KR20220095834A - 천장 이송 장치 - Google Patents

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박노재
이성현
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세메스 주식회사
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Abstract

천장 이송 장치는, 천장을 따라 구비되는 자기 부상 플로어 및 상기 자기 부상 플로어 상에 자기력에 의해 부상된 상태로 이동 가능하도록 구비되며, 대상물이 수납된 용기를 이송 및 이적재하는 자기 부상 차량을 포함할 수 있다.

Description

천장 이송 장치{Overhead hoist transport device}
본 발명은 천장 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 천장을 따라 대상물을 이송 및 이적재하는 천장 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 용기에 수납한 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 용기를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.
상기 용기는 천장 이송 장치(Overhead hoist transport device)에 의해 이송된다. 상기 천장 이송 장치는 상기 반도체 공정 장치들이 구비된 공간의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 용기를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다.
상기 비히클의 주행 휠들이 상기 주행 레일과 접촉하므로, 상기 주행 휠들에서 파티클이 발생할 수 있다. 또한, 상기 주행 레일의 분기 구간에서 상기 비히클의 조향 휠들이 조향 레일과 접촉한다. 따라서, 상기 조향 레일들에서 파티클이 추가로 발생할 수 있고, 상기 조향 휠들과 상기 조향 레일의 마찰로 진해 상기 비히클에 진동이 발생할 수 있다.
상기 비히클들 중 선행하는 비히클이 상기 용기를 이적재 작업을 수행하는 경우, 후행하는 비히클은 상기 이적재 작업이 완료될 때까지 대기해야 한다. 따라서, 상기 비히클의 이송 효율이 저하될 수 있다.
상기 비히클에 전원을 제공하기 위해 상기 주행 레일을 따라 전원 케이블이 구비된다. 상기 전원 케이블의 설치에 많은 시간이 소요될 수 있다.
본 발명은 파티클 발생과 대기 시간을 줄일 수 있는 천장 이송 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 천장 이송 장치는, 천장을 따라 구비되는 자기 부상 플로어 및 상기 자기 부상 플로어 상에 자기력에 의해 부상된 상태로 이동 가능하도록 구비되며, 대상물이 수납된 용기를 이송 및 이적재하는 자기 부상 차량을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 자기 부상 차량은 영구 자석을 포함하고, 상기 자기 부상 플로어는 내부에 전자석을 포함하고, 상기 전자석의 자력을 변화시켜 상기 자기 부상 차량을 직선 이동, 곡선 이동 및 회전 이동시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 자기 부상 차량이 상기 용기를 이적재하는 동안 다른 자기 부상 차량이 상기 자기 부상 플로어를 따라 이동 가능하도록 상기 자기 부상 플로어는 상기 이적재가 이루어지는 이적재 구간에 우회 경로를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 우회 경로는 상기 이적재 구간에서 상기 자기 부상 플로어의 폭을 상대적으로 넓게 하여 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 자기 부상 차량은, 상기 자기 부상 플로어 상에 부상된 상태로 상기 자기 부상 플로어를 따라 이동하는 이동 유닛과, 상기 이동 유닛으로부터 일측으로 돌출되도록 구비되며, 고정 벨트들을 권취하거나 권출하여 상기 고정 벨트들을 승강시키는 호이스트 유닛 및 상기 고정 벨트들의 하단부에 고정되며, 상기 용기를 파지하는 핸드 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 자기 부상 차량은 상기 호이스트 유닛 및 상기 핸드 유닛을 구동시키기 위한 전원을 공급하고, 무선 충전을 통해 충전되는 전원 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 차기 부상 차량이 넘어지는 것을 방지하기 위해 상기 이동 유닛의 무게가 상기 호이스트 유닛 및 상기 핸드 유닛의 무게보다 무거울 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 천장 이송 장치는, 상기 자기 부상 플로어의 일측에 배치되며, 상기 용기를 보관하기 위한 용기 보관 유닛을 더 포함하고, 상기 용기 보관 유닛은, 자기 부상 스테이지 및 상기 자기 부상 스테이지 상에 자기력에 의해 부상된 상태로 이동 가능하도록 구비되며, 상기 용기를 지지하는 자기 부상 셔틀들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 자기 부상 셔틀들은 영구 자석을 포함하고, 상기 자기 부상 스테이지는 내부에 전자석을 포함하고, 상기 전자석의 자력을 변화시켜 상기 자기 부상 셔틀들을 직선 이동, 곡선 이동 및 회전 이동시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 용기 보관 유닛은, 상기 각 자기 부상 셔틀들의 상부면에 구비되고, 상기 용기의 유무 및 상기 용기의 정상 안착을 감지하는 센서들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 용기 보관 유닛은, 상기 각 자기 부상 셔틀들의 상부면에 구비되고, 상기 용기의 안착을 가이드하며, 상기 용기의 측면을 지지하여 상기 용기가 상기 각 자기 부상 셔틀들로부터 이탈하는 것을 차단하는 가이드 부재들을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 상기 천장 이송 장치는 상기 자기 부상 플로어를 따라 상기 자기 부상 차량을 자기 부상시켜 상기 용기를 이송한다. 상기 자기 부상 차량이 상기 자기 부상 플로어와 접촉하지 않으므로, 상기 자기 부상 차량의 파티클 및 진동 발생을 방지할 수 있다.
또한, 상기 자기 부상 차량이 상기 용기를 이적재하는 동안 다른 자기 부상 차량이 상기 우회 경로를 통해 이동할 수 있다. 상기 자기 부상 차량이 대기할 필요가 없으므로, 상기 자기 부상 차량의 이송 시간을 단축하고, 상기 자기 부상 차량의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.
그리고, 상기 자기 부상 차량은 무선 충전을 통해 상기 전원 유닛이 충전될 수 있다. 상기 전원 유닛으로 전원을 공급하기 위한 전원 케이블을 설치할 필요가 없으므로, 시간과 비용을 절감할 수 있다.
상기 용기 보관 유닛은 상기 자기 부상 스테이지를 따라 상기 자기 부상 셔틀들을 자기 부상시켜 상기 용기를 보관한다. 상기 자기 부상 셔틀들이 자유롭게 이동할 수 있으므로, 상기 용기를 여러 위치에서 이적재할 수 있고, 상기 용기를 상기 자기 부상 스테이지의 여러 위치에 보관할 수 있다. 따라서, 상기 용기의 이적재 및 보관이 용이하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 천장 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 자기 부상 플로어 및 자기 부상 차량을 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 자기 부상 플로어, 자기 부상 차량 및 용기 보관 유닛을 설명하기 위한 측면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 자기 부상 셔틀을 설명하기 위한 평면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 천장 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 자기 부상 플로어 및 자기 부상 차량을 설명하기 위한 측면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 자기 부상 플로어, 자기 부상 차량 및 용기 보관 유닛을 설명하기 위한 측면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 자기 부상 셔틀을 설명하기 위한 평면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 천장 이송 장치(100)는 대상물이 수납된 용기(10)를 이송한다. 상기 용기(10)의 예로는 FOUP, FOSB, 매거진, 레티클 포드 등일 수 있다. 상기 대상물의 예로는 웨이퍼, 웨이퍼 링, 리드 프레임, 인쇄회로기판, 레티클 등을 들 수 있다.
상기 천장 이송 장치(100)는 자기 부상 플로어(110), 자기 부상 차량(120) 및 용기 보관 유닛(130)을 포함할 수 있다.
상기 자기 부상 플로어(110)는 반도체 공정 장치들(20)이 구비된 공간의 천장을 따라 구비될 수 있다.
상기 자기 부상 차량(120)은 상기 자기 부상 플로어(110) 상에 자기력에 의해 부상된 상태로 이동 가능하도록 구비되며, 상기 용기(10)를 이송 및 이적재할 수 있다. 상기 자기 부상 차량(120)은 상기 반도체 공정 장치들(20)에 구비된 로드 포트(21)와 상기 용기(10)를 이적재하거나, 상기 용기 보관 유닛(130)과 상기 용기(10)를 이적재할 수 있다.
구체적으로, 상기 자기 부상 플로어(110)는 전자석을 내장할 수 있고, 상기 자기 부상 차량(120)을 영구 자석을 내장할 수 있다. 상기 전자석과 상기 영구 자석 사이 척력이 발생할 수 있고, 상기 척력에 의해 상기 자기 부상 차량(120)이 상기 자기 부상 플로어(110) 상에 부상된 상태를 유지할 수 있다. 또한, 상기 전자석의 자력을 변화시킴으로써 부상된 상기 자기 부상 차량(120)이 직선 이동, 곡선 이동 및 회전 이동할 수 있다.
상기 자기 부상 차량(120)이 상기 자기 부상 플로어(110)와 접촉하지 않으므로, 상기 자기 부상 플로어(110)와 상기 자기 부상 차량(120)의 접촉으로 인해 파티클이나 진동이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
상기 자기 부상 플로어(110)는 주행 경로(111) 및 우회 경로(112)를 포함할 수 있다.
상기 주행 경로(111)는 상기 자기 부상 차량(120)이 주로 이동하는 경로이며, 상기 자기 부상 플로어(110)의 전체 구간에 구비된다.
상기 우회 경로(112)는 상기 자기 부상 차량(120)이 다른 자기 부상 차량(120)을 우회하기 위한 것으로, 상기 자기 부상 플로어(110)에서 상기 로드 포트(21) 및 상기 용기 보관 유닛(130)과 상기 용기(10)의 이적재가 이루어지는 일부 구간인 이적재 구간에 구비된다.
상기 우회 경로(112)는 상기 이적재 구간에서 상기 자기 부상 플로어(110)의 폭을 상대적으로 넓게 하여 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 우회 경로(112)의 폭은 상기 주행 경로(111)의 폭과 동일할 수 있다. 즉, 상기 이적재 구간에서 상기 자기 부상 플로어(110)의 폭은 나머지 구간에서 상기 자기 부상 플로어(110)의 폭의 두 배일 수 있다.
상기 이적재 구간에서 상기 자기 부상 차량(120)이 상기 용기(10)를 이적재하는 동안 다른 상기 자기 부상 차량(120)이 상기 자기 부상 플로어(110)를 따라 이동할 수 있다. 상기 자기 부상 차량(120) 상기 용기(10)를 이적재 작업을 수행하더라도 다른 상기 자기 부상 차량(120)이 대기할 필요가 없다. 따라서, 상기 자기 부상 차량(120)이 상기 용기(10)를 이송하는데 소요되는 시간을 단축할 수 있고, 상기 천장 이송 장치(100)의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.
상기 자기 부상 차량(120)은 이동 유닛(121), 호이스트 유닛(122) 및 핸드 유닛(124)을 포함할 수 있다.
상기 이동 유닛(121)은 상기 자기 부상 플로어(110) 상에 부상된 상태로 상기 자기 부상 플로어(110)를 따라 이동한다. 상기 영구 자석은 상기 이동 유닛(121)에 내장될 수 있다. 또한, 상기 이동 유닛(121)이 상기 자기 부상 플로어(110) 상에서 상기 직선 이동, 상기 곡선 이동 및 상기 회전 이동할 수 있다.
상기 호이스트 유닛(122)은 상기 이동 유닛(121)의 일측에 돌출되도록 구비된다. 예를 들면, 상기 호이스트 유닛(122)은 상기 이동 유닛(121)의 주행 방향 후단에 구비될 수 있다.
상기 호이스트 유닛(122)은 고정 벨트들(123)을 권취하거나 권출하여 상기 고정 벨트들(123)을 승강시킬 수 있다.
자세히 도시되지는 않았지만, 상기 호이스트 유닛(122)은 모터 및 풀리들을 포함하고, 상기 모터와 상기 풀리들을 이용하여 상기 고정 벨트들(123)을 권취 및 권출할 수 있다.
상기 핸드 유닛(124)은 상기 고정 벨트들(123)의 하단부에 고정되며, 상기 용기(10)를 파지할 수 있다.
상기 핸드 유닛(124)은 한 쌍의 그리퍼들(125)을 포함하며, 상기 그리퍼들(125)을 작동하여 상기 용기(10)를 파지할 수 있다.
상기 호이스트 유닛(122)이 상기 이동 유닛(121)으로부터 돌출되므로, 상기 호이스트 유닛(122)을 수평 방향으로 이동시키기 위한 슬라이드 유닛을 구비할 필요가 없다. 따라서 상기 자기 부상 차량(120)의 구성을 단순화할 수 있다.
또한, 상기 자기 부상 차량(120)이 상기 로드 포트(21) 및 상기 용기 보관 유닛(130)과 인접하도록 이동한 후 회전함으로써 상기 용기(10)를 상기 로드 포트(21) 및 상기 용기 보관 유닛(130)의 상방에 위치시킬 수 있다. 따라서, 상기 자기 부상 차량(120)이 상기 용기(10)를 신속하게 이적재할 수 있다.
상기 이동 유닛(121)의 무게는 상기 호이스트 유닛(122) 및 상기 핸드 유닛(124)의 무게보다 무거울 수 있다.
상기 호이스트 유닛(122)이 상기 이동 유닛(121)으로부터 돌출되고, 상기 핸드 유닛(124)이 상기 용기(10)를 파지하더라도 상기 자기 부상 차량(120)이 상기 호이스트 유닛(122)이 구비된 방향으로 넘어지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 자기 부상 차량(120)이 안정적으로 이동할 수 있다.
상기 자기 부상 차량(120)은 전원 유닛(126)을 더 포함할 수 있다. 상기 전원 유닛(126)은 상기 이동 유닛(121)에 내장되며, 상기 호이스트 유닛(122) 및 상기 핸드 유닛(124)을 구동시키기 위한 전원을 공급할 수 있다.
또한, 상기 전원 유닛(126)은 무선 충전을 통해 충전될 수 있다. 예를 들면, 상기 전원 유닛(126)은 수신 코일을 구비하고, 상기 자기 부상 플로어(110)가 송신 코일을 구비하여 상기 송신 코일과 상기 수신 코일의 공진을 통해 사이 전원 유닛(126)을 충전할 수 있다.
상기 전원 유닛(126)으로 전원을 공급하기 위한 전원 케이블을 설치할 필요가 없으므로, 상기 전원 케이블을 설치하는데 필요한 시간과 비용을 절감할 수 있다.
상기 용기 보관 유닛(130)은 상기 자기 부상 플로어(110)의 일측에 상기 자기 부상 플로어(110)와 인접하도록 구비되며, 상기 용기(10)를 임시로 보관한다.
상기 용기 보관 유닛(130)은 자기 부상 스테이지(131) 및 자기 부상 셔틀들(132)을 포함한다.
상기 자기 부상 스테이지(131)는 상기 자기 부상 플로어(110)의 일측에 구비되며, 상기 자기 부상 셔틀들(132)을 부상시키기 위해 충분한 크기를 갖는다.
상기 자기 부상 셔틀들(132)은 상기 자기 부상 스테이지(131) 상에 자기력에 의해 부상된 상태로 이동 가능하도록 구비되며 상기 용기(10)를 지지할 수 있다.
구체적으로, 상기 자기 부상 스테이지(131)는 전자석을 내장할 수 있고, 상기 자기 부상 셔틀들(132)은 영구 자석을 내장할 수 있다. 상기 전자석과 상기 영구 자석 사이 척력이 발생할 수 있고, 상기 척력에 의해 상기 자기 부상 셔틀들(132)이 상기 자기 부상 스테이지(131) 상에 부상된 상태를 유지할 수 있다. 또한, 상기 전자석의 자력을 변화시킴으로써 부상된 상기 자기 부상 셔틀들(132)이 직선 이동, 곡선 이동 및 회전 이동할 수 있다.
상기 자기 부상 셔틀들(132)이 자유롭게 이동할 수 있으므로, 상기 용기(10)를 여러 위치에서 이적재할 수 있고, 상기 용기(10)를 여러 위치에 보관할 수 있다. 따라서, 상기 용기(10)의 이적재 및 보관이 용이하다.
상기 용기 보관 유닛(130)은 상기 각 자기 부상 셔틀들(132)의 상부면에 구비되는 센서들(133)을 더 포함할 수 있다.
상기 센서들(133)은 상기 각 자기 부상 셔틀들(132)의 상기 상부면에 상기 용기(10)가 존재하는지 여부 및 상기 용기(10)가 상기 각 자기 부상 셔틀들(132)의 상기 상부면에 정상적으로 안착되었는지 여부를 확인한다.
구체적으로, 상기 센서들(133)은 상기 각 자기 부상 셔틀들(132)의 상기 상부면에 서로 이격되도록 복수로 구비될 수 있다. 상기 센서들(133) 중 적어도 하나가 상기 용기(10)를 감지하면, 상기 용기(10)가 상기 각 자기 부상 셔틀들(132)의 상기 상부면에 존재하는 것으로 판단한다.
상기 센서들(133)이 용기(10)를 감지하지 못하면, 상기 용기(10)가 상기 각 자기 부상 셔틀들(132)의 상기 상부면에 존재하지 않는 것으로 판단한다.
상기 센서들(133) 모두가 상기 용기(10)를 감지하면, 상기 용기(10)가 상기 각 자기 부상 셔틀들(132)의 상기 상부면에 정상적으로 안착된 것으로 판단한다.
상기 센서들(133) 중 일부가 상기 용기(10)를 감지하면, 상기 용기(10)가 상기 각 자기 부상 셔틀들(132)의 상기 상부면에 비정상적으로 안착된 것으로 판단한다.
상기 용기 보관 유닛(130)은 상기 각 자기 부상 셔틀들(132)의 상부면에 구비되는 가이드 부재들(134)을 더 포함할 수 있다.
상기 가이드 부재들(134)은 상기 용기(10)가 상기 각 자기 부상 셔틀들(132)에 안착될 때 상기 용기(10)의 측면을 가이드한다. 일 예로, 상기 가이드 부재들(134)은 상기 용기(10)의 네 모서리들을 가이드할 수 있다. 따라서, 상기 용기(10)가 상기 각 자기 부상 셔틀들(132)의 기 설정된 기준 위치에 정확하게 안착될 수 있다.
또한, 자세히 도시되지는 않았지만, 상기 각 가이드 부재들(134)은 상기 용기(10)와 접촉하는 내측면이 경사질 수 있다. 상기 용기(10)가 상기 가이드 부재들(134) 사이로 삽입될 때 상기 가이드 부재들(134)가 상기 용기(10) 사이의 간격을 크게 할 수 있다. 따라서, 상기 용기(10)가 상기 가이드 부재들(134)과 충돌하는 것을 감소시킬 수 있다.
그리고, 상기 가이드 부재들(134)은 상기 각 자기 부상 셔틀들(132)에 안착된 상기 용기(10)를 상기 측면을 지지한다. 상기 각 자기 부상 셔틀들(132)이 이동하더라도 상기 용기(10)가 상기 각 자기 부상 셔틀들(132)로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 천장 이송 장치는 상기 자기 부상 플로어를 따라 상기 자기 부상 차량을 자기 부상시켜 상기 용기를 이송한다. 상기 자기 부상 차량이 상기 자기 부상 플로어와 접촉하지 않으므로, 상기 자기 부상 차량의 파티클 및 진동 발생을 방지할 수 있다.
또한, 상기 자기 부상 차량이 상기 용기를 이적재하는 동안 다른 자기 부상 차량이 상기 우회 경로를 통해 이동할 수 있다. 상기 자기 부상 차량이 대기할 필요가 없으므로, 상기 자기 부상 차량의 이송 시간을 단축하고, 상기 자기 부상 차량의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.
그리고, 상기 자기 부상 차량은 무선 충전을 통해 상기 전원 유닛이 충전될 수 있다. 상기 전원 유닛으로 전원을 공급하기 위한 전원 케이블을 설치할 필요가 없으므로, 시간과 비용을 절감할 수 있다.
상기 용기 보관 유닛은 상기 자기 부상 스테이지를 따라 상기 자기 부상 셔틀들을 자기 부상시켜 상기 용기를 보관한다. 상기 자기 부상 셔틀들이 자유롭게 이동할 수 있으므로, 상기 용기를 여러 위치에서 이적재할 수 있고, 상기 용기를 상기 자기 부상 스테이지의 여러 위치에 보관할 수 있다. 따라서, 상기 용기의 이적재 및 보관이 용이하다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 천장 이송 장치 110 : 자기 부상 플로어
111 : 주행 경로 112 : 우회 경로
120 : 자기 부상 차량 121 : 이동 유닛
122 : 호이스트 유닛 123 : 고정 벨트
124 : 핸드 유닛 125 : 그리퍼
126 : 전원 유닛 130 : 용기 보관 유닛
131 : 자기 부상 스테이지 132 : 자기 부상 셔틀
133 : 센서 134 : 가이드 부재
10 : 용기 20 : 반도체 공정 장치
21 : 로드 포트

Claims (11)

  1. 천장을 따라 구비되는 자기 부상 플로어; 및
    상기 자기 부상 플로어 상에 자기력에 의해 부상된 상태로 이동 가능하도록 구비되며, 대상물이 수납된 용기를 이송 및 이적재하는 자기 부상 차량을 포함하는 것을 특징으로 하는 천장 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 자기 부상 차량은 영구 자석을 포함하고, 상기 자기 부상 플로어는 내부에 전자석을 포함하고,
    상기 전자석의 자력을 변화시켜 상기 자기 부상 차량을 직선 이동, 곡선 이동 및 회전 이동시키는 것을 특징으로 하는 천장 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 자기 부상 차량이 상기 용기를 이적재하는 동안 다른 자기 부상 차량이 상기 자기 부상 플로어를 따라 이동 가능하도록 상기 자기 부상 플로어는 상기 이적재가 이루어지는 이적재 구간에 우회 경로를 포함하는 것을 특징으로 하는 천장 이송 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 우회 경로는 상기 이적재 구간에서 상기 자기 부상 플로어의 폭을 상대적으로 넓게 하여 형성되는 것을 특징으로 하는 천장 이송 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 자기 부상 차량은,
    상기 자기 부상 플로어 상에 부상된 상태로 상기 자기 부상 플로어를 따라 이동하는 이동 유닛;
    상기 이동 유닛으로부터 일측으로 돌출되도록 구비되며, 고정 벨트들을 권취하거나 권출하여 상기 고정 벨트들을 승강시키는 호이스트 유닛; 및
    상기 고정 벨트들의 하단부에 고정되며, 상기 용기를 파지하는 핸드 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 천장 이송 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 자기 부상 차량은 상기 호이스트 유닛 및 상기 핸드 유닛을 구동시키기 위한 전원을 공급하고, 무선 충전을 통해 충전되는 전원 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 천장 이송 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 차기 부상 차량이 넘어지는 것을 방지하기 위해 상기 이동 유닛의 무게가 상기 호이스트 유닛 및 상기 핸드 유닛의 무게보다 무거운 것을 특징으로 하는 천장 이송 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 자기 부상 플로어의 일측에 배치되며, 상기 용기를 보관하기 위한 용기 보관 유닛을 더 포함하고,
    상기 용기 보관 유닛은,
    자기 부상 스테이지; 및
    상기 자기 부상 스테이지 상에 자기력에 의해 부상된 상태로 이동 가능하도록 구비되며, 상기 용기를 지지하는 자기 부상 셔틀들을 포함하는 것을 특징으로 하는 천장 이송 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 자기 부상 셔틀들은 영구 자석을 포함하고, 상기 자기 부상 스테이지는 내부에 전자석을 포함하고,
    상기 전자석의 자력을 변화시켜 상기 자기 부상 셔틀들을 직선 이동, 곡선 이동 및 회전 이동시키는 것을 특징으로 하는 천장 이송 장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 각 자기 부상 셔틀들의 상부면에 구비되고, 상기 용기의 유무 및 상기 용기의 정상 안착을 감지하는 센서들을 포함하는 것을 특징으로 하는 천장 이송 장치.
  11. 제8항에 있어서, 상기 각 자기 부상 셔틀들의 상부면에 구비되고, 상기 용기의 안착을 가이드하며, 상기 용기의 측면을 지지하여 상기 용기가 상기 각 자기 부상 셔틀들로부터 이탈하는 것을 차단하는 가이드 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 천장 이송 장치.
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