CN114435873A - 运载机器人及包括其的塔式升降机 - Google Patents

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Abstract

一种运载机器人，包括配置为运输多个容器的机器人臂；连接至机器人臂的一端的机器人手，其配置为支撑容器中具有第一尺寸的第一容器；以及设置在机器人手下方的夹具，其配置为夹持具有不同于第一尺寸的第二尺寸的第二容器。因此，运载机器人能够运输彼此具有不同尺寸的容器。

Description

运载机器人及包括其的塔式升降机
技术领域
本公开涉及一种运载机器人及包括其的塔式升降机。更具体地，本公开涉及一种能够运送彼此具有不同尺寸的容器的运载机器人，以及包括能够将彼此具有不同尺寸的容器运送离开楼层/到达楼层的运载机器人的塔式升降机。
背景技术
通常，用于制造半导体器件或显示器件的制造系统具有多层结构并包括安装在各层、各用于执行诸如沉积、曝光、蚀刻、离子注入及清洗等单元工艺的多个制造设备。
通过对用作半导体基板的硅晶圆或用作显示基板的玻璃基板重复执行一系列单元工艺，可制造半导体器件或显示器件。
另一方面，塔式升降机可延伸通过每个楼层以在竖直方向上操作从而沿竖直方向在各个楼层之间运输基板。塔式升降机可包括具有传送机器人的运载机器人，传送机器人用于运送堆叠有多个基板的容器。进一步地，塔式升降机可运送彼此具有不同尺寸的多个容器，例如用于接收硅晶圆的第一容器、用于接收掩模板(reticle)的第二容器等。
因此，有必要实现一种能够在收集和运输不同尺寸容器的同时抑制运输效率降低的容器运输系统。
发明内容
本发明的一些实施例提供了一种运载机器人，该运载机器人包括配置为运输多个容器的机器人臂；连接到机器人臂的一端的机器人手，其配置为支撑容器中具有第一尺寸的第一容器；以及设置在机器人手下方的夹具，其配置为夹持具有不同于第一尺寸的第二尺寸的第二容器。
在示例性实施例中，第二容器可包括在其上部的保持部，并且夹具可配置为以滑动方式夹持保持部。
这里，夹具可包括以与保持部的宽度相对应的间隔彼此隔开的第一夹持部和第二夹持部。
此外，第一夹持部和第二夹持部中的每一个可具有“C”形以面向彼此，并且第一夹持部和第二夹持部中的一个可包括在其端部处的光传感器，第一和第二夹持部中的另一个可包括在其端部处的反射器。
在示例性实施例中，机器人臂可具有与第二容器的高度相对应的厚度。
在示例性实施例中，机器人臂可具有至少两个或更多个堆叠的臂，并且包括在机器人臂中的最上臂可具有与第二容器的高度相对应的厚度。
在示例性实施例中，运载机器人还可包括设置在机器人手的下表面上但不干扰夹具的引导部，该引导部配置为在运送第二容器时抑制第二容器振动。
在示例性实施例中，运载机器人还可包括配置为根据第一容器和第二容器有区别地调整机器人臂的操作速度的控制单元。
在示例性实施例中，机器人手可包括与形成于第一容器的下表面上的导向槽相对应的支撑销。
本发明的一些实施例提供一种塔式升降机。塔式升降机包括沿竖直方向延伸的导轨，以及配置为可沿导轨在竖直方向上移动的至少一个运载机器人，运载机器人配置为运送多个容器，其中运载机器人包括配置为传送多个容器的机器人臂；连接到机器人臂的一端的机器人手，机器人手配置为支撑容器中具有第一尺寸的第一容器；以及设置在机器人手下方的夹具，夹具配置为夹持具有不同于第一尺寸的第二尺寸的第二容器。
在示例性实施例中，第二容器可包括在其上部的保持部，并且夹具可配置为以滑动方式夹持保持部。
在示例性实施例中，夹具可包括以与保持部的宽度相对应的间隔彼此隔开的第一夹持部和第二夹持部。
这里，第一夹持部和第二夹持部中的每一个可具有“C”形以面向彼此，并且第一夹持部和第二夹持部中的一个可包括在其端部处的光传感器，第一夹持部和第二夹持部中的另一个可包括在其端部处的反射器。
在示例性实施例中，机器人臂可具有与第二容器的高度相对应的厚度。
在示例性实施例中，机器人臂可具有至少两个或更多个堆叠的臂，并且包括在机器人臂中的最上臂可具有与第二容器的高度相对应的厚度。
在示例性实施例中，运载机器人还可包括设置在机器人手的下表面上但不干扰夹具的引导部，该引导部配置为在运输第二容器时抑制第二容器振动。
在示例性实施例中，运载机器人还可包括配置为根据第一容器和第二容器有区别地调整机器人臂的操作速度的控制单元。
本发明的一些实施例提供了一种塔式升降机。塔式升降机包括沿竖直方向延伸的导轨、配置为可沿导轨在竖直方向上移动的升降体、以及连接到升降体的第一运载机器人和第二运载机器人，第一运载机器人配置为运输各自具有彼此不同的第一尺寸和第二尺寸的第一容器和第二容器，第二运载机器人配置为运输第一容器，其中第一运载机器人包括配置为运输第一容器或第二容器的第一机器人臂；连接到第一机器人臂的末端的第一机器人手，其配置为支撑具有第一尺寸的第一容器；以及设置在第一机器人手下方的第一夹具，其配置为夹持具有第二尺寸的第二容器，并且其中第二运载机器人可包括配置为运输第一容器的第二机器人臂；连接到第二机器人臂的末端的第二机器人手，其配置为支撑具有第一尺寸的第一容器。
在示例性实施例中，第二容器可包括在其上部的保持部，并且第一夹具可配置为以滑动方式夹持保持部。
在示例性实施例中，夹具可包括以对应于保持部的宽度的间隔彼此隔开的第一夹持部和第二夹持部。
根据本发明的示例性实施例，提供机器人手以支撑具有第一尺寸的第一容器，并且夹具设置在机器人手的下部以保持具有不同于第一尺寸的第二尺寸的第二容器。因此，运载机器人可同时运送彼此尺寸不同的第一容器和第二容器。
另一方面，当运输第一容器的物流量大于运输第二容器的物流量时，运载机器人在以支撑方式稳定地支撑第一容器的同时以较高的速度运输第一容器，从而提高了运输效率。
本公开的以上概述并不旨在描述本公开的每个图示实施例或每个实施方式。下面的详细说明和权利要求更具体地举例说明了这些实施例。
附图说明
结合附图，根据以下描述可更详细地理解示例性实施例，其中：
图1是根据本发明示例性实施例的运载机器人的侧视图；
图2是图1中所示的机器人手和夹具的主视图；
图3是图1中所示的机器人手的平面图；
图4是图1中所示的运载机器人向第二容器移动的侧视图；
图5是图4中所示的运载机器人夹持第二容器时的状态的侧视图；
图6是根据本发明的示例性实施例的塔式升降机的侧视图；
图7是根据本发明的示例性实施例的塔式升降机的侧视图；
图8是根据本发明实施例的容器运输系统的主视图；
图9是图8中所示的输送机的平面图；和
图10是图8中所示的输送机的截面图。
具体实施方式
虽然可对各种实施例进行各种改型和替代形式，但其细节已通过示例的方式在附图中示出并将详细描述。然而，应理解，本发明并不旨在将要求保护的发明限制于所描述的特定实施例。相反，本发明涵盖落入由权利要求限定的主题的实质和范围内的所有修改、等同物和替代物。
下面将结合附图详细描述滚道单元和具有其的OHT的具体实施例。然而，本发明可以不同的形式实施，不应解释为限于这里阐述的实施例。相反，提供这些实施例是为了使本公开彻底和完整，并将本发明的范围充分传达给本领域技术人员。相同的附图标记始终指代相同的元件。在图中，为了图示清楚，层和区域的尺寸被夸大了。
诸如第一、第二等术语可用于描述各种元件，但上述元件不应受上述术语的限制。以上术语仅用于区分一个元素与另一个元素。例如，在本发明中，在不脱离第一组件范围的情况下，可对第二组件类似地命名，第二组件也可命名为第一组件。
这里使用的术语仅用于描述特定示例性实施例的目的，并不旨在限制本发明的构思。如本文所用，单数形式“一”和“该”也旨在包括复数形式，除非上下文另有明确指示。应进一步理解，术语“包含”和/或“包括”，在本说明书中使用时，指明所述特征、整数、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但不排除一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元素、组件和/或其群组的存在或添加。
除非另有定义，本文使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有与本发明构思所属领域的普通技术人员通常理解相同的含义。应进一步理解，术语，例如在常用词典中定义的那些，应解释为具有与其在相关领域上下文中相一致的含义，并且不应以理想化或过于正式的含义解释，除非在此明确地如此定义。
图1是根据本发明示例性实施例的运载机器人的侧视图。图2是图1所示的机器人手和夹具的主视图。图3是图1中机器人手的平面图。
参照图1至图3，根据本发明示例性实施例的运载机器人100包括机器人臂110、机器人手130和夹具150。运载机器人100可在多个位置之间运输不同尺寸的容器。容器可包括具有第一尺寸的第一容器11，例如用于容纳晶圆的前开式晶圆传送盒(FOUP)和前开式晶圆转运箱(FOSB)，以及具有第二尺寸的第二容器12，例如用于容纳掩模板的POD。
机器人臂110可伸长或缩短以具有可变的长度，从而在第一装载位置和第二装载位置之间运输具有不同尺寸的容器11和12。机器人臂110可包括具有彼此连接的多个臂111、112和113的铰接式机器人臂结构。臂111、112和113分别设置成将上臂的端部连接至下臂的端部。
当臂111、112和113竖直折叠时，机器人手130和夹具150可定位在第一装载位置。在这种情况下，第一装载位置可对应于机器人臂110的进入位置。另一方面，当臂111、112和113相互展开以伸展时，机器人手130和夹具150可位于第二装载位置。在这种情况下，第二装载位置可对应于机器人臂110的退出位置。
还可设置基座构件101以支撑机器人臂110。此外，引导构件102可进一步设置在基座构件101上以引导机器人臂110沿水平方向运动。另一方面，在基座构件101内部还设置有旋转驱动单元103，其机械连接至机器人臂110。因此，旋转驱动单元103可使机器人臂110旋转。
机器人手130连接至机器人臂110的端部。机器人手130连接到例如包括于机器人臂110中的臂中的最上臂113。如图所示，机器人手130可连接至最上臂113的远端部分。机器人手130可支撑具有第一尺寸的第一容器11。机器人手130包括配置成支撑第一容器11的上表面。第一容器11可包括用于在其中容纳晶圆的第一容纳部11a和设置于第一容纳部11a上的第一保持部11b。第一保持部可具有T形。
机器人手130包括在其上表面上的支撑销131。支撑销131可布置成彼此间隔开的。在这种情况下，支撑销131布置成对应于形成于第一容器11下表面中的导向槽的布置。因此，支撑销131插入到形成于第一容器11中的导向槽中，使得机器人手130可牢固地支撑第一容器11。结果，在运输第一容器11时，由于支撑销131，机器人手130可抑制第一容器11从机器人手130上掉落。
特别地，当第一容器11对应于FOUP或FOSB时，即使具有相对较大的质量，机器人手130也可以支撑方式而不是以夹持方式安全地支撑第一容器11。因此，可有效地抑制第一容器11在运输时从机器人手130上掉落。
识别传感器136可设置于机器人手130的上表面上。识别传感器136可包括光传感器、称重传感器等。因此，识别传感器136可检测第一容器11是否位于机器人手130上。
夹具150设置于机器人手130下方。例如，夹具150设置为面向支撑销131，使机器人手130的主体置于支撑销131之间。
夹具150可夹持具有第二尺寸(不同于第一容器11的第一尺寸)的第二容器12(例如，POD)。与第一容器11相比，第二容器12相对较轻以降低掉落的风险。因此，当夹具150以夹持方式夹持第二容器12时，可抑制第二容器12从夹具150掉落。在这种情况下，第二容器12包括用于在其中容纳掩模板的第二容纳部12a(参考图4)，以及设置于容纳部12a上的第二保持部12b。第二保持部12b可具有T形。
夹具150可以滑动方式夹持位于第二容纳部12a处的第二保持部12b。即，由于运载机器人100接近第二容器12，夹具150接近第二保持部12b并抬起第二保持部12b。因此，夹具150可夹持第二容器12。
例如，夹具150可包括彼此间隔开的一对第一夹持部151和第二夹持部156。该对第一夹持部151和第二夹持部156可具有与第二夹持部12b的宽度W相对应的间隔距离。
因此，可以不需要用于使第一和第二夹持部151和156相对于第二保持部12b隔开或接近的驱动部。
此外，当运载机器人100接近或远离第二容器12时，夹具150可夹持第二容器12或者从夹持状态释放第二容器12。
根据本发明的示例性实施例，运载机器人100包括：能够支撑具有第一尺寸的第一容器11的机器人手130，以及布置在机器人手130下方、能够夹持具有不同于第一尺寸的第二尺寸的第二容器12的夹具150。因此，运载机器人100可以选择性地运输第一容器11和第二容器12中的一个或者同时运输第一容器11和第二容器12两者。
此外，运载机器人100可通过支撑方式而不是夹持方式来支撑具有相对较高重量的第一容器11。因此，运载机器人100可在稳定地支撑第一容器11的同时以相对较高的速度运输第一容器11。
特别地，当运输第一容器11的物流量大于运输第二容器12的物流量时，运载机器人100在机器人手130仅稳定支撑第一容器11的同时以相对较高的移动速度传送第一容器11。因此，运载机器人100可实现输送效率的提高。
在本发明的示例性实施例中，第一和第二夹持部151和156中的每一个都可具有L形。此外，第一和第二夹持部151和156面向彼此。第一和第二夹具151和156对称布置。因此，在具有L形的第一和第二夹持部151和156之间限定了夹持空间。第二容器12的第二保持部12b可容纳在夹持空间中。
在本发明的示例性实施例中，第一和第二夹具151和156中的一个可包括光电传感器153，另一个包括反射器158。因此，光电传感器153和反射器158可确定第二夹持部12b是否存在于夹持空间中。即，一对光电传感器153和反射器158可检测是否夹持有第二容器12。
在本发明的示例性实施例中，机器人臂110具有与第二容器12在竖直方向上的高度相对应的厚度。因此，当夹具150夹持第二容器12时，基座构件101可与第二容器12的下表面接触。由于基座构件101支撑第二容器12，可在运载机器人110运送第二容器12时抑制第二容器12掉落。
在本发明的示例性实施例中，机器人臂110包括至少两个或更多个堆叠的臂。即，机器人臂110包括第一臂111、第二臂112和第三臂113，其每个端部彼此依次连接。
例如，第二容器12的高度可与包括在机器人臂中的最上臂(例如，第三臂113)的厚度基本相同。当夹具150夹持第二容器12时，位于作为最上臂的第三臂113下方的第二臂112可与第二容器12的下表面接触。由于第二臂112支撑第二容器12，可在运载机器人100运输第二容器12的同时抑制第二容器12掉落。
在本发明的示例性实施例中，运载机器人100还可包括引导部170。引导部170设置于机器人手130的下表面上并与夹具150分开，以避免对夹具150的干扰。引导部170可配置为引导第二容器12的侧部以在运载机器人100运输第二容器12时抑制第二容器12振动。引导部170可设置在机器人手130的外周位置处。
此外，引导部170可设置为能够沿竖直方向移动。因此，当夹具150夹持第二容器12时，引导部170可下降以接触第二容器12的侧部。结果，引导部170可抑制第二容器12在运输时从运载机器人100上掉落。
在本发明的示例性实施例中，运载机器人还可包括控制单元180，其设置为根据运输第一容器11或第二容器12来调整机器人臂110的驱动速度。即，控制器180可控制驱动电机(未示出)的驱动功率，并可调整机器人臂110的驱动速度。
例如，当连接至机器人臂110的机器人手130仅支撑第一容器11时，机器人手130能够稳定地支撑第一容器11。运载机器人100可以相对较高的运输速度运输第一容器11。另一方面，当连接至机器人臂110的夹具150夹持第二容器12时，夹具150可能相对不稳定地夹持第二容器12。因此，运载机器人100可以相对较低的运输速度运输第二容器12，从而防止第二容器12从夹具150上掉落。
因此，当运输第一容器11的物流量大于运输第二容器12的物流量时，运载机器人100可以高的运输速度运输第一容器，从而提高运载机器人100的运输效率。
图4是图1中的运载机器人向第二容器移动的侧视图。图5是图4中的运载机器人夹持第二容器的状态时的侧视图。
参照图4，图1所示的运载机器人100接近第二容器12。在这种情况下，第二容器12可位于输送机40上。另外，随着包括在运载机器人100中的机器人臂110伸展以接近位于输送机40上的第二容器12。
当机器人臂110包括具有第一至第三臂111、112和113(参考图1)的铰接臂结构时，第一至第三臂111、112和113伸展以接近第二容器12。此外，机器人手130可沿竖直方向下降，使得包括于夹具150中的第一和第二夹持部151和156也可沿竖直方向下降以具有与包括于第二容器12中的第二保持部12b的竖直位置相对应的相同竖直位置。
即，提升驱动单元160(参见图1)设置在机器人臂110的最上臂上、配置为连接至机器人手130。提升驱动单元160可竖直提升机器人手130。
参照图5，第二保持部12b插入到形成于包括在夹具150中的第一和第二夹持部151和156之间的夹持空间中，使得夹具150可夹持第二容器12。
图6是根据本发明示例性实施例的塔式升降机的侧视图。
参照图1和图6，根据本发明示例性实施例的塔式升降机300包括导轨310和运载机器人100。
运载机器人100具有与参照图1描述的运载机器人基本相同的多个元件，将省略对其的详细描述。
导轨310连接至运载机器人100。导轨310提供用于在竖直方向上提升运载机器人100的引导路径。导轨310沿竖直方向延伸。
塔式升降机300还可包括升降体330。升降体330固定于导轨310上以能够沿着导轨310升降。基座构件101将运载机器人100和升降体330互连。因此，运载机器人100可与升降体330一起沿着导轨310升降。
图7是根据本发明示例性实施例的塔式升降机的侧视图。
参照图1和图7，根据本发明示例性实施例的塔式升降机300包括导轨310、第一运载机器人100和第二运载机器人200。由于第一运载机器人100包括与参照图1描述的运载机器人相同的元件，将省略对其的详细描述。
第二运载机器人200位于第一运载机器人100上方。第二运载机器人200与第一运载机器人100一起固定于升降体330。因此，第一和第二运载机器人100和200中的每一个可同时运输第一容器11和第二容器12。
或者，第二运载机器人200可从第一运载机器人100的所有元件中省略夹具150。因此，第二运载机器人200可仅支撑第一容器11。即，在第二运载机器人200的配置中，可根据运输第二容器12的物流量来设置夹具或省略夹具。
图8是根据本发明实施例的容器运输系统的主视图。图9是图8中的输送机的平面图。图10是图8中的输送机的截面图。
参照图1和图8-10，根据本发明示例性实施例的容器运输系统1000包括塔式升降机300和输送机运输设备400。塔式升降机300在第一层1stF和位于第一层1stF上方的第二层2ndF之间运输多个容器。输送机运输设备400设置于第一层1stF和第二层2ndF中的每一个上，并配置成沿水平方向传送第一容器11和第二容器12。另一方面，在各层的天花板上还设置有高架起重机传送单元4。高架起重机传送单元4配置为沿竖直方向传送容器。
因此，塔式升降机300和输送机运输设备400中的每一个分别沿竖直方向和水平方向传送具有不同尺寸的第一容器11和第二容器12。
当输送机运输设备400传送第一容器11和第二容器12时，第一容器11中包括的第一保持部11a的高度高于第二容器12中包括的保持部12a的高度。同时，运输第一容器11的物流量可大于运输第二容器12的物流量。
在示例性实施例中，第一容器11可包括用于EUV工艺、容纳诸如半导体晶圆的晶圆的容器，第二容器12可包括用于容纳掩模板的容器。例如，第一容器11是前开式晶圆传送盒(FOUP)和前开式晶圆转运箱(FOSB)，而第二容器12是用于容纳诸如POD的掩模板的容器。此时，第一保持部11a和第二部12a对应于设置于每个容器上表面上的凸缘部。
塔式升降机300包括第一运载机器人100、第二运载机器人200、升降体330和导轨310。
第一运载机器人100配置为在多个输送机运输设备400之间传送第一容器11和第二容器12。
另一方面，第二运载机器人200可配置为仅在输送机运输设备400之间运输第一容器11。
或者，第二运载机器人200配置为在输送机运输设备400之间传送和卸载第一容器11和第二容器12。
再次参照图8和图9，邻近升降体330还设置有用于临时支撑容器11和12的缓冲单元30。缓冲单元30位于包括于输送机运输设备400中的多个输送机410和420的端部旁边。因此，缓冲单元30、升降体330和输送机410和420的端部彼此相邻。此外，缓冲单元30和输送机410和420的端部限定了多个装载位置3。
第一运载机器人100在装载位置3处同时或顺序地在缓冲单元30和输送机输送设备400之间输送第一容器11和第二容器12。
此外，第二运载机器人200在缓冲单元30和输送机传送设备400之间传送第一容器11和第二容器12。
第一运载机器人100包括第一机器人臂110、第一机器人手130和第一夹具150。由于已经参考图7详细描述了第一运载机器人100，故省略对其的详细描述。
第二运载机器人200包括第二机器人臂210、第二机器人手230和第二夹具250。由于已经参考图7详细描述了第二运载机器人200，也省略对其的详细描述。
参照图9，第一运载机器人100在装载位置3之间传送第一容器11和第二容器12。
第一运载机器人100可折叠或展开第一机器人臂110以在装载位置3之间移动第一机器人手130和第一夹具150两者。此外，第一运载机器人100包括第一提升驱动单元160，其配置为将第一机器人手130从下部位置提升到上部位置或将第一机器人手130从上部位置下降到下部位置。
因此，第一运载机器人100包括机器人手130和夹具150，它们能够沿水平方向和垂直方向移动以在装载位置3之间传送第一和第二容器11和12，从而在装载位置3保持或卸载第一和第二容器11和12。
特别地，当第一运载机器人100同时保持第一和第二容器11和12两者时，运载机器人100无任何顺序地保持第一和第二容器11和12。然而，当第一运载机器人100将第一和第二容器11和12两者卸载到装载位置3之一时，第一运载机器人100在装载位置3之一卸载第二容器12，之后在另一个装载位置3卸载第一容器11。
另一方面，第一运载机器人100可在仅运送第一容器11的状态下以高于传送第二容器12的传送速度传送第一容器11。这是因为第一运载机器人100可以支撑方式运送第一容器11，从而比仅以夹持方式运送第二容器12的情况更安全地传送第一容器11。
再次参照图9，第一输送机410设置为一对输送机，分别用于沿水平方向运入和运出第一容器11。另外，第二输送机420设置为一对输送机，分别用于沿水平方向运入和运出第二容器12。
再次参照图8，输送机运输设备400还可包括第三输送机440和第四输送机450，分别用于将第一容器11和第二容器12装载到装载位置3。
第三输送机440和第四输送机450位于第一输送机下方并靠近每个层的底面。第三输送机440的一端对应于装载位置3之一，另一端对应于操作者可装载第一容器11的位置。同时，第四输送机450的一端对应于装载位置3之一，另一端对应于操作者可装载第二容器12的位置。
参照图10，第一输送机410可包括能够沿水平方向移动以输送第一容器11的第一运输车417，以及安装在第一运输车417的移动路径的一端并配置为支撑第一容器11的第一内支撑件418。
此外，第一内支撑件418位于邻近装载位置3中一个的位置处。运载机器人100可提升位于第一内支撑件418上的第一容器11或者在第一内支撑件418处装载第一容器。
根据本发明一些示例性实施例的运载机器人和塔式升降机可用于容器运输系统中，用于运输彼此具有不同尺寸的第一容器和第二容器。
虽然已经参考具体实施例描述了本发明的示例性实施例，但是它们不限于此。因此，本领域技术人员应容易理解，在不脱离本公开由所附权利要求限定的实质和范围的情况下，可对其进行各种修改和改变。

Claims (20)

1.一种运载机器人，包括：
配置为运输多个容器的机器人臂；
连接至所述机器人臂的一端的机器人手，所述机器人手配置为支撑所述容器中具有第一尺寸的第一容器；以及
设置在所述机器人手下方的夹具，所述夹具配置为夹持具有不同于所述第一尺寸的第二尺寸的第二容器。
2.根据权利要求1所述的运载机器人，其中所述第二容器包括在其上部的保持部，并且所述夹具配置为以滑动方式夹持所述保持部。
3.根据权利要求2所述的运载机器人，其中所述夹具包括以对应于所述保持部的宽度的间隔彼此隔开的第一夹持部和第二夹持部。
4.根据权利要求3所述的运载机器人，其中所述第一夹持部和所述第二夹持部中的每一个具有“C”形以面向彼此，并且所述第一夹持部和所述第二夹持部中的一个包括在其端部处的光传感器，所述第一夹持部和所述第二夹持部中的另一个包括在其端部处的反射器。
5.根据权利要求1所述的运载机器人，其中所述机器人臂具有对应于所述第二容器的高度的厚度。
6.根据权利要求1所述的运载机器人，其中所述机器人臂具有至少两个或更多个堆叠的臂，并且包括在所述机器人臂中的最上臂具有对应于所述第二容器的高度的厚度。
7.根据权利要求1所述的运载机器人，还包括设置于所述机器人手的下表面上但不干扰所述夹具的引导部，所述引导部配置为在运送所述第二容器时抑制所述第二容器振动。
8.根据权利要求1所述的运载机器人，还包括配置为根据第一容器和第二容器有区别地调整所述机器人臂的操作速度的控制单元。
9.根据权利要求1所述的运载机器人，其中所述机器人手包括与形成于所述第一容器的下表面上的导向槽相对应的支撑销。
10.一种塔式升降机，包括
沿竖直方向延伸的导轨；以及
配置为可沿所述导轨在竖直方向上移动的至少一个运载机器人，所述运载机器人配置为运送多个容器，
其中所述运载机器人包括：
配置为传送多个容器的机器人臂；
连接至所述机器人臂的一端的机器人手，所述机器人手配置为支撑所述容器中具有第一尺寸的第一容器；以及
设置在所述机器人手下方的夹具，所述夹具配置为夹持具有不同于所述第一尺寸的第二尺寸的第二容器。
11.根据权利要求10所述的塔式升降机，其中所述第二容器包括在其上部的保持部，并且所述夹具配置为以滑动方式夹持所述保持部。
12.根据权利要求11所述的塔式升降机，其中所述夹具包括以对应于所述保持部的宽度的间隔彼此隔开的第一夹持部和第二夹持部。
13.根据权利要求12所述的塔式升降机，其中所述第一夹持部和所述第二夹持部中的每一个具有“C”形以面向彼此，并且所述第一夹持部和所述第二夹持部中的一个包括在其端部处的光传感器，所述第一夹持部和所述第二夹持部中的另一个包括在其端部处的反射器。
14.根据权利要求10所述的塔式升降机，其中所述机器人臂具有与所述第二容器的高度相对应的厚度。
15.根据权利要求10所述的塔式升降机，其中所述机器人臂具有至少两个或更多个堆叠的臂，并且包括在所述机器人臂中的最上臂具有与所述第二容器的高度相对应的厚度。
16.根据权利要求10所述的塔式升降机，其中所述运载机器人还包括设置于所述机器人手的下表面上但不干扰所述夹具的引导部，所述引导部配置为在运输所述第二容器时抑制所述第二容器振动。
17.根据权利要求10所述的塔式升降机，其中所述运载机器人还包括配置为根据第一容器和第二容器有区别地调整所述机器人臂的操作速度的控制单元。
18.一种塔式升降机，包括：
沿竖直方向延伸的导轨；
配置为可沿所述导轨在竖直方向上移动的升降体；以及
连接至所述升降体的第一运载机器人和第二运载机器人，所述第一运载机器人配置为运输各自具有彼此不同的第一尺寸和第二尺寸的第一容器和第二容器，并且所述第二运载机器人配置为运输所述第一容器，
其中所述第一运载机器人包括：
配置为运输所述第一容器或所述第二容器的第一机器人臂；
连接至所述第一机器人臂的一端的第一机器人手，所述第一机器人手配置为支撑具有所述第一尺寸的所述第一容器；以及
设置在所述第一机器人手下方的第一夹具，所述第一夹具配置为夹持具有所述第二尺寸的所述第二容器，并且
其中所述第二运载机器人包括：
配置为运输所述第一容器的第二机器人臂；
连接至所述第二机器人臂的一端的第二机器人手，所述第二机器人手配置为支撑具有所述第一尺寸的所述第一容器。
19.根据权利要求18所述的塔式升降机，其中所述第二容器包括在其上部的保持部，并且所述第一夹具配置为以滑动方式夹持所述保持部。
20.根据权利要求19所述的塔式升降机，其中所述夹具包括以对应于所述保持部的宽度的间隔彼此隔开的第一夹持部和第二夹持部。
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