CN114062717A - 检查夹具以及检查装置 - Google Patents

检查夹具以及检查装置 Download PDF

Info

Publication number
CN114062717A
CN114062717A CN202110867732.0A CN202110867732A CN114062717A CN 114062717 A CN114062717 A CN 114062717A CN 202110867732 A CN202110867732 A CN 202110867732A CN 114062717 A CN114062717 A CN 114062717A
Authority
CN
China
Prior art keywords
support plate
holes
contact
inspection
hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202110867732.0A
Other languages
English (en)
Inventor
津村耕平
古河高徳
山野内润
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Read Corp
Original Assignee
Nidec Read Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nidec Read Corp filed Critical Nidec Read Corp
Publication of CN114062717A publication Critical patent/CN114062717A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07357—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with flexible bodies, e.g. buckling beams
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07364—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch
    • G01R1/07378—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch using an intermediate adapter, e.g. space transformers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0416—Connectors, terminals
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06733—Geometry aspects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2863—Contacting devices, e.g. sockets, burn-in boards or mounting fixtures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2896—Testing of IC packages; Test features related to IC packages

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

本发明提供一种容易简化使多个接触件朝同一方向挠曲的结构的检查夹具以及检查装置。检查夹具包括：棒状的多个接触件(Pr)；第一支撑部(311)，支撑多个接触件(Pr)的一端部侧；以及第二支撑部(312)，支撑棒状的多个接触件(Pr)的另一端部侧，第一支撑部(311)包括相向支撑板(B2)，所述相向支撑板(B2)相对于第二支撑部(312)而隔离地相向配置，且形成有供多个接触件(Pr)插通的多个贯穿孔(E2H)，各贯穿孔(E2H)的剖面具有长轴在沿着相向支撑板(B2)的面方向的、规定的特定方向上延伸的椭圆形状。

Description

检查夹具以及检查装置
技术领域
本发明涉及一种包括接触件的检查夹具以及使用所述检查夹具的检查装置。
背景技术
以往，已知有一种探针卡(probe card)，包括：支撑构件，具有上部支撑孔以及下部支撑孔，所述上部支撑孔以及下部支撑孔分别定位并支撑线式探针(wire probe)的上部以及下部；以及具有柔软性的引导膜(guide film)，朝一方向挠曲而支撑线式探针的中间部(例如参照专利文献1)。所述支撑构件的下部支撑孔形成在经层叠的第一底板与第二底板。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2012-103125号公报
发明内容
[发明所要解决的问题]
专利文献1中，除了分别定位并支撑线式探针的上部以及下部的支撑构件以外，还需要朝一方向挠曲而支撑线式探针的中间部的引导膜。
本发明的目的在于提供一种容易简化使多个接触件朝同一方向挠曲的结构的检查夹具以及检查装置。
[解决问题的技术手段]
本发明的一例的检查夹具包括：棒状的多个接触件；第一支撑部，支撑所述多个接触件的一端部侧；以及第二支撑部，支撑所述多个接触件的另一端部侧，所述第一支撑部包括相向支撑板，所述相向支撑板相对于所述第二支撑部而隔离地相向配置，且形成有供所述多个接触件插通的多个贯穿孔，所述各贯穿孔的剖面具有长轴在沿着所述相向支撑板的面方向的、规定的特定方向上延伸的椭圆形状。
而且，本发明的一例的检查夹具包括：棒状的多个接触件；第一支撑部，支撑所述多个接触件的一端部侧；以及第二支撑部，支撑所述多个接触件的另一端部侧，所述第一支撑部包括相向支撑板，所述相向支撑板相对于所述第二支撑部而隔离地相向配置，且形成有供所述多个接触件插通的多个贯穿孔，所述各贯穿孔的剖面具有在沿着所述相向支撑板的面方向的、规定的特定方向上为长条的形状，所述各贯穿孔的所述特定方向的一端侧的内壁与插通至所述各贯穿孔的接触件以两点或两线而接触。
本发明的一例的检查装置包括：所述检查夹具；以及检查处理部，基于通过使所述接触件接触至设于检查对象物的检查点而获得的电信号，来进行所述检查对象物的检查。
[发明的效果]
此种结构的检查夹具以及检查装置容易简化使多个接触件朝同一方向挠曲的结构。
附图说明
图1是概略性地表示使用本发明的一实施方式的检查夹具3的检查装置1的结构的一例的概念图。
图2是从接触件Pr的前端侧观察图1所示的检查夹具3的平面图。
图3是图2所示的检查夹具3的III-III线端面图。
图4是图2所示的检查夹具3的IV-IV线端面图。
图5是从检查夹具3拆除第二支撑部312以及间隔件S而从Z方向观察相向支撑板B2的平面图。
图6是表示图5所示的相向支撑板B2的变形例的平面图。
图7是表示使检查夹具3抵接于基板100的状态的一例的说明图。
图8是相向支撑板B2、相向支撑板B2a的贯穿孔B2H与接触件Pr的放大图。
图9是表示图8所示的贯穿孔B2H的变形例的说明图。
图10是表示多边形状的贯穿孔B2H的一例的说明图。
图11是概念性地表示接触件Pr被按入时的板PL的行为的说明图。
图12是形成于板PL的贯穿孔PLH与接触件Pr的放大说明图。
图13是概念性地表示接触件Pr的按入负荷被解除时的板PL的行为的说明图。
图14是形成于板PL的贯穿孔PLH与接触件Pr的放大说明图。
图15是将相向支撑板B2的贯穿孔B2H附近放大表示的端面图。
[符号的说明]
1：检查装置
3、3U、3D：检查夹具
4、4U、4D：检查部
6：基板固定装置
7：隔离保持构件
8：检查处理部
31：支撑构件
33：滑层
34：底层部分
100：基板(检查对象物)
311：第一支撑部
312：第二支撑部
321：基底板
A、A2、A3、C1、D、E1、E2：支撑板
H、AH、A2H、A3H、B2H、C1H、DH、E1H、E2H：贯穿孔
B：隔离块
B2、B2a：相向支撑板
C1、D、E1、E2：支撑板
Dxe、Dxo、Dye、Dyo：距离
H1、H2：倒角部
H3：贯穿孔本体部
H4：大径部
Le：偶数列
Lo：奇数列
Lxo、Lyo：直线
P：接触位置
P1：第一区域
P2：第二区域
PL：板
PLH：贯穿孔
Pr：接触件
r1：半径
r2：曲率半径
S：间隔件
T：端部
X、Y、Z：方向
具体实施方式
以下，基于附图来说明本发明的实施方式。另外，各图中标注了相同符号的结构表示相同的结构，省略其说明。为了表示各图的方向，适当地记载了XYZ正交坐标轴。图1所示的检查装置1是用于对作为检查对象物的一例的基板100进行检查的装置。
基板100例如也可为印刷配线基板、柔性基板、陶瓷多层配线基板、液晶显示器或等离子体显示器用的电极板、半导体基板、以及半导体封装用的封装基板或载膜(filmcarrier)等各种基板。另外，检查对象物并不限于基板，例如也可为半导体元件(集成电路(Integrated Circuit，IC))等电子零件，除此以外，只要是成为进行电气检查的对象的对象物即可。
图1所示的检查装置1包括检查部4U、检查部4D、基板固定装置6以及检查处理部8。基板固定装置6构成为，将作为检查对象的基板100固定在规定的位置。检查部4U、检查部4D包括检查夹具3U、检查夹具3D。检查部4U、检查部4D通过省略图示的驱动机构，能够使检查夹具3U、检查夹具3D沿彼此正交的X、Y、Z这三轴方向移动，进而能够使检查夹具3U、检查夹具3D以Z轴为中心而转动。
检查部4U位于被固定在基板固定装置6的基板100的上方。检查部4D位于被固定在基板固定装置6的基板100的下方。检查部4U、检查部4D构成为，能够装卸用于对形成在基板100的电路图案进行检查的检查夹具3U、检查夹具3D。以下，将检查部4U、检查部4D总称作检查部4。
检查夹具3U、检查夹具3D分别包括：多个接触件Pr；支撑构件31，朝向基板100保持多个接触件Pr的前端部；以及基底板321。在基底板321，设有与各接触件Pr的后端部接触而导通的电极。检查部4U、检查部4D包括省略图示的连接电路，所述连接电路将各接触件Pr的后端部经由基底板321的各电极而与检查处理部8电连接，或者切换所述连接。
接触件Pr是包含具有大致棒状形状的单个构件的、所谓的线式探针。在支撑构件31，形成有支撑接触件Pr的多个贯穿孔。各贯穿孔是以与在作为检查对象的基板100的配线图案上所设定的检查点的位置对应的方式而配置。由此，使得接触件Pr的前端部接触至基板100的检查点。检查点例如被设为配线图案、焊垫、焊料凸块、连接端子、贯通孔、通孔等。
检查夹具3U、检查夹具3D除了向检查部4U、检查部4D的安装方向上下相反以外，彼此同样地构成。以下，将检查夹具3U、检查夹具3D总称作检查夹具3。检查夹具3能够根据作为检查对象的基板100来更换。
检查处理部8例如包括电源电路、电压计、电流计以及微计算机等。检查处理部8控制省略图示的驱动机构来使检查部4U、检查部4D移动、定位，使各接触件Pr的前端接触至基板100的各检查点。由此，将各检查点与检查处理部8电连接。在此状态下，检查处理部8经由检查夹具3的各接触件Pr来对基板100的各检查点供给检查用的电流或电压，并基于从各接触件Pr获得的电压信号或电流信号来执行例如电路图案的断线或短路等基板100的检查。或者，检查处理部8也可基于通过将交流的电流或电压供给至各检查点而从各接触件Pr获得的电压信号或电流信号，来测定检查对象的阻抗。
参照图2、图3、图4，支撑构件31包括：第一支撑部311，支撑接触件Pr的后端部侧；第二支撑部312，支撑接触件Pr的前端部侧；隔离保持构件7，彼此隔离地保持第一支撑部311与第二支撑部312；以及间隔件(spacer)S。
第一支撑部311是相向支撑板B2与支撑板C1、支撑板D、支撑板E1、支撑板E2沿Z方向层叠而构成。相向支撑板B2、支撑板C1、支撑板D、支撑板E1、支撑板E2是从靠近第二支撑部312的一侧依序层叠。即，相向支撑板B2是与第二支撑部312相向配置，构成第一支撑部311的多个板中的最靠近第二支撑部312的板被设为相向支撑板B2。
另外，第一支撑部311也可包含一块相向支撑板B2。而且，第一支撑部311也可包含含有相向支撑板B2的四块以下或六块以上的板。
在相向支撑板B2，形成有用于支撑各接触件Pr的贯穿孔B2H。在支撑板C1、支撑板D、支撑板E1、支撑板E2，形成有用于支撑各接触件Pr的贯穿孔C1H、贯穿孔DH、贯穿孔E1H、贯穿孔E2H。
接触件Pr的后端侧插通至贯穿孔B2H、贯穿孔C1H、贯穿孔DH、贯穿孔E1H、贯穿孔E2H。由此，接触件Pr的后端侧由第一支撑部311予以支撑。
参照图3、图4，在相向支撑板B2的外周部分，层叠有大致矩形框状的间隔件S。
第二支撑部312是由支撑板A、支撑板A2、支撑板A3层叠而构成。支撑板A、支撑板A2、支撑板A3是从远离第一支撑部311的一侧依序层叠。在支撑板A、支撑板A2、支撑板A3，形成有用于支撑各接触件Pr的贯穿孔AH、贯穿孔A2H、贯穿孔A3H。另外，第二支撑部312也可包含两块以下或四块以上的支撑板。
接触件Pr的前端侧插通至贯穿孔AH、贯穿孔A2H、贯穿孔A3H。由此，接触件Pr的前端侧由第二支撑部312予以支撑。
大致矩形筒状的隔离保持构件7从支撑板A3的外周部分延伸设置。支撑板A3与隔离保持构件7是一体地形成。由此，由支撑板A3与隔离保持构件7构成隔离块B。另外，支撑板A3与隔离保持构件7也可为独立体。
隔离保持构件7的端面被安装于间隔件S的第二支撑部312侧的面。由此，相向支撑板B2与支撑板A3即第一支撑部311与第二支撑部312隔开将隔离保持构件7的Z方向的长度与间隔件S的厚度相加所得的距离而受到保持。支撑板A、支撑板A2、支撑板A3、相向支撑板B2、支撑板C1、支撑板D、支撑板E1、支撑板E2平行地受到保持。
另外，间隔件S是用于对第一支撑部311与第二支撑部312的间隔进行微调的构件，检查夹具3也可不包括间隔件S。
而且，隔离保持构件7并不限于矩形筒状的构件。隔离保持构件只要是彼此隔离地保持第一支撑部311与第二支撑部312的构件即可。例如也可使用棒状的支柱来作为隔离保持构件。
贯穿孔AH、贯穿孔A2H、贯穿孔A3H、贯穿孔B2H、贯穿孔C1H、贯穿孔DH、贯穿孔E1H、贯穿孔E2H是以供同一根接触件Pr插通的方式而相对应地，相对于支撑板A、支撑板A2、支撑板A3、相向支撑板B2以及支撑板C1、支撑板D、支撑板E1、支撑板E2的各板而分别垂直地设置。关于相对应的贯穿孔AH、贯穿孔A2H、贯穿孔A3H、贯穿孔B2H、贯穿孔C1H、贯穿孔DH、贯穿孔E1H、贯穿孔E2H的各贯穿孔，各贯穿孔的位置相对于垂线的方向(Z方向)而朝X方向偏离，以使接触件Pr相对于各板的垂线方向(Z方向)而倾斜。
由此，各接触件Pr相对于Z方向，向X方向朝相同的方向倾斜地受到支撑。各接触件Pr的前端在未接触至基板100的状态下从支撑板A突出。以下，将贯穿孔AH、贯穿孔A2H、贯穿孔A3H、贯穿孔B2H、贯穿孔C1H、贯穿孔DH、贯穿孔E1H、贯穿孔E2H总称作贯穿孔H。另外，贯穿孔H也可相对于各板的垂线方向而倾斜地贯穿。
参照图5，相向支撑板B2的贯穿孔B2H的沿着相向支撑板B2的面方向的剖面形状具有椭圆形状。
多个贯穿孔B2H分别分布在沿Y方向呈长条的大致矩形形状展开的第一区域P1与第二区域P2。Y方向相当于第一方向的一例，X方向相当于第二方向的一例。
各贯穿孔B2H具有长轴沿X方向延伸的椭圆形状。X方向相当于沿着相向支撑板B2的面方向的特定方向的一例。各贯穿孔B2H的长轴的方向与X方向一致。即，特定方向为X方向(第二方向)。
在第一区域P1以及第二区域P2内，等间隔地配置有贯穿孔B2H。第一区域P1与第二区域P2隔开比同一区域内的贯穿孔B2H的间隔大的距离。
多个贯穿孔B2H是分为沿着Y方向(第一方向)而彼此平行地延伸的奇数列Lo以及偶数列Le而配置。偶数列Le的各贯穿孔B2H位于通过奇数列Lo的各贯穿孔B2H的中心的X方向(第二方向)的各直线Lxo之间。
在各奇数列Lo中沿Y方向(第一方向)邻接的贯穿孔B2H彼此的中心间的距离Dyo，比沿X方向(第二方向)邻接的奇数列Lo彼此的贯穿孔B2H的中心间的距离Dxo短。在各偶数列Le中沿Y方向(第一方向)邻接的贯穿孔B2H彼此的中心间的距离Dye，比沿X方向(第二方向)邻接的偶数列Le彼此的贯穿孔B2H的中心间的距离Dxe短。
图6所示的相向支撑板B2a中，各贯穿孔B2H的长轴的方向与Y方向一致。即，图6所示的示例中，特定方向为Y方向(第二方向)，X方向相当于第一方向。
多个贯穿孔B2H是分为沿着X方向(第一方向)彼此平行地延伸的奇数列Lo以及偶数列Le而配置。偶数列Le的各贯穿孔B2H位于通过奇数列Lo的各贯穿孔B2H的中心的Y方向(第二方向)的各直线Lyo之间。
在各奇数列Lo中沿X方向(第一方向)邻接的贯穿孔B2H彼此的中心间的距离Dxo，与沿Y方向(第二方向)邻接的奇数列Lo彼此的贯穿孔B2H的中心间的距离Dyo相等。在各偶数列Le中沿X方向(第一方向)邻接的贯穿孔B2H彼此的中心间的距离Dxe，与沿Y方向(第二方向)邻接的偶数列Le彼此的贯穿孔B2H的中心间的距离Dye相等。
图6所示的示例中，接触件Pr朝Y方向倾斜。各板的贯穿孔H的位置相对于Z轴而朝Y方向偏离，以使接触件Pr相对于Z方向而朝Y方向倾斜。
图5所示的相向支撑板B2满足下述条件，即，各贯穿孔B2H的长轴的方向与X方向一致，且在各奇数列Lo中沿Y方向(第一方向)邻接的贯穿孔B2H彼此的中心间的距离Dyo比沿X方向(第二方向)邻接的奇数列Lo彼此的贯穿孔B2H的中心间的距离Dxo短，且在各偶数列Le中沿Y方向(第一方向)邻接的贯穿孔B2H彼此的中心间的距离Dye比沿X方向(第二方向)邻接的偶数列Le彼此的贯穿孔B2H的中心间的距离Dxe短。
其结果，较之不满足此条件的图6的相向支撑板B2a，满足此条件的图5所示的相向支撑板B2使得接触件Pr倾斜而挠曲的方向(相向支撑板B2中为X方向，相向支撑板B2a中为Y方向)上的、接触件Pr的邻接间隔变大。通过接触件Pr挠曲的方向上的接触件Pr的邻接间隔变大，从而较之相向支撑板B2a，相向支撑板B2可减少接触件Pr彼此接触的可能性。
图5所示的相向支撑板B2中，贯穿孔B2H在第一区域P1内，沿X方向(特定方向)呈Z字形地设有五列，沿Y方向(第三方向)呈Z字形地设有二十列。同样，贯穿孔B2H在第二区域P2内，沿X方向(特定方向)呈Z字形地设有五列，沿Y方向(第三方向)呈Z字形地设有二十列。
即，在贯穿孔B2H等间隔地排列的第一区域P1以及第二区域P2内，与X方向(特定方向)对应的贯穿孔B2H的列数比与Y方向(第三方向)对应的贯穿孔B2H的列数少。另外，贯穿孔B2H并不限于呈Z字形配置的示例，也可相对于X方向、Y方向而呈直线状即呈格子状地配置。而且，示出了贯穿孔B2H等间隔地配置的区域为两个的示例，但此种区域也可为一个，还可为三个以上。
如上所述，各贯穿孔H的位置相对于垂线的方向(Z方向)而朝X方向(特定方向)偏离，因此贯穿孔H的偏离方向沿着贯穿孔H的列数少的X方向(特定方向)。
当为了检查基板100而使检查夹具3抵接于基板100时，如图7所示，各接触件Pr的前端被按入至第二支撑部312。此时，各接触件Pr向X方向朝相同的方向倾斜地受到支撑，因此朝X方向挠曲而吸收接触件Pr的按入量。
此处，接触件Pr的挠曲方向沿着贯穿孔B2H的长轴方向即X方向(特定方向)，因此接触件Pr的倾斜方向以及接触件Pr的挠曲方向也为贯穿孔H的列数少的X方向。
当接触件Pr挠曲时，沿挠曲方向邻接的接触件Pr彼此接触的可能性增大。但是，检查夹具3中，各接触件Pr是沿着贯穿孔B2H的列数少的X方向(特定方向)挠曲，因此较之沿着贯穿孔B2H的列数多的Y方向(第三方向)挠曲的情况，接触件Pr彼此接触的可能性减少。
另外，例如也可如使用图6所示的相向支撑板B2a的情况那样，贯穿孔B2H的长轴方向即特定方向未必沿着贯穿孔B2H的列数少的方向(图6中为X方向)。
参照图8，各接触件Pr具有圆柱形状，其半径为r1。贯穿孔B2H的剖面的长轴方向(特定方向)的两端部T的曲率半径r2小于各接触件Pr的半径r1。其结果，贯穿孔B2H的长轴方向(特定方向)的一端侧的内壁与接触件Pr在两处接触位置P接触。
此时，若接触件Pr在贯穿孔B2H内倾斜，则接触件Pr以两点而与贯穿孔B2H的内壁接触。若接触件Pr在贯穿孔B2H内沿Z方向即贯穿孔B2H的轴线方向延伸，则接触件Pr以两线而与贯穿孔B2H的内壁接触。
这样，通过贯穿孔B2H的两端部T的曲率半径r2小于各接触件Pr的半径r1，可使接触件Pr以两点或两线而与贯穿孔B2H的内壁接触。通过接触件Pr以两点或两线而与贯穿孔B2H的内壁接触，可减少接触件Pr朝向贯穿孔B2H的短轴方向(与特定方向正交的方向)的移动。
而且，在设为贯穿孔B2H的两端部T的曲率半径r2比各接触件Pr的半径r1小的孔形状，且采用偶数列Le的各贯穿孔B2H位于通过奇数列Lo的各贯穿孔B2H的中心的各直线Lxo之间的配置即所谓的锯齿配置的情况下，可获得如下所述的效果。即，此种情况下，与将具有包含一对平行线与一对半圆的长圆形的剖面形状的贯穿孔设为锯齿配置的情况相比，即使在将孔的中心位置配置为相同的情况下，沿斜方向邻接的贯穿孔B2H彼此的间隔也变宽。其结果，既能维持贯穿孔B2H相互间的壁厚，又容易缩窄贯穿孔B2H的邻接间距。
另外，贯穿孔B2H的剖面形状未必限于椭圆。接触件Pr相对于相向支撑板B2、相向支撑板B2a的垂线而倾斜地受到支撑。因而，接触件Pr仅接触至两端部T中的其中一个。因此，例如如图9所示，也可为如下所述的形状，即，仅接触件Pr所接触的一侧的、其中一个端部T的曲率半径r2小于各接触件Pr的半径r1。
而且，例如如图10所示，贯穿孔B2H的剖面形状也可为多边形状。关于图10所示的多边形状的贯穿孔B2H，也可与图9所示的贯穿孔B2H同样地，仅接触件Pr所接触的一侧的其中一个端部T为多边形状。
即，贯穿孔B2H的剖面只要为如下所述的形状即可，即，具有在沿着相向支撑板B2、相向支撑板B2a的面方向的特定方向上为长条的形状，且贯穿孔B2H的特定方向的一端侧的内壁与插通至各贯穿孔B2H的接触件Pr以两点或两线而接触。若各贯穿孔B2H为此种形状，则接触件Pr以两点或两线而与贯穿孔B2H的内壁接触，其结果，可减少接触件Pr朝向贯穿孔B2H的短轴方向的移动。
而且，通过各贯穿孔B2H的剖面形状具有椭圆等在特定方向上为长条的形状，各接触件Pr的挠曲方向容易变得一致。其结果，各接触件Pr朝向与特定方向正交的方向挠曲的挠曲量的偏差减少，因此容易缩窄相对于与特定方向正交的方向而配置贯穿孔H的间隔。其结果，容易缩窄各接触件Pr的、相对于与特定方向正交的方向的配置间隔。而且，不需要如专利文献1所记载的技术那样，使用朝一方向挠曲地支撑多个接触件的中间部的引导膜，因此容易简化检查夹具的结构。
参照图3、图4，支撑板A、支撑板A2、支撑板A3、隔离保持构件7、间隔件S、相向支撑板B2(B2a)以及支撑板C1、支撑板D、支撑板E1、支撑板E2包含绝缘材料例如树脂材料。相向支撑板B2(B2a)的弯曲强度比支撑板C1、支撑板D、支撑板E1、支撑板E2的弯曲强度强。相向支撑板B2(B2a)例如可包含陶瓷、精细陶瓷等材料。
相向支撑板B2、相向支撑板B2a的弯曲强度例如可根据日本工业标准(JapaneseIndustrial Standards，JIS)R 1601“精细陶瓷的室温弯曲强度测试方法”或者国际标准化组织(International Standard Organization，ISO)14704来评估。支撑板C1、支撑板D、支撑板E1、支撑板E2的弯曲强度例如可根据JIS K 7171“塑料-弯曲特性的求出方法”或者ISO178来评估。
各板的弯曲强度的评估方法如下。将被装入至检查夹具时，夹着预定接触件会贯穿支撑板的贯穿孔的两处、且相向支撑板和支撑板的层叠体与隔离保持构件相向的两处部位作为外部支点，将所述两处部位的外部支点的大致中央作为负荷点。若是比负荷测定器的压头大的开口位于所述两处部位的外部支点的大致中央而施加不了负荷测定器的负荷的板形状，则只要将在所述两处部位的外部支点的大致中央的附近对板施加负荷的部位设为负荷点即可。测定对所述负荷点施加有不会破坏板的程度的规定负荷时的负荷测定器的行程。可评估为所述行程越小，则弯曲强度越强。所述规定负荷只要选择任意值即可，并不受所述规格中的测定条件约束。不论所述规格中的测试片的形状、尺寸、表面粗糙度等的规定如何，只要不对板进行加工而直接以其形状及尺寸来评估弯曲强度即可。不论所述规格中的测试片的数量的规定如何，用于弯曲强度的评估的板为一块即可。
相向支撑板B2、相向支撑板B2a的弯曲强度比支撑板C1、支撑板D、支撑板E1、支撑板E2的弯曲强度强。其结果，通过相向支撑板B2、相向支撑板B2a，支撑板C1、支撑板D、支撑板E1、支撑板E2的挠曲得以减少，能够减轻对支撑接触件的支撑部施加的应力。
以下，对在相向支撑板B2、相向支撑板B2a的弯曲强度不高的检查夹具中，对支撑接触件的支撑部施加应力的机制进行说明。
具体而言，如图11所示，当将检查夹具抵接于检查对象物而接触件Pr被按入而挠曲时，板PL被挠曲的接触件Pr按压而挠曲。更详细而言，如图12所示，挠曲的接触件Pr碰触板PL的贯穿孔PLH的开口缘部而被卡住，而强力地按入板PL。
在此状态下，当检查夹具离开检查对象物而接触件Pr欲复原时，如图13所示，板PL被接触件Pr拉伸而反向地挠曲。更详细而言，挠曲的接触件Pr被强力地按抵至贯穿孔PLH的内壁。因此，如图14所示，在接触件Pr与贯穿孔PLH之间产生大的摩擦力，当接触件Pr复原时，接触件Pr拉伸板PL，板PL反向地挠曲。这样，通过板PL挠曲，从而对支撑接触件Pr的支撑部即板PL施加应力。
另一方面，检查夹具3包括弯曲强度比支撑板C1、支撑板D、支撑板E1、支撑板E2强的相向支撑板B2、相向支撑板B2a，因此相向支撑板B2、相向支撑板B2a自身的挠曲减少，并且支撑板C1、支撑板D、支撑板E1、支撑板E2的挠曲被相向支撑板B2、相向支撑板B2a抑制。因而，相向支撑板B2、相向支撑板B2a以及支撑板C1、支撑板D、支撑板E1、支撑板E2的挠曲减少，结果，容易减轻对支撑接触件Pr的支撑部即相向支撑板B2、相向支撑板B2a以及支撑板C1、支撑板D、支撑板E1、支撑板E2施加的应力。
参照图15，相向支撑板B2、相向支撑板B2a的贯穿孔B2H的开口缘部经倒角，而设为倒角部H1、倒角部H2。贯穿孔B2H的内表面中的除了倒角部H1、倒角部H2以外的部分被设为贯穿孔本体部H3。即，贯穿孔B2H的内表面包含贯穿孔本体部H3以及倒角部H1、倒角部H2。在相向支撑板B2、相向支撑板B2a，例如与贯穿孔B2H同轴地，直径比贯穿孔B2H大的大径部H4连结于贯穿孔B2H。
当接触件Pr挠曲时，因挠曲而对第一支撑部311施加的负荷的大部分施加至相向支撑板B2、相向支撑板B2a的贯穿孔B2H的倒角部H1。因此，接触件Pr所摩擦的摩擦力在贯穿孔B2H、贯穿孔C1H、贯穿孔DH、贯穿孔E1H、贯穿孔E2H中的贯穿孔B2H内为最大。
因此，通过对相向支撑板B2、相向支撑板B2a的贯穿孔B2H的倒角部H1、倒角部H2进行倒角，从而能够减少因与倒角部H1、倒角部H2的摩擦而导致接触件Pr划伤的可能性。倒角可设为使角变圆的圆面、倾斜地削去角的方形面、其他各种倒角形状。
另外，相向支撑板B2、相向支撑板B2a以外的支撑板的贯穿孔H的开口缘部当然也可设为倒角形状。与贯穿孔B2H同样，各板的贯穿孔H也可将大径部与小径部连结。此时，优选的是，贯穿孔H的小径部分的开口缘部被设为倒角形状。
而且，优选的是，在检查夹具3中的相向支撑板B2、相向支撑板B2a以及支撑板A、支撑板A2、支撑板A3、支撑板C1、支撑板D、支撑板E1、支撑板E2的各板的各贯穿孔H的内表面，形成有用于减轻摩擦的例如涂敷层即滑层33。如图15所示，滑层33也可形成在包含各贯穿孔H的内表面的、各板的整个表面。但是，由于接触件Pr不接触至各贯穿孔H的内表面以外的部分，因此滑层33也可不形成在各贯穿孔H的内表面以外的部分。
而且，滑层33只要形成在各贯穿孔H的内表面中的、贯穿孔本体部H3以及倒角部H1的至少一者即可。
滑层33的厚度例如设为1μm左右。滑层33相对于接触件Pr的摩擦系数小于各板中的滑层33的底层部分34的摩擦系数。滑层33例如可通过蒸镀摩擦系数小的材料而形成。关于摩擦系数的大小，只要以动摩擦系数彼此或静摩擦系数彼此的任一者来进行比较即可。
作为滑层33的材料，例如可使用对二甲苯系聚合物，优选派瑞林(Parylene)(注册商标)、氟、聚酯、亚克力等摩擦系数小的绝缘材料。
通过如此在贯穿孔H的内表面形成滑层33，可减少贯穿孔H与接触件Pr的摩擦。
另外，接触件Pr在相向支撑板B2、相向支撑板B2a的第二支撑部312侧挠曲，因此第二支撑部312侧的倒角部H1与接触件Pr的摩擦大于支撑板C1侧的倒角部H2与接触件Pr的摩擦。因而，图15中，示出了倒角部H1、倒角部H2两者均经倒角的示例，但也可仅有倒角部H1、倒角部H2中的、与接触件Pr的摩擦更大的第二支撑部312侧的倒角部H1经倒角。
或者，相向支撑板B2、相向支撑板B2a的贯穿孔B2H的倒角部H1、倒角部H2也可不经倒角。
而且，接触件Pr在相向支撑板B2、相向支撑板B2a的第二支撑部312侧挠曲。因此，相向支撑板B2、相向支撑板B2a的贯穿孔B2H与接触件Pr的接触压力易变得比其他支撑板的贯穿孔H与接触件Pr的接触压力大，容易产生摩擦。因而，只要至少在相向支撑板B2、相向支撑板B2a的各贯穿孔B2H的内表面形成滑层33即可，也可不在其他板形成滑层33。
而且，优选的是，支撑板A、支撑板E2以外的板的贯穿孔H具有与相向支撑板B2、相向支撑板B2a的贯穿孔B2H同样的形状。但是，当接触件Pr挠曲时，因挠曲而对相向支撑板B2、相向支撑板B2a的贯穿孔B2H施加的负荷比对其他各板的贯穿孔H施加的负荷大。因而，相向支撑板B2、相向支撑板B2a以外的支撑板的贯穿孔H的形状也可与贯穿孔B2H的形状不同，例如也可为剖面圆形形状。
支撑板A、支撑板E2的贯穿孔H也可为与相向支撑板B2、相向支撑板B2a的贯穿孔B2H同样的形状。但是，就将接触件Pr的端部分别定位至检查点以及电极的观点而言，更优选的是，支撑板A、支撑板E2的贯穿孔H为剖面圆形或正方形形状。
而且，各板的贯穿孔H的位置也可未必偏离，接触件Pr并不限于倾斜地受到支撑的示例。而且，相向支撑板B2、相向支撑板B2a并不限于弯曲强度比支撑板C1、支撑板D、支撑板E1、支撑板E2强的示例。
即，本发明的一例的检查夹具包括：棒状的多个接触件；第一支撑部，支撑所述多个接触件的一端部侧；以及第二支撑部，支撑所述多个接触件的另一端部侧，所述第一支撑部包括相向支撑板，所述相向支撑板相对于所述第二支撑部而隔离地相向配置，且形成有供所述多个接触件插通的多个贯穿孔，所述各贯穿孔的剖面具有长轴在沿着所述相向支撑板的面方向的、规定的特定方向上延伸的椭圆形状。
根据此结构，棒状的接触件插通至剖面椭圆形状的贯穿孔，且各贯穿孔的椭圆形状的长轴方向与特定方向一致。其结果，各接触件的挠曲方向容易与特定方向一致。因而，无需如专利文献1所记载的技术那样，使用朝一方向挠曲地支撑多个接触件的中间部的引导膜，便容易使各接触件的挠曲方向一致，因此容易简化检查夹具的结构。
而且，优选的是，所述多个接触件具有圆柱形状，所述剖面的所述特定方向的两端部的曲率半径小于所述各接触件的半径。
根据此结构，贯穿孔的长轴方向即特定方向的一端侧的内壁与接触件以两点或两线而接触。其结果，可减少各接触件朝向与特定方向正交的方向的移动。
而且，本发明的一例的检查夹具包括：棒状的多个接触件；第一支撑部，支撑所述多个接触件的一端部侧；以及第二支撑部，支撑所述多个接触件的另一端部侧，所述第一支撑部包括相向支撑板，所述相向支撑板相对于所述第二支撑部而隔离地相向配置，且形成有供所述多个接触件插通的多个贯穿孔，所述各贯穿孔的剖面具有在沿着所述相向支撑板的面方向的、规定的特定方向上为长条的形状，所述各贯穿孔的所述特定方向的一端侧的内壁与插通至所述各贯穿孔的接触件以两点或两线而接触。
根据此结构，棒状的接触件插通至具有在特定方向上为长条的剖面形状的贯穿孔，且各贯穿孔的剖面形状的长条方向与特定方向一致。其结果，各接触件的挠曲方向容易与特定方向一致。因而，无需如专利文献1所记载的技术那样，使用朝一方向挠曲地支撑多个接触件的中间部的引导膜，便容易使各接触件的挠曲方向一致，因此容易简化检查夹具的结构。进而，各贯穿孔的特定方向的一端侧的内壁与插通至各贯穿孔的接触件以两点或两线而接触。其结果，可减少各接触件朝向与特定方向正交的方向的移动。
而且，优选的是，所述多个贯穿孔分为沿着规定的第一方向而彼此平行地延伸的奇数列以及偶数列而配置，所述偶数列的各贯穿孔位于通过所述奇数列的各贯穿孔的中心且与所述第一方向正交的第二方向的各直线之间。
根据此结构，能够以所谓的锯齿配置来配置各接触件。其结果，容易缩窄接触件相互间的间隔。
而且，优选的是，在所述各奇数列中沿所述第一方向邻接的所述贯穿孔彼此的中心间的距离，比沿所述第二方向邻接的所述奇数列彼此的贯穿孔的中心间的距离短，在所述各偶数列中沿所述第一方向邻接的所述贯穿孔彼此的中心间的距离，比沿所述第二方向邻接的所述偶数列彼此的贯穿孔的中心间的距离短，所述特定方向为所述第二方向。
根据此结构，接触件容易挠曲的方向即特定方向为第二方向。并且，沿第二方向邻接的贯穿孔彼此的中心间的距离比沿第一方向邻接的贯穿孔彼此的中心间的距离长。其结果，接触件挠曲的方向上的、接触件的邻接间隔大于与挠曲方向正交的方向。通过接触件挠曲的方向上的接触件的邻接间隔变大，可减少接触件彼此因挠曲而接触的可能性。
而且，优选的是，所述各贯穿孔中的、所述第二支撑部侧的开口缘部经倒角。
接触件在第一支撑部与第二支撑部之间挠曲。即，接触件在位于第一支撑部的第二支撑部侧的、相向支撑板的第二支撑部侧挠曲。因而，因接触件挠曲引起的负荷容易施加至相向支撑板的各贯穿孔的、第二支撑部侧的开口缘部。根据此结构，容易施加负荷的、相向支撑板的各贯穿孔的第二支撑部侧的开口缘部经倒角，因此贯穿孔的开口缘部与接触件的摩擦得以减少。
而且，优选的是，在所述各贯穿孔的内表面形成用于减轻摩擦的滑层，所述滑层相对于所述接触件的摩擦系数，比所述相向支撑板中的所述滑层的底层部分的摩擦系数小。
根据此结构，可减轻接触件与各贯穿孔的内表面的摩擦。
而且，优选的是，所述各贯穿孔中的、所述第二支撑部侧的开口缘部设为经倒角的倒角部，在所述各贯穿孔的包含所述倒角部的内表面中的除了所述倒角部以外的部分即贯穿孔本体部、以及所述倒角部的至少一者，形成用于减轻摩擦的滑层，所述滑层相对于所述接触件的摩擦系数，比所述相向支撑板中的所述滑层的底层部分的摩擦系数小。
根据此结构，可减轻各贯穿孔内的贯穿孔本体部以及倒角部中的至少一者与接触件的摩擦。
而且，优选的是，所述第一支撑部包含位于所述相向支撑板的与所述第二支撑部为相反的一侧的支撑板，所述相向支撑板的弯曲强度比所述支撑板强。
根据此结构，第一支撑部包含相向支撑板与支撑板。接触件在第一支撑部与第二支撑部之间大幅挠曲，因此靠近第二支撑部一侧的相向支撑板最容易受到因接触件的挠曲产生的力。通过使最容易受到因所述接触件的挠曲产生的力的相向支撑板的弯曲强度强，从而容易减轻对第一支撑部施加的应力。
而且，优选的是，所述第一支撑部包含位于所述相向支撑板的与所述第二支撑部为相反的一侧的支撑板，在所述支撑板，形成有多个贯穿孔，所述多个贯穿孔相对于所述相向支撑板的多个贯穿孔而相对应，以供同一接触件插通，关于所述相对应的所述相向支撑板的贯穿孔与所述支撑板的贯穿孔，所述相向支撑板的贯穿孔的位置与所述支撑板的贯穿孔的位置相对于垂线的方向而偏离，以使所述接触件相对于所述相向支撑板的所述垂线而倾斜，所述偏离的方向沿着所述特定方向。
根据此结构，通过相向支撑板以及支撑板的贯穿孔，容易朝特定方向倾斜地支撑接触件。
而且，优选的是，所述多个贯穿孔沿着所述特定方向而配置有多列，且沿着与所述第一方向交叉的第三方向而配置有多列，在所述贯穿孔等间隔地排列的区域内，沿所述特定方向排列的列数比沿所述第三方向排列的列数少。
根据此结构，接触件沿着接触件容易挠曲的特定方向排列的列数比接触件难以挠曲的第三方向少。因而，接触件在贯穿孔的列数少即接触件的列数少的方向上容易挠曲，因此比起沿着列数多的第三方向挠曲的情况，接触件彼此接触的可能性减少。
本发明的一例的检查装置包括：所述检查夹具；以及检查处理部，基于通过使所述接触件接触至设于检查对象物的检查点而获得的电信号，来进行所述检查对象物的检查。
根据此结构，容易简化用于检查的检查夹具的结构。

Claims (12)

1.一种检查夹具，其特征在于，包括：
棒状的多个接触件；
第一支撑部，支撑所述多个接触件的一端部侧；以及
第二支撑部，支撑所述多个接触件的另一端部侧，
所述第一支撑部包括相向支撑板，所述相向支撑板相对于所述第二支撑部而隔离地相向配置，且形成有供所述多个接触件插通的多个贯穿孔，
所述各贯穿孔的剖面具有长轴在沿着所述相向支撑板的面方向的、规定的特定方向上延伸的椭圆形状。
2.根据权利要求1所述的检查夹具，其特征在于
所述多个接触件具有圆柱形状，
所述剖面的所述特定方向的两端部的曲率半径小于所述各接触件的半径。
3.一种检查夹具，其特征在于，包括：
棒状的多个接触件；
第一支撑部，支撑所述多个接触件的一端部侧；以及
第二支撑部，支撑所述多个接触件的另一端部侧，
所述第一支撑部包括相向支撑板，所述相向支撑板相对于所述第二支撑部而隔离地相向配置，且形成有供所述多个接触件插通的多个贯穿孔，
所述各贯穿孔的剖面具有在沿着所述相向支撑板的面方向的、规定的特定方向上为长条的形状，所述各贯穿孔的所述特定方向的一端侧的内壁与插通至所述各贯穿孔的接触件以两点或两线而接触。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的检查夹具，其特征在于
所述多个贯穿孔分为沿着规定的第一方向而彼此平行地延伸的奇数列以及偶数列而配置，
所述偶数列的各贯穿孔位于通过所述奇数列的各贯穿孔的中心且与所述第一方向正交的第二方向的各直线之间。
5.根据权利要求4所述的检查夹具，其特征在于
在所述各奇数列中沿所述第一方向邻接的所述贯穿孔彼此的中心间的距离，比沿所述第二方向邻接的所述奇数列彼此的贯穿孔的中心间的距离短，
在所述各偶数列中沿所述第一方向邻接的所述贯穿孔彼此的中心间的距离，比沿所述第二方向邻接的所述偶数列彼此的贯穿孔的中心间的距离短，
所述特定方向为所述第二方向。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的检查夹具，其特征在于
所述各贯穿孔中的、所述第二支撑部侧的开口缘部经倒角。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的检查夹具，其特征在于
在所述各贯穿孔的内表面形成用于减轻摩擦的滑层，
所述滑层相对于所述接触件的摩擦系数，比所述相向支撑板中的所述滑层的底层部分的摩擦系数小。
8.根据权利要求6所述的检查夹具，其特征在于
所述各贯穿孔中的、所述第二支撑部侧的开口缘部被设为经倒角的倒角部，
在所述各贯穿孔的包含所述倒角部的内表面中的除了所述倒角部以外的部分即贯穿孔本体部、以及所述倒角部的至少一者，形成用于减轻摩擦的滑层，
所述滑层相对于所述接触件的摩擦系数，比所述相向支撑板中的所述滑层的底层部分的摩擦系数小。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的检查夹具，其特征在于
所述第一支撑部包含位于所述相向支撑板的与所述第二支撑部为相反的一侧的支撑板，
所述相向支撑板的弯曲强度比所述支撑板强。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的检查夹具，其特征在于
所述第一支撑部包含位于所述相向支撑板的与所述第二支撑部为相反的一侧的支撑板，
在所述支撑板，形成有多个贯穿孔，所述多个贯穿孔相对于所述相向支撑板的多个贯穿孔而相对应，以供同一接触件插通，
关于所述相对应的所述相向支撑板的贯穿孔与所述支撑板的贯穿孔，所述相向支撑板的贯穿孔的位置与所述支撑板的贯穿孔的位置相对于垂线的方向而偏离，以使所述接触件相对于所述相向支撑板的所述垂线而倾斜，
所述偏离的方向沿着所述特定方向。
11.根据权利要求4或5所述的检查夹具，其特征在于
所述多个贯穿孔沿着所述特定方向而配置有多列，且沿着与所述第一方向交叉的第三方向而配置有多列，在所述贯穿孔等间隔地排列的区域内，沿所述特定方向排列的列数比沿所述第三方向排列的列数少。
12.一种检查装置，其特征在于，包括：
如权利要求1至11中任一项所述的检查夹具；以及
检查处理部，基于通过使所述接触件接触至设于检查对象物的检查点而获得的电信号，来进行所述检查对象物的检查。
CN202110867732.0A 2020-07-31 2021-07-29 检查夹具以及检查装置 Pending CN114062717A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020-131147 2020-07-31
JP2020131147A JP2022027256A (ja) 2020-07-31 2020-07-31 検査治具、及び検査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN114062717A true CN114062717A (zh) 2022-02-18

Family

ID=80004281

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110867732.0A Pending CN114062717A (zh) 2020-07-31 2021-07-29 检查夹具以及检查装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11768226B2 (zh)
JP (1) JP2022027256A (zh)
KR (1) KR20220015956A (zh)
CN (1) CN114062717A (zh)
TW (1) TW202206822A (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102649845B1 (ko) * 2023-11-29 2024-03-21 주식회사 나노시스 반도체 소자 테스터 지그

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3791689B2 (ja) * 2004-01-09 2006-06-28 日本電子材料株式会社 プローブカード
JP4894464B2 (ja) * 2006-11-01 2012-03-14 山一電機株式会社 半田付き接触子及びその製造方法
JP2008241808A (ja) * 2007-03-26 2008-10-09 Seiko Epson Corp 電気光学装置の検査装置及び電気光学装置の検査方法
JP2012103125A (ja) 2010-11-10 2012-05-31 Micronics Japan Co Ltd プローブカード
JP2018179721A (ja) * 2017-04-12 2018-11-15 株式会社日本マイクロニクス 電気的接続装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2022027256A (ja) 2022-02-10
US11768226B2 (en) 2023-09-26
TW202206822A (zh) 2022-02-16
KR20220015956A (ko) 2022-02-08
US20220034938A1 (en) 2022-02-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI779192B (zh) 探針、檢查夾具、檢查裝置、以及探針的製造方法
KR100989300B1 (ko) 기판 검사용 지그 및 검사용 프로브
TWI821332B (zh) 檢查工具及檢查裝置
JP6367249B2 (ja) プローブユニット
WO2017138305A1 (ja) 接触端子、検査治具、及び検査装置
US6023171A (en) Dual-contact probe tip for flying probe tester
JP4842733B2 (ja) 導電性接触子および導電性接触子ユニット
JP2008032666A (ja) 基板検査用治具および基板検査治具の製造方法
TW201843462A (zh) 檢查治具以及基板檢查裝置
CN114062717A (zh) 检查夹具以及检查装置
KR20190013732A (ko) 접촉 도전 지그, 및 검사 장치
JP2011232313A (ja) コンタクトプローブおよびプローブユニット
CN115398245A (zh) 检查夹具以及检查装置
JP2011133354A (ja) コンタクトプローブおよびプローブユニット
JP7237470B2 (ja) プローブ組立体
US11454650B2 (en) Probe, inspection jig, inspection device, and method for manufacturing probe
KR20060080635A (ko) 반도체 소자 검침용 프로브 카드와 그 제조 방법
US20230138341A1 (en) Inspection jig and inspection device
KR101794576B1 (ko) 솔더볼 보호용 비지에이 패키지 검사장치
JP2010091314A (ja) 基板検査治具及び検査用プローブ
JP3237875U (ja) 試験装置および接触端子
KR200380244Y1 (ko) 반도체 소자 검침용 프로브 카드
JPH054035B2 (zh)
JPH0649994U (ja) 縦型プローブカード

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination