JP7470982B2 - 樹脂供給装置、樹脂封止装置、及び樹脂封止品の製造方法 - Google Patents
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Description
図1及び図2を参照しつつ、本発明の実施形態に係る樹脂封止装置1の構成について説明する。図1は、第1実施形態に係る樹脂封止装置の構成を概略的に示す図である。図2は、樹脂封止金型内のワーク及び樹脂供給パターンを概略的に示す平面図である。
図13を参照しつつ、第2実施形態に係る樹脂供給パターンの構成について説明する。図13は、第2実施形態に係る樹脂封止装置の構成を概略的に示す図である。
Claims (13)
- 第1方向及び前記第1方向に交差する第2方向にそれぞれ配列した素子が配置されたワーク上に樹脂を供給する樹脂供給装置であって、
前記ワーク上の素子の配置情報を取得する取得部と、
前記ワーク上に樹脂を供給する供給部と、
前記配置情報に基づいて樹脂供給パターンを算出する算出部と、
前記樹脂供給パターンに沿って、前記ワーク及び前記供給部の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させる駆動部と、
を備え、
前記樹脂供給パターンは、前記第1方向に対して平行に延在する複数の線状経路を有し、前記複数の線状経路が、第1線状経路と、前記第1線状経路に隣接しかつ前記第1方向の一端側において前記第1線状経路と前記第2方向に繋がる第2線状経路と、前記第2線状経路に隣接しかつ前記第1方向の他端側において前記第2線状経路と前記第2方向に繋がる第3線状経路とを有するように、一筆書きで供給されるパターンであり、
前記複数の線状経路における互いに隣接する線状経路の間の領域は、前記ワークの外側に開放されている、樹脂供給装置。 - 前記複数の線状経路の少なくとも1つは、前記第2方向に隣接する素子の間の領域上に延在している、
請求項1に記載の樹脂供給装置。 - 前記複数の線状経路の少なくとも1つは、前記第1方向に配列した素子上に延在している、
請求項1又は2に記載の樹脂供給装置。 - 前記複数の線状経路の少なくとも1つは、前記ワーク上の最外縁の素子に至るまで延在している、
請求項1から3のいずれか1項に記載の樹脂供給装置。 - 前記複数の線状経路における互いに隣接する線状経路は、前記ワーク上の最外縁の素子を除いて前記最外縁の素子よりも内側の素子に至るまで延在している、
請求項1から4のいずれか1項に記載の樹脂供給装置。 - 前記ワーク上の素子は、大きさの異なる2種類以上の素子を含み、
前記複数の線状経路は、前記ワーク上の素子のうち他の素子よりも小さい素子上に延在している、
請求項1から5のいずれか1項に記載の樹脂供給装置。 - 前記供給部は、液状の樹脂を供給するディスペンサである、
請求項1から6のいずれか1項に記載の樹脂供給装置。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載の樹脂供給装置と、
前記ワーク上の素子を樹脂封止する樹脂封止金型と、
を備え、
前記樹脂封止金型は、樹脂が充填されるキャビティが設けられた上型と、前記ワークがセットされる下型とを有し、
型締めされた前記樹脂封止金型は、前記上型と前記下型との間に前記キャビティ内のエアを排出する複数のエアベントを有する、樹脂封止装置。 - 前記複数のエアベントのうち少なくとも1つは、前記複数の線状経路における互いに隣接する線状経路の間の領域の延長線上に設けられている、
請求項8に記載の樹脂封止装置。 - 第1方向及び前記第1方向に交差する第2方向にそれぞれ配列された素子が配置されたワーク上に樹脂を供給することを含む樹脂封止品の製造方法であって、
前記ワーク上に樹脂を供給することは、
前記ワーク上の素子の配置情報を取得することと、
前記配置情報に基づいて樹脂供給パターンを算出することと、
前記樹脂供給パターンに沿って、前記ワーク上に樹脂を供給することと、
を含み、
前記樹脂供給パターンは、前記第1方向に対して平行に延在する複数の線状経路を有し、前記複数の線状経路が、第1線状経路と、前記第1線状経路に隣接しかつ前記第1方向の一端側において前記第1線状経路と前記第2方向に繋がる第2線状経路と、前記第2線状経路に隣接しかつ前記第1方向の他端側において前記第2線状経路と前記第2方向に繋がる第3線状経路とを有するように、一筆書きで供給されるパターンであり、
前記複数の線状経路における互いに隣接する線状経路の間の領域は、前記ワークの外側に開放されている、樹脂封止品の製造方法。 - 第1方向及び前記第1方向に交差する第2方向にそれぞれ配列した素子が配置されたワークの封止用に用いる樹脂をリリースフィルム上に供給する樹脂供給装置であって、
前記ワーク上の素子の配置情報を取得する取得部と、
前記リリースフィルム上に樹脂を供給する供給部と、
前記配置情報に基づいて樹脂供給パターンを算出する算出部と、
前記樹脂供給パターンに沿って、前記リリースフィルム及び前記供給部の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させる駆動部と、
を備え、
前記樹脂供給パターンは、前記第1方向に対して平行に延在する複数の線状経路を有し、前記複数の線状経路が、第1線状経路と、前記第1線状経路に隣接しかつ前記第1方向の一端側において前記第1線状経路と前記第2方向に繋がる第2線状経路と、前記第2線状経路に隣接しかつ前記第1方向の他端側において前記第2線状経路と前記第2方向に繋がる第3線状経路とを有するように、一筆書きで供給されるパターンであり、
前記複数の線状経路における互いに隣接する線状経路の間の領域は、前記リリースフィルムの外側に開放されている、樹脂供給装置。 - 請求項11に記載の樹脂供給装置と、
前記ワーク上の素子を樹脂封止する樹脂封止金型と、
を備え、
前記樹脂封止金型は、樹脂が充填されるキャビティが設けられ前記リリースフィルムがセットされる下型と、前記ワークがセットされる上型とを有し、
前記上型と前記下型との間に前記キャビティ内のエアを排出するエアベントが形成される、樹脂封止装置。 - 第1方向及び前記第1方向に交差する第2方向にそれぞれ配列した素子が配置されたワークの封止に用いる樹脂をリリースフィルム上に供給することを含む樹脂封止品の製造方法であって、
前記リリースフィルム上に樹脂を供給することは、
前記ワーク上の素子の配置情報を取得することと、
前記配置情報に基づいて樹脂供給パターンを算出することと、
前記樹脂供給パターンに沿って、前記リリースフィルム上に樹脂を供給することと、
前記リリースフィルム上の樹脂を前記ワークに押し当てることと、
を含み、
前記樹脂供給パターンは、前記第1方向に対して平行に延在する複数の線状経路を有し、前記複数の線状経路が、第1線状経路と、前記第1線状経路に隣接しかつ前記第1方向の一端側において前記第1線状経路と前記第2方向に繋がる第2線状経路と、前記第2線状経路に隣接しかつ前記第1方向の他端側において前記第2線状経路と前記第2方向に繋がる第3線状経路とを有するように、一筆書きで供給されるパターンであり、
前記複数の線状経路における互いに隣接する線状経路の間の領域は、前記ワークの外側に開放されている、樹脂封止品の製造方法。
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