CN115398245A - 检查夹具以及检查装置 - Google Patents

Abstract

检查夹具3包括：棒状的接触件Pr；第一支撑部311，支撑接触件Pr的一端部侧；第二支撑部312，支撑接触件Pr的另一端部侧；以及分隔保持构件7，使第一支撑部311与第二支撑部312彼此分隔地予以保持，第一支撑部311包括形成有供接触件Pr插通的贯穿孔B2H的支撑板B2，在支撑板B2的与第二支撑部312相对的相向面，配设有弯曲强度比支撑板B2强的加强板5。

Description

检查夹具以及检查装置

技术领域

本发明涉及一种包括接触件的检查夹具以及使用所述检查夹具的检查装置。

背景技术

以往，已知有一种探针卡(probe card)(例如参照专利文献1)，其包括：支撑构件，具有分别定位支撑线式探针(wire probe)的上部以及下部的上部支撑孔以及下部支撑孔；以及具有柔性的导膜(guide film)，使线式探针的中间部朝一方向挠曲而支撑。所述支撑构件的下部支撑孔被形成于层叠的第一底板与第二底板。

专利文献1中记载了：若导膜过于柔软，则有时会因线式探针的弹力导致导膜伸展而上下挠曲。因此，专利文献1所记载的技术中，对于导膜的表面，施以有抑制伴随导膜的伸缩引起的挠曲的加强膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2012-103125号公报

发明内容

此外，专利文献1中，使导膜上下挠曲的力也会与导膜同样地施加至具有供线式探针插通的下部支撑孔的第一底板以及第二底板。因此，有可能对第一底板以及第二底板施加应力。

本发明的目的在于提供一种容易减轻对支撑接触件的支撑部施加的应力的检查夹具以及检查装置。

本发明的一例的检查夹具包括：棒状的接触件；第一支撑部，支撑所述接触件的一端部侧；第二支撑部，支撑所述接触件的另一端部侧；以及分隔保持构件，使所述第一支撑部与所述第二支撑部彼此分隔地予以保持，所述第一支撑部包括形成有供所述接触件插通的贯穿孔的支撑板，在所述支撑板的与所述第二支撑部相对的相向面，配设有弯曲强度比所述支撑板强的加强板。

本发明的一例的检查装置包括：所述的检查夹具；以及检查处理部，基于通过使所述接触件接触至设于检查对象物的检查点而获得的电信号，来进行所述检查对象物的检查。

附图说明

[图1]是概略地表示使用本发明的一实施方式的检查夹具3的检查装置1的结构的一例的概念图。

[图2]是从接触件Pr的前端侧观察图1所示的检查夹具3的平面图。

[图3]是图2所示的检查夹具3的III-III线端面图。

[图4]是图2所示的检查夹具3的IV-IV线端面图。

[图5]是图3、图4所示的加强板5的、从Z方向观察的平面图。

[图6]是表示图5所示的加强板5的变形例的平面图。

[图7]是表示使检查夹具3抵接于基板100的状态的一例的说明图。

[图8]是概念性地表示接触件Pr被按入时的板PL的行为的说明图。

[图9]是形成于板PL的贯穿孔PLH与接触件Pr的放大说明图。

[图10]是概念性地表示接触件Pr的按入载荷被解除时的板PL的行为的说明图。

[图11]是形成于板PL的贯穿孔PLH与接触件Pr的放大说明图。

[图12]是将第一支撑板B2的贯穿孔B2H附近放大表示的端面图。

[图13]是表示图3所示的检查夹具3的变形例的端面图。

[图14]是将加强板B2a的贯穿孔B2H附近放大表示的端面图。

[图15]是表示形成于板PL的滑层33的一例的剖面图。

具体实施方式

以下，基于附图来说明本发明的实施方式。另外，各图中标注了相同符号的结构表示相同的结构，省略其说明。为了表示各图的方向，适当记载了XYZ正交坐标轴。图1所示的检查装置1是用于对作为检查对象物的一例的基板100进行检查的装置。

基板100例如也可为印刷配线基板、柔性基板、陶瓷多层配线基板、液晶显示器或等离子体显示器用的电极板、半导体基板、以及半导体封装用的封装基板或载膜等各种基板。另外，检查对象物并不限于基板，例如也可为半导体元件(集成电路(IntegratedCircuit，IC))等的电子零件，只要是其他进行电气检查的对象即可。

图1所示的检查装置1包括检查部4U、4D、基板固定装置6以及检查处理部8。基板固定装置6构成为，将作为检查对象的基板100固定于规定的位置。检查部4U、4D包括检查夹具3U、3D。检查部4U、4D可通过省略图示的驱动机构来使检查夹具3U、3D沿彼此正交的X、Y、Z这三轴方向移动，进而，可使检查夹具3U、3D以Z轴为中心转动。

检查部4U位于被固定在基板固定装置6的基板100的上方。检查部4D位于被固定在基板固定装置6的基板100的下方。检查部4U、4D构成为，可拆装用于对形成于基板100的电路图案进行检查的检查夹具3U、3D。以下，将检查部4U、4D总称为检查部4。

检查夹具3U、3D分别包括多个接触件Pr、朝向基板100保持多个接触件Pr的前端部的支撑构件31以及底板321。在底板321，设有与各接触件Pr的后端部接触而导通的电极。检查部4U、4D包括省略图示的连接电路，所述连接电路经由底板321的各电极而将各接触件Pr的后端部电连接于检查处理部8，或者切换所述连接。

接触件Pr整体上具有大致棒状的形状。在支撑构件31，形成有支撑接触件Pr的多个贯穿孔。各贯穿孔是以与在作为检查对象的基板100的配线图案上设定的检查点的位置对应的方式而配置。由此，使得接触件Pr的前端部接触至基板100的检查点。检查点例如被设为配线图案、焊盘、焊料凸块、连接端子、穿通孔(through hole)、通孔(via)等。

检查夹具3U、3D除了向检查部4U、4D的安装方向上下相反以外，是彼此同样地构成。以下，将检查夹具3U、3D总称为检查夹具3。检查夹具3可根据作为检查对象的基板100来更换。

检查处理部8例如包括电源电路、电压计、电流计以及微计算机等。检查处理部8控制省略图示的驱动机构来使检查部4U、4D移动、定位，从而使各接触件Pr的前端接触至基板100的各检查点。由此，使各检查点与检查处理部8电连接。在此状态下，检查处理部8经由检查夹具3的各接触件Pr来对基板100的各检查点供给检查用的电流或电压，并基于从各接触件Pr获得的电压信号或电流信号来执行例如电路图案的断线或短路等的基板100的检查。或者，检查处理部8也可基于通过将交流的电流或电压供给至各检查点而从各接触件Pr获得的电压信号或电流信号，来测定检查对象的阻抗。

参照图2、图3、图4，支撑构件31包括：第一支撑部311，支撑接触件Pr的后端部侧；第二支撑部312，支撑接触件Pr的前端部侧；分隔保持构件7，使第一支撑部311与第二支撑部312彼此分隔地予以保持；间隔件S；以及加强板5。

第一支撑部311是由第一支撑板B2与第二支撑板C1、D、E1、E2沿Z方向层叠而构成。第二支撑板C1、D、E1、E2是从靠近第二支撑部312的一侧起依序层叠。第一支撑板B2被层叠于第二支撑板C1。即，构成第一支撑部311的多个支撑板B2、C1、D、E1、E2中的、最靠近第二支撑部312的支撑板为第一支撑板B2(相向支撑板)。

另外，第二支撑板也可包含三片以下或五片以上的支撑板。或者，第一支撑部311也可包含一片支撑板。

在第一支撑板B2，形成有用于支撑各接触件Pr的贯穿孔B2H。

在第二支撑板C1、D、E1、E2，形成有用于支撑各接触件Pr的贯穿孔C1H、DH、E1H、E2H。

接触件Pr的后端侧插通贯穿孔B2H、C1H、DH、E1H、E2H。由此，接触件Pr的后端侧由第一支撑部311予以支撑。

在第一支撑板B2的与第二支撑部312相对的相向面，配设有加强板5。参照图5，加强板5为大致矩形的板状构件。在加强板5，形成有两处沿Y方向长长的大致矩形形状的开口部5C。两处开口部5C是以下述方式而开设，即，在俯视时，在各开口内，包含含有第一支撑板B2的多个贯穿孔B2H的区域。

检查夹具3也可取代加强板5而包括图6所示的加强板5a。在加强板5a，取代两处开口部5C而形成有相对于第一支撑板B2的多个贯穿孔B2H一一对应的多个贯穿孔5H。并且，也可在各贯穿孔5H中分别插通接触件Pr。贯穿孔5H的内径大于贯穿孔B2H。

参照图3、图4，在加强板5的外周部分，层叠有大致矩形框状的间隔件S。

第二支撑部312是由支撑板A、A2、A3层叠而构成。支撑板A、A2、A3是从远离第一支撑部311的一侧起依序层叠。在支撑板A、A2，形成有用于支撑各接触件Pr的贯穿孔AH、A2H。在支撑板A3，形成有用于支撑各接触件Pr的贯穿孔A3H。

另外，第二支撑部312也可包含两片以下或四片以上的支撑板。

接触件Pr的前端侧插通至贯穿孔AH、A2H、A3H。由此，接触件Pr的前端侧由第二支撑部312予以支撑。

从支撑板A3的外周部分延伸设置有大致矩形筒状的分隔保持构件7。支撑板A3与分隔保持构件7是一体地形成。由此，由支撑板A3与分隔保持构件7构成分隔块B。另外，支撑板A3与分隔保持构件7也可为独立体。

分隔保持构件7的端面被安装于间隔件S的第二支撑部312侧的面。由此，第一支撑板B2与支撑板A3即第一支撑部311与第二支撑部312分隔开将分隔保持构件7的Z方向的长度、间隔件S的厚度及加强板5的厚度相加所得的距离而予以保持。支撑板A、A2、A3、加强板5、第一支撑板B2、第二支撑板C1、D、E1、E2被平行地保持。

另外，间隔件S是用于对第一支撑部311与第二支撑部312的间隔进行微调的构件，检查夹具3也可不包括间隔件S。

而且，分隔保持构件7并不限于矩形筒状的构件。分隔保持构件只要使第一支撑部311与第二支撑部312彼此分隔地予以保持即可。例如也可使用棒状的支柱来作为分隔保持构件。

贯穿孔AH、A2H、A3H、B2H、C1H、DH、E1H、E2H是以供同一根接触件Pr插通的方式相对应，相对于各板而分别垂直地设置。关于相对应的贯穿孔AH、A2H、A3H、B2H、C1H、DH、E1H、E2H的各贯穿孔，各贯穿孔的位置相对于垂线的方向(Z方向)而朝X方向偏离，以使接触件Pr相对于支撑板A、A2、A3、第一支撑板B2以及第二支撑板C1、D、E1、E2的垂线方向(Z方向)而倾斜。

由此，各接触件Pr相对于Z方向而朝同为X方向的方向倾斜地受到支撑。各接触件Pr的前端在不接触至基板100的状态下从支撑板A突出。以下，将贯穿孔AH、A2H、A3H、B2H、C1H、DH、E1H、E2H、5H总称为贯穿孔H。另外，贯穿孔H也可相对于各板的垂线方向而倾斜地贯穿。

参照图2，从支撑板A侧观察检查夹具3，多个贯穿孔H分别分布在呈沿Y方向长长的大致矩形状展开的第一区域P1与第二区域P2。X方向相当于第一方向的一例，Y方向相当于第二方向的一例。

在第一区域P1以及第二区域P2内，贯穿孔H是等间隔地配置。第一区域P1与第二区域P2隔开比同一区域内的贯穿孔H的间隔大的距离。

图2所示的示例中，贯穿孔H在第一区域P1内，沿X方向(第一方向)呈锯齿状地设有五列，沿Y方向(第二方向)呈锯齿状地设有十一列。同样地，贯穿孔H在第二区域P2内，沿X方向(第一方向)呈锯齿状地设有五列，沿Y方向(第二方向)呈锯齿状地设有十一列。

即，在贯穿孔H等间隔地排列的第一区域P1以及第二区域P2内，与X方向(第一方向)对应的贯穿孔H的列数少于与Y方向(第二方向)对应的贯穿孔H的列数。另外，贯穿孔H并不限于呈锯齿状配置的示例，也可相对于X方向、Y方向而呈直线状，即呈格栅状配置。而且，表示了贯穿孔H等间隔地配置的区域为两个的示例，但此种区域也可为一个，还可为三个以上。

如上所述，各贯穿孔H的位置相对于垂线的方向(Z方向)而朝X方向偏离，因此贯穿孔H的偏离方向沿着贯穿孔H的列数少的X方向(第一方向)。

当为了检查基板100而使检查夹具3抵接于基板100时，如图7所示，各接触件Pr的前端被按入第二支撑部312。此时，各接触件Pr朝同为X方向的方向倾斜地受到支撑，因此朝X方向挠曲而吸收接触件Pr的按入量。

此处，接触件Pr的倾斜是由贯穿孔H的偏离方向而定，由于贯穿孔H的偏离方向沿着贯穿孔H的列数少的X方向(第一方向)，因此接触件Pr的倾斜方向以及接触件Pr的挠曲方向也成为贯穿孔H的列数少的X方向。

当接触件Pr发生挠曲时，在挠曲方向上邻接的接触件Pr彼此接触的可能增大。但是，检查夹具3由于各接触件Pr沿着贯穿孔H的列数少的X方向(第一方向)挠曲，因此比起沿着贯穿孔H的列数多的Y方向(第二方向)挠曲的情况，接触件Pr彼此接触的可能降低。

另外，贯穿孔H的偏离方向也可未必沿着贯穿孔H的列数少的第一方向。

参照图3、图7，支撑板A、A2、A3、分隔保持构件7、间隔件S、第一支撑板B2以及第二支撑板C1、D、E1、E2包含绝缘材料例如树脂材料。加强板5、5a的弯曲强度比第一支撑板B2以及第二支撑板C1、D、E1、E2强。加强板5、5a例如可包含陶瓷、细陶瓷等的材料。

加强板5、5a、B2a的弯曲强度例如可依据JIS R 1601“细陶瓷的室温弯曲强度测试方法”或者ISO14704来评估。第一支撑板B2以及第二支撑板C1、D、E1、E2的弯曲强度例如可依据JIS K 7171“塑料-弯曲特性的求法”或者ISO178来评估。各板的弯曲强度的评估方法如下。当被装入至检查夹具时，将夹着预定接触件要贯穿支撑板的贯穿孔的两处、且支撑板和加强板的层叠体与分隔保持构件相向的两处设为外部支点，将所述两处外部支点的大致中央设为载荷点。在为比载荷测定器的压头大的开口位于所述两处外部支点的大致中央且未施加载荷测定器的载荷的板形状的情况下，只要将在所述两处外部支点的大致中央的附近对板施加载荷的部位设为载荷点即可。测定出对所述载荷点施加有板不会遭到破坏的程度的规定载荷时的载荷测定器的行程。所述行程越小，则可评估为弯曲强度越强。所述规定载荷只要选择任意值即可，并不受所述规格中的测定条件限制。不论所述规格中的测试片的形状、尺寸、表面粗糙度等的规定如何，只要不对板进行加工而以原本的形状以及尺寸来评估弯曲强度即可。不论所述规格中的测试片的数量的规定如何，用于弯曲强度的评估的板可为一片。

加强板5、5a的弯曲强度比作为支撑接触件的支撑部的第一支撑板B2以及第二支撑板C1、D、E1、E2强。其结果，通过加强板5、5a，第一支撑板B2以及第二支撑板C1、D、E1、E2的挠曲得以降低，能够减轻对支撑接触件的支撑部施加的应力。

以下说明在不包括加强板5、5a的检查夹具中，对支撑接触件的支撑部施加应力的机制。

具体而言，如图8所示，当检查夹具抵接于检查对象物而接触件Pr被按入而挠曲时，板PL被挠曲的接触件Pr按压而挠曲。更详细而言，如图9所示，挠曲的接触件Pr顶抵至板PL的贯穿孔PLH的开口缘部而强力地按入板PL。

在此状态下，当检查夹具离开检查对象物而接触件Pr欲复原时，如图10所示，板PL被接触件Pr拉伸而逆向地挠曲。更详细而言，挠曲的接触件Pr被强力地按抵至贯穿孔PLH的内壁。因此，在与贯穿孔PLH之间产生大的摩擦力，而如图11所示那样接触件Pr复原时，接触件Pr拉伸板PL，板PL逆向地挠曲。这样，通过板PL挠曲，从而对作为支撑接触件Pr的支撑部的板PL施加应力。

另一方面，检查夹具3包括弯曲强度比第一支撑板B2以及第二支撑板C1、D、E1、E2强的加强板5、5a，因此第一支撑板B2以及第二支撑板C1、D、E1、E2的挠曲被加强板5、5a抑制。因而，第一支撑板B2以及第二支撑板C1、D、E1、E2的挠曲减少，结果，容易减轻对作为支撑接触件Pr的支撑部的第一支撑板B2以及第二支撑板C1、D、E1、E2施加的应力。

而且，第一支撑板B2的硬度比第二支撑板C1、D、E1、E2软。作为第一支撑板B2以及第二支撑板C1、D、E1、E2的硬度，例如可使用维氏硬度(Vickers hardness)、布氏硬度(Brinell hardness)、努氏硬度(Knoop hardness)、洛氏硬度(Rockwell hardness)、表面硬度(superficial hardness)、迈耶尔硬度(Meyer hardness)、计示硬度(durometerhardness)、巴氏硬度(Barcol hardness)、莫诺硬度(Monotron hardness)、肖氏硬度(Shore hardness)以及莫氏硬度(Mohs hardness)等各种指标。第一支撑板B2以及第二支撑板C1、D、E1、E2的硬度例如可通过JIS Z 2244“维氏硬度测试-测试方法”或者ISO6507来评估。

图12中，表示了使用加强板5a的示例，但使用加强板5当然也可。当接触件Pr挠曲时，因挠曲而施加至第一支撑部311的载荷的大部分施加至第一支撑板B2的贯穿孔B2H的开口缘部H1。因此，接触件Pr所摩擦的摩擦力在贯穿孔B2H、C1H、DH、E1H、E2H中的贯穿孔B2H内为最大。因此，通过使第一支撑板B2的硬度比第二支撑板C1、D、E1、E2软，从而能够降低接触件Pr划伤的可能。

而且，第二支撑板C1、D、E1、E2的弯曲强度比第一支撑板B2强。如上所述，第一支撑板B2的硬度比第二支撑板C1、D、E1、E2软，因此能够降低接触件Pr划伤的可能。另一方面，柔软的材料一般弯曲强度弱。

因此，通过将硬度比第二支撑板C1、D、E1、E2软的第一支撑板B2与弯曲强度比第一支撑板B2强的第二支撑板C1、D、E1、E2加以组合，从而既能确保第一支撑部311整体的弯曲强度，又能降低接触件Pr划伤的可能。

而且，第一支撑板B2的贯穿孔B2H中的开口缘部H1、H2经倒角。由此，开口缘部H1、H2的光滑度增加，因此能够降低因与开口缘部H1、H2的摩擦导致接触件Pr划伤的可能。倒角可设为使角变圆的圆弧面、倾斜地切削角的角面等其他各种倒角形状。如图12所示，各支撑板的贯穿孔H也可为大径部与小径部相连结。此时，优选的是，贯穿孔H的小径部分的开口缘部被设为倒角形状。

另外，接触件Pr在第一支撑板B2的第二支撑部312侧挠曲，因此第二支撑部312侧的开口缘部H1与接触件Pr的摩擦比第二支撑板C1侧的开口缘部H2与接触件Pr的摩擦大。因而，图12中，表示了开口缘部H1、H2两者均经倒角的示例，但也可仅开口缘部H1、H2中的、与接触件Pr的摩擦更大的第二支撑部312侧的开口缘部H1经倒角。

或者，第一支撑板B2的贯穿孔B2H中的开口缘部H1、H2也可不经倒角。

而且，各支撑板的贯穿孔H的位置也可未必偏离，接触件Pr并不限于倾斜地受到支撑的示例。而且，第二支撑板C1、D、E1、E2并不限于弯曲强度比第一支撑板B2强的示例，第一支撑板B2并不限于硬度比第二支撑板C1、D、E1、E2软的示例。

而且，也可设为下述结构，即，支撑构件31不包括加强板5，第一支撑板B2作为加强板发挥功能。

如图13、图14所示，检查夹具3a的支撑构件31a取代加强板5、5a而包括加强板B2a。加强板B2a具有与第一支撑板B2同样的形状。而且，加强板B2a包含与加强板5、5a同样的材料，或者具有与加强板5、5a同样的弯曲强度。

支撑构件31a的第一支撑部311a不包括第一支撑板B2，而是由第二支撑板C1、D、E1、E2(一个或多个支撑板)沿Z方向层叠而构成。此时，第二支撑板C1相当于一个或多个支撑板中的最靠近第二支撑部312的相向支撑板。

根据检查夹具3a，通过加强板B2a，第二支撑板C1、D、E1、E2的挠曲得以降低，能够减轻对支撑接触件Pr的支撑部施加的应力。而且，检查夹具3a只要包括加强板B2a来取代检查夹具3中的加强板5或加强板5a与第一支撑板B2即可。因而，能够简化检查夹具3a的结构。

加强板B2a具有与第一支撑板B2同样的形状。因而，检查夹具3a通过与检查夹具3同样地使各接触件Pr朝同为X方向的方向倾斜，从而能够使各接触件Pr朝X方向挠曲。而且，检查夹具3a与检查夹具3同样地，各接触件Pr沿着贯穿孔H的列数少的X方向(第一方向)挠曲，因此接触件Pr彼此接触的可能降低。

另外，例示了第一支撑部311a包括四片第二支撑板C1、D、E1、E2作为支撑板的示例，但第一支撑部311a所包括的支撑板也可为一片，还可为五片以上。在第一支撑部311a所包括的支撑板为一片的情况下，所述支撑板相当于相向支撑板。

而且，与第一支撑板B2同样，加强板B2a的贯穿孔B2H中的开口缘部H1、H2经倒角，因此能够降低因与开口缘部H1、H2的摩擦导致接触件Pr划伤的可能。而且，也可仅加强板B2a的开口缘部H1、H2中的、与接触件Pr的摩擦更大的第二支撑部312侧的开口缘部H1经倒角。

或者，加强板B2a的贯穿孔B2H中的开口缘部H1、H2也可不经倒角。

而且，优选的是，在检查夹具3、3a中的、各支撑板或加强板5a、B2a的各贯穿孔H的内表面，形成有用于减轻摩擦的例如为涂敷层的滑层33。图15中，将各支撑板或加强板5a、B2a表示为板PL，更详细地表示了贯穿孔H。板PL的贯穿孔H的内表面包含：经倒角的开口缘部H1、H2(倒角部)；以及贯穿孔H的内表面中的除了开口缘部H1、H2以外的部分即贯穿孔本体部H3。在板PL中，例如直径比贯穿孔H大的大径部H4与贯穿孔H成同轴地连结于贯穿孔H。

如图15所示，滑层33也可形成于包含各贯穿孔H的内表面在内的、板PL的整个表面。但是，接触件Pr并不接触到各贯穿孔H的内表面以外的部分，因此滑层33也可不形成于各贯穿孔H的内表面以外的部分。

而且，滑层33只要形成于各贯穿孔H的内表面中的、贯穿孔本体部H3以及开口缘部H1的至少一者即可。

滑层33的厚度例如设为1μm左右。滑层33相对于接触件Pr的摩擦系数小于板PL中的滑层33的基础部分34的摩擦系数。滑层33可通过例如蒸镀摩擦系数小的材料而形成。摩擦系数的大小主要以动摩擦系数彼此或静摩擦系数彼此的任一者进行比较即可。

作为滑层33的材料，例如可使用对二甲苯系聚合物，优选帕利灵(Parylene)(注册商标)、氟、聚酯、丙烯等摩擦系数小的绝缘材料。

通过像这样在贯穿孔H的内表面形成滑层33，从而能够降低贯穿孔H与接触件Pr的摩擦。

另外，接触件Pr在第一支撑板B2或加强板5a、B2a的第二支撑部312侧挠曲。因此，第一支撑板B2的贯穿孔B2H、加强板B2a的贯穿孔B2H或加强板5a的贯穿孔5H与接触件Pr的接触压力容易大于其他贯穿孔H与接触件Pr的接触压力，从而容易产生摩擦。

因而，滑层33只要至少形成于第一支撑板B2的贯穿孔B2H、加强板B2a的贯穿孔B2H或加强板5a的贯穿孔5H的内表面即可。

即，本发明的一例的检查夹具包括：棒状的接触件；第一支撑部，支撑所述接触件的一端部侧；第二支撑部，支撑所述接触件的另一端部侧；以及分隔保持构件，使所述第一支撑部与所述第二支撑部彼此分隔地予以保持，所述第一支撑部包括形成有供所述接触件插通的贯穿孔的支撑板，在所述支撑板的与所述第二支撑部相对的相向面，配设有弯曲强度比所述支撑板强的加强板。

根据所述结构，在支撑板的与第二支撑部相对的相向面，配设有弯曲强度比支撑板强的加强板，因此通过加强板，支撑板的挠曲得以降低。其结果，容易减轻对作为支撑接触件的支撑部的支撑板施加的应力。

而且，优选的是，所述第一支撑部包含经层叠的多个所述支撑板，所述多个支撑板包含第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板是最靠近所述第二支撑部的支撑板，所述第二支撑板是所述第一支撑板以外的支撑板，在所述第一支撑板的与所述第二支撑部相对的相向面，配设有所述加强板。

根据所述结构，多个支撑板层叠而构成第一支撑部。并且，由于接触件在第一支撑部与第二支撑部之间大幅挠曲，因此第一支撑部的多个支撑板中的最靠近第二支撑部的支撑板即第一支撑板最容易受到因接触件的挠曲产生的力。在最容易受到因所述接触件的挠曲产生的力的第一支撑板配设有加强板。这样，最容易受到因接触件的挠曲产生的力的支撑板得到加强，由此，容易减轻对支撑部施加的应力。

而且，优选的是，所述第一支撑板的硬度比所述第二支撑板软。

由于接触件在第一支撑部与第二支撑部之间大幅挠曲，因此当接触件挠曲时，第一支撑板的贯穿孔与接触件的摩擦大于第二支撑板的贯穿孔与接触件的摩擦。因此，通过使摩擦大的第一支撑板的硬度比第二支撑板软，从而容易降低接触件划伤的可能。

而且，优选的是，所述第二支撑板的弯曲强度比所述第一支撑板强。

硬度软的材料一般存在弯曲强度弱的倾向。因此，通过将硬度软的第一支撑板与弯曲强度强的第二支撑板加以组合，从而既能确保第一支撑部整体的弯曲强度，又容易降低接触件划伤的可能。

而且，优选的是，关于以供同一接触件插通的方式相对应的所述第一支撑板的所述贯穿孔与所述第二支撑板的所述贯穿孔，所述第一支撑板的所述贯穿孔的位置与所述第二支撑板的所述贯穿孔的位置相对于垂线的方向而偏离，以使所述接触件相对于所述第一支撑板以及所述第二支撑板的所述垂线而倾斜。

根据所述结构，容易通过在第一支撑板以及第二支撑板上开设的贯穿孔来倾斜地支撑接触件。

而且，优选的是，在所述第一支撑板以及所述第二支撑板形成有多个所述贯穿孔，所述多个贯穿孔对应于规定的第一方向而配置有多列，且对应于与所述第一方向交叉的第二方向而配置有多列，在所述贯穿孔等间隔地排列的区域内，与所述第一方向对应的列数少于与所述第二方向对应的列数，所述偏离的方向沿着所述第一方向。

根据所述结构，贯穿孔的偏离方向沿着贯穿孔的列数少的第一方向。接触件沿着贯穿孔的偏离方向即第一方向倾斜，因此接触件沿着第一方向挠曲。因而，接触件朝贯穿孔的列数少即接触件的列数少的方向挠曲，因此比起朝列数多的第二方向挠曲的情况，接触件彼此接触的可能降低。

而且，优选的是，所述第一支撑板的所述贯穿孔中的、所述第二支撑部侧的开口缘部经倒角。

根据所述结构，容易与挠曲的接触件产生摩擦的第二支撑部侧的开口缘部经倒角，光滑度增加，因此容易降低因与开口缘部的摩擦导致接触件划伤的可能。

而且，优选的是，在所述第一支撑板以及所述第二支撑板，形成有多个所述贯穿孔，在所述加强板形成有以下述方式开设的开口部，即，在开口内，包含含有所述第一支撑板的所述多个贯穿孔的区域。

根据所述结构，不需要在加强板上开设接触件的数量的贯穿孔，因此加强板的制作容易。

而且，优选的是，在所述第一支撑板的所述贯穿孔的内表面，形成用于减轻摩擦的滑层，所述滑层相对于所述接触件的摩擦系数比所述第一支撑板中的所述滑层的基础部分的摩擦系数小。

根据所述结构，插通至贯穿孔的接触件与贯穿孔内表面的摩擦得以降低。

而且，优选的是，所述第一支撑板的所述贯穿孔中的、所述第二支撑部侧的开口缘部被设为经倒角的倒角部，在所述贯穿孔中的包含所述倒角部的内表面中的、除了所述倒角部以外的部分即贯穿孔本体部以及所述倒角部的至少一者，形成用于减轻摩擦的滑层，所述滑层相对于所述接触件的摩擦系数比所述第一支撑板中的所述滑层的基础部分的摩擦系数小。

根据所述结构，能够减轻贯穿孔内的、贯穿孔本体部以及倒角部的至少一者与接触件的摩擦。

而且，优选的是，在一个或多个所述支撑板，形成有多个所述贯穿孔，在所述加强板，形成有多个贯穿孔，所述多个贯穿孔与所述一个或多个支撑板中的最靠近所述第二支撑部的支撑板即相向支撑板的所述多个贯穿孔一一对应。

根据所述结构，对于在支撑板形成有贯穿孔的区域，也能够利用加强板来进行加强，因此减轻对支撑接触件的支撑部施加的应力的效果提高。

而且，优选的是，关于以供同一接触件插通的方式相对应的所述加强板的所述贯穿孔与所述相向支撑板的所述贯穿孔，所述加强板的所述贯穿孔的位置与所述相向支撑板的所述贯穿孔的位置相对于垂线的方向而偏离，以使所述接触件相对于所述加强板以及所述相向支撑板的所述垂线而倾斜。

根据所述结构，容易通过在加强板以及相向支撑板上开设的贯穿孔来倾斜地支撑接触件。

而且，优选的是，所述加强板以及所述相向支撑板的所述多个贯穿孔对应于规定的第一方向而配置有多列，且对应于与所述第一方向交叉的第二方向而配置有多列，与所述第一方向对应的列数少于与所述第二方向对应的列数，所述偏离的方向沿着所述第一方向。

根据所述结构，贯穿孔的偏离方向沿着贯穿孔的列数少的第一方向。由于接触件沿着贯穿孔的偏离方向即第一方向倾斜，因此接触件沿着第一方向挠曲。因而，接触件向贯穿孔的列数少即接触件的列数少的方向挠曲，因此比起沿着列数多的第二方向挠曲的情况，接触件彼此接触的可能降低。

而且，优选的是，所述加强板的所述贯穿孔中的、所述第二支撑部侧的开口缘部经倒角。

根据所述结构，容易与挠曲的接触件产生摩擦的第二支撑部侧的开口缘部经倒角，光滑度增加，因此容易降低因与开口缘部的摩擦导致接触件划伤的可能。

而且，优选的是，在所述加强板的所述贯穿孔的内表面，形成有用于减轻摩擦的滑层，所述滑层相对于所述接触件的摩擦系数比所述加强板中的所述滑层的基础部分的摩擦系数小。

根据所述结构，插通至贯穿孔的接触件与贯穿孔内表面的摩擦得以降低。

而且，优选的是，所述加强板的所述贯穿孔中的、所述第二支撑部侧的开口缘部被设为经倒角的倒角部，在所述贯穿孔中的包含所述倒角部的内表面中的、除了所述倒角部以外的部分即贯穿孔本体部以及所述倒角部的至少一者，形成有用于减轻摩擦的滑层，所述滑层相对于所述接触件的摩擦系数比所述加强板中的所述滑层的基础部分的摩擦系数小。

根据所述结构，能够减轻贯穿孔内的、贯穿孔本体部以及倒角部的至少一者与接触件的摩擦。

本发明的一例的检查装置包括：所述的检查夹具；以及检查处理部，基于通过使所述接触件接触至设于检查对象物的检查点而获得的电信号，来进行所述检查对象物的检查。

根据所述结构，在用于检查的检查夹具中，容易减轻对支撑接触件的支撑部施加的应力。

此种结构的检查夹具以及检查装置容易减轻对支撑接触件的支撑部施加的应力。

本申请是以2020年4月10日提出申请的日本专利申请特愿2020-71031以及2020年7月31日提出申请的日本专利申请特愿2020-131206为基础，其内容包含在本申请中。另外，在具体实施方式一项中所作的具体的实施方式或实施例不过是为了明确本发明的技术内容，本发明不应仅限定于此种具体例而狭义地解释。

符号的说明

1：检查装置

3、3a、3U、3D：检查夹具

4、4U、4D：检查部

5、5a、B2a：加强板

5C：开口部

6：基板固定装置

7：分隔保持构件

8：检查处理部

31、31a：支撑构件

100：基板(检查对象物)

311、311a：第一支撑部

312：第二支撑部

321：底板

A、A2、A3：支撑板

H、5H、AH、A2H、A3H、B2H、C1H、DH、E1H、E2H：贯穿孔

B：分隔块

B2：第一支撑板(支撑板、相向支撑板)

C1：第二支撑板(支撑板、相向支撑板)

D、E1、E2：第二支撑板(支撑板)

H1、H2：开口缘部(倒角部)

P1：第一区域

P2：第二区域

PL：板

PLH：贯穿孔

Pr：接触件

S：间隔件

Claims (17)

1.一种检查夹具，包括：

棒状的接触件；

第一支撑部，支撑所述接触件的一端部侧；

第二支撑部，支撑所述接触件的另一端部侧；以及

分隔保持构件，使所述第一支撑部与所述第二支撑部彼此分隔地予以保持，

所述第一支撑部包括形成有供所述接触件插通的贯穿孔的支撑板，

在所述支撑板的与所述第二支撑部相对的相向面，配设有弯曲强度比所述支撑板强的加强板。

2.根据权利要求1所述的检查夹具，其中

所述第一支撑部包含经层叠的多个所述支撑板，

所述多个支撑板包含第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板是最靠近所述第二支撑部的支撑板，所述第二支撑板是所述第一支撑板以外的支撑板，

在所述第一支撑板的与所述第二支撑部相对的相向面，配设有所述加强板。

3.根据权利要求2所述的检查夹具，其中所述第一支撑板的硬度比所述第二支撑板软。

4.根据权利要求3所述的检查夹具，其中所述第二支撑板的弯曲强度比所述第一支撑板强。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的检查夹具，其中

关于以供同一接触件插通的方式相对应的所述第一支撑板的所述贯穿孔与所述第二支撑板的所述贯穿孔，所述第一支撑板的所述贯穿孔的位置与所述第二支撑板的所述贯穿孔的位置相对于垂线的方向而偏离，以使所述接触件相对于所述第一支撑板以及所述第二支撑板的所述垂线而倾斜。

6.根据权利要求5所述的检查夹具，其中

在所述第一支撑板以及所述第二支撑板形成有多个所述贯穿孔，

所述多个贯穿孔对应于规定的第一方向而配置有多列，且对应于与所述第一方向交叉的第二方向而配置有多列，在所述贯穿孔等间隔地排列的区域内，与所述第一方向对应的列数少于与所述第二方向对应的列数，

所述偏离的方向沿着所述第一方向。

7.根据权利要求2至6中任一项所述的检查夹具，其中所述第一支撑板的所述贯穿孔中的、所述第二支撑部侧的开口缘部经倒角。

8.根据权利要求2至7中任一项所述的检查夹具，其中

在所述第一支撑板以及所述第二支撑板，形成有多个所述贯穿孔，

在所述加强板形成有以下述方式开设的开口部，即，在开口内，包含含有所述第一支撑板的所述多个贯穿孔的区域。

9.根据权利要求2至8中任一项所述的检查夹具，其中

在所述第一支撑板的所述贯穿孔的内表面，形成用于减轻摩擦的滑层，

所述滑层相对于所述接触件的摩擦系数比所述第一支撑板中的所述滑层的基础部分的摩擦系数小。

10.根据权利要求7所述的检查夹具，其中

所述第一支撑板的所述贯穿孔中的、所述第二支撑部侧的开口缘部被设为经倒角的倒角部，

在所述贯穿孔中的包含所述倒角部的内表面中的、除了所述倒角部以外的部分即贯穿孔本体部以及所述倒角部的至少一者，形成用于减轻摩擦的滑层，

所述滑层相对于所述接触件的摩擦系数比所述第一支撑板中的所述滑层的基础部分的摩擦系数小。

11.根据权利要求1至7中任一项所述的检查夹具，其中

在一个或多个所述支撑板，形成有多个所述贯穿孔，

在所述加强板，形成有多个贯穿孔，所述多个贯穿孔与所述一个或多个支撑板中的最靠近所述第二支撑部的支撑板即相向支撑板的所述多个贯穿孔一一对应。

12.根据权利要求11所述的检查夹具，其中关于以供同一接触件插通的方式相对应的所述加强板的所述贯穿孔与所述相向支撑板的所述贯穿孔，所述加强板的所述贯穿孔的位置与所述相向支撑板的所述贯穿孔的位置相对于垂线的方向而偏离，以使所述接触件相对于所述加强板以及所述相向支撑板的所述垂线而倾斜。

13.根据权利要求12所述的检查夹具，其中

所述加强板以及所述相向支撑板的所述多个贯穿孔对应于规定的第一方向而配置有多列，且对应于与所述第一方向交叉的第二方向而配置有多列，与所述第一方向对应的列数少于与所述第二方向对应的列数，

所述偏离的方向沿着所述第一方向。

14.根据权利要求11至13中任一项所述的检查夹具，其中所述加强板的所述贯穿孔中的、所述第二支撑部侧的开口缘部经倒角。

15.根据权利要求11至14中任一项所述的检查夹具，其中

在所述加强板的所述贯穿孔的内表面，形成有用于减轻摩擦的滑层，

所述滑层相对于所述接触件的摩擦系数比所述加强板中的所述滑层的基础部分的摩擦系数小。

16.根据权利要求14所述的检查夹具，其中

所述加强板的所述贯穿孔中的、所述第二支撑部侧的开口缘部被设为经倒角的倒角部，

在所述贯穿孔中的包含所述倒角部的内表面中的、除了所述倒角部以外的部分即贯穿孔本体部以及所述倒角部的至少一者，形成有用于减轻摩擦的滑层，

所述滑层相对于所述接触件的摩擦系数比所述加强板中的所述滑层的基础部分的摩擦系数小。

17.一种检查装置，包括：

如权利要求1至16中任一项所述的检查夹具；以及

检查处理部，基于通过使所述接触件接触至设于检查对象物的检查点而获得的电信号，来进行所述检查对象物的检查。

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