CN114171442A - 一种集成光电子器件制造用蚀刻装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，包括主体，所述主体的内部设置有驱动机构，所述驱动机构上设置有驱动轴，所述驱动轴上设置有蚀刻装置，所述主体的内壁上设置有固定部件，所述固定部件上设置有偏移感应组件、联动组件和校正组件；所述偏移感应组件包括感应气垫、活动件、感应主杆和导向件。该集成光电子器件制造用蚀刻装置，该装置通过设置校正组件，一旦蚀刻装置出现抖动时，蚀刻装置必然带动驱动轴同步抖动，利用校正主杆带动校正件与驱动轴相接触，从而对抖动而产生偏移的驱动轴进行校正，从而从根本上解决蚀刻装置抖动的问题，进而提升了蚀刻装置对集成光电子器件的蚀刻效果，同时有效提高了设备的可靠性能。

Description

一种集成光电子器件制造用蚀刻装置
技术领域
本发明属于电子器件制造技术领域，尤其涉及一种集成光电子器件制造用蚀刻装置。
背景技术
集成光电子器件生产的基本工序一般包括显影过程、蚀刻过程和退膜过程，显影过程是指采用显影液将膜上未经紫外线辐射的部分溶解，已经紫外线辐射而发生聚合反应的部分保留；蚀刻过程是指采用蚀刻液将集成光电子器件上未被保护膜保护而露出的铜蚀刻掉；退膜过程是指将集成光电子器件上的保护膜去掉，露出已加工好的线路。
现如今，随着电子技术的飞速发展，集成光电子器件制作得越来越精细，其中在集成光电子器件的生产制作过程中，蚀刻工艺尤为重要，且现有的蚀刻装置在对电子器件进行蚀刻的过程中，还会存在以下问题，其一：传统的蚀刻技术主要是通过人工进行，但是这种方式无法保证对集成光电子器件表面的蚀刻液进行均匀涂抹，从而造成集成光电子器件蚀刻不均匀，到不到理想效果；其二：在对集成光电子器件表面进行涂抹蚀刻液时，蚀刻设备容易出现抖动现象，进而影响到集成光电子器件的蚀刻效果；故存在不足，不能满足用户的使用需求，因此，有必要进一步改进。
于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供集成光电子器件制造用蚀刻装置，以期达到更具有更加实用价值性的目的。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明提供一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，由以下具体技术手段所达成：
一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，包括主体，所述主体的内部设置有驱动机构，所述驱动机构上设置有驱动轴，所述驱动轴上设置有蚀刻装置，所述主体的内壁上设置有固定部件，所述固定部件上设置有偏移感应组件、联动组件和校正组件；所述偏移感应组件包括感应气垫、活动件、感应主杆和导向件，通过将导向件驱动轴相贴合安装，一旦蚀刻装置出现抖动时，蚀刻装置必然带动驱动轴同步抖动，随着驱动轴的抖动频率使其出现了偏移现象，利用驱动轴带动导向件同步抖动，进而对导向件产生向内部方向的推力，利用导向件带动感应主杆同步移动，同时对感应气垫进行挤压，所述感应气垫设置在固定部件的内部，所述感应气垫的上侧固定连接有活动件，所述活动件的上侧固定安装有感应主杆，所述感应主杆的外端穿透固定部件与外壳外界相通，所述感应主杆靠近驱动轴的一端固定连接有导向件，所述导向件远离感应主杆的一侧与驱动轴相贴合接触。
进一步的，所述联动组件包括活动滑块、活动连杆一和活动连杆二；所述活动滑块设置在固定部件的内部，所述活动滑块远离活动件的一侧活动安装有活动连杆一，所述活动连杆一远离活动滑块的一侧活动连接有活动连杆二。
进一步的，所述活动滑块与活动件相对的一侧设置呈相切的斜面，所述活动滑块与活动件利用倾斜面相配合安装，利用活动滑块与活动件相切的斜面有效推动活动滑块相对移动。
进一步的，所述校正组件包括安装块、校正主杆、校正件和复位弹簧；所述安装块设置在固定部件上，所述安装块上贯插着校正主杆，所述校正主杆靠近驱动轴的一端固定安装有校正件，所述校正件与安装块之间设置连接有复位弹簧，利用校正主杆带动校正件与驱动轴相接触，从而对抖动而产生偏移的驱动轴进行校正，进而提升了蚀刻装置对集成光电子器件的蚀刻效果。
进一步的，所述校正件与驱动轴相配合使用。
进一步的，所述蚀刻装置的内部设置有安装壳，所述安装壳的内部设置有蚀刻组件，所述蚀刻组件包括活动板、安装框架、蚀刻液囊、挤压连杆和挤压件；所述安装壳的内部设置有活动板和安装框架，所述安装框架的内部设置有蚀刻液囊，所述安装框架的左右两侧设置有挤压件，所述活动板与挤压件之间活动连接有挤压连杆。
进一步的，所述活动板的底部与安装壳之间设置连接有连接弹簧，通过设置连接弹簧便于活动板的复位。
进一步的，所述活动板的底部与安装壳之间设置有离心挤压组件，所述离心挤压组件且位于连接弹簧之间，所述离心挤压组件包括固定座、离心弹簧、离心连杆和活动推件，通过蚀刻装置在转动时产生较大的离心力，基于离心力作用，离心弹簧的外端向外侧移动，同时对活动板进行挤压，进而提供了对蚀刻液囊的定量挤压提供了自动供能，使其达到自动挤压的效果；所述固定座的底部与安装壳相固定连接，所述固定座的内部开设有凹槽，且凹槽的内部设置有离心弹簧，所述离心弹簧的轴端固定连接有离心连杆，所述离心连杆远离离心弹簧的一端固定安装有活动推件，所述活动推件远离离心连杆的一侧与活动板相活动连接。
进一步的，所述安装壳的内部设置有吸附板，所述吸附板远离蚀刻液囊的一侧设置有传导机构，所述传导机构远离吸附板的一侧设置有蚀刻机构，所述蚀刻机构设置在蚀刻装置的外侧，通过蚀刻机构对集成光电子器件进行均匀涂抹处理，从而有效的保证了集成光电子器件外表面上的蚀刻液涂抹均匀，有效保证对集成光电子器件的蚀刻效果。
有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，具备以下有益效果：
1、该集成光电子器件制造用蚀刻装置，该装置通过设置校正组件，一旦蚀刻装置出现抖动时，蚀刻装置必然带动驱动轴同步抖动，利用校正主杆带动校正件与驱动轴相接触，从而对抖动而产生偏移的驱动轴进行校正，从而从根本上解决蚀刻装置抖动的问题，进而提升了蚀刻装置对集成光电子器件的蚀刻效果，同时有效提高了设备的可靠性能。
2、该集成光电子器件制造用蚀刻装置，该装置通过设置蚀刻装置与蚀刻组件之间的配合使用，通过蚀刻机构对集成光电子器件进行均匀涂抹处理，从而有效的保证了集成光电子器件外表面上的蚀刻液涂抹均匀，有效保证对集成光电子器件的蚀刻效果，同时进一步提升了设备的实用性能。
3、该集成光电子器件制造用蚀刻装置，该装置通过设置离心挤压组件，利用固定座、离心弹簧、离心连杆和活动推件之间的配合使用，通过蚀刻装置在转动时产生较大的离心力，基于离心力作用，离心弹簧的外端向外侧移动，同时对活动板进行挤压，进而提供了对蚀刻液囊的定量挤压提供了自动供能，使其达到自动挤压的效果，进一步提升了设备的使用效果。
4、该集成光电子器件制造用蚀刻装置，通过将该设备基于自动化运行，有效的减小了工作人员的劳动强度，同时保证了集成光电子器件外表面涂抹出来的蚀刻液分布均匀，且进一步提升了对集成光电子器件的蚀刻效率，同时进一步提升了产品的生产效果，并且该装置无需人工操作，有效避免蚀刻液对使用者的身体健康造成一定的伤害，进一步提升了设备的实用性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明整体立体结构示意图；
图2是本发明正面剖视图；
图3是本发明图2中A部分放大示意图；
图4是本发明图3中B部分放大示意图；
图5是本蚀刻装置侧剖结构示意图；
图6是本发明图5中C部分放大示意图；
图7是本发明图6中D部分放大示意图。
图中：1、主体；2、驱动机构；3、驱动轴；4、蚀刻装置；5、固定部件；6、偏移感应组件；61、感应气垫；62、活动件；63、感应主杆；64、导向件；7、联动组件；71、活动滑块；72、活动连杆一；73、活动连杆二；8、校正组件；81、安装块；82、校正主杆；83、校正件；84、复位弹簧；9、安装壳；10、蚀刻组件；101、活动板；102、安装框架；103、蚀刻液囊；104、挤压连杆；105、挤压件；11、连接弹簧；12、离心挤压组件；121、固定座；122、离心弹簧；123、离心连杆；124、活动推件；13、吸附板；14、传导机构；15、蚀刻机构。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，且需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合，为叙述方便，下文中如出现“上”、“下”、“左”、“右”字样，仅表示与附图本身的上、下、左、右方向一致，并不对结构起限定作用，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1至图7，一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，包括主体1，主体1的内部设置有驱动机构2，驱动机构2上设置有驱动轴3，驱动轴3上设置有蚀刻装置4，主体1的内壁上设置有固定部件5，固定部件5上设置有偏移感应组件6、联动组件7和校正组件8；偏移感应组件6包括感应气垫61、活动件62、感应主杆63和导向件64，通过将导向件64驱动轴3相贴合安装，一旦蚀刻装置4出现抖动时，蚀刻装置4必然带动驱动轴3同步抖动，随着驱动轴3的抖动频率使其出现了偏移现象，利用驱动轴3带动导向件64同步抖动，进而对导向件64产生向内部方向的推力，利用导向件64带动感应主杆63同步移动，同时对感应气垫61进行挤压，感应气垫61设置在固定部件5的内部，感应气垫61的上侧固定连接有活动件62，活动件62的上侧固定安装有感应主杆63，感应主杆63的外端穿透固定部件5与外壳外界相通，感应主杆63靠近驱动轴3的一端固定连接有导向件64，导向件64远离感应主杆63的一侧与驱动轴3相贴合接触。
进一步的，联动组件7包括活动滑块71、活动连杆一72和活动连杆二73；活动滑块71设置在固定部件5的内部，活动滑块71远离活动件62的一侧活动安装有活动连杆一72，活动连杆一72远离活动滑块71的一侧活动连接有活动连杆二73，通过活动滑块71不断地向内部方向移动，利用活动连杆一72推动活动连杆二73向上移动。
进一步的，活动滑块71与活动件62相对的一侧设置呈相切的斜面，活动滑块71与活动件62利用倾斜面相配合安装，利用活动滑块71与活动件62相切的斜面有效推动活动滑块71相对移动。
进一步的，校正组件8包括安装块81、校正主杆82、校正件83和复位弹簧84；安装块81设置在固定部件5上，安装块81上贯插着校正主杆82，校正主杆82靠近驱动轴3的一端固定安装有校正件83，校正件83与安装块81之间设置连接有复位弹簧84，利用校正主杆82带动校正件83与驱动轴3相接触，从而对抖动而产生偏移的驱动轴3进行校正，从而根本上解决蚀刻装置4抖动的现象，进而提升了蚀刻装置4对集成光电子器件的蚀刻效果，同时有效提高了设备的可靠性能。
进一步的，校正件83与驱动轴3相配合使用。
进一步的，蚀刻装置4的内部设置有安装壳9，安装壳9的内部设置有蚀刻组件10，蚀刻组件10包括活动板101、安装框架102、蚀刻液囊103、挤压连杆104和挤压件105；安装壳9的内部设置有活动板101和安装框架102，安装框架102的内部设置有蚀刻液囊103，安装框架102的左右两侧设置有挤压件105，活动板101与挤压件105之间活动连接有挤压连杆104。
进一步的，活动板101的底部与安装壳9之间设置连接有连接弹簧11，通过设置连接弹簧11便于活动板101的复位。
进一步的，活动板101的底部与安装壳9之间设置有离心挤压组件12，离心挤压组件12且位于连接弹簧11之间，离心挤压组件12包括固定座121、离心弹簧122、离心连杆123和活动推件124，通过蚀刻装置4在转动时产生较大的离心力，基于离心力作用，离心弹簧122的外端向外侧移动，同时对活动板101进行挤压，进而提供了对蚀刻液囊103的定量挤压提供了自动供能，使其达到自动挤压的效果；固定座121的底部与安装壳9相固定连接，固定座121的内部开设有凹槽，且凹槽的内部设置有离心弹簧122，离心弹簧122的轴端固定连接有离心连杆123，离心连杆123远离离心弹簧122的一端固定安装有活动推件124，活动推件124远离离心连杆123的一侧与活动板101相活动连接。
进一步的，安装壳9的内部设置有吸附板13，吸附板13远离蚀刻液囊103的一侧设置有传导机构14，传导机构14远离吸附板13的一侧设置有蚀刻机构15，蚀刻机构15设置在蚀刻装置4的外侧，通过蚀刻机构15对集成光电子器件进行均匀涂抹处理，从而有效的保证了集成光电子器件外表面上的蚀刻液涂抹均匀，有效保证对集成光电子器件的蚀刻效果，同时进一步提升了设备的实用性能。
本实施例的具体使用方式与作用：
工作原理：在使用时，该集成光电子器件制造用蚀刻装置4，目前，随着电子技术的飞速发展，集成光电子器件制作得越来越精细，其中在集成光电子器件的生产制作过程中，蚀刻工艺尤为重要，通过将需要进行蚀刻的集成光电子器件放置在蚀刻装置4的下方，通过外部驱动驱动机构2，促使驱动机构2产生动能，利用驱动机构2带动驱动轴3开始转动，同时利用驱动轴3带动蚀刻装置4同步转动，且蚀刻装置4在转动的过程中，由于其转速较快，进而产生较大的离心力，基于离心力作用，离心弹簧122的外端向外侧移动的同时，使得离心连杆123带动活动推件124对活动板101进行挤压，且活动板101在运动的过程中带动挤压连杆104同步移动，促使挤压连杆104对挤压件105进行挤压，同时利用挤压件105的轴端对蚀刻液囊103进行挤压，进而实现对蚀刻液囊103中的蚀刻液进行定量压出，再通过在挤压件105与蚀刻液囊103挤压的过程中，同时促使蚀刻液囊103与吸附板13相接触，进而利用吸附板13对蚀刻液进行吸收，且吸收的蚀刻液再传输至传导机构14中，最后通过蚀刻机构15对集成光电子器件进行均匀涂抹处理，从而有效的保证了集成光电子器件外表面上的蚀刻液涂抹均匀，有效保证对集成光电子器件的蚀刻效果，同时进一步提升了设备的实用性能；
并且该设备基于自动化运行，有效的减小了工作人员的劳动强度，同时保证了集成光电子器件外表面涂抹出来的蚀刻液分布均匀，且进一步提升了对集成光电子器件的蚀刻效率，同时进一步提升了产品的生产效果，并且该装置无需人工操作，有效避免蚀刻液对使用者的身体健康造成一定的伤害，进一步提升了设备的实用性；
此外，由于蚀刻装置4长时间的运行，在对集成光电子器件表面进行涂抹蚀刻液时，蚀刻装置4容易出现抖动现象，进而影响到集成光电子器件的蚀刻效果，且通过将导向件64驱动轴3相贴合安装，一旦蚀刻装置4出现抖动时，蚀刻装置4必然带动驱动轴3同步抖动，随着驱动轴3的抖动频率使其出现了偏移现象，利用驱动轴3带动导向件64同步抖动，进而对导向件64产生向内部方向的推力，利用导向件64带动感应主杆63同步移动，同时对感应气垫61进行挤压，且通过活动件62与活动滑块71相接触，进而推动活动滑块71向内部方向移动，随着活动滑块71不断地向内部方向移动，利用活动连杆一72推动活动连杆二73向上移动，在通过活动连杆二73的轴端推动校正主杆82，利用校正主杆82带动校正件83与驱动轴3相接触，从而对抖动而产生偏移的驱动轴3进行校正，从而根本上解决蚀刻装置4抖动的现象，进而提升了蚀刻装置4对集成光电子器件的蚀刻效果，同时有效提高了设备的可靠性能。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (9)

1.一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，包括主体（1），其特征在于：
所述主体（1）的内部设置有驱动机构（2），所述驱动机构（2）上设置有驱动轴（3），所述驱动轴（3）上设置有蚀刻装置（4），所述主体（1）的内壁上设置有固定部件（5），所述固定部件（5）上设置有偏移感应组件（6）、联动组件（7）和校正组件（8）；
所述偏移感应组件（6）包括感应气垫（61）、活动件（62）、感应主杆（63）和导向件（64），所述感应气垫（61）设置在固定部件（5）的内部，所述感应气垫（61）的上侧固定连接有活动件（62），所述活动件（62）的上侧固定安装有感应主杆（63），所述感应主杆（63）的外端穿透固定部件（5）与外壳外界相通，所述感应主杆（63）靠近驱动轴（3）的一端固定连接有导向件（64），所述导向件（64）远离感应主杆（63）的一侧与驱动轴（3）相贴合接触。
2.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述联动组件（7）包括活动滑块（71）、活动连杆一（72）和活动连杆二（73）；
所述活动滑块（71）设置在固定部件（5）的内部，所述活动滑块（71）远离活动件（62）的一侧活动安装有活动连杆一（72），所述活动连杆一（72）远离活动滑块（71）的一侧活动连接有活动连杆二（73）。
3.根据权利要求2所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述活动滑块（71）与活动件（62）相对的一侧设置呈相切的斜面，所述活动滑块（71）与活动件（62）利用倾斜面相配合安装。
4.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述校正组件（8）包括安装块（81）、校正主杆（82）、校正件（83）和复位弹簧（84）；
所述安装块（81）设置在固定部件（5）上，所述安装块（81）上贯插着校正主杆（82），所述校正主杆（82）靠近驱动轴（3）的一端固定安装有校正件（83），所述校正件（83）与安装块（81）之间设置连接有复位弹簧（84）。
5.根据权利要求4所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述校正件（83）与驱动轴（3）相配合使用。
6.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述蚀刻装置（4）的内部设置有安装壳（9），所述安装壳（9）的内部设置有蚀刻组件（10），所述蚀刻组件（10）包括活动板（101）、安装框架（102）、蚀刻液囊（103）、挤压连杆（104）和挤压件（105）；
所述安装壳（9）的内部设置有活动板（101）和安装框架（102），所述安装框架（102）的内部设置有蚀刻液囊（103），所述安装框架（102）的左右两侧设置有挤压件（105），所述活动板（101）与挤压件（105）之间活动连接有挤压连杆（104）。
7.根据权利要求6所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述活动板（101）的底部与安装壳（9）之间设置连接有连接弹簧（11）。
8.根据权利要求6所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述活动板（101）的底部与安装壳（9）之间设置有离心挤压组件（12），所述离心挤压组件（12）且位于连接弹簧（11）之间，所述离心挤压组件（12）包括固定座（121）、离心弹簧（122）、离心连杆（123）和活动推件（124）；
所述固定座（121）的底部与安装壳（9）相固定连接，所述固定座（121）的内部开设有凹槽，且凹槽的内部设置有离心弹簧（122），所述离心弹簧（122）的轴端固定连接有离心连杆（123），所述离心连杆（123）远离离心弹簧（122）的一端固定安装有活动推件（124），所述活动推件（124）远离离心连杆（123）的一侧与活动板（101）相活动连接。
9.根据权利要求6所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述安装壳（9）的内部设置有吸附板（13），所述吸附板（13）远离蚀刻液囊（103）的一侧设置有传导机构（14），所述传导机构（14）远离吸附板（13）的一侧设置有蚀刻机构（15），所述蚀刻机构（15）设置在蚀刻装置（4）的外侧。
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