隙之类的缺陷。

本发明是鉴于此种情况而成，本发明的目的在于提供一种可抑制缺陷的产生的树脂供给装置、树脂密封装置和树脂密封品的制造方法。

解决问题的技术手段

本发明的一实施例的树脂供给装置是向配置有分别排列在第一方向和与第一方向交叉的第二方向上的元件的工件上供给树脂的树脂供给装置，包括：取得部，取得工件上的元件的配置信息；供给部，向工件上供给树脂；算出部，基于配置信息算出树脂供给图案；以及驱动部，沿着树脂供给图案，使工件和供给部中的至少一者相对于另一者相对地移动，树脂供给图案具有沿着第一方向延伸的多个线状路径，多个线状路径中的相互邻接的线状路径之间的区域向工件的外侧开放。

根据所述实施例，邻接的线状路径之间的区域作为用于排气的流路发挥作用，因此可抑制树脂展开时的空气或气体的卷入，可抑制填充不良引起的缺陷的产生。

所述实施例中，多个线状路径可相对于第一方向平行地延伸。

所述实施例中，多个线状路径可具有第一线状路径、与第一线状路径邻接的第二线状路径、以及与第二线状路径邻接的第三线状路径，在第一方向的一端侧，第一线状路径和第二线状路径相互连接，在第一方向的另一端侧，第二线状路径和第三线状路径相互连接。

所述实施例中，树脂供给图案可为连续的一条线状。

所述实施例中，多个线状路径中的至少一个可在第二方向上邻接的元件之间的区域上延伸。

所述实施例中，多个线状路径中的至少一个可在排列在第一方向上的元件上延伸。

所述实施例中，多个线状路径中的相互邻接的线状路径可延伸至到达工件上的最外缘的元件。

所述实施例中，多个线状路径中的相互邻接的线状路径除了工件上的最外缘的元件以外，可延伸至到达较最外缘的元件更靠内侧的元件。

所述实施例中，工件上的元件可包含大小不同的两种以上的元件，多个线状路径在工件上的元件中比其他元件小的元件上延伸。

所述实施例中，供给部也可为供给液状的树脂的分配器。

本发明的一实施例的树脂密封装置包括所述实施例中的任一实施例的树脂供给装置、以及对工件上的元件进行树脂密封的树脂密封模具，树脂密封模具具有设置有填充树脂的模腔的上模、和放置工件的下模，合模后的树脂密封模具在上模与下模之间具有排出模腔内的空气的多个排气口。

所述实施例中，多个排气口中的至少一个可设置在多个线状路径上的相互邻接的线状路径之间的区域的延长线上。

根据所述实施例，在合模并对树脂进行加热加压时，设置在线状路径之间的区域的延长线上的排气口在相互邻接的线状路径之间的区域被树脂填满之前不会堵塞，可从树脂密封模具的内部排气。

本发明的一实施例的树脂密封品的制造方法是如下树脂密封品的制造方法：包括向配置有分别排列在第一方向和与第一方向交叉的第二方向上的元件的工件上供给树脂，向工件上供给树脂包括：取得工件上的元件的配置信息；基于配置信息算出树脂供给图案；以及沿着树脂供给图案向工件上供给树脂，树脂供给图案具有沿着第一方向延伸的多个线状路径，多个线状路径中的相互邻接的线状路径之间的区域向工件的外侧开放。

根据所述实施例，邻接的线状路径之间的区域作为用于排气的流路发挥作用，因此可抑制树脂展开时的空气或气体的卷入，可抑制填充不良引起的缺陷的产生。

本发明的一实施例的树脂供给装置是向隔离膜上供给用于工件的密封用途的树脂的树脂供给装置，所述工件配置有分别排列在第一方向和与第一方向交叉的第二方向上的元件，所述树脂供给装置包括：取得部，取得工件上的元件的配置信息；供给部，向隔离膜上供给树脂；算出部，基于配置信息算出树脂供给图案；以及驱动部，沿着树脂供给图案，使隔离膜和供给部中的至少一者相对于另一者相对地移动，树脂供给图案具有沿着第一方向延伸的多个线状路径，多个线状路径中的相互邻接的线状路径之间的区域向隔离膜的外侧开放。

根据所述实施例，邻接的线状路径之间的区域作为用于排气的流路发挥作用，因此可抑制树脂展开时的空气或气体的卷入，可抑制填充不良引起的缺陷的产生。

本发明的一实施例的树脂密封装置包括所述实施例的树脂供给装置、以及对工件上的元件进行树脂密封的树脂密封模具，树脂密封模具具有设置有填充树脂的模腔且放置隔离膜的下模、和放置工件的上模，在上模与下模之间形成有排出模腔内的空气的排气口。

根据所述实施例，在合模并对树脂进行加热加压时，设置在线状路径之间的区域的延长线上的排气口在相互邻接的线状路径之间的区域被树脂填满之前不会堵塞，可从树脂密封模具的内部排气。

本发明的一实施例的树脂密封品的制造方法是如下树脂密封品的制造方法：包括向隔离膜上供给用于工件的密封的树脂，所述工件配置有分别排列在第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向上的元件，向隔离膜上供给树脂包括：取得工件上的元件的配置信息；基于配置信息算出树脂供给图案；沿着树脂供给图案向隔离膜上供给树脂；以及将隔离膜上的树脂按压在工件，树脂供给图案具有沿着第一方向延伸的多个线状路径，多个线状路径中的相互邻接的线状路径之间的区域向工件的外侧开放。

根据所述实施例，邻接的线状路径之间的区域作为用于排气的流路发挥作用，因此可抑制树脂展开时的空气或气体的卷入，可抑制填充不良引起的缺陷的产生。

发明的效果

根据本发明，可提供一种可抑制缺陷的产生的树脂供给装置、树脂密封装置和树脂密封品的制造方法。

附图说明

图1是概略性地表示第一实施方式的树脂密封装置的结构的图。

图2是概略性地表示树脂密封模具内的工件和树脂供给图案的平面图。

图3是表示使用第一实施方式的树脂密封装置的树脂密封品的制造方法的流程图。

图4是概略性地表示刚放置在树脂密封模具的内部后的工件上的树脂的剖面图。

图5是概略性地表示通过树脂密封模具展开的途中的树脂的剖面图。

图6是概略性地表示通过加热加压填充到模腔内的树脂的剖面图。

图7是概略性地表示变形例的树脂供给图案的平面图。

图8是概略性地表示其他变形例的树脂供给图案的平面图。

图9是概略性地表示其他变形例的树脂供给图案的平面图。

图10是概略性地表示其他变形例的树脂供给图案的平面图。

图11是概略性地表示其他变形例的树脂供给图案的平面图。

图12是概略性地表示其他变形例的树脂供给图案的平面图。

图13是概略性地表示第二实施方式的树脂密封装置的结构的图。

图14是表示使用第二实施方式的树脂密封装置的树脂密封品的制造方法的流程图。

符号的说明

1、8：树脂密封装置

10、20、30、40、50、60、70：工件

10A、10B、20B：外部区域

11、21、71：基板

12、22、32、42、52A、52B：元件

13、23、53、73：树脂

14、24、34、44、54、64、74：线状路径

14A：第一线状路径

14B：第二线状路径

14C：第三线状路径

15、25：中继路径

15A：第一中继路径

15B：第二中继路径

19、39、49、69：线状路径之间的区域

19A：第一线状路径与第二线状路径之间的区域

19B：第二线状路径与第三线状路径之间的区域

100：树脂供给装置

110：取得部

120：供给部

121：注射器

122：推杆(活塞)

122M：第四马达

123：夹紧阀

130：算出部

140：驱动部

141：上基座部

142：第一移动部

142M：第一马达

143：第二移动部

143M：第二马达

144：第三移动部

144M：第三马达

150：载物台

200、800：树脂密封模具

201、801：模腔

203：封闭环

210、810：下模

220、820：上模

221：模套

223、813：模腔块

225、815：夹具

226、816：排气口

227：腔室区块

228：排气孔

RF：隔离膜

S11～S16、S81～S86：步骤

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。各实施方式的附图是例示，各部分的尺寸或形状为示意性，不应理解为将本申请发明的技术范围限定为所述实施方式。

＜第一实施方式＞

参照图1和图2，对本发明的实施方式的树脂密封装置1的结构进行说明。图1是概略性地表示第一实施方式的树脂密封装置的结构的图。图2是概略性地表示树脂密封模具内的工件和树脂供给图案的平面图。

各附图中，为了明确各附图的相互关系并帮助理解各构件的位置关系，有时为了方便而标注包含X轴、Y轴和Z轴的正交坐标系。将Z轴的箭头所朝的方向设为上方向，将与Z轴的箭头的朝向为相反的方向设为下方向。

树脂密封装置1是用于利用树脂13对工件10进行树脂密封(模塑成形)的装置。树脂密封装置1包括：树脂供给装置100，将树脂密封用的树脂13涂布(供给)在被涂布物(例如工件10或隔离膜RF)上；以及树脂密封模具200，对树脂进行加热加压而使其硬化。工件10例如包括基板11和配置在基板11上的元件12，元件12分别排列在第一方向X和第二方向Y上。

基板11和元件12的结构不受限定，作为一例，基板11为半导体晶片，元件12可设为倒装芯片安装在基板11上的半导体芯片。在所述情况下，在供给树脂13的时间点，在基板11与元件12之间存在间隙，通过加热加压将树脂填充到所述间隙中。本发明不限于所述形态，例如可为在基板11与元件12之间无间隙而仅在基板11上搭载元件12的形态，也可适用于在基板11与元件12之间填充了底部填充树脂的形态。另外，元件12可为多个半导体芯片在第三方向Z上隔开间隔层叠而成的多层体，也可为半导体元件以外的元件(微电子机械系统(Micro Electromechanical System，MEMS)器件或电子器件等)。元件12在基板11上的配置形态不受限定，例如可将元件12引线接合安装在基板11上，或者可将元件12能够装卸地固定在基板11上。基板11可为树脂基板或玻璃基板，也可为插入(interposer)基板、引线框架、带粘接片的承载板(carrier plate)等。在从第三方向Z的正方向(以下称为上方向)侧俯视工件10时，例如基板11的平面形状为圆形形状，元件12的平面形状为矩形形状，但基板11和元件12的平面形状并不限定于这些形状。例如基板的平面形状可为矩形形状，元件的平面形状也可为多边形形状或圆形形状。可在工件上配置形状不同的两种以上的元件。

树脂供给装置100包括：取得部110，取得工件10(更具体而言为基板11)上的元件12的配置信息；供给部120，向工件上供给树脂；算出部130，基于配置信息算出树脂供给图案；驱动部140，沿着树脂供给图案使供给部120移动；以及载物台(stage)150，载置有工件10。

取得部110例如拍摄工件10并通过图像分析来取得元件12的配置信息。取得部110可对每个工件取得配置信息，也可对具有多个工件的每批取得配置信息。再者，取得部110并不限定于所述，例如也可通过读取赋予给工件10的代码等，从预先记录的数据库中取得与所述代码等对应的配置信息。另外，取得部110也可通过从外部终端等输入而取得配置信息。另外，取得部110也可在晶片之类的工件10中检测V形凹口等的位置，取得工件10的朝向。树脂供给装置100也可基于取得部110取得的工件10的朝向使工件10的朝向一致后，供给后述的树脂13。

供给部120例如是喷出液状的树脂13的分配器。供给部120包括：注射器121，储存有树脂13；推杆(活塞)122，插入注射器121的内部并可按压树脂13；以及夹紧阀(pinchvalve)123，进行注射器121的前端的喷嘴的开闭。在供给部120设置有在使用完注射器121内储存的树脂13时可将使用完的注射器121更换为新的注射器121的结构。再者，供给部120并不限定于所述，也可包括开闭阀来代替夹紧阀123。另外，供给部120也可为另外准备两种液体并当场混合后供给的结构。例如供给部120可为喷出粉粒体的树脂的给料器。

在算出部130中算出的树脂供给图案(工件10上描绘的树脂13的形状)具有沿着第一方向X延伸的多个线状路径14、以及连接在第二方向Y上排列的多个线状路径14中的相互邻接的线状路径14的中继路径15。如图2所示，在从上侧俯视工件10时，多个线状路径14中的相互邻接的线状路径14之间的区域19向工件10的外侧开放。再者，多个线状路径14例如相对于第一方向X平行地延伸，也可相对于第一方向X倾斜。

列举第一线状路径14A、与第一线状路径14A邻接的第二线状路径14B、以及与第二线状路径14B邻接的第三线状路径14C作为例子，对树脂供给图案进行说明。第一线状路径14A与第二线状路径14B在第一方向X的一端侧(负方向侧)通过第一中继路径15A相互连接。第一线状路径14A与第二线状路径14B在第一中继路径15A以外的路径中不连接，在从上侧俯视工件10时，第一线状路径14A与第二线状路径14B之间的区域19A在第一方向X的另一端侧(正方向侧)向工件10的外侧开放。第二线状路径14B与第三线状路径14C在第一方向X的另一端侧通过第二中继路径15B相互连接，第二线状路径14B与第三线状路径14C之间的区域19B在第一方向X的一端侧向工件10的外侧开放。树脂13可沿着第一线状路径14A、第一中继路径15A、第二线状路径14B、第二中继路径15B和第三线状路径14C一气呵成地供给。再者，树脂供给图案为连续的一条线状，在树脂供给图案的整体中，树脂13也可一气呵成地供给。换句话说，树脂供给图案通过以利用中继路径15来连接平行的线状路径14的方式反复折回而形成为一条线状的图案。

图示的例子中，以填埋在第一方向X(图2中的上下方向)和第二方向Y(图2中的左右方向)上排列为矩阵状的元件12的在第二方向Y上的间隙的方式，沿着线状路径14供给树脂13。因此，线状路径14的左侧部配置为覆盖位于所述线状路径14的左侧的元件12的右端。另外，线状路径14的右侧部配置为覆盖位于所述线状路径14的右侧的元件12的左端。

元件12在图2中上下排列，上端和下端的元件12配置在工件10的最外缘附近。在以下的说明中，将从基板11的边缘到此图的上端的元件12为止的区域和从基板11的边缘到此图的下端的元件12为止的区域汇总设为“工件10的外部区域”。工件10的外部区域中，将由树脂密封模具200夹持的区域设为“外部区域10A”，将较外部区域10A更靠元件12侧的区域设为“外部区域10B”。

各线状路径14从此图的上端的元件12延伸到此图的下端的元件12。因此，连接彼此相邻的线状路径14的端部彼此的中继路径15以在此图的上端的元件12或此图的下端的元件12上重叠的方式配置。此图的上侧的中继路径15也可配置在较此图的上端的元件12更靠上侧的外部区域10B。此图的下侧的中继路径15也可配置在较此图的下端的元件12更靠此图的下侧的外部区域10B。

再者，树脂供给图案并不限定于图示的例子。例如可配置线状路径14的区域不仅仅限定于所述元件12的间隙。可配置通过元件12的间隙与元件12的主面中央此两者的线状路径14，也可仅在元件12的主面中央配置线状路径14。另外，可配置中继路径15的区域不限定于所述此图的上端和下端的元件12或外部区域10B。中继路径15的一部分或全部可配置在位于上端的元件12与下端的元件12之间的内侧的元件12上。

树脂供给图案的角部可具有尖锐形状，或者也可具有R形状。

驱动部140沿着树脂供给图案使工件10和供给部120中的至少一者相对于另一者相对地移动。本实施方式中，驱动部140使供给部120移动。具体而言，驱动部140包括：上基座部141、第一马达142M、第一移动部142、第二马达143M、第二移动部143、第三马达144M、第三移动部144、以及第四马达122M。

第一移动部142构成为可相对于上基座部141在第一方向X上移动，第二移动部143构成为可相对于第一移动部142在第二方向Y上移动，第三移动部144构成为可相对于第二移动部143在第三方向Z上移动。具体而言，上基座部141具有导轨，第一移动部142具有通过第一马达142M的驱动而在上基座部141的导轨上滑动的滑动器。第一移动部142具有导轨，第二移动部143具有通过第二马达143M的驱动而在第一移动部142的导轨上滑动的滑动器。第二移动部143具有导轨，第三移动部144具有通过第三马达144M的驱动而在第二移动部143的导轨上滑动的滑动器。在第三移动部144固定有供给部120的注射器121。第三移动部144具有导轨，供给部120的推杆122具有通过第四马达122M的驱动而在第三移动部144的导轨上滑动的滑动器。即，第一马达142M控制供给部120的第一方向X的移动量和移动速度，第二马达143M控制供给部120的第二方向Y的移动量和移动速度，第三马达144M控制供给部120的第三方向Z的移动量和移动速度。而且，第四马达122M通过控制推杆122的移动量和移动速度来控制来自供给部120的树脂13的喷出量和喷出速度。

再者，本实施方式中，在供给树脂13时工件10被固定，驱动部140也可固定供给部120，使载置有工件10的载物台150相对于供给部120移动。驱动部140可使工件10和供给部120此两者移动。

载物台150例如包括重量计。树脂供给装置100一边通过载物台150的重量计测量供给到工件10上的树脂13的重量，一边供给树脂13。具体而言，根据重量计的计量结果，使驱动部140的第一马达142M～第四马达122M的驱动发生变化。利用此种结构，一边以任意的喷出速度供给树脂13，一边以任意的移动速度使注射器121移动，由此可以任意的形状向工件10供给任意量的树脂13。例如若加快第一方向X和第二方向Y上的移动速度，则即使是相同的喷出速度，也可减少规定长度下的供给量，若减慢第一方向X和第二方向Y的移动速度，则即使是相同的喷出速度，也可增加规定长度下的供给量。

树脂密封模具200是用于使用压缩成形技术来对工件10进行树脂密封的一对模具(下模210和上模220)。本实施方式中，树脂密封模具200是在上模220具有模腔201的上模模腔结构。另外，树脂密封模具200包括将树脂密封模具200的内部(下模210与上模220之间的空间)封闭的封闭环203(例如O形环)。再者，虽未图示，但树脂密封装置1包括调节树脂密封模具200的内部压力的压力调节部(例如真空泵)、或调节内部温度(成形温度)的温度调节部(例如加热器)。

上模220包括：模套(chase)221、模腔块223、包围模腔块223的夹具(clamper)225、隔开间隔包围夹具225的腔室区块227。模腔块223固定在模套221。夹具225较模腔块223向下模210突出，与模腔块223一起构成模腔201。夹具225经由弹簧而与模套221连接，构成为可相对于模腔块223滑动。在合模时，工件10的外部区域10A被夹持在夹具225与下模210之间。在夹具225的下表面(与下模210相向的面)上设置有将腔室区块227侧的空间与模腔201连接的多个凹部的排气口226。多个排气口226以模腔201为中心呈放射状延伸。在合模后的上模220与下模210之间，经由排气口226排出模腔201内的空气。再者，各附图中，为了便于理解而深入图示了排气口226，但实际上模具内的空气或气体被排出，形成为树脂13不会流出的深度(例如数μm左右)。在腔室区块227的一部分设置有排气孔228，所述排气孔228与泵连接，用于排出模腔201内的空气。腔室区块227的排气孔228以模腔201为中心呈放射状延伸。封闭环203由腔室区块227与下模210夹持。

在合模后的树脂密封模具200中，多个排气口226中的至少一个可设置在多个线状路径14中的相互邻接的线状路径14之间的区域19的延长线上。例如如图2所示，在第一线状路径14A与第二线状路径14B之间的区域19A的延长线上设置有排气口226。

其次，参照图3至图6，对使用本实施方式的树脂密封装置1的树脂密封品的制造方法进行说明。图3是表示使用第一实施方式的树脂密封装置的树脂密封品的制造方法的流程图。图4是概略性地表示刚放置在树脂密封模具的内部后的工件上的树脂的剖面图。图5是概略性地表示通过树脂密封模具展开的途中的树脂的剖面图。图6是概略性地表示通过加热加压填充到模腔内的树脂的剖面图。再者，为了简化说明，在图4至图6中省略了腔室区块227的图示。

首先，取得工件10上的元件的配置信息(S11)。例如通过取得部110拍摄工件10，对工件10的图像进行分析，取得排列在第一方向X和第二方向Y上的元件12的配置信息。

其次，基于元件12的配置信息算出树脂供给图案(S12)。例如算出部130读取由取得部110登记的配置信息，根据预先登记的规则(例如线状路径14通过元件12之间的区域，线状路径14延伸至到达工件10的最外缘的元件12等)，算出供给部120的所期望的移动路径、移动速度等。再者，在算出线状路径14时，也可利用模腔201的结构信息。作为所述结构信息，可列举模腔的内周尺寸或最终成形时的模腔的深度等。算出的树脂供给图案具有沿着第一方向X延伸的多个线状路径14。另外，在从上侧俯视工件10时，多个线状路径14中的相互邻接的线状路径14之间的区域19向工件10的外侧开放。

其次，沿着树脂供给图案向工件10上供给树脂13(S13)。此处，在将工件10在第一方向X、第二方向Y和以Z轴为中心的旋转方向上定位的状态下，基于树脂供给图案使驱动部140驱动，使供给部120移动。在供给部120移动到供给开始位置(树脂供给图案的一端)后，对注射器121按压推杆122，同时打开夹紧阀123，开始从供给部120供给树脂13。在使持续供给树脂13的供给部120移动，且供给部120移动到供给结束位置(树脂供给图案的另一端)后，对注射器121停止推杆122，同时关闭夹紧阀123，结束从供给部120供给树脂13。

其次，将隔离膜RF放置在上模220，将工件10放置在下模210。以覆盖模腔201的方式将隔离膜RF搬入到开模的树脂密封模具200的内部。隔离膜RF例如也可通过从设置在模具的前方的未使用的膜的辊送出，利用设置在模具的后方的使用后的膜的辊卷取来供给。从模腔块223与夹具225之间的间隙、或省略图示的上模220中的吸气孔排除空气，使隔离膜RF吸附在上模220。另外，将被供给了树脂13的工件10搬入至开模后的树脂密封模具200的内部。从省略图示的上模220中的吸气孔排除空气，使工件10吸附至下模210。

其次，通过合模将树脂13展开(S15)。

首先，如图4所示，例如利用夹具225与下模210夹持具有进行了倒装芯片安装的元件12和基板11的工件10的外部区域10A。此时，虽然省略图示，但利用腔室区块227与下模210夹持封闭环203。设置在夹具225的下表面的浅的挖入部在下模210与夹具225之间(工件10与夹具225之间)形成排气口226，通过所述排气口226连接夹具225的内侧的空间(模腔201)与夹具225的外侧的空间。由此，图4所示的模具中的空气被排出到腔室区块227的外侧。

其次，如图5所示，在为减压状态的模具中，树脂13可通过模腔块223展开。此时，不仅可使树脂13侵入元件12与隔离膜RF之间的间隙，也可使树脂13侵入工件10与进行了倒装芯片安装的元件12之间的间隙来进行底部填充。在工件10上相互邻接的路径的树脂13之间的区域变窄，但可防止在树脂13的填充完成之前以线状涂布的树脂13彼此接触，因此可从排气口226排出空气。

通过进一步合模，使模腔块223相对下降，如图6所示，填充模腔201中的树脂13。由此，树脂13被填充到排气口226的跟前。此处，一边利用未图示的加热器进行加热一边使树脂13软化，利用模腔块223进行加压，由此一边在模腔内填充(模塑)树脂13，一边使树脂13底部填充在工件10与进行了倒装芯片安装的元件12之间的间隙中。

最后，继续加热加压(固化)规定时间而使树脂13硬化(S16)。如此完成工件10的树脂密封。

根据所述实施方式中说明的结构，树脂供给图案具有相对于第一方向X平行地延伸的多个线状路径14，多个线状路径14中的相互邻接的线状路径14之间的区域19从上侧在工件10的平面图中向外侧开放。据此，在利用树脂密封模具200将树脂13展开来对工件10进行树脂密封时，可通过区域19排出残存在树脂密封模具200的内部的空气或由树脂13产生的气体。因此，可抑制由树脂13产生的空气等的夹入所引起的缺陷(例如气穴或未填充)的产生。据此，在树脂13对工件10的细部的侵入难以受到空气等阻碍的情况下，例如可促进树脂13填充到进行了倒装芯片安装的元件12与基板11之间的间隙，从而抑制填充不良的产生。

在工件10上的第一方向X上的一端侧，第一线状路径14A与第二线状路径14B相互连接，在工件10上的第一方向X的另一端侧，第二线状路径14B与第三线状路径14C相互连接。另外，树脂供给图案为连续的一条线状。据此，可一边以邻接的线状路径彼此在至少任一端部侧不连接的形状进行空气的排气，一边一气呵成地供给树脂13。因此，在供给途中不需要停止树脂13的喷出，通过连续喷出树脂13，可有效率地向工件10上供给树脂13。

树脂供给图案在第二方向Y上邻接的元件12之间的区域上延伸。据此，可使树脂13效率良好地进入基板11与元件12之间的间隙、或元件12彼此之间的间隙，可抑制密封不良的产生。

线状路径14延伸至到达工件10上的最外缘的元件12，中继路径15在最外缘的元件12上延伸。据此，可与不存在元件12相应地抑制树脂13的需要量多的工件10的外部区域10B上的空间中由于树脂13不足而引起的缺陷的产生。

排气口226设置在相互邻接的线状路径14之间的区域19的延长线上。据此，在相互邻接的线状路径14之间的区域19被树脂13填满之前，排气口不会堵塞，可从树脂密封模具200的内部排气。

以下，对树脂供给图案的变形例和本发明的另一实施方式的树脂密封装置的结构进行说明。再者，关于与所述第一实施方式共同的事项，设为在以下的各形态中也可同样地适用的事项，省略其叙述，仅说明不同点。特别是，对同样的结构赋予同样的符号，将不再依次言明同样的结果和同样的结构所带来的同样的作用效果。

图7至图11分别表示不同的变形例的树脂供给图案的平面概略图。图7至图11中，外部区域20A、30A、40A、50A、60A表示由树脂密封模具夹持的区域；外部区域20B、30B、40B、50B、60B表示较外部区域20A、30A、40A、50A、60A更靠元件22、32、42、52A、52B、62侧的区域；符号21、31、41、51、61表示基板；符号23、33、43、53、63表示树脂；符号25、35、45、55、65表示中继路径；符号29、39、49、59、69表示线状路径之间的区域。

如图7所示，当在工件20中使元件22彼此分开搭载时，也可在元件22之间在基板21上涂布树脂13。具体而言，在从上侧俯视工件20时，线状路径24在第二方向Y上邻接的元件22之间，在元件22的外侧的区域上延伸。据此，由于在基板21上供给树脂23，因此树脂23容易侵入基板21与元件22之间的间隙等细微的空间。

中继路径25在元件22的外侧且在外部区域20B延伸。据此，例如即使是元件22的占有面积的密度低的工件20，可与不存在元件22相应地抑制树脂23的需要量多的工件20的外部区域20B上的空间中由于树脂23不足而引起的缺陷的产生。

如图8所示，在从上侧俯视工件30时，线状路径34在排列在第一方向X上的元件32上延伸。线状路径34以通过元件32中的第二方向Y上的中央部的方式延伸。由此，元件32的第二方向Y侧的端部位于相互邻接的线状路径34之间的区域39。据此，在第二方向Y上邻接的元件32之间不存在元件32的区域作为用于排气的流路发挥作用，因此可有效率地进行排气，可抑制填充不良引起的缺陷的产生。

如图9所示，也可任意地设定线状路径44的间隔。例如在从上侧俯视工件40时，线状路径44隔开元件42的1列以上的间隔在第二方向Y上排列，且在排列在第一方向X上的元件42上延伸。换句话说，在相互邻接的线状路径44之间的区域49中排列有至少一列的元件42。线状路径44也可在第二方向Y上邻接的元件42之间的区域上延伸。例如与对应于所有元件42的列共有树脂13的结构相比，可缩短被供给树脂13的路径的长度并在短时间内供给。另外，也可在树脂13的需要量少时通过扩大线状路径44的间隔来调整树脂13的供给量。

如图10所示，当在工件20上搭载有多种元件22时，也可根据搭载的元件22来涂布树脂13。具体而言，在工件50上配置有元件52A、以及比元件52A大的元件52B。在从上侧俯视工件50时，线状路径54在元件52B之间的区域且在元件52A上延伸。据此，树脂53容易侵入工件50的细部，可抑制填充不良引起的缺陷的产生。

如图11所示，在从上侧俯视工件60时，相互邻接的线状路径64之间的区域69朝向第一方向X的正方向侧和负方向侧此两者，向工件60的外侧开放。线状路径64在第二方向Y上的宽度例如为一定，线状路径64在第一方向X上的中央部的宽度也可比第一方向X上的端部的宽度大。另外，相互邻接的线状路径64也可在第一方向X的中央部连接。

再者，所述说明的图2和图7～图11的各自的树脂供给图案可对一个工件适宜地组合而适用。

图12是工件的变形例，表示在面板级封装(PLP：Panel Level Packaging)中使用的矩形形状的工件70的情况。如图12所示，在从上侧俯视工件70时，基板71是具有一对短边和一对长边的矩形形状。线状路径74沿着基板71的短边延伸，更具体而言，相对于基板71的短边平行地延伸。据此，与线状路径74沿着基板71的长边延伸的结构相比，缩短相互邻接的线状路径74之间的区域79的长度，在所述区域79中将树脂73展开的工序的途中线状路径74的树脂73彼此接触而堵塞，从而可抑制空气被卷入到树脂73中。再者，图12所示的变形例可适宜地适用于所述各树脂供给图案。图12中，外部区域70A表示由树脂密封模具夹持的区域；外部区域70B表示较外部区域70A更靠元件72侧的区域；元件符号75表示中继路径。

＜第二实施方式＞

参照图13，对第二实施方式的树脂供给图案的结构进行说明。图13是概略性地表示第二实施方式的树脂密封装置的结构的图。

本实施方式中，在载物台150上载置有隔离膜RF，基于取得部110取得的工件10上的元件12的配置信息，驱动部140使供给部120移动，树脂13被供给至隔离膜RF上。树脂密封模具800是包括具有模腔801的下模810、以及上模820的下模模腔结构。在下模810放置隔离膜RF，在上模820放置工件10。下模810具有构成模腔801的模腔块813和夹具815，在夹具815的上表面(与上模820相向的面)上，在合模时设置有排气口816。

其次，参照图14，对使用本实施方式的树脂密封装置8的树脂密封品的制造方法进行说明。图13是概略性地表示第二实施方式的树脂密封装置的结构的图。图14是表示使用第二实施方式的树脂密封装置的树脂密封品的制造方法的流程图。

首先，取得工件10上的元件12的配置信息(S81)。其次，基于元件12的配置信息算出树脂供给图案(S82)。以在与工件10相向时隔离膜RF上的树脂13被放置在第二方向Y上邻接的元件12之间的区域上和/或排列在第一方向X上的元件12上的方式，使元件12的配置信息反转来算出树脂供给图案。其次，沿着树脂供给图案向隔离膜RF上供给树脂13(S83)。其次，将隔离膜RF放置在下模810，将工件10放置在上模820(S84)。此时，通过将隔离膜RF与工件10在第一方向X、第二方向Y和以Z轴为中心的旋转方向上定位，可获得与将涂布在隔离膜RF上的树脂13供给到工件10中的与元件12对应的位置时相同的效果。其次，通过闭模，一边从模具的腔室排出空气，一边使树脂13与元件12或基板11接触，通过合模将树脂13展开(S85)。将放置在下模810的隔离膜RF上的树脂13按压在放置在上模820的工件10，利用工件10与隔离膜RF夹持树脂13并将其展开。此处，也认为通过在使树脂13与元件12或基板11接触之前排出空气，即使通过隔离膜RF上的树脂13彼此接触而形成密闭空间，也可防止气穴。然而，在树脂13被展开时，由于树脂13被加热而生成的气体残存，从而有可能产生填充不良。与此相对，通过如本实施方式那样设置排出气体的路径，可抑制气体引起的气穴之类的不良情况的产生。接着，通过加热加压而使树脂13硬化(S86)。如此，即使是下模模腔结构的模具，也可获得与所述发明同样的效果。

再者，关于本实施方式中说明的形态，可将第一实施方式中说明的任一个或多个树脂供给图案适宜地组合来适用。

如以上说明那样，根据本发明的一形态，可提供一种可抑制缺陷的产生的树脂供给装置、树脂密封装置和树脂密封品的制造方法。

以上说明的实施方式是用于使本发明的理解变得容易，并非用于限定地解释本发明。实施方式所包括的各要素和其配置、材料、条件、形状和尺寸等并不限定于所例示的内容，可适宜变更。另外，也可部分地置换或组合不同的实施方式中所示的结构彼此。

Claims (16)

1.一种树脂供给装置，向配置有分别排列在第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向上的元件的工件上供给树脂，所述树脂供给装置包括：

取得部，取得所述工件上的元件的配置信息；

供给部，向所述工件上供给树脂；

算出部，基于所述配置信息算出树脂供给图案；以及

驱动部，沿着所述树脂供给图案，使所述工件和所述供给部中的至少一者相对于另一者相对地移动，

所述树脂供给图案具有沿着所述第一方向延伸的多个线状路径，

所述多个线状路径中的相互邻接的线状路径之间的区域向所述工件的外侧开放。

2.根据权利要求1所述的树脂供给装置，其中所述多个线状路径相对于所述第一方向平行地延伸。

3.根据权利要求1或2所述的树脂供给装置，其中所述多个线状路径具有第一线状路径、与所述第一线状路径邻接的第二线状路径、以及与所述第二线状路径邻接的第三线状路径，

在所述第一方向的一端侧，所述第一线状路径和所述第二线状路径相互连接，

在所述第一方向的另一端侧，所述第二线状路径和所述第三线状路径相互连接。

4.根据权利要求1或2所述的树脂供给装置，其中所述树脂供给图案为连续的一条线状。

5.根据权利要求1或2所述的树脂供给装置，其中所述多个线状路径中的至少一个在所述第二方向上邻接的元件之间的区域上延伸。

6.根据权利要求1或2所述的树脂供给装置，其中所述多个线状路径中的至少一个在排列在所述第一方向上的元件上延伸。

7.根据权利要求1或2所述的树脂供给装置，其中所述多个线状路径中的至少一个延伸至到达所述工件上的最外缘的元件。

8.根据权利要求1或2所述的树脂供给装置，其中所述多个线状路径中的相互邻接的线状路径除了所述工件上的最外缘的元件以外，延伸至到达较所述最外缘的元件更靠内侧的元件。

9.根据权利要求1或2所述的树脂供给装置，其中所述工件上的元件包含大小不同的两种以上的元件，

所述多个线状路径在所述工件上的元件中比其他元件小的元件上延伸。

10.根据权利要求1或2所述的树脂供给装置，其中所述供给部是供给液状的树脂的分配器。

11.一种树脂密封装置，包括：

如权利要求1至10中任一项所述的树脂供给装置；以及

树脂密封模具，对所述工件上的元件进行树脂密封，

所述树脂密封模具具有设置有填充树脂的模腔的上模、和放置所述工件的下模，

合模后的所述树脂密封模具在所述上模与所述下模之间具有排出所述模腔内的空气的多个排气口。

12.根据权利要求11所述的树脂密封装置，其中所述多个排气口中的至少一个设置在所述多个线状路径上的相互邻接的线状路径之间的区域的延长线上。

13.一种树脂密封品的制造方法，包括向配置有分别排列在第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向上的元件的工件上供给树脂，向所述工件上供给树脂包括：

取得所述工件上的元件的配置信息；

基于所述配置信息算出树脂供给图案；以及

沿着所述树脂供给图案向所述工件上供给树脂，

所述树脂供给图案具有沿着所述第一方向延伸的多个线状路径，

所述多个线状路径中的相互邻接的线状路径之间的区域向所述工件的外侧开放。

14.一种树脂供给装置，向隔离膜上供给用于工件的密封用途的树脂，所述工件配置有分别排列在第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向上的元件，所述树脂供给装置包括：

取得部，取得所述工件上的元件的配置信息；

供给部，向所述隔离膜上供给树脂；

算出部，基于所述配置信息算出树脂供给图案；以及

驱动部，沿着所述树脂供给图案，使所述隔离膜和所述供给部中的至少一者相对于另一者相对地移动，

所述树脂供给图案具有沿着所述第一方向延伸的多个线状路径，

所述多个线状路径中的相互邻接的线状路径之间的区域向所述隔离膜的外侧开放。

15.一种树脂密封装置，包括：

如权利要求14所述的树脂供给装置；以及

树脂密封模具，对所述工件上的元件进行树脂密封，

所述树脂密封模具具有设置有填充树脂的模腔且放置所述隔离膜的下模、和放置所述工件的上模，

在所述上模与所述下模之间形成有排出所述模腔内的空气的排气口。

16.一种树脂密封品的制造方法，包括向隔离膜上供给用于工件的密封的树脂，所述工件配置有分别排列在第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向上的元件，

向所述隔离膜上供给树脂包括：

取得所述工件上的元件的配置信息；

基于所述配置信息算出树脂供给图案；

沿着所述树脂供给图案向所述隔离膜上供给树脂；以及

将所述隔离膜上的树脂按压在所述工件，

所述树脂供给图案具有沿着所述第一方向延伸的多个线状路径，

所述多个线状路径中的相互邻接的线状路径之间的区域向所述工件的外侧开放。

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