CN114436763B

CN114436763B - 用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的装置及其去除方法

Info

Publication number: CN114436763B
Application number: CN202210136529.0A
Authority: CN
Inventors: 王云飞; 尚青; 蒋玉虎; 邢海洋; 苏子杰; 路璐; 滕莹; 路光辉
Original assignee: Peric Special Gases Co Ltd
Current assignee: Peric Special Gases Co Ltd
Priority date: 2022-02-15
Filing date: 2022-02-15
Publication date: 2023-05-02
Anticipated expiration: 2042-02-15
Also published as: CN114436763A

Abstract

本发明公开了用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的装置，包括依次设置的加成塔、除酸塔、干燥塔和纯化塔，加成塔的上端入口与高纯氯化氢气体钢瓶连接，加成塔的下端入口与粗品八氟丙烷原料钢瓶连接；还提供使用上述装置的去除方法，包括以下步骤：先加热加成塔，再用惰性气体对整个装置进行置换，将加成塔抽真空，再通入氯化氢气体和粗品八氟丙烷气体在加成塔内反应，得到混合气体；混合气体通入除酸塔去除酸性气体，得到除酸后的气体；除酸后的气体通入干燥塔去除水分，再依次通入过滤器、除尘器和纯化塔，制得精品八氟丙烷。本发明方法工艺流程简单，操作简单方便，最终得到高纯度的工业用八氟丙烷，易于实现工业化生。

Description

用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的装置及其去除方法

技术领域

本发明属于气体杂质去除的技术领域，具体涉及一种用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的装置及其去除方法。

背景技术

八氟丙烷，分子式为C₃F₈，是有毒、难溶于水的无色气体，在半导体工业中，八氟丙烷与氧气的混合气可用作等离子蚀刻材料，可选择性地与硅片的金属基质作用，同时可用于器件表面清洗。

八氟丙烷的合成的方法主要有氟气与活性炭直接氟化反应；六氟丙烯、1-氯丙烷等电化学氟化反应；六氟丙烯与金属氟化物氟化反应；六氟丙烯与氟气直接氟化反应；七氟丙烷与氟气反应等，但使用六氟环丙烷制备八氟丙烷过程中，六氟环丙烷很难去除。因此，开发出一种八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的去除方法及装置尤为重要。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的装置及其去除方法。该方法彻底解决了八氟丙烷中六氟环丙烷杂质难去除的问题，通过除酸塔去除残余氯化氢等酸性物质，通过干燥塔去除气体中的水分，再进入到纯化塔，制得高纯度八氟丙烷气体。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：本发明还提供一种用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的装置其特征在于，包括依次通过管线连接的加成塔、除酸塔、干燥塔和纯化塔，所述加成塔的上端入口与高纯氯化氢气体钢瓶连接，所述加成塔的下端入口与粗品八氟丙烷原料钢瓶连接，所述干燥塔顶部连通有干燥塔出气管线，所述干燥塔顶部通过干燥塔出气管线与所述纯化塔进口连接，所述干燥塔出气管线上依次设置有除尘器和过滤器；所述加成塔内部设置有多层气体折流板，所述气体折流板上均设置有加热系统。

优选地，所述粗品八氟丙烷原料钢瓶外壁包裹自动控制的加热包系统；所述加成塔的上端入口通过高纯氯化氢气体出料管线与高纯氯化氢气体钢瓶连接，所述加成塔的下端入口通过粗品八氟丙烷进料管线与粗品八氟丙烷原料钢瓶连接，所述高纯氯化氢气体出料管线上设有氯化氢气体出料阀，所述粗品八氟丙烷进料管线上设有流量计和进料阀门，所述加成塔下端连接有加成塔放净管线，所述加成塔放净管线上设有加成塔放净阀；所述加成塔外壁上设有加成塔温度计和加成塔压力表，所述加成塔内底部设置有加成塔气体分布器。

优选地，所述加成塔通过加成塔出气管线与除酸塔连接，所述加成塔出气管线上设有加成塔出气阀，所述除酸塔通过除酸塔出气管线与干燥塔连接，所述除酸塔出气管线上依次设有除酸塔出气阀和干燥塔进气阀；所述除酸塔外壁上设置有除酸塔温度计，所述干燥塔外壁上设置有干燥塔温度计；所述干燥塔出气管线上还设有干燥塔出气阀和纯化塔进气阀。

优选地，所述纯化塔上端设置有纯化塔出料管线，所述纯化塔出料管线上连接有纯化塔分析管线，所述纯化塔分析管线上设有纯化塔分析阀，所述纯化塔出料管线上设有纯化塔出料阀门，所述纯化塔外壁上设置有纯化塔温度计和纯化塔压力表。

还提供一种使用上述装置用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、先加热加成塔，再采用惰性气体对整个装置进行置换，然后将加成塔抽真空至压力为≤-0.095MPa，再通入氯化氢气体使所述加成塔压力为0.6MPa～2MPa，然后通入粗品八氟丙烷气体，反应后得到混合气体，所述加成塔的工作温度为150℃～450℃，反应时间为60min～120min；

S2、将S1中得到的混合气体通入除酸塔中，去除所述混合气体中的酸性气体，得到除酸后的气体；所述除酸塔的工作温度为5℃～30℃，工作压力为0.4Mpa～1.8Mpa；

S3、将S2中得到的除酸后的气体通入干燥塔中去除水分，得到除水后气体；所述干燥塔的工作温度为5℃～30℃，工作压力为0.2Mpa～1.6Mpa；

S4、将S3中得到的除水后气体通入纯化塔中，制得质量纯度≥99.999％的八氟丙烷气体；所述纯化塔工作温度为-40℃～45℃，工作压力为0.1Mpa～1.5Mpa。

优选地，S1中所述惰性气体对整个装置置换处理为3～5遍，所述整个装置的置换温度为60℃～150℃，所述置换处理后整个装置的含水量≤0.5ppm；所述惰性气体为氮气、氦气或氩气，所述惰性气体的质量纯度≥99.999％；所述氯化氢气体的质量纯度≥99.999％。

优选地，S1中所述加成塔加热的温度为50℃～500℃，通入粗品八氟丙烷气体的气体流量为15L/min～150L/min。

优选地，S1中所述粗品八氟丙烷气体中六氟环丙烷杂质含量为50ppm～2×10⁵ppm，所述粗品八氟丙烷气体的温度为30℃～120℃。

优选地，S2中所述除酸塔中的填料为θ环填料、鲍尔环填料、拉西环填料或规整填料，S3中所述干燥塔中的吸附剂包括椰壳活性炭、三氧化二铝、硅胶和分子筛中的一种以上。

在加成塔中，粗品八氟丙烷气体中的六氟环丙烷杂质与氯化氢气体反应生成1氯六氟丙烷或2氯六氟丙烷；在除酸塔中，去除残余的氯化氢酸性气体；干燥塔中采用吸附剂吸附除酸后的气体中的水分；纯化塔中将除水后气体中的其余杂质去除，主要去除氢气、氧气、氮气、一氧化碳、二氧化碳、水分、酸度和其他的碳氟类有机杂质。

本发明与现有技术相比具有以下优点：

1、本发明通过利用六氟环丙烷性质不稳定，易开环的原理，在高温下与氯化氢发生类加成反应，生成1氯六氟丙烷或者2氯六氟丙烷；相比六氟环丙烷，1氯或2氯六氟丙烷通过精馏更容易与八氟丙烷分开；并且氯化氢与六氟环丙烷的反应无需任何催化剂，且转化效率高。通过该反应，将难分离的六氟环丙烷转化成易分离的1氯或2氯六氟丙烷，降低了吸附工艺和纯化工艺的难度，大大提高吸附和纯化工艺的可操作性。通过后续的吸附和纯化工艺，能够生产出质量纯度≥99.999％的高纯八氟丙烷气体。

2、本发明彻底解决了八氟丙烷中六氟环丙烷杂质难去除的问题，通过除酸塔去除残余氯化氢等酸性物质，通过干燥塔去除气体中的水分，再进入到纯化塔，将类加成反应、吸附和纯化工艺相结合，能够彻底高效去除六氟环丙烷气体；且本发明方法工艺流程简单明确，操作方便，杂质转化彻底且去除效率高，易于实现工业化生产。

下面通过附图和实施例对本发明的技术方案作进一步的详细说明。

附图说明

图1是本发明装置的结构示意图。

附图标记说明：

1—粗品八氟丙烷原料钢瓶；2—流量计；3—粗品八氟丙烷进料管线；4—进料阀门；5—加成塔放净管线；6—加成塔放净阀；7—加成塔气体分布器；8—加成塔；9—气体折流板；10—加成塔温度计；11—加成塔压力表；12—高纯氯化氢气体钢瓶；13—高纯氯化氢气体出料管线；14—氯化氢气体出料阀；15—加成塔出气阀；16—加成塔出气管线；17—除酸塔温度计；18—除酸塔；19—除酸塔出气阀；20—除酸塔出气管线；21—干燥塔进气阀；22—干燥塔；23—干燥塔温度计；24—干燥塔出气管线；25—干燥塔出气阀；26—除尘器；27—纯化塔进气阀；28—纯化塔；29—纯化塔温度计；30—纯化塔压力表；31—纯化塔分析阀；32—纯化塔分析管线；33—纯化塔出料阀门；34—纯化塔出料管线；35—过滤器。

具体实施方式

实施例1

本实施例中用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的装置，包括依次通过管线连接的加成塔8，除酸塔18、干燥塔22和纯化塔28，所述加成塔8的上端入口与高纯氯化氢气体钢瓶12连接，所述加成塔8的下端入口与粗品八氟丙烷原料钢瓶1连接，所述干燥塔22顶部连通有干燥塔出气管线24，所述干燥塔22顶部通过干燥塔出气管线24与所述纯化塔28进口连接，所述干燥塔出气管线24上依次设置有除尘器26和过滤器35；所述加成塔8内部设置有多层气体折流板9，所述气体折流板9上均设置有带自动控温装置的加热系统。

本实施例中，所述粗品八氟丙烷原料钢瓶1外壁包裹自动控制的加热包系统，所述加热包系统能够提高粗品八氟丙烷原料钢瓶1中粗品八氟丙烷气体的压力。

所述加成塔8的上端入口通过高纯氯化氢气体出料管线13与高纯氯化氢气体钢瓶12连接，所述加成塔8的下端入口通过粗品八氟丙烷进料管线3与粗品八氟丙烷原料钢瓶1连接，所述高纯氯化氢气体出料管线13上设有氯化氢气体出料阀14，所述粗品八氟丙烷进料管线3上设有流量计2和进料阀门4，所述加成塔8下端连接有加成塔放净管线5，所述加成塔放净管线5上设有加成塔放净阀6；所述加成塔8外壁上设有加成塔温度计10和加成塔压力表11，，所述加成塔8内底部设置有加成塔气体分布器7。

所述加成塔8通过加成塔出气管线16与除酸塔18连接，所述加成塔出气管线16上设有加成塔出气阀15，所述除酸塔18通过除酸塔出气管线20与干燥塔22连接，所述除酸塔出气管线20上依次设有除酸塔出气阀19和干燥塔进气阀21；所述除酸塔18外壁上设置有除酸塔温度计17，所述干燥塔22外壁上设置有干燥塔温度计23；所述干燥塔出气管线24上还设有干燥塔出气阀25和纯化塔进气阀27；所述干燥塔22内设置有加热装置。

所述纯化塔28上端设置有纯化塔出料管线34，所述纯化塔出料管线34上连接有纯化塔分析管线32，所述纯化塔分析管线32上设有纯化塔分析阀31，所述纯化塔出料管线34上设有纯化塔出料阀门33，所述纯化塔28外壁上设置有纯化塔温度计29和纯化塔压力表30；所述纯化塔28内设置有加热装置。

本实施例中，加成塔8、气体折流板9和加成塔气体分布器7的材料采用316L不锈钢或蒙乃尔合金；除酸塔18、干燥塔22和纯化塔28的材料采用304不锈钢、316L不锈钢或蒙乃尔合金；所有管线均采用EP级不锈钢管，所有阀门均采用耐压且密闭性好的隔膜阀。

实施例2

本实施例为使用实施例1中用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的装置进行八氟丙烷中六氟环丙烷杂质去除的方法，包括以下步骤：

S1、先开启气体折流板9加热加成塔8，再采用质量纯度为99.999％的氮气对整个装置进行置换处理3遍，所述整个装置的置换温度为60℃，所述置换处理后整个装置的含水量为0.5ppm，然后将加成塔8抽真空至压力为-0.095MPa，开启高纯氯化氢气体钢瓶12和氯化氢气体出料阀14，通过高纯氯化氢气体出料管线13通入质量纯度为99.999％的氯化氢气体使所述加成塔8压力为0.6MPa，然后开启粗品八氟丙烷原料钢瓶1、进料阀门4和流量计2，通过粗品八氟丙烷进料管线3通入粗品八氟丙烷气体，得到混合气体，所述加成塔8的工作温度为150℃，反应时间为120min；

所述气体折流板9加热加成塔8的温度为50℃，通入粗品八氟丙烷气体的气体流量为15L/min；所述粗品八氟丙烷气体中六氟环丙烷杂质含量为50ppm，所述粗品八氟丙烷气体的温度为30℃；

S2、开启加成塔出气阀15，将S1中得到的混合气体通过加成塔出气管线16通入除酸塔18中，去除所述混合气体中的酸性气体，得到除酸后的气体；所述除酸塔18的工作温度为5℃，工作压力为1.8Mpa；除酸塔18的填料为θ环填料；

S3、开启除酸塔出气阀19和干燥塔进气阀21，将S2中得到的除酸后的气体通过除酸塔出气管线20通入干燥塔22中去除水分，得到除水后气体，所述干燥塔22的工作温度为5℃，工作压力为1.6Mpa；所述干燥塔22中的吸附剂为椰壳活性炭；

S4、开启干燥塔出气阀25和纯化塔进气阀27，将S3中得到的除水后气体通过干燥塔出气管线24依次通入除尘器26和过滤器35，最后通入纯化塔28中，制得质量纯度为99.999％的八氟丙烷气体；所述纯化塔28工作温度为-40℃，工作压力为1.5Mpa。

实施例3

本实施例为使用实施例1中用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的装置进行八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的去除方法，包括以下步骤：

S1、先开启气体折流板9加热加成塔8，再采用质量纯度为99.999％的氦气对整个装置进行置换处理5遍，所述整个装置的置换温度为150℃，所述置换处理后整个装置的含水量为0.4ppm，然后将加成塔8抽真空至压力为-0.098MPa，开启高纯氯化氢气体钢瓶12和氯化氢气体出料阀14，通过高纯氯化氢气体出料管线13通入质量纯度为99.999％的氯化氢气体使所述加成塔8压力为2MPa，然后开启粗品八氟丙烷原料钢瓶1、进料阀门4和流量计2，通过粗品八氟丙烷进料管线3通入粗品八氟丙烷气体，得到混合气体，所述加成塔8的工作温度为450℃，反应时间为60min；

所述气体折流板9加热加成塔8的温度为500℃，通入粗品八氟丙烷气体的气体流量为150L/min；所述粗品八氟丙烷气体中六氟环丙烷杂质含量为2×10⁵ppm；所述粗品八氟丙烷气体的温度为120℃；

S2、开启加成塔出气阀15，将S1中得到的混合气体通过加成塔出气管线16通入除酸塔18中，去除所述混合气体中的酸性气体，得到除酸后的气体，除酸塔18的工作温度为30℃，工作压力为0.4Mpa；除酸塔18的填料为鲍尔环填料；

S3、开启除酸塔出气阀19和干燥塔进气阀21，将S2中得到的除酸后的气体通过除酸塔出气管线20通入干燥塔22中去除水分，得到除水后气体，所述干燥塔22的工作温度为30℃，工作压力为0.2Mpa；所述干燥塔22中的吸附剂为三氧化二铝；

S4、开启干燥塔出气阀25和纯化塔进气阀27，将S3中得到的除水后气体通过干燥塔出气管线24依次通入除尘器26和过滤器35，最后通入纯化塔28中，制得质量纯度为99.9995％的八氟丙烷气体；所述纯化塔28工作温度为45℃，工作压力为0.1Mpa。

实施例4

S1、先开启气体折流板9加热加成塔8，再采用质量纯度为99.999％的氩气对整个装置进行置换处理4遍，所述整个装置的置换温度为100℃，所述置换处理后整个装置的含水量为0.35ppm，然后将加成塔8抽真空至压力为-0.1MPa，开启高纯氯化氢气体钢瓶12和氯化氢气体出料阀14，通过高纯氯化氢气体出料管线13通入质量纯度为99.999％的氯化氢气体使所述加成塔8压力为1.3MPa，然后开启粗品八氟丙烷原料钢瓶1、进料阀门4和流量计2，通过粗品八氟丙烷进料管线3通入粗品八氟丙烷气体，得到混合气体，所述加成塔8的工作温度为300℃，反应时间为90min；

所述气体折流板9加热加成塔8的温度为225℃，通入粗品八氟丙烷气体的气体流量为83L/min；所述粗品八氟丙烷气体中六氟环丙烷杂质含量为1×10⁵ppm；所述粗品八氟丙烷气体的温度为75℃；

S2、开启加成塔出气阀15，将S1中得到的混合气体通过加成塔出气管线16通入除酸塔18中，去除所述混合气体中的酸性气体，得到除酸后的气体，除酸塔18的工作温度为20℃，工作压力为0.9Mpa；除酸塔18的填料为拉西环填料；

S3、开启除酸塔出气阀19和干燥塔进气阀21，将S2中得到的除酸后的气体通过除酸塔出气管线20通入干燥塔22中去除水分，得到除水后气体，所述干燥塔22的工作温度为20℃，工作压力为0.7Mpa；所述干燥塔22中的吸附剂为硅胶和分子筛；

S4、开启干燥塔出气阀25和纯化塔进气阀27，将S3中得到的除水后气体通过干燥塔出气管线24依次通入除尘器26和过滤器35，最后通入纯化塔28中，制得质量纯度为99.9992％的八氟丙烷气体；所述纯化塔28工作温度为2℃，工作压力为0.5Mpa。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例，并非对本发明作任何限制。凡是根据发明技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效变化，均仍属于本发明技术方案的保护范围内。

Claims

1.一种用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的装置，其特征在于，包括依次通过管线连接的加成塔（8）、除酸塔（18）、干燥塔（22）和纯化塔（28），所述加成塔（8）的上端入口与高纯氯化氢气体钢瓶（12）连接，所述加成塔（8）的下端入口与粗品八氟丙烷原料钢瓶（1）连接，所述干燥塔（22）顶部连通有干燥塔出气管线（24），所述干燥塔（22）顶部通过干燥塔出气管线（24）与所述纯化塔（28）进口连接，所述干燥塔出气管线（24）上依次设置有除尘器（26）和过滤器（35）；所述加成塔（8）内部设置有多层气体折流板（9），所述气体折流板（9）上均设置有加热系统；所述加成塔（8）的工作温度为150℃～450℃，在所述加成塔（8）内所述粗品八氟丙烷中的六氟环丙烷杂质与所述高纯氯化氢气体反应生成1-氯六氟丙烷或者2-氯六氟丙烷；所述粗品八氟丙烷气体中六氟环丙烷杂质含量为50ppm～2×10⁵ppm，所述粗品八氟丙烷气体经所述装置处理后制得纯度≥99.999％的高纯八氟丙烷气体。

2.根据权利要求1所述的一种用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的装置，其特征在于，所述粗品八氟丙烷原料钢瓶（1）外壁包裹自动控制的加热包系统；所述加成塔（8）的上端入口通过高纯氯化氢气体出料管线（13）与高纯氯化氢气体钢瓶（12）连接，所述加成塔（8）的下端入口通过粗品八氟丙烷进料管线（3）与粗品八氟丙烷原料钢瓶（1）连接，所述高纯氯化氢气体出料管线（13）上设有氯化氢气体出料阀（14），所述粗品八氟丙烷进料管线（3）上设有流量计（2）和进料阀门（4），所述加成塔（8）下端连接有加成塔放净管线（5），所述加成塔放净管线（5）上设有加成塔放净阀（6）；所述加成塔（8）外壁上设有加成塔温度计（10）和加成塔压力表（11），所述加成塔（8）内底部设置有加成塔气体分布器（7）。

3.根据权利要求1所述的一种用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的装置，其特征在于，所述加成塔（8）通过加成塔出气管线（16）与除酸塔（18）连接，所述加成塔出气管线（16）上设有加成塔出气阀（15），所述除酸塔（18）通过除酸塔出气管线（20）与干燥塔（22）连接，所述除酸塔出气管线（20）上依次设有除酸塔出气阀（19）和干燥塔进气阀（21）；所述除酸塔（18）外壁上设置有除酸塔温度计（17），所述干燥塔（22）外壁上设置有干燥塔温度计（23）；所述干燥塔出气管线（24）上还设有干燥塔出气阀（25）和纯化塔进气阀（27）。

4.根据权利要求1所述的一种用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的装置，其特征在于，所述纯化塔（28）上端设置有纯化塔出料管线（34），所述纯化塔出料管线（34）上连接有纯化塔分析管线（32），所述纯化塔分析管线（32）上设有纯化塔分析阀（31），所述纯化塔出料管线（34）上设有纯化塔出料阀门（33），所述纯化塔（28）外壁上设置有纯化塔温度计（29）和纯化塔压力表（30）。

5.一种如权利要求1-4任一项所述的装置用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、先加热加成塔（8），再采用惰性气体对整个装置进行置换，然后将加成塔（8）抽真空至压力为≤-0.095MPa，再通入氯化氢气体使所述加成塔（8）压力为0.6MPa~2MPa，然后通入粗品八氟丙烷气体，反应后得到混合气体，所述加成塔（8）的工作温度为150℃~450℃，反应时间为60min~120min；所述粗品八氟丙烷中的六氟环丙烷杂质与所述氯化氢气体反应生成1-氯六氟丙烷或者2-氯六氟丙烷，所述粗品八氟丙烷气体中六氟环丙烷杂质含量为50ppm～2×10⁵ppm；

S2、将S1中得到的混合气体通入除酸塔（18）中，去除所述混合气体中的酸性气体，得到除酸后的气体；

S3、将S2中得到的除酸后的气体通入干燥塔（22）中去除水分，得到除水后气体；

S4、将S3中得到的除水后气体通入纯化塔（28）中，制得纯度≥99.999％的高纯度八氟丙烷气体。

6.根据权利要求5所述的用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的方法，其特征在于，S1中所述惰性气体对整个装置置换处理为3~5遍，所述整个装置的置换温度为60℃~150℃，所述置换处理后整个装置的含水量≤0.5ppm；所述惰性气体为氮气、氦气或氩气，所述惰性气体的质量纯度≥99.999%；所述氯化氢气体的质量纯度≥99.999%。

7.根据权利要求5所述的用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的方法，其特征在于，S1中所述加成塔（8）加热的温度为50℃~500℃，通入粗品八氟丙烷气体的气体流量为15L/min~150L/min。

8.根据权利要求5所述的用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的方法，其特征在于，S1中所述粗品八氟丙烷气体的温度为30℃~120℃。

9.根据权利要求5所述的用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的方法，其特征在于，S2中所述除酸塔（18）的工作温度为5℃~30℃，工作压力为0.4Mpa~1.8Mpa；S3中所述干燥塔（22）的工作温度为5℃~30℃，工作压力为0.2Mpa~1.6Mpa；S4中所述纯化塔（28）工作温度为-40℃~45℃，工作压力为0.1Mpa~1.5Mpa。

10.根据权利要求5所述的用于去除八氟丙烷中六氟环丙烷杂质的方法，其特征在于，S2中所述除酸塔（18）中的填料为θ环填料、鲍尔环填料、拉西环填料或规整填料，S3中所述干燥塔（22）中的吸附剂包括椰壳活性炭、三氧化二铝、硅胶和分子筛中的一种以上。