CN113815296A - 一种撕膜对位装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种撕膜对位装置及方法，撕膜对位装置包括上吸附平台、下吸附平台、对位识别机构、第一移动机构和竖向移动机构；上吸附平台通过旋转机构设在竖向移动机构上，竖向移动机构用于带动上吸附平台做竖向移动，旋转机构用于驱动上吸附平台做水平旋转；竖向移动机构设在第一移动机构上，第一移动机构用于带动竖向移动机构做横向移动；下吸附平台设在上吸附平台的下方，上吸附平台和下吸附平台相对向且平行设置；对位识别机构设在下吸附平台上。本发明通过对位识别机构对膜材的角度偏移量进行识别，并利用旋转机构对膜材的角度偏移量进行修正，提高了撕膜对位效率。

Description

一种撕膜对位装置及方法

技术领域

本发明涉及膜材撕膜技术领域，特别涉及一种撕膜对位装置及方法。

背景技术

柔性OLED(通称Organic Light-Emitting Diode,有机发光二级管)显示屏因具有自发光(无需背光源)、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等优点，成为目前最具发展前景的显示技术之一。柔性显示面板是以聚酰亚胺或聚酯薄膜为基材制成的一种具有高度可靠性的可挠性印刷电路板，由于其具有配线密度高、重量轻、厚度薄等优点，应用越来越广泛。

OLED很薄可以装在塑料或金属箔片等柔性材料上，制作成OLED柔性显示面板。OLED柔性显示面板采用的是塑料基板，而不是常见的玻璃基板，其借助薄膜封装技术，并在显示面板背面粘贴复合保护膜，粘贴复合保护膜能够使面板变得更易弯曲，不易折断。保护膜还能阻隔外界水氧的进入，减少面板受外力伤害，影响面板的使用寿命。

现有的常规膜材对位技术需要单独设计一个膜材对位平台，经过传动平台真空吸附将膜材移送至膜材对位平台上，再通过电荷耦合器件(下面简称CCD)相机对位确认膜材的实际偏移情况。当膜材出现偏移，需要膜材传送平台将膜材重新放置回盛膜盒，待完成夹持动作后再次搬运至对位平台，并再次确认实际偏移量。经过补正的后的膜材再次通过膜材传送机构移送至撕膜贴合平台，其工艺路线如下：

盛膜盒及夹持机构定位膜材→膜材对位(对位平台)→撕膜贴合(撕膜贴合平台)，若发现有角度偏差，需要人工调整角度并把膜材从对位平台返回到成膜盒再做夹持动作，再到对位平台对位直到符合要求后再转移到撕膜平台。

由上可知，现有技术的存在以下缺陷：

1.膜材不能实现对位纠正功能，当膜材出现位置偏移需要通过盛膜盒夹持机构定位；

2.现有技术将对位平台和撕膜平台分离，经过对位后的膜材还需要经过可移动真空吸嘴进行吸附移动，中间过程存在累计移动误差，影响膜材粗对位精度；

3.现有技术的对位平台和撕膜平台分离浪费设备空间，增加设备成本。

总之，现有技术的撕膜对位存在效率低且成本高的缺陷，因此现有技术还有待改进。

发明内容

本发明的主要目的是提出一种撕膜对位装置及方法，旨在解决现有技术的撕膜对位效率低以及成本高的技术问题。

为实现上述目的，本发明提出一种撕膜对位装置，包括上吸附平台、下吸附平台、对位识别机构、第一移动机构和竖向移动机构；所述上吸附平台通过旋转机构设在所述竖向移动机构上，所述竖向移动机构用于带动所述上吸附平台做竖向移动，所述旋转机构用于驱动所述上吸附平台做水平旋转；所述竖向移动机构设在第一移动机构上，所述第一移动机构用于带动所述竖向移动机构做横向移动；所述下吸附平台设在所述上吸附平台的下方，所述上吸附平台和下吸附平台相对向且平行设置；所述对位识别机构设在所述下吸附平台上。

可选地，包括第二移动机构，所述下吸附平台设在第二移动机构上，所述第二移动机构用于带动所述下吸附平台做纵向或横向移动，而使得所述下吸附平台从对位位置移动至撕膜位置。

可选地，所述对位识别机构为CCD对位识别机构，所述CCD对位识别机构包括两个CCD相机，所述两个CCD相机设在所述下吸附平台上，所述两个CCD相机的连线与所述第一移动机构的直线移动方向相垂直。

可选地，所述第一移动机构的直线移动方向与所述第二移动机构的直线移动方向相垂直。

可选地，所述第一移动机构的直线移动方向为纵向，所述第二移动机构的直线移动方向为横向。

可选地，所述上吸附平台和下吸附平台为真空吸附平台。

可选地，所述旋转机构包括驱动电机，所述驱动电机固定在所述竖向移动机构上，所述上吸附平台固定在所述驱动电机的转轴上。

可选地，所述第一移动机构包括第一基座、第一直线导轨和第一滑块，所述第一直线导轨固定在第一基座上，所述第一滑块设在第一直线导轨上，所述竖向移动机构固定在第一滑块上。

可选地，所述第二移动机构包括第二基座、第二直线导轨和第二滑块，所述第二直线导轨固定在第二基座上，所述第二滑块设在第二直线导轨上，所述下吸附平台固定在第二滑块上。

可选地，所述竖向移动机构包括竖向基板、丝杆传动机构和丝杆电机，所述竖向基板固定在所述第一移动机构上，所述丝杆传动机构的丝杆设在所述竖向基板上，所述丝杆电机用于驱动丝杆转动，所述上吸附平台通过旋转机构固定在所述丝杆传动机构的滑块上。

可选地，所述竖向基板上设有垂直于竖向基板的安装板，所述丝杆设在所述安装板上。

可选地，所述丝杆传动机构的滑块为滑板，所述滑板的一端螺纹连接在丝杆上，所述上吸附平台通过旋转机构固定在所述滑板的另一端上，所述滑板的一端的两侧设有向所述竖向基板伸出支撑块，所述竖向基板在与支撑块对应位置设有第三直线导轨，所述支撑块可滑动地套在所述第三直线导轨上。

本发明还提出一种撕膜对位方法，包括以下步骤：

利用所述上吸附平台吸附膜材；

移动所述上吸附平台至对位位置并位于所述下吸附平台的上方；

利用所述对位识别机构识别所述上吸附平台上的膜材的角度偏移量；

通过所述旋转机构驱动所述上吸附平台转动而修正所述上吸附平台上的膜材的角度偏移量；

利用所述下吸附平台吸附所述上吸附平台上的膜材。

可选地，包括第二移动机构，所述下吸附平台设在第二移动机构上，在利用所述下吸附平台吸附所述上吸附平台上的膜材的步骤之后还包括：

利用所述对位识别机构识别所述下吸附平台上的膜材在第二移动机构直线移动方向的第二直线偏移量；

利用所述第二移动机构基于所述第二直线偏移量将所述下吸附平台移动至撕膜位置，并修正第二直线偏移量。

可选地，在所述利用所述下吸附平台吸附所述上吸附平台上的膜材的步骤之前，还包括：

利用所述对位识别机构识别所述上吸附平台上的膜材在第一移动机构直线移动方向的第一直线偏移量；

利用第一移动机构基于所述第一直线偏移量带动所述上吸附平台做直线移动而修正所述第一直线偏移量。

可选地，所述利用所述上吸附平台吸附膜材的步骤包括：

利用所述第一移动机构带动所述上吸附平台移动至膜材的上方；

利用所述竖向移动机构带动所述上吸附平台靠近膜材；

开启所述上吸附平台吸附膜材。

可选地，所述移动所述上吸附平台至对位位置并位于所述下吸附平台的上方的步骤包括：

利用所述竖向移动机构带动所述上吸附平台向上移动；

利用所述第一移动机构带动所述上吸附平台移动至对位位置并位于所述下吸附平台的上方。

可选地，所述利用所述下吸附平台吸附所述上吸附平台上的膜材的步骤包括：

利用所述竖向移动机构带动所述上吸附平台靠近所述上吸附平台；

开启所述上吸附平台并关闭所述上吸附平台，使得所述下吸附平台吸附所述上吸附平台上的膜材。

本发明的技术方案包括上吸附平台、下吸附平台、对位识别机构、第一移动机构和竖向移动机构；所述上吸附平台通过旋转机构设在所述竖向移动机构上，所述竖向移动机构用于带动所述上吸附平台做竖向移动，所述旋转机构用于驱动所述上吸附平台做水平旋转；所述竖向移动机构设在第一移动机构上，所述第一移动机构用于带动所述竖向移动机构做横向移动；所述下吸附平台设在所述上吸附平台的下方，所述上吸附平台和下吸附平台相对向且平行设置；所述对位识别机构设在所述下吸附平台上。本发明通过对位识别机构对膜材的角度偏移量进行识别，并利用旋转机构对膜材的角度偏移量进行修正，当膜材出现位置偏移无需要通过盛膜盒夹持机构定位，提高了撕膜对位效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本发明撕膜对位装置的结构示意图；

图2为本发明撕膜对位方法实施例的流程图；

图3为本发明撕膜对位方法一实施例的流程图；

图4为本发明撕膜对位方法一实施例的流程图；

图5为本发明撕膜对位方法S10步骤的流程图；

图6为本发明撕膜对位方法S20步骤的流程图；

图7为本发明撕膜对位方法S50步骤的流程图；

附图标号说明：

标号	名称	标号	名称
				10	上吸附平台	44	滑块
20	下吸附平台	45	安装板
				30	第一移动机构	46	支撑块
31	第一基座	47	第三直线导轨
				32	第一直线导轨	50	第二移动机构
33	第一滑块	51	第二基座
				40	竖向移动机构	52	第二直线导轨
41	竖向基板	53	第二滑块
				42	丝杆电机	60	CCD相机
43	丝杆	70	旋转机构

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，若本发明实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，若全文中出现的“和/或”或者“及/或”，其含义包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

请参考图1，本发明提出一种撕膜对位装置，包括上吸附平台10、下吸附平台20、对位识别机构、第一移动机构30和竖向移动机构40；上吸附平台10通过旋转机构70设在竖向移动机构40上，竖向移动机构40用于带动上吸附平台10做竖向移动，旋转机构70用于驱动上吸附平台10做水平旋转；竖向移动机构40设在第一移动机构30上，第一移动机构30用于带动竖向移动机构40做横向移动；下吸附平台20设在上吸附平台10的下方，上吸附平台10和下吸附平台20相对向且平行设置；对位识别机构设在下吸附平台20上。

在实际使用时，利用第一移动机构将上吸附平台移动至盛膜盒上方，然后利用竖向移动机构驱动上吸附平台靠近膜材，开启上吸附平台吸附膜材，接着利用竖向移动机构驱动上吸附平台向上移动，利用第一移动机构将上吸附平台移动至对位位置并位于下吸附平台的上方，再接着利用对位识别机构识别上吸附平台上的膜材的角度偏移量，然后通过旋转机构驱动上吸附平台转动而修正上吸附平台上的膜材的角度偏移量；最后利用下吸附平台吸附上吸附平台上的膜材。本发明通过对位识别机构对膜材的角度偏移量进行识别，并利用旋转机构对膜材的角度偏移量进行修正，当膜材出现位置偏移无需要通过盛膜盒夹持机构定位，提高了撕膜对位效率。

另外，本实施例中，所述竖向移动可以为Z轴方向的移动，所述横向移动可以为X轴方向的移动，而纵向移动可以为Y轴方向的移动。

在本实施例中，包括第二移动机构50，下吸附平台20设在第二移动机构50上，第二移动机构50用于带动下吸附平台20做纵向或横向移动，而使得下吸附平台20从对位位置移动至撕膜位置。在使用时，利用对位识别机构识别下吸附平台上的膜材在第二移动机构直线移动方向的第二直线偏移量；利用第二移动机构基于第二直线偏移量将下吸附平台移动至撕膜位置，并修正第二直线偏移量。也即是说通过第二移动机构可以将下吸附平台从对位位置移动至撕膜位置，而不用再次转移膜材，因此在本实施例中经过对位后的膜材不需要再进行吸附移动，减少中间过程存在累计移动误差，提高了膜材的对位精度。

在本实施例中，对位识别机构为CCD对位识别机构，CCD对位识别机构包括两个CCD相机60，两个CCD相机60设在下吸附平台20上，两个CCD相机60的连线与第一移动机构30的直线移动方向相垂直。通过使用两个CCD相机同时分别对膜材的两个标识点进行抓取和定位，可以避免CCD相机的多次运动，提高识别效率。

在本实施例中，第一移动机构30的直线移动方向与第二移动机构50的直线移动方向相垂直。优选地，第一移动机构30的直线移动方向为纵向，第二移动机构50的直线移动方向为横向。当然，第一移动机构的直线移动方向与第二移动机构的直线移动方向也可以为相平行的，在实际安装时，可以根据具体情况设置。

在本实施例中，上吸附平台10和下吸附平台20为真空吸附平台。真空吸附具有成本低，吸附效果好等优点。

在本实施例中，旋转机构70包括驱动电机，驱动电机固定在竖向移动机构40上，上吸附平台10固定在驱动电机的转轴上。通过驱动电机驱动上吸附平台旋转，优选地，驱动电机为步进电机，步进电机具有控制精度高等优点。

在本实施例中，第一移动机构30包括第一基座31、第一直线导轨32和第一滑块33，第一直线导轨32固定在第一基座31上，第一滑块33设在第一直线导轨32上，竖向移动机构40固定在第一滑块33上。通过第一滑块沿第一直线导轨滑动，从而带动竖向移动机构做直线移动，而第一基座用于安装固定。

在本实施例中，第二移动机构50包括第二基座51、第二直线导轨52和第二滑块53，第二直线导轨52固定在第二基座51上，第二滑块53设在第二直线导轨52上，下吸附平台20固定在第二滑块53上。通过第二滑块沿第二直线导轨滑动，从而带动下吸附平台做直线移动，而第一基座用于安装固定。

在本实施例中，竖向移动机构40包括竖向基板41、丝杆传动机构和丝杆电机42，竖向基板41固定在第一移动机构30上，丝杆传动机构的丝杆43设在竖向基板41上，丝杆电机42用于驱动丝杆43转动，上吸附平台10通过旋转机构70固定在丝杆传动机构的滑块44上。通过丝杆传动机构带动上吸附平台做竖向移动。其中，丝杆传动机构包括有丝杠和滑块，滑块螺纹连接在所述丝杠上，通过驱动丝杠旋转则可以使得滑块沿着丝杠直线移动。

在本实施例中，竖向基板41上设有垂直于竖向基板41的安装板45，丝杆43设在安装板45上。通过垂直于竖向基板的安装板可以增加丝杆的安装空间，以便于安装。

在本实施例中，丝杆传动机构的滑块44为滑板，滑板的一端螺纹连接在丝杆43上，上吸附平台10通过旋转机构70固定在滑板的另一端上，滑板的一端的两侧设有向竖向基板41伸出支撑块46，竖向基板41在与支撑块46对应位置设有第三直线导轨47，支撑块46可滑动地套在第三直线导轨47上。通过支撑块滑动低套在第三直线导轨，既可以增加滑板的支撑力，又可以使滑板在滑动过程中更加顺畅。

具体地，在本实施例中，膜材的尺寸为200*200mm；上吸附平台的尺寸为250*250mm，其可沿纵向方向的移动范围为0-600mm，上吸附平台可沿竖向方向的移动范围为0-300mm，上吸附平台在驱动电机驱动下可旋转范围至少为-45°到45°，上吸附平台跟下吸附平台的垂直距离为50mm，下吸附平台的尺寸为250*250mm，其可沿横向方向的移动范围为0-2000mm。

在本发明的一个具体实施过程中，先把上吸附平台移动到盛膜盒上方，通过上吸附平台吸附膜材后再移动到对位位置，对位位置的中心距离盛膜盒中心位置300mm，通过安装在下吸附平台上的对位识别机构先确定上吸附平台上的膜材的角度实际偏移量为-3°，通过驱动电机驱动上吸附平台旋转做3°的角度补正后，再通过对位识别机构确定上吸附平台上的膜材在第一移动机构直线移动方向的第一直线偏移量实际为2mm，通过上吸附平台沿第一移动机构直线移动方向修正-2mm的偏移量，修正后将上吸附平台下降到下吸附平台的上方，开启上吸附平台并关闭上吸附平台，使得下吸附平台吸附上吸附平台上的膜材，再通过安装在下吸附平台上的对位识别机构确定膜材在第二移动机构直线移动方向的第二直线偏移量实际为1.5mm，利用第二移动机构基于第二直线偏移量将下吸附平台移动至撕膜位置，并修正第二直线偏移量。

请参考图2，本发明还提出一种撕膜对位方法，包括以下步骤：

S10、利用上吸附平台吸附膜材；

具体地，利用上吸附平台从盛膜盒里吸附膜材；

S20、移动上吸附平台至对位位置并位于下吸附平台的上方；

S30、利用对位识别机构识别上吸附平台上的膜材的角度偏移量；

S40、通过旋转机构驱动上吸附平台转动而修正上吸附平台上的膜材的角度偏移量；

S50、利用下吸附平台吸附上吸附平台上的膜材。

本发明通过对位识别机构对膜材的角度偏移量进行识别，并利用旋转机构对膜材的角度偏移量进行修正，当膜材出现位置偏移无需要通过盛膜盒夹持机构定位，提高了撕膜对位效率。而利用下吸附平台吸附上吸附平台上的膜材，即可通过在下吸附平台上进行撕膜，无需再从下吸附平台将膜材转移。

请参考图3，在一实施例中，撕膜对位方法包括第二移动机构，下吸附平台设在第二移动机构上，在S50步骤之后还包括：

S60、利用对位识别机构识别下吸附平台上的膜材在第二移动机构直线移动方向的第二直线偏移量；

S70、利用第二移动机构基于第二直线偏移量将下吸附平台移动至撕膜位置，并修正第二直线偏移量。

通过第二移动机构可以将下吸附平台从对位位置移动至撕膜位置，而不用再次转移膜材，因此在本实施例中经过对位后的膜材不需要再进行吸附移动，减少中间过程存在累计移动误差，提高了膜材对位的精度。

请参考图4，在一实施例中，在S50步骤之前，还包括：

S410、利用对位识别机构识别上吸附平台上的膜材在第一移动机构直线移动方向的第一直线偏移量；

S420、利用第一移动机构基于第一直线偏移量带动上吸附平台做直线移动而修正第一直线偏移量。

也即是通过对位识别机构可以识别上吸附平台上的膜材在第一移动机构直线移动方向的第一直线偏移量，并利用第一移动机构对第一直线偏移量进行修正，进一步减少膜材的位置偏移，提高了撕膜对位的准确性。

请参考图5，在一实施例中，S10步骤包括：

S12、利用第一移动机构带动上吸附平台移动至膜材的上方；

S14、利用竖向移动机构带动上吸附平台靠近膜材；

S16、开启上吸附平台吸附膜材。

请参考图6，在一实施例中，S20步骤包括：

S22、利用竖向移动机构带动上吸附平台向上移动；

S24、利用第一移动机构带动上吸附平台移动至对位位置并位于下吸附平台的上方。

请参考图7，在一实施例中，S50步骤包括：

S52、利用竖向移动机构带动上吸附平台靠近上吸附平台；

S54、开启上吸附平台并关闭上吸附平台，使得下吸附平台吸附上吸附平台上的膜材。

以上所述仅为本发明的可选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种撕膜对位装置，其特征在于，包括上吸附平台、下吸附平台、对位识别机构、第一移动机构和竖向移动机构；所述上吸附平台通过旋转机构设在所述竖向移动机构上，所述竖向移动机构用于带动所述上吸附平台做竖向移动，所述旋转机构用于驱动所述上吸附平台做水平旋转；所述竖向移动机构设在第一移动机构上，所述第一移动机构用于带动所述竖向移动机构做横向移动；所述下吸附平台设在所述上吸附平台的下方，所述上吸附平台和下吸附平台相对向且平行设置；所述对位识别机构设在所述下吸附平台上。

2.如权利要求1所述的撕膜对位装置，其特征在于，包括第二移动机构，所述下吸附平台设在第二移动机构上，所述第二移动机构用于带动所述下吸附平台做纵向或横向移动，而使得所述下吸附平台从对位位置移动至撕膜位置。

3.如权利要求1所述的撕膜对位装置，其特征在于，所述对位识别机构为CCD对位识别机构，所述CCD对位识别机构包括两个CCD相机，所述两个CCD相机设在所述下吸附平台上，所述两个CCD相机的连线与所述第一移动机构的直线移动方向相垂直。

4.如权利要求1所述的撕膜对位装置，其特征在于，所述旋转机构包括驱动电机，所述驱动电机固定在所述竖向移动机构上，所述上吸附平台固定在所述驱动电机的转轴上。

5.如权利要求1所述的撕膜对位装置，其特征在于，所述第一移动机构包括第一基座、第一直线导轨和第一滑块，所述第一直线导轨固定在第一基座上，所述第一滑块设在第一直线导轨上，所述竖向移动机构固定在第一滑块上。

6.如权利要求1所述的撕膜对位装置，其特征在于，所述第二移动机构包括第二基座、第二直线导轨和第二滑块，所述第二直线导轨固定在第二基座上，所述第二滑块设在第二直线导轨上，所述下吸附平台固定在第二滑块上。

7.如权利要求1所述的撕膜对位装置，其特征在于，所述竖向移动机构包括竖向基板、丝杆传动机构和丝杆电机，所述竖向基板固定在所述第一移动机构上，所述丝杆传动机构的丝杆设在所述竖向基板上，所述丝杆电机用于驱动丝杆转动，所述上吸附平台通过旋转机构固定在所述丝杆传动机构的滑块上；

和/或，所述竖向基板上设有垂直于竖向基板的安装板，所述丝杆设在所述安装板上，所述丝杆传动机构的滑块为滑板，所述滑板的一端螺纹连接在丝杆上，所述上吸附平台通过旋转机构固定在所述滑板与所述丝杆相远离的一端上，所述滑板连接在所述丝杆上的的一端的两侧设有向所述竖向基板方向伸出的支撑块，所述竖向基板在与支撑块对应位置设有第三直线导轨，所述支撑块可滑动地套在所述第三直线导轨上。

8.一种基于权利要求1至7任一所述撕膜对位装置的撕膜对位方法，其特征在于，包括以下步骤：

利用所述上吸附平台吸附膜材；

移动所述上吸附平台至对位位置并位于所述下吸附平台的上方；

利用所述对位识别机构识别所述上吸附平台上的膜材的角度偏移量；

通过所述旋转机构驱动所述上吸附平台转动而修正所述上吸附平台上的膜材的角度偏移量；

利用所述下吸附平台吸附所述上吸附平台上的膜材。

9.如权利要求8所述的撕膜对位方法，其特征在于，包括第二移动机构，所述下吸附平台设在第二移动机构上，在利用所述下吸附平台吸附所述上吸附平台上的膜材的步骤之后还包括：

利用所述对位识别机构识别所述下吸附平台上的膜材在第二移动机构直线移动方向的第二直线偏移量；

利用所述第二移动机构基于所述第二直线偏移量将所述下吸附平台移动至撕膜位置，并修正第二直线偏移量。

10.如权利要求8所述的撕膜对位方法，其特征在于，在所述利用所述下吸附平台吸附所述上吸附平台上的膜材的步骤之前，还包括：

利用所述对位识别机构识别所述上吸附平台上的膜材在第一移动机构直线移动方向的第一直线偏移量；

利用第一移动机构基于所述第一直线偏移量带动所述上吸附平台做直线移动而修正所述第一直线偏移量。

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