CN111039266A - 一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置及方法，属于精细化工技术领域。本发明所述的装置结构简单，操作方便且安全，利用该装置能够有效地除去三氟化氮中的氧化亚氮，大大降低成本，具有很好的经济价值。

Description

一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置及方法
技术领域
本发明涉及一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置及方法，属于精细化工技术领域。
背景技术
三氟化氮(NF3)是一种人工合成的无色无味的气体，主要应用于微电子工业中，是一种优良的等离子刻蚀剂和清洗剂。
三氟化氮通常采用电解法和化学合成法制备，这两种方法制备的三氟化氮气中均含有近千ppm的氧化亚氮杂质。通常三氟化氮中的氧化亚氮通过吸附、氧化、精馏除去。但吸附法除三氟化氮中的氧化亚氮容易发生安全事故，三氟化氮及三氟化氮中某些活性组分如臭氧、二氟二氮、四氟二氮容易在吸附剂内发生剧烈反应。氧化法去除氧化亚氮时强氧化剂容易发生危险，而且氧化产物在后续的水处理时会继续释放出一部分氧化亚氮。精馏除三氟化氮中氧化亚氮时，氧化亚氮作为重组分在脱重塔釜富集，容易堵塞脱重塔底部填料及脱重塔排污采出管。因此，有必要在精馏前尽量将氧化亚氮去除，从而提高工艺安全性，减轻精馏压力，提高精馏产品纯度。
发明内容
针对现有技术中存在的问题，本发明提供一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置及方法，该装置结构简单，操作方便且安全，利用该装置能够有效地除去三氟化氮中的氧化亚氮杂质，大大降低成本，具有很好的经济价值。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的。
一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，所述装置包括填料吸收塔、真空解吸水罐、真空泵以及水泵；
填料吸收塔顶部设有NF3出口和喷淋口，中下部设有原料气进口，底部设有N2O溶液出口；填料吸收塔中的填料用来均匀分散气体和水流，提高气液接触面积，防止气体返回，提高吸收效率；
真空解吸水罐的顶部设有真空口，中部设有进料口，底部设有出水口；
填料吸收塔的N2O溶液出口与真空解吸水罐的进料口连接；水泵的两端分别与真空解吸水罐的出水口、填料吸收塔的喷淋口对应连接，用于将真空解吸水罐中的水输送至填料吸收塔中；真空泵与真空解吸水罐的真空口连接，用于排出解吸后的N2O气体并确保真空解吸水罐的真空度。
进一步地，填料吸收塔中填料的等效直径不大于填料吸收塔直径的十分之一，填料的等效直径优选为10mm～50mm；所述填料优选为鲍尔环、θ环或拉西环。
进一步地，真空解吸水罐为卧式容器，长径比为(2～10)：1，真空解吸水罐设计为细长结构有利于防止液体返混；相应地，进料口位于真空解吸水罐的一端，真空口位于进料口一端的上部，出水口位于真空解吸水罐另一端的下部。
采用本发明所述装置除去三氟化氮中氧化亚氮的方法，所述方法步骤如下：
含有N2O杂质的NF3粗品气从原料气进口进入填料吸收塔中，同时真空解吸水罐中的水在水泵的作用下通过喷淋口进入填料吸收塔中，NF3粗品气中的N2O气体被水吸收后形成N2O溶液，NF3粗品气中未被水吸收的NF3气体通过NF3出口进行收集，N2O溶液通过N2O溶液出口流出填料吸收塔并通过进料口进入真空解吸水罐，在真空条件下N2O气体从N2O溶液中解吸出来，解吸出来的N2O气体在真空泵的作用下通过真空口排出真空解吸水罐并进行后续处理。
其中，进入填料吸收塔的水流量与进入填料吸收塔的NF3粗品气流量比为(2～10):1，真空解吸水罐内表压为(-0.0995～-0.095)MPa。
进一步地，填料吸收塔中NF3粗品气空速优选(10～100)h-1。
进一步地，填料吸收塔内表压优选(0～0.4)MPa。
进一步地，真空解吸水罐内水的温度优选(0～30)℃。
进一步地，NF3粗品气中N2O气体的浓度优选100ppm～1000ppm。
有益效果：
本发明所述的装置结构简单，操作方便且安全，利用该装置能够有效地除去三氟化氮中的氧化亚氮，大大降低成本，具有很好的经济价值。
附图说明
图1为本发明所述装置的结构示意图。
其中，1-填料吸收塔，2-真空解吸水罐，3-水泵，4-真空泵。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步阐述，其中，所述方法如无特别说明均为常规方法，所述原材料如无特别说明均能从公开商业途径而得。
以下实施例中，除去三氟化氮中氧化亚氮所涉及的装置包括填料吸收塔1、真空解吸水罐2、真空泵4以及水泵3，如图1所示；
填料吸收塔1顶部设有NF3出口和喷淋口，中下部设有原料气进口，底部设有N2O溶液出口；填料吸收塔1中填料的等效直径不大于填料吸收塔1直径的十分之一，填料可以选用鲍尔环、θ环或拉西环；
真空解吸水罐2是长径比为(2～10)：1的卧式容器，一端设有进料口，进料口一端的上部设有真空口，另一端的下部设有出水口；
填料吸收塔1的N2O溶液出口与真空解吸水罐2的进料口连接；水泵3的两端分别与真空解吸水罐2的出水口、填料吸收塔1的喷淋口对应连接，用于将真空解吸水罐2中的水输送至填料吸收塔1中；真空泵4与真空解吸水罐2的真空口连接，用于排出解吸后的N2O气体并确保真空解吸水罐2的真空度。
实施例1
填料吸收塔1的直径为400mm，填料为不锈钢鲍尔环，填料的等效直径为10mm，填料的高为3000mm；真空解吸水罐2的长为1000mm，直径为100mm；
基于上述装置除去三氟化氮中氧化亚氮的步骤如下：
NF3粗品气以37.68m3/h的流量从原料气进口进入填料吸收塔1中，同时真空解吸水罐2中0℃的水在水泵的作用下通过喷淋口以75.36m3/h的流量进入填料吸收塔1中，在0.4MPa的压力下NF3粗品气中的N2O气体被水吸收后形成N2O溶液，NF3粗品气中未被水吸收的NF3气体通过NF3出口进行收集，N2O溶液通过N2O溶液出口流出填料吸收塔1并经过进料口进入真空解吸水罐2，在-0.0995MPa的压力下N2O气体从N2O溶液中解吸出来，解吸出来的N2O气体在真空泵的作用下通过真空口排出真空解吸水罐2并进入三废处理系统。
本实施例中，NF3粗品气中N2O气体的浓度为268ppm，从填料吸收塔1的NF3出口收集的NF3气体中N2O气体的浓度降低至6ppm。
实施例2
填料吸收塔1的直径为600mm，填料为陶瓷拉西环，填料的等效直径为50mm，填料的高为4000mm；真空解吸水罐2的长为1000mm，直径为500mm；
基于上述装置除去三氟化氮中氧化亚氮的步骤如下：
NF3粗品气以11.3m3/h的流量从原料气进口进入填料吸收塔1中，同时真空解吸水罐2中30℃的水在水泵的作用下通过喷淋口以113m3/h的流量进入填料吸收塔1中，在0.0MPa的压力下NF3粗品气中的N2O气体被水吸收后形成N2O溶液，NF3粗品气中未被水吸收的NF3气体通过NF3出口进行收集，N2O溶液通过N2O溶液出口流出填料吸收塔1并经过进料口进入真空解吸水罐2，在-0.095MPa的压力下N2O气体从N2O溶液中解吸出来，解吸出来的N2O气体在真空泵的作用下通过真空口排出真空解吸水罐2并进入三废处理系统。
本实施例中，NF3粗品气中N2O气体的浓度为532ppm，从填料吸收塔1的NF3出口收集的NF3气体中N2O气体的浓度降低至17ppm。
实施例3
填料吸收塔1的直径为800mm，填料为不锈钢θ环，填料的等效直径为20mm，填料的高为6000mm；真空解吸水罐2的长为2400mm，直径为600mm；
基于上述装置除去三氟化氮中氧化亚氮的步骤如下：
NF3粗品气以90.4m3/h的流量从原料气进口进入填料吸收塔1中，同时真空解吸水罐2中10℃的水在水泵的作用下通过喷淋口以230m3/h的流量进入填料吸收塔1中，在0.3MPa的压力下NF3粗品气中的N2O气体被水吸收后形成N2O溶液，NF3粗品气中未被水吸收的NF3气体通过NF3出口进行收集，N2O溶液通过N2O溶液出口流出填料吸收塔1并经过进料口进入真空解吸水罐2，在-0.099MPa的压力下N2O气体从N2O溶液中解吸出来，解吸出来的N2O气体在真空泵的作用下通过真空口排出真空解吸水罐2并进入三废处理系统。
本实施例中，NF3粗品气中N2O气体的浓度为367ppm，从填料吸收塔1的NF3出口收集的NF3气体中N2O气体的浓度降低至9ppm。
综上所述，以上仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，其特征在于：所述装置包括填料吸收塔、真空解吸水罐、真空泵以及水泵；
填料吸收塔顶部设有NF3出口和喷淋口，中下部设有原料气进口，底部设有N2O溶液出口；
真空解吸水罐的顶部设有真空口，中部设有进料口，底部设有出水口；
填料吸收塔的N2O溶液出口与真空解吸水罐的进料口连接；水泵的两端分别与真空解吸水罐的出水口、填料吸收塔的喷淋口对应连接；真空泵与真空解吸水罐的真空口连接。
2.根据权利要求1所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，其特征在于：填料吸收塔中填料的等效直径不大于填料吸收塔直径的十分之一。
3.根据权利要求2所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，其特征在于：填料吸收塔中填料的等效直径为10mm～50mm。
4.根据权利要求1所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，其特征在于：填料吸收塔中的填料为鲍尔环、θ环或拉西环。
5.根据权利要求1所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，其特征在于：真空解吸水罐为卧式容器，长径比为(2～10)：1；进料口位于真空解吸水罐的一端，真空口位于进料口一端的上部，出水口位于真空解吸水罐另一端的下部。
6.一种采用如权利要求1至5任一项所述的装置除去三氟化氮中氧化亚氮的方法，其特征在于：所述方法步骤如下，
含有N2O杂质的NF3粗品气从原料气进口进入填料吸收塔中，同时真空解吸水罐中的水在水泵的作用下通过喷淋口进入填料吸收塔中，NF3粗品气中的N2O气体被水吸收后形成N2O溶液，NF3粗品气中未被水吸收的NF3气体通过NF3出口进行收集，N2O溶液通过N2O溶液出口流出填料吸收塔并通过进料口进入真空解吸水罐，在真空条件下N2O气体从N2O溶液中解吸出来，解吸出来的N2O气体在真空泵的作用下通过真空口排出真空解吸水罐；
其中，进入填料吸收塔的水流量与进入填料吸收塔的NF3粗品气流量比为(2～10):1，真空解吸水罐内表压为(-0.0995～-0.095)MPa。
7.根据权利要求6所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的方法，其特征在于：填料吸收塔中NF3粗品气空速为(10～100)h-1。
8.根据权利要求6所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的方法，其特征在于：填料吸收塔内表压为(0～0.4)MPa。
9.根据权利要求6所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的方法，其特征在于：真空解吸水罐内水的温度为(0～30)℃。
10.根据权利要求6所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的方法，其特征在于：NF3粗品气中N2O气体的浓度为100ppm～1000ppm。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112316713A (zh) * 2020-10-08 2021-02-05 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 一种三氟化氮制备过程中的阴极尾气提氢系统及方法
CN113648780A (zh) * 2021-08-31 2021-11-16 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 一种三氟化氮纯化用气体热解设备

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4933158A (en) * 1988-10-25 1990-06-12 Mitsui Toatsu Chemicals, Incorporated Method for purifying nitrogen trifluoride gas
US4980144A (en) * 1988-06-01 1990-12-25 Mitsui Toatsu Chemicals, Inc. Process for purifying nitrogen trifluoride gas
JP2002068716A (ja) * 2000-08-28 2002-03-08 Mitsui Chemicals Inc 高純度ｎｆ３ガスの精製方法
JP2002284512A (ja) * 2001-03-28 2002-10-03 Mitsui Chemicals Inc 高純度三弗化窒素の製造方法
KR20030046085A (ko) * 2001-12-05 2003-06-12 주식회사 효성 삼불화 질소 가스의 정제방법
JP2003292306A (ja) * 2002-03-29 2003-10-15 Mitsui Chemicals Inc 三弗化窒素ガスの精製方法
CN102101658A (zh) * 2010-08-30 2011-06-22 天津市泰旭物流有限公司 一种精馏及吸附提纯三氟化氮制备高纯三氟化氮的技术
CN107512708A (zh) * 2016-06-17 2017-12-26 山东绿菱电子材料有限公司 一种超高纯度氧化亚氮的回收方法
CN211998832U (zh) * 2019-12-29 2020-11-24 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4980144A (en) * 1988-06-01 1990-12-25 Mitsui Toatsu Chemicals, Inc. Process for purifying nitrogen trifluoride gas
US4933158A (en) * 1988-10-25 1990-06-12 Mitsui Toatsu Chemicals, Incorporated Method for purifying nitrogen trifluoride gas
JP2002068716A (ja) * 2000-08-28 2002-03-08 Mitsui Chemicals Inc 高純度ｎｆ３ガスの精製方法
JP2002284512A (ja) * 2001-03-28 2002-10-03 Mitsui Chemicals Inc 高純度三弗化窒素の製造方法
KR20030046085A (ko) * 2001-12-05 2003-06-12 주식회사 효성 삼불화 질소 가스의 정제방법
JP2003292306A (ja) * 2002-03-29 2003-10-15 Mitsui Chemicals Inc 三弗化窒素ガスの精製方法
CN102101658A (zh) * 2010-08-30 2011-06-22 天津市泰旭物流有限公司 一种精馏及吸附提纯三氟化氮制备高纯三氟化氮的技术
CN107512708A (zh) * 2016-06-17 2017-12-26 山东绿菱电子材料有限公司 一种超高纯度氧化亚氮的回收方法
CN211998832U (zh) * 2019-12-29 2020-11-24 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
郑丽: "一些金属氧化物的制备及其在温室气体N2O和NF3分解反应中的应用" *
韩旭;吴平铿;张锋;周政;张志炳;: "水吸收法处理低浓度氮氧化物废气的中试研究" *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112316713A (zh) * 2020-10-08 2021-02-05 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 一种三氟化氮制备过程中的阴极尾气提氢系统及方法
CN112316713B (zh) * 2020-10-08 2022-07-19 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 一种三氟化氮制备过程中的阴极尾气提氢系统及方法
CN113648780A (zh) * 2021-08-31 2021-11-16 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 一种三氟化氮纯化用气体热解设备
CN113648780B (zh) * 2021-08-31 2023-08-01 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 一种三氟化氮纯化用气体热解设备

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CB02 Change of applicant information
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Address after: 057550 No. five Weir Road, chemical industry gathering area, Feixiang District, Handan, Hebei, 1

Applicant after: China shipbuilding (Handan) Perry Special Gas Co.,Ltd.

Address before: No.1 Weiwu Road, chemical industry gathering area, Feixiang County, Handan City, Hebei Province

Applicant before: PERIC SPECIAL GASES Co.,Ltd.

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
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Application publication date: 20200421