CN114377579A - 一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置 - Google Patents

一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置,具体涉及复合薄膜的制备技术领域,包括混合箱,所述混合箱底端安装有控制阀,所述控制阀底端连接有制备掺杂箱,所述制备掺杂箱内部设置有水浴机构;所述水浴机构包括设置在制备掺杂箱内部的环形管,所述环形管外部连接有多个斜形分散管,所述斜形分散管底端连接有外扩环形管,所述外扩环形管内壁连接有多个凹形嵌入管。本发明采用水浴机构,可以伸入到混合液内部进行循环加热,大幅度提高热量的均匀性,保证充分进行温度循环流动操作,均匀性更好扩散更快,温度导热流动性更好,循环加热效果更好,这样可以保证在掺杂过程中的温度均匀扩散性,制备效果更好。

Description

一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置
技术领域
本发明涉及复合薄膜的制备技术领域,更具体地说,本发明涉及一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置。
背景技术
VI族元素及其Cd基三元化合物是优良的光电功能材料,以Cd(NO3)2-4H2O、Na2SeO3和Na2TeO3的混合液为电解液,采用电化学共沉积法在ITO玻璃基底上制备了CdSeTe,薄膜样品,在制备过程中需要采用制备装置进行混合制备操作。
而实际使用时,在制备过程中需要用到水浴加热,这样避免温度过高,而一般通过外部循环加热水,实现外部水浴加热操作,这样的加热方式会存在以下缺点;
在进行制备过程中,水浴加热仅仅只能在外部进行加热操作,这样导致在P型掺杂和N型掺杂过程中,对于水浴温度把握较为严谨,虽然可以控制外部水温,但是在掺杂循环过程中,温度导热流动性较差,导致循环效果较差,影响掺杂制备温度需要,从而均匀性较差,制备效果较差。
发明内容
为了克服现有技术的上述缺陷,本发明的实施例提供一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置,本发明采用水浴机构,可以伸入到混合液内部进行循环加热,大幅度提高热量的均匀性,保证充分进行温度循环流动操作,均匀性更好扩散更快,温度导热流动性更好,循环加热效果更好,这样可以保证在掺杂过程中的温度均匀扩散性,制备效果更好,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置,包括混合箱,所述混合箱底端安装有控制阀,所述控制阀底端连接有制备掺杂箱,所述制备掺杂箱内部设置有水浴机构;
所述水浴机构包括设置在制备掺杂箱内部的环形管,所述环形管外部连接有多个斜形分散管,所述斜形分散管底端连接有外扩环形管,所述外扩环形管内壁连接有多个凹形嵌入管,所述外扩环形管底端安装有多个下流管,所述下流管底端连接有环形汇集管,所述环形汇集管底端连通有多个下流导向管,所述下流导向管底端连接有回流汇集管,所述回流汇集管顶端连接有第一输送管,所述第一输送管一端安装有加热箱。
在一个优选地实施方式中,所述加热箱顶端安装有吸入泵机,所述吸入泵机输入端与加热箱之间相连通,所述吸入泵机输出端连接有注入管,所述注入管与环形管顶端相连通,所述加热箱底端安装有电加热板,多个斜形分散管呈环形等距分布设置,所述凹形嵌入管竖截面形状设置为凹形,所述凹形嵌入管两端分别与外扩环形管内壁和环形汇集管内壁两两之间相连通。
在一个优选地实施方式中,所述环形管内部安装有第一旋转杆,所述第一旋转杆外部且位于环形管下方位置处设置有多个旋转转杆,所述旋转转杆下方安装有旋转绞龙,所述第一旋转杆底端连接有四个第二旋转杆,所述第二旋转杆内部连接有分散板,所述第一旋转杆顶端安装有驱动电机。
在一个优选地实施方式中,所述制备掺杂箱外部一侧安装有掺杂机构,所述掺杂机构包括设置在制备掺杂箱外部一侧的分流管,所述分流管一侧设置有第一弧形掺杂管,所述第一弧形掺杂管下方安装有第二弧形掺杂管,所述第二弧形掺杂管下方安装有第三弧形掺杂管,所述第一弧形掺杂管、第二弧形掺杂管、第三弧形掺杂管外壁底端均连通有多个下喷管,所述分流管另一侧连通有汇集注入管,所述汇集注入管一端连接有第二输送管,所述第二输送管顶端安装有第一微型电动控制阀,所述第二输送管外壁一侧连接有第二微型电动控制阀,所述第二微型电动控制阀顶端安装有N形掺杂箱,所述第一微型电动控制阀顶端安装有P形掺杂箱,所述N形掺杂箱顶端安装有第一增压管,所述第一增压管顶端安装有增压风机,所述第一弧形掺杂管、第二弧形掺杂管、第三弧形掺杂管从上到下依次等距排列设置,多个所述下喷管呈环形等距排列设置,所述第一增压管竖截面形状设置为凹形,所述第一增压管两端分别与N形掺杂箱和P形掺杂箱两两之间相连通,所述N形掺杂箱和P形掺杂箱一侧均连接有转动螺盖。
在一个优选地实施方式中,所述混合箱内部安装有第一对向混合管,所述第一对向混合管一端连接有下流混合管,所述第一对向混合管和下流混合管外壁下方均嵌入连通有多个对吹管,所述第一对向混合管外壁混合箱安装有第二对向混合管,所述第二对向混合管外壁设置有多个反向吹动管,所述第一对向混合管另一端连接有第一电动控制阀,所述第二对向混合管一端安装有第二电动控制阀,所述第一电动控制阀另一侧设置有第二增压管,所述第二增压管一端安装有混合增压风机,多个所述对吹管呈环形等距分布设置,所述第二增压管与混合增压风机输出端相连通。
在一个优选地实施方式中,所述混合箱一侧嵌入安装有电动控制阀管,所述电动控制阀管顶端安装有电解液承装箱,所述电解液承装箱与电动控制阀管之间相连通。
本发明的技术效果和优点:
1、本发明采用水浴机构加热到一定时间后,可以启动吸入泵机,加热箱内部热水注入到注入管内,由环形管分流到多个斜形分散管内部,通过外扩环形管将一部分热水分散到多个凹形嵌入管内部,下流管汇集到环形汇集管再分流到下流导向管内部,压力的作用下注入到第一输送管内,顺着第一输送管进入到加热箱内完成循环操作,多个环形管,多个下流管,多个外扩环形管,多个下流导向管呈现嵌入式贴合,可以伸入到混合液内部进行循环加热,大幅度提高热量的均匀性,保证充分进行温度循环流动操作,均匀性更好扩散更快,温度导热流动性更好,循环加热效果更好,这样可以保证在掺杂过程中的温度均匀扩散性,制备效果更好;
2、本发明采用掺杂机构当需要进行P型掺杂时,关闭第二微型电动控制阀打开第一微型电动控制阀,增压风机将外部增压空气注入到第一增压管内,把P形掺杂箱内部的掺杂所需溶液注入到第二输送管内部,第二输送管进入到汇集注入管分流灌入到分流管内,分流到上层的第一弧形掺杂管内,进入到中部第二弧形掺杂管内,其他部分的掺杂所需溶液进入到底部第三弧形掺杂管内部,这样可以实现三层均匀性掺杂操作,掺杂效果更好,大幅度提高了掺杂的均匀性,并且可以进行P型和N型切换掺杂操作,切换起来更加方便,提高掺杂效率;
3、本发明采用使电解液从电解液承装箱内部输送到混合箱内部,启动混合增压风机,混合增压风机将外部空气增压到第二增压管内部,关闭第一电动控制阀打开第二电动控制阀,增压空气进入到第二对向混合管内部,多个反向吹动管对混合液体进行吹动,关闭第二电动控制阀打开第一电动控制阀,增压的空气进入到第一对向混合管内部,多个对吹管进行吹动,这样混合液体会进行顺时针转动,这样在混合时形成交叉对向流动,从下到上依次进行曝气混合,再顺时针和逆时针循环流动时实现交替流动,充分进行混合,并且交错分层混合,大幅度提高了电解液的混合均匀性,且每次曝气都会由下到上依次曝气,这样也会造成曝气位置混合的液体的流动性;
综上,通过上述多个作用的相互影响,可以伸入到混合液内部进行循环加热,大幅度提高热量的均匀性,保证充分进行温度循环流动操作,均匀性更好扩散更快,温度导热流动性更好,循环加热效果更好,可以伸入到混合液内部进行循环加热,大幅度提高热量的均匀性,保证充分进行温度循环流动操作,均匀性更好扩散更快,温度导热流动性更好,循环加热效果更好,大幅度提高了电解液的混合均匀性,且每次曝气都会由下到上依次曝气,这样也会造成曝气位置混合的液体的流动性,综上可以大幅度提高在制备过程中的掺杂均匀性,提高制备效果,保证制备质量。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图。
图2为本发明的混合箱切面结构示意图。
图3为本发明的环形管与斜形分散管连接处结构示意图。
图4为本发明的分流管与第一弧形掺杂管连接处结构示意图。
图5为本发明的汇集注入管与第二输送管连接处结构示意图。
图6为本发明的第一旋转杆与旋转转杆连接处结构示意图。
图7为本发明的混合箱内部结构示意图。
图8为本发明的第一对向混合管结构示意图。
附图标记为:1、混合箱;2、控制阀;3、制备掺杂箱;4、环形管;5、斜形分散管;6、外扩环形管;7、凹形嵌入管;8、下流管;9、环形汇集管;10、下流导向管;11、回流汇集管;12、第一输送管;13、加热箱;14、吸入泵机;15、注入管;16、电加热板;17、第一旋转杆;18、旋转转杆;19、旋转绞龙;20、第二旋转杆;21、分散板;22、分流管;23、第一弧形掺杂管;24、第二弧形掺杂管;25、第三弧形掺杂管;26、下喷管;27、汇集注入管;28、第二输送管;29、第一微型电动控制阀;30、第二微型电动控制阀;31、N形掺杂箱;32、P形掺杂箱;33、第一增压管;34、增压风机;35、转动螺盖;36、第一对向混合管;37、下流混合管;38、对吹管;39、第二对向混合管;40、反向吹动管;41、第一电动控制阀;42、第二电动控制阀;43、第二增压管;44、混合增压风机;45、电动控制阀管;46、电解液承装箱。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
如附图1-8所示的一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置,包括混合箱1,混合箱1底端安装有控制阀2,控制阀2底端连接有制备掺杂箱3,制备掺杂箱3内部设置有水浴机构;
水浴机构包括设置在制备掺杂箱3内部的环形管4,环形管4外部连接有多个斜形分散管5,斜形分散管5底端连接有外扩环形管6,外扩环形管6内壁连接有多个凹形嵌入管7,外扩环形管6底端安装有多个下流管8,下流管8底端连接有环形汇集管9,环形汇集管9底端连通有多个下流导向管10,下流导向管10底端连接有回流汇集管11,回流汇集管11顶端连接有第一输送管12,第一输送管12一端安装有加热箱13。
在一些实施例中如附图3所示,加热箱13顶端安装有吸入泵机14,吸入泵机14输入端与加热箱13之间相连通,吸入泵机14输出端连接有注入管15,注入管15与环形管4顶端相连通,加热箱13底端安装有电加热板16,多个斜形分散管5呈环形等距分布设置,凹形嵌入管7竖截面形状设置为凹形,凹形嵌入管7两端分别与外扩环形管6内壁和环形汇集管9内壁两两之间相连通;
以便,电加热板16对加热箱13内部的循环水进行加热,启动吸入泵机14,从而将加热箱13内部热水注入到注入管15内,顺着注入管15进入到环形管4内,外扩环形管6将一部分热水分散到多个凹形嵌入管7内部,同时另一部分热水进入到下流管8内,由下流管8汇集到环形汇集管9内。
在一些实施例中如附图2-6所示,环形管4内部安装有第一旋转杆17,第一旋转杆17外部且位于环形管4下方位置处设置有多个旋转转杆18,旋转转杆18下方安装有旋转绞龙19,第一旋转杆17底端连接有四个第二旋转杆20,第二旋转杆20内部连接有分散板21,第一旋转杆17顶端安装有驱动电机47;
以便驱动电机47,驱动电机47带动第一旋转杆17进行转动,旋转转杆18带动旋转绞龙19进行转动,且带动第二旋转杆20使分散板21进行转动。
在一些实施例中如附图1-5所示,制备掺杂箱3外部一侧安装有掺杂机构,掺杂机构包括设置在制备掺杂箱3外部一侧的分流管22,分流管22一侧设置有第一弧形掺杂管23,第一弧形掺杂管23下方安装有第二弧形掺杂管24,第二弧形掺杂管24下方安装有第三弧形掺杂管25,第一弧形掺杂管23、第二弧形掺杂管24、第三弧形掺杂管25外壁底端均连通有多个下喷管26,分流管22另一侧连通有汇集注入管27,汇集注入管27一端连接有第二输送管28,第二输送管28顶端安装有第一微型电动控制阀29,第二输送管28外壁一侧连接有第二微型电动控制阀30,第二微型电动控制阀30顶端安装有N形掺杂箱31;
第一微型电动控制阀29顶端安装有P形掺杂箱32,N形掺杂箱31顶端安装有第一增压管33,第一增压管33顶端安装有增压风机34,第一弧形掺杂管23、第二弧形掺杂管24、第三弧形掺杂管25从上到下依次等距排列设置,多个下喷管26呈环形等距排列设置,第一增压管33竖截面形状设置为凹形,第一增压管33两端分别与N形掺杂箱31和P形掺杂箱32两两之间相连通,N形掺杂箱31和P形掺杂箱32一侧均连接有转动螺盖35;
以便,当需要进行P型掺杂时,可以关闭第二微型电动控制阀30打开第一微型电动控制阀29,启动增压风机34将外部增压空气注入到第一增压管33进入到P形掺杂箱32内,从而把掺杂所需溶液注入到第二输送管28内部,顺着第二输送管28进入到汇集注入管27分流灌入到分流管22内,分流到上层的第一弧形掺杂管23内,同时进入到中部第二弧形掺杂管24内,其他部分的掺杂所需溶液进入到底部第三弧形掺杂管25内部,实现P型掺杂操作。当N型掺杂过程时,可以将N型掺杂所需溶液灌入到N型掺杂箱31内,关闭第一微型电动控制阀29打开第二微型电动控制阀30,输送到第二输送管28内,顺着第二输送管28进入到汇集注入管27内部,通过分流管22进行分流注入,实现N形掺杂操作。
在一些实施例中如附图7-8所示,混合箱1内部安装有第一对向混合管36,第一对向混合管36一端连接有下流混合管37,第一对向混合管36和下流混合管37外壁下方均嵌入连通有多个对吹管38,第一对向混合管36外壁混合箱1安装有第二对向混合管39,第二对向混合管39外壁设置有多个反向吹动管40,第一对向混合管36另一端连接有第一电动控制阀41,第二对向混合管39一端安装有第二电动控制阀42,第一电动控制阀41另一侧设置有第二增压管43,第二增压管43一端安装有混合增压风机44,多个对吹管38呈环形等距分布设置,第二增压管43与混合增压风机44输出端相连通;
以便,混合增压风机44,混合增压风机44将外部空气增压到第二增压管43内部,关闭第一电动控制阀41打开第二电动控制阀42,增压空气进入到第二对向混合管39内部,并且通过多个反向吹动管40对混合液体进行吹动,搅动一段时间后,可以关闭第二电动控制阀42打开第一电动控制阀41,增压的空气进入到第一对向混合管36内部,顺着第一对向混合管36进入到下流混合管37内,多个对吹管38进行吹动,充分进行分层嵌入式混合。
在一些实施例中如附图1-7所示,混合箱1一侧嵌入安装有电动控制阀管45,电动控制阀管45顶端安装有电解液承装箱46,电解液承装箱46与电动控制阀管45之间相连通;
以便可以打开电动控制阀管45将电解液从电解液承装箱46内部输送到混合箱1内部,然后加入玻璃基底粉,再混合在混合箱1内部。
本发明工作原理:制备混合液体时,可以打开电动控制阀管45将电解液从电解液承装箱46内部输送到混合箱1内部,然后加入玻璃基底粉,再混合在混合箱1内部,完成充分混合操作,启动混合增压风机44,混合增压风机44将外部空气增压到第二增压管43内部,并且关闭第一电动控制阀41打开第二电动控制阀42,从而增压空气进入到第二对向混合管39内部,并且通过多个反向吹动管40对混合液体进行吹动,即可使空气带动混合液体进行逆时针旋转搅动,并搅动一段时间后,可以关闭第二电动控制阀42打开第一电动控制阀41,从而增压的空气进入到第一对向混合管36内部,顺着第一对向混合管36进入到下流混合管37内,由多个对吹管38进行吹动,这样混合液体会进行顺时针转动,充分进行分层嵌入式混合,形成制备混合液;
水浴加热时,可以打开控制阀2,即可使混合箱1内部的混合液进入到制备掺杂箱3内部,并且启动驱动电机47,驱动电机47带动第一旋转杆17进行转动,第一旋转杆17带动旋转转杆18进行搅拌,同时带动旋转绞龙19进行转动,且带动第二旋转杆20使分散板21进行转动,实现分层搅拌传动,然后给电加热板16进行通电,电加热板16对加热箱13内部的循环水进行加热,当加热到一定时间后,可以启动吸入泵机14,从而将加热箱13内部热水注入到注入管15内,顺着注入管15进入到环形管4内,再由环形管4分流到多个斜形分散管5内部,通过斜形分散管5分散到外扩环形管6内部,且通过外扩环形管6将一部分热水分散到多个凹形嵌入管7内部,同时另一部分热水进入到下流管8内,由下流管8汇集到环形汇集管9内,再通过环形汇集管9分流到下流导向管10内部,顺着下流导向管10进入到回流汇集管11内,在压力的作用下注入到第一输送管12内,顺着第一输送管12进入到加热箱13内完成循环操作,这样由多个环形管4,多个下流管8,多个外扩环形管6,多个下流导向管10呈现嵌入式贴合,可以伸入到混合液内部进行循环加热,大幅度提高热量的均匀性,保证在循环水浴加热过程中的嵌入式加热;
掺杂时,当需要进行P型掺杂时,可以关闭第二微型电动控制阀30打开第一微型电动控制阀29,同时启动增压风机34将外部增压空气注入到第一增压管33内,顺着第一增压管33进入到P形掺杂箱32内,从而把P形掺杂箱32内部的掺杂所需溶液注入到第二输送管28内部,顺着第二输送管28进入到汇集注入管27内,由汇集注入管27分流灌入到分流管22内,分流管22分流到上层的第一弧形掺杂管23内,同时进入到中部第二弧形掺杂管24内,其他部分的掺杂所需溶液进入到底部第三弧形掺杂管25内部,由多个下喷管26进行分层下喷,实现P型掺杂操作。当N型掺杂过程时,可以将N型掺杂所需溶液灌入到N型掺杂箱31内,关闭第一微型电动控制阀29打开第二微型电动控制阀30,然后N形掺杂箱31内部在空气压力的作用下输送到第二输送管28内,顺着第二输送管28进入到汇集注入管27内部,通过分流管22进行分流注入,实现N形掺杂操作,完成掺杂后,打开制备掺杂箱3即可将制备材料进行输送出去,这即可完成对Cd基VI族化合物复合薄膜制备料的加工操作,然后注入模具实现复合薄膜的成型操作。
最后应说明的几点是:首先,在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,可以是机械连接或电连接,也可以是两个元件内部的连通,可以是直接相连,“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系,当被描述对象的绝对位置改变,则相对位置关系可能发生改变;
其次:本发明公开实施例附图中,只涉及到与本公开实施例涉及到的结构,其他结构可参考通常设计,在不冲突情况下,本发明同一实施例及不同实施例可以相互组合;
最后:以上仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置,包括混合箱(1),其特征在于:所述混合箱(1)底端安装有控制阀(2),所述控制阀(2)底端连接有制备掺杂箱(3),所述制备掺杂箱(3)内部设置有水浴机构;
所述水浴机构包括设置在制备掺杂箱(3)内部的环形管(4),所述环形管(4)外部连接有多个斜形分散管(5),所述斜形分散管(5)底端连接有外扩环形管(6),所述外扩环形管(6)内壁连接有多个凹形嵌入管(7),所述外扩环形管(6)底端安装有多个下流管(8),所述下流管(8)底端连接有环形汇集管(9),所述环形汇集管(9)底端连通有多个下流导向管(10),所述下流导向管(10)底端连接有回流汇集管(11),所述回流汇集管(11)顶端连接有第一输送管(12),所述第一输送管(12)一端安装有加热箱(13)。
2.根据权利要求1所述的一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置,其特征在于:所述加热箱(13)顶端安装有吸入泵机(14),所述吸入泵机(14)输入端与加热箱(13)之间相连通,所述吸入泵机(14)输出端连接有注入管(15),所述注入管(15)与环形管(4)顶端相连通,所述加热箱(13)底端安装有电加热板(16)。
3.根据权利要求1所述的一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置,其特征在于:多个斜形分散管(5)呈环形等距分布设置,所述凹形嵌入管(7)竖截面形状设置为凹形,所述凹形嵌入管(7)两端分别与外扩环形管(6)内壁和环形汇集管(9)内壁两两之间相连通。
4.根据权利要求1所述的一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置,其特征在于:所述环形管(4)内部安装有第一旋转杆(17),所述第一旋转杆(17)外部且位于环形管(4)下方位置处设置有多个旋转转杆(18),所述旋转转杆(18)下方安装有旋转绞龙(19),所述第一旋转杆(17)底端连接有四个第二旋转杆(20),所述第二旋转杆(20)内部连接有分散板(21),所述第一旋转杆(17)顶端安装有驱动电机(47)。
5.根据权利要求1所述的一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置,其特征在于:所述制备掺杂箱(3)外部一侧安装有掺杂机构,所述掺杂机构包括设置在制备掺杂箱(3)外部一侧的分流管(22),所述分流管(22)一侧设置有第一弧形掺杂管(23),所述第一弧形掺杂管(23)下方安装有第二弧形掺杂管(24),所述第二弧形掺杂管(24)下方安装有第三弧形掺杂管(25),所述第一弧形掺杂管(23)、第二弧形掺杂管(24)、第三弧形掺杂管(25)外壁底端均连通有多个下喷管(26),所述分流管(22)另一侧连通有汇集注入管(27),所述汇集注入管(27)一端连接有第二输送管(28),所述第二输送管(28)顶端安装有第一微型电动控制阀(29),所述第二输送管(28)外壁一侧连接有第二微型电动控制阀(30),所述第二微型电动控制阀(30)顶端安装有N形掺杂箱(31),所述第一微型电动控制阀(29)顶端安装有P形掺杂箱(32),所述N形掺杂箱(31)顶端安装有第一增压管(33),所述第一增压管(33)顶端安装有增压风机(34)。
6.根据权利要求5所述的一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置,其特征在于:所述第一弧形掺杂管(23)、第二弧形掺杂管(24)、第三弧形掺杂管(25)从上到下依次等距排列设置,多个所述下喷管(26)呈环形等距排列设置。
7.根据权利要求5所述的一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置,其特征在于:所述第一增压管(33)竖截面形状设置为凹形,所述第一增压管(33)两端分别与N形掺杂箱(31)和P形掺杂箱(32)两两之间相连通,所述N形掺杂箱(31)和P形掺杂箱(32)一侧均连接有转动螺盖(35)。
8.根据权利要求1所述的一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置,其特征在于:所述混合箱(1)内部安装有第一对向混合管(36),所述第一对向混合管(36)一端连接有下流混合管(37),所述第一对向混合管(36)和下流混合管(37)外壁下方均嵌入连通有多个对吹管(38),所述第一对向混合管(36)外壁混合箱(1)安装有第二对向混合管(39),所述第二对向混合管(39)外壁设置有多个反向吹动管(40),所述第一对向混合管(36)另一端连接有第一电动控制阀(41),所述第二对向混合管(39)一端安装有第二电动控制阀(42),所述第一电动控制阀(41)另一侧设置有第二增压管(43),所述第二增压管(43)一端安装有混合增压风机(44)。
9.根据权利要求9所述的一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置,其特征在于:多个所述对吹管(38)呈环形等距分布设置,所述第二增压管(43)与混合增压风机(44)输出端相连通。
10.根据权利要求1所述的一种Cd基VI族化合物复合薄膜的制备装置,其特征在于:所述混合箱(1)一侧嵌入安装有电动控制阀管(45),所述电动控制阀管(45)顶端安装有电解液承装箱(46),所述电解液承装箱(46)与电动控制阀管(45)之间相连通。
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