CN207187538U - 一种混液机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及光伏和半导体生产技术领域，尤其涉及一种混液机构。该混液机构包括罐体，所述罐体顶部开设有多个进液口，所述罐体底部开设有出液口，所述罐体内部设有内置加热器和盘管，所述盘管自罐体顶部旋转至罐体底部，所述盘管的顶端为进液端口，且所述进液端口与其中一个进液口相连通，所述盘管的底端为出液端口，所述盘管的管壁上开设有多个小孔第一水泵。本实用新型的混液机构缩短了多种试剂之间的混合时间，提高了混合效率，能够满足大产能设备对于试剂配比的要求，提升了设备产能，改进了刻蚀工艺效果。

Description

一种混液机构

技术领域

本实用新型涉及光伏和半导体生产技术领域，尤其涉及一种混液机构。

背景技术

目前的光伏和半导体生产工艺中，在刻蚀环节中需要对刻蚀试剂进行配比，传统的配比环节往往只是将几种溶液进行简单的融合，且对温度要求不高，对刻蚀试剂的均匀性和温度一致性很难保证。随着工艺的不断改进，试剂在配比中往往有温度要求，且各种溶液配比过程中，试剂要求混合均匀。温度的控制和试剂的均匀性是影响刻蚀工艺的主要因素。为了保证混液的均匀性，传统的方式可以通过搅拌来实现，但在光伏和半导体行业，应用的溶液往往具有很强的腐蚀性，通过封闭管路的循环是较为成熟的应用。

传统的试剂配比对温度没有要求或者要求不高，且试剂的体积较小，但随着设备产能的不断增大，原有的配比方案已经不能在短时间内将试剂混合均匀，从而将影响工艺周期，进而影响设备的产能的提升。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种混液机构，该混液机构缩短了多种试剂之间的混合时间，提高了混合效率，能够满足大产能设备对于试剂配比的要求。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种混液机构，其包括：

中空的罐体，所述罐体顶部开设有多个进液口，所述罐体底部开设有出液口，所述罐体内部设有内置加热器和盘管，所述盘管自罐体顶部旋转至罐体底部，所述盘管的顶端为进液端口，且所述进液端口与其中一个所述进液口相连通，所述盘管的底端为出液端口，所述盘管的管壁上开设有多个小孔。

进一步地，所述混液机构还包括循环管路，所述循环管路位于罐体外部，且所述循环管路的底端连通所述罐体底部，顶端连通所述罐体顶部，所述循环管路上设有用于驱使循环管路内的液体自底端流向顶端的第一水泵。

进一步地，所述循环管路上设有外加热器以对循环管路内的液体进行加热，所述外加热器位于所述循环管路的顶端与第一水泵之间。

进一步地，所述内置加热器为多个，多个所述内置加热器自罐体顶部至罐体底部间隔均匀设置。

进一步地，所述内置加热器为圆环状，所述盘管从上至下依次穿过各个内置加热器的内圈。

进一步地，所述内置加热器水平设于所述罐体内，且所述内置加热器的外缘与所述罐体内壁相接触。

进一步地，所述盘管呈螺旋状。

进一步地，所述盘管管壁上的多个小孔间隔均匀。

进一步地，所述盘管的进液端口处设有第二水泵，以利于盘管内液体从所述小孔渗出。

进一步地，所述罐体呈圆柱体状。

(三)有益效果

本实用新型的上述技术方案具有以下有益效果：

1、本实用新型的混液机构，其罐体内设置加热器和盘管，盘管上开设有多个小孔，这样各种液体试剂分别经由各进液口进入罐体内部，并在内置加热器的加热下得到升温，其中进入盘管的试剂在盘管内流动过程中不断经由小孔渗出，与进入罐体内的其他试剂相混合，进而使得各试剂之间的混合更加充分。因而，本实用新型有效解决了传统混液机构不能在有温度要求的情况下将各种试剂混合均匀的问题，缩短了多种试剂之间的混合时间，提高了混合效率，进而能够满足大产能设备对于试剂配比的要求，提升了设备产能，改进了刻蚀工艺效果。

2、本实用新型设置的循环管路，使得初步混合后的混合试剂在罐体底部可经由循环管路到达罐体顶部，再进入罐体内开始新一轮的循环混合，从而使得各试剂之间的混合更加充分。该循环管路除了具备液体循环功能，其管路上设置的外加热器对液体进行加热，从而提高了混合效果。

3、本实用新型在盘管的进液端口处设置第二水泵，第二水泵为液体在盘管内流通提供了动力，更利于盘管内的液体(尤其是粘度大的液体)从其小孔渗出，这样进一步提高了混合效率。

附图说明

图1为本实用新型实施例所述混液机构的外部结构示意图；

图2为本实用新型实施例所述混液机构的内部结构示意图；

图3为本实用新型实施例所述混液机构的纵向剖视图；

其中，1、循环管路；2、外加热器；3、第一水泵；4、出液口；5、罐体；6、进液口a；7、进液口b；8、进液口c；9、内置加热器；10、盘管；11、小孔。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶部”、“底部”、“横向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以视具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1～3所示，本实施例提供了一种混液机构，其包括：中空的罐体5和循环管路1。

罐体5呈圆柱体状。罐体5顶部分别开设有进液口a6、进液口b7和进液口c8(进液口的数量根据实际试剂的种类数量确定)，罐体5底部开设有出液口4，罐体5内部设有内置加热器9和螺旋状的盘管10，盘管10自罐体5顶部旋转至罐体5底部，盘管10的顶端为进液端口(图中未标注)，且进液端口与其中的进液口b7相连通，盘管10的底端为出液端口(图中未标注)，盘管10的管壁上开设有多个小孔11，多个小孔11间隔均匀。盘管10的进液端口处设有第二水泵，以利于盘管内液体(尤其是粘度大的液体)从小孔11渗出。需要说明的是，本实施例的盘管10优选为螺旋状，但其形状并不局限于螺旋状，还可以依据实际需要采用其他曲线形状，例如蛇形、S形等等，从而拓宽了盘管10的应用范围。在本发明的其他实施例中，也可以通过增大盘管10上小孔11的孔径来提高盘管10内的液体流出速率。

循环管路1位于罐体5外部，且循环管路1的底端连通罐体5底部，顶端连通罐体5顶部，循环管路1上设有用于驱使循环管路1内的液体自底端流向顶端的第一水泵3，也可采用包括但不限于第一水泵的方式实现液体试剂的循环流动。循环管路1在其顶端与供液件之间设有外加热器2，以对循环管路1内的液体进行加热。

本实施例中，内置加热器9为多个，多个内置加热器9自罐体5顶部至罐体5底部间隔均匀设置。内置加热器9为圆环状，横向设于罐体5内，且内置加热器9的外缘与罐体5内壁相接触。盘管10从上至下依次穿过各个内置加热器9的内圈。罐体5内部设有温度传感器，用以感知罐体5内液体的温度。

工作中，三种试剂分别从进液口a6、进液口b7、进液口c8进入罐体5内混合。其中一种试剂从进液口b7进入盘管10后，可以通过盘管10管壁上的小孔11不断渗出，进而与从进液口a6、进液口c8进入的试剂充分混合。例如氢氟酸和硝酸的混合，氢氟酸经进液口a6进入罐体5，硝酸经进液口b7、盘管10进入罐体5与氢氟酸混合。内置加热器9包含多组，采用多种介质加热，可以对混合的溶液进行加热，在温度传感器的监测下，达到工艺要求温度后可以持续工作减少溶液散热，起到保温作用。

各种试剂混合后，在第一水泵3的带动下，由罐体5底部经过循环管路1循环至罐体5顶部，开始新一轮的混合循环，试剂在循环管路1内流动过程中，外加热器2对其进行加热，达到工艺要求温度后外加热器2关闭，只是单纯的液体循环，不断的循环来将溶液充分混合。

罐体5内的溶液达到工艺要求温度并充分混合后，经由出液口4从罐体5排入刻蚀工艺的槽体进行刻蚀工艺。溶液排走后，可以在罐体5内重复上述溶液配比混合加热工作，达到持续供液的目的，从而达到大产能设备的需求。

综上所述，本实施例的混液机构，其罐体内设置加热器和螺旋状的盘管，盘管上开设有多个小孔，这样各种液体试剂分别经由各进液口进入罐体内部，并在内置加热器的加热下得到升温，其中进入盘管的试剂在盘管内流动过程中不断经由小孔渗出，与进入罐体内的其他试剂相混合，进而使得各试剂之间的混合更加充分；初步混合后的混合试剂在罐体底部经由循环管路到达罐体顶部，再进入罐体内开始新一轮的循环混合，从而使得各试剂之间的混合更加充分。因而，本混液机构能够在有温度要求的情况下将各种试剂混合均匀，缩短了多种试剂之间的混合时间，提高了混合效率，进而能够满足大产能设备对于试剂配比的要求，提升了设备产能，减少了配液罐的体积和数量，改进了刻蚀工艺效果，而且使得溶液的温度更为均匀，确保了温度的一致性，实现了溶液的温度控制。

该循环管路除了具备液体循环功能，其管路上设置的外加热器对液体进行加热，从而提高了混合效果。本混液机构在盘管的进液端口处设置第二水泵，第二水泵为液体在盘管内流通提供了动力，更利于盘管内的液体(尤其是粘度大的液体)从其小孔渗出，这样进一步提高了混合效率。

本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims (10)

1.一种混液机构，其特征在于，包括：罐体，所述罐体顶部开设有多个进液口，所述罐体底部开设有出液口，所述罐体内部设有内置加热器和盘管，所述盘管自罐体顶部旋转至罐体底部，所述盘管的顶端为进液端口，且所述进液端口与其中一个所述进液口相连通，所述盘管的底端为出液端口，所述盘管的管壁上开设有多个小孔。

2.根据权利要求1所述的混液机构，其特征在于，所述混液机构还包括循环管路，所述循环管路位于罐体外部，且所述循环管路的底端连通所述罐体底部，顶端连通所述罐体顶部，所述循环管路上设有第一水泵。

3.根据权利要求2所述的混液机构，其特征在于，所述循环管路上设有外加热器，所述外加热器位于所述循环管路的顶端与第一水泵之间。

4.根据权利要求1所述的混液机构，其特征在于，所述内置加热器为多个，多个所述内置加热器自罐体顶部至罐体底部间隔均匀设置。

5.根据权利要求4所述的混液机构，其特征在于，所述内置加热器为圆环状，所述盘管从上至下依次穿过各个内置加热器的内圈。

6.根据权利要求5所述的混液机构，其特征在于，所述内置加热器水平设于所述罐体内，且所述内置加热器的外缘与所述罐体内壁相接触。

7.根据权利要求1所述的混液机构，其特征在于，所述盘管呈螺旋状。

8.根据权利要求1所述的混液机构，其特征在于，所述盘管管壁上的多个小孔间隔均匀。

9.根据权利要求1所述的混液机构，其特征在于，所述盘管的进液端口处设有第二水泵。

10.根据权利要求1所述的混液机构，其特征在于，所述罐体呈圆柱体状。