CN101762897B - 衬底处理装置和平板显示器的制造装置 - Google Patents

Abstract

提供一种衬底处理装置和平板显示器的制造装置，通过省略检查工作台，实现装置构成的紧凑化和生产率的提高。为此，包括：在各处理工作台(20)中进行处理后把屏衬底(1)向下一个处理工作台(20)间距传送的可动轨(32)；设置在处理工作台(20)内或者前后的处理工作台(20)之间、为了对屏衬底(1)进行拍摄而在与屏衬底(1)的传送方向垂直的方向上排列了光接收元件的线阵传感器相机(41)；检测屏衬底(1)的移动速度的编码器检测传感器(61)；以及利用线阵传感器相机(41)取得的影像信号生成帧图像的图像处理装置(43)，基于编码器检测传感器(61)检测的移动速度进行修正以使得影像信号的间隔成为等间隔，生成帧图像。

Description

衬底处理装置和平板显示器的制造装置

技术领域

本发明涉及对衬底进行处理的衬底处理装置和使用了该衬底处理装置的平板显示器的制造装置。

背景技术

平板显示器中有一种是液晶显示器。液晶显示器，在TFT(薄膜晶体管)衬底和CF(滤色片)衬底之间封入液晶而构成屏衬底，在该屏衬底的周围的一边至四边上搭载作为驱动IC的电子电路部件。作为在屏衬底上搭载电子电路部件的方式，有TAB(载带自动键合)方式、COG(玻璃上芯片)方式、COF(膜上芯片)方式等。在屏衬底上等间隔地形成有多个以多个电极作为一组的电极组，以在各电极组上贴附了各向异性导电膜(ACF：混合了导电颗粒的粘接性膜)的状态把屏衬底与电子电路部件热压接。由此，能够在屏衬底上搭载电子电路部件。

在屏衬底上搭载电子电路部件时要经过几个工序。例如，以TAB方式搭载时，主要有三个工序：(1)在屏衬底的电极组上贴附ACF的ACF贴附工序；(2)针对贴附了ACF的屏衬底的电极组，临时压接电子电路部件的临时压接工序；(3)把处于临时压接状态的电子电路部件真正压接到屏衬底上的真正压接工序。各工序在专用的处理工作台(ACF贴附工作台、临时压接工作台、真正压接工作台)中进行，把屏衬底依次移动到各处理工作台上进行预定的处理。

在移动到各处理工作台上之前或处理工作台中的处理结束之后，在专用的检查工作台中进行预定的检查。例如，在ACF贴附工作台的后段或临时压接工作台的前段，进行是否在屏衬底的预定位置上以良好的状态贴附ACF的检查。同样地，在临时压接工作台的后段或真正压接工作台的前段，进行是否在屏衬底上以良好的状态临时压接电子电路部件的检查。

专利文献1公开了其中的进行ACF的贴附状态的检查的技术。该技术是，为了判断ACF是否合适地贴附，把屏衬底搭载在透光性的移动台面上进行定位，用从在台面下方设置的光源照射的光，利用在台面上部设置的拍摄设备对ACF和电极进行拍摄。然后，基于拍摄到的影像判断ACF的贴附状态的好坏。为此，在使移动台面位于拍摄设备下部的状态下使其静止，进行图像取得和图像处理。

<专利文献1>日本特开2003-142900号公报

上述的进行各种检查的检查工作台与各处理工作台对应而单独地设置。在检查工作台中像专利文献1那样在使屏衬底静止的状态下用面阵相机(area camera)进行图像取得和图像处理。也考虑了在处理工作台内设置面阵相机，但是在处理工作台内设置了对屏衬底进行处理的处理单元，该处理单元会遮挡面阵相机的视野，不能获得屏衬底的完整图像。为此，针对每个处理工作台设置独立的检查工作台来进行屏衬底的检查。

如上所述，如果排列多个屏衬底的处理工作台，与各处理工作台对应而单独地设置专用的检查工作台，则生产线的构成大大拉长，整个装置构成极端地大型化。而且，由于生产线拉长还产生了处理时间延迟化的问题。另外，需要在检查工作台中使屏衬底成为暂时静止状态而进行图像取得，然后进行图像处理等的一连串工艺，从这一点上看也会产生处理时间延迟化的问题，成为生产率大幅度降低的主要原因。

发明内容

于是，本发明的目的在于，通过省略检查工作台，实现装置构成的紧凑化和生产率的提高。

为了解决上述问题，本发明的方案1的衬底处理装置，设置有对衬底进行处理的多个处理工作台，其特征在于包括：在各处理工作台中进行处理后把上述衬底向下一个处理工作台节距传送的衬底移动单元；设置在上述处理工作台内或者前后的处理工作台之间、为了对上述衬底进行拍摄而在与上述衬底的传送方向垂直的方向上排列了光接收元件的线阵传感器相机；检测上述衬底的移动速度的移动速度检测单元；以及利用上述线阵传感器相机取得的影像信号生成帧图像的图像处理单元，基于上述移动速度检测单元检测的上述移动速度进行修正以使得上述影像信号的间隔成为等间隔，生成上述帧图像。

根据该衬底处理装置，由于利用线阵传感器相机拍摄移动中的衬底，所以无须设置专用的检查工作台就能够取得图像，能够使装置构成紧凑，大幅度缩短生产时间。由于衬底被间距传送，所以伴随有加速和减速，但是由于修正成拍摄的影像信号的间隔成为等间隔，所以生成正确的帧图像。

本发明的方案2的衬底处理装置，是在方案1所述的衬底处理装置中，其特征在于：通过基于上述衬底的移动速度改变上述线阵传感器相机的驱动定时来进行上述修正。

根据该衬底处理装置，通过基于衬底的移动速度改变线阵传感器相机的驱动定时，修正成影像信号成为等间隔，生成正确的帧图像。

本发明的方案3的衬底处理装置，是在方案1所述的衬底处理装置中，其特征在于：上述衬底移动单元包括：支撑上述衬底的衬底支撑部件；移动上述衬底以使其在上述处理工作台之间往复动作的可动部件；以及使上述衬底支撑部件和上述可动部件中的任一个进行升降动作的升降动作部件，在上述可动部件上设置有直线状的编码器图案，在与该编码器图案对置的位置上设置有编码器检测传感器。

根据该衬底处理装置，由于利用在处理工作台之间往复动作的可动部件移动衬底，在可动部件上设置编码器图案，利用编码器检测传感器进行检测，所以能够获知衬底的移动速度。

本发明的方案4的衬底处理装置，是在方案1所述的衬底处理装置中，其特征在于：上述衬底移动单元包括：把旋转方向的动作变换成直进方向的动作的动作变换单元，上述移动速度检测单元包括：检测上述旋转方向的动作的角度的角度检测单元。

根据该衬底处理装置，在用把旋转动作变换成直进动作的动作变换单元移动衬底时，通过用角度检测单元检测旋转动作的角度，能够检测衬底的移动速度。

本发明的方案5的衬底处理装置，是在方案1所述的衬底处理装置中，其特征在于：上述线阵传感器相机把视野范围限定在上述衬底的关注区域而进行拍摄。

根据该衬底处理装置，由于把线阵传感器相机的视野范围限定在关注区域，所以能够削减图像处理的信息量。如果大幅度削减关注区域的信息量，就能够谋求大大改善生产节拍(tact time)。

本发明的方案6的衬底处理装置，是在方案1所述的衬底处理装置中，其特征在于：上述图像处理单元基于上述帧图像检查上述衬底的部件搭载状况。

根据该衬底处理装置，无须设置专用的检查工作台，就能够基于图像处理单元生成的帧图像检查部件的搭载状况。

本发明的方案7的衬底处理装置，是在方案1所述的衬底处理装置中，其特征在于：上述图像处理单元基于上述帧图像计算上述衬底的位置偏移量。

根据该衬底处理装置，无须设置专用的检查工作台，就能够基于图像处理单元生成的帧图像检测衬底的位置偏移量。

本发明的方案8的平板显示器的制造装置，包括方案1～7中任一项所述的衬底处理装置，其特征在于：上述处理工作台包括：在形成在上述衬底上的多个电极组上贴附ACF的ACF贴附工作台；在隔着上述ACF的状态下把电子电路部件搭载并临时压接到上述衬底上的临时压接工作台；以及把上述电子电路部件真正压接到上述衬底上的真正压接工作台。

上述的衬底处理装置能够用于平板显示器的制造装置。通过设置ACF贴附工作台、临时压接工作台和真正压接工作台作为处理工作台，能够对衬底搭载电子电路部件。作为平板显示器，除了液晶显示器以外还可以使用有机EL显示器、等离子体显示器等。

由于本发明利用线阵传感器相机取得移动中的衬底的图像，所以无须设置专用的检查工作台就能够取得衬底的图像，能够实现装置构成的紧凑化和生产率的提高。由于衬底在处理工作台之间被间距传送，所以伴随有加速和减速，但是由于检测加速和减速中的衬底的移动速度，基于检测到的移动速度进行修正，以使各影像信号的间隔成为等间隔，所以生成正确的帧图像。

附图说明

图1是示出构成液晶显示器的屏衬底的平面图。

图2是示出屏衬底和电子电路部件的外观图。

图3是示出处理工作台的构成的说明图。

图4是示出处理工作台、拍摄光学系统与移动速度检测单元的关系的图。

图5是示出各种定时的定时图。

图6是示出帧图像的一例的图。

(附图标记说明)

1：屏衬底；2：电子电路部件；7：ACF；11：移动路径；20：处理工作台；20U：处理单元；21：搬入工作台；22：ACF贴附工作台；23：临时压接工作台；24：真正压接工作台；31：衬底支撑轨；32：可动轨；40：拍摄光学系统；41：线阵传感器相机；43：图像处理装置；50：控制器；60：编码器图案；61：编码器检测传感器。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的实施方式。以下，例示出用液晶显示器作为平板显示器，用TAB方式把电子电路部件搭载到构成液晶显示器的屏衬底上的情况。作为平板显示器，也可以使用有机EL显示器、等离子体显示器等，作为电子电路部件的搭载方式也可以采用COG方式、COF方式等的任意方式。

图1示出构成液晶显示器的屏衬底1。屏衬底1是在TFT衬底1a与CF衬底1b之间设置预定的液晶盒间隙并封入液晶而构成的衬底，在其周围一边至四边上搭载有预定数目的电子电路部件2。TFT衬底1a采用尺寸比CF衬底1b大的衬底，以搭载电子电路部件2的边的TFT衬底1a相对于CF衬底1b伸出的方式进行接合。在该TFT衬底1a的伸出区域上搭载电子电路部件2。各电子电路部件2在外周侧与PCB 3连接，进行电气驱动。

用图2说明屏衬底1与电子电路部件2的连接关系。如上所述，TFT衬底1a相对于CF衬底1b伸出预定区域，在该区域上以等间隔形成多个由多个电极构成的电极组3。另一方面，在膜衬底4上搭载IC电路元件5而构成电子电路部件2，在膜衬底4的屏衬底1的搭载部位上形成有由多个电极构成的电极组6。因此，通过连接屏衬底1的电极组3和电子电路部件2的电极组6进行电子电路部件2的搭载。为了把屏衬底1与电子电路部件2电气连接使用ACF 7。ACF 7是含有各向异性导电颗粒的粘接性的热硬化性膜(也可以是热塑性膜)，通过热硬化而成为把屏衬底1与电子电路部件2之间粘接、且利用各向异性导电颗粒把电极间电气连接的状态。

为了把电子电路部件2搭载到屏衬底1上，进行几个工序。用图3说明各工序。图3示出液晶显示器的生产线10中在屏衬底1上搭载电子电路部件2的一部分是将多个处理工作台直线状地配置成一列来构成的。如该图所示，多个处理工作台在X方向上排成一列，以使得屏衬底1沿着用来在X方向上依次移动的移动路径11。在图3的例子中，搬入工作台21、ACF贴附工作台22、临时压接工作台23、真正压接工作台24、旋转工作台25、第二ACF贴附工作台26依次配置成一列，虽然图中未示出但在第二ACF贴附工作台26以后还配置有第二临时压接工作台、第二真正压接工作台、第二旋转工作台。以下，把全部的工作台统称为处理工作台20，把各处理工作台20中对屏衬底1进行处理的单元统称为处理单元20U来进行说明。

ACF贴附工作台22～真正压接工作台24进行电子电路部件2在屏衬底1的长边侧上的搭载，第二ACF贴附工作台26以后的处理工作台20进行电子电路部件2在屏衬底1的剩余边侧上的搭载。

搬入工作台21配置在生产线10的开始位置(最上游侧)，进行屏衬底1的搬入和清洗。搬入工作台21具有一台进行屏衬底1的清洗的清冼单元21U。进行屏衬底1的清洗的部位主要是贴附有ACF 7的电极组3的部位。ACF贴附工作台22是对屏衬底1的电极组3贴附ACF 7的工作台，配置在搬入工作台21的下游侧。ACF贴附工作台22具有两台进行ACF 7的贴附的ACF贴附单元22U。

临时压接工作台23是用来对形成了ACF 7的屏衬底1临时压接电子电路部件2的工作台，配置在ACF贴附工作台22的下游侧。临时压接工作台23具有两台临时压接单元23U作为处理单元20U。真正压接工作台24是把临时压接状态的屏衬底1与电子电路部件2真正压接的工作台，配置在临时压接工作台23的下游侧。真正压接工作台24具有一台真正压接单元24U作为处理单元。

虽然分别具有两台ACF贴附单元22U和临时压接单元23U，但这是为了实现迅速处理，也可以是一台，也可以是三台以上。通过以上步骤，结束对屏衬底1的长边侧搭载电子电路部件2的处理。

旋转工作台25配置在真正压接工作台24的下游侧，把在长边侧搭载有电子电路部件2的屏衬底1的姿势旋转90度。在该旋转工作台25中与搬入工作台21同样地设置清洗单元(未图示)，进行屏衬底1的短边侧的电极组3的清洗。然后，把进行了清洗的屏衬底1移动到设置有第二ACF贴附单元26U的第二ACF贴附工作台26上，然后进行对屏衬底1的短边侧搭载电子电路部件2的处理。对剩余的两边也是一样。

移动路径11采用交替配置有多条衬底支撑轨31和可动轨32的衬底移动单元。衬底支撑轨31是在X方向上延伸的轨，是搭载屏衬底1的衬底支撑部件。另外，可动轨32是在处理工作台20之间往返动作而对屏衬底1进行间距传送(间歇传送)的可动部件。可动轨32在X方向上针对每个处理工作台20进行分割，各可动轨32分别对一片屏衬底1进行间距传送。衬底支撑轨31和可动轨32分别在多个部位设置利用负压进行吸附的吸附部，成为可以吸附固定屏衬底1的构成。由此，可以在衬底支撑轨31上和可动轨32上可靠地固定屏衬底1的位置。当然，也可以通过吸附以外的方式，例如机械夹持等固定屏衬底1。

可动轨32采用反复进行上升、前进、下降、后退的动作的活动梁(walking beam)方式的移动。从利用衬底支撑轨31和可动轨32支撑屏衬底1的状态开始，使可动轨32的吸附部工作而进行吸附，使可动轨32上升。由此，成为屏衬底1从衬底支撑轨31浮起的状态。然后，在该状态下把可动轨32在X方向上移动到下一个处理工作台20，下降到与衬底支撑轨31相同的高度位置。然后，通过解除可动轨32的吸附并且使衬底支撑轨31的吸附进行工作，把屏衬底1从可动轨32交接到衬底支撑轨31上且可靠地固定其位置。通过采用以上那样的方式，在处理工作台20之间移动屏衬底1时不会发生位置偏移。然后，通过在各处理工作台20之间反复进行该动作，使屏衬底1依次在处理工作台20之间移动。

下面，用图3和图4说明拍摄光学系统40。在各处理工作台20之间配置有具有线阵传感器相机41、照明装置42和图像处理装置43的拍摄光学系统40。图4例示临时压接工作台23，因此作为处理单元20U配置有临时压接单元23U。在其它处理工作台20中也同样地把拍摄光学系统40配置在上游侧。线阵传感器相机41是在Y方向(与屏衬底1的移动方向垂直的方向)上把CCD等的光接收元件排列成一列的拍摄单元，被叫做所谓线阵传感器或线阵相机(line camera)。线阵传感器相机41与把预定区域放进视野内来进行拍摄的面阵相机的拍摄方法不同，取得一行大小的影像，作为影像信号生成，并向作为图像处理单元的图像处理装置43输出。线阵传感器相机41以一定的驱动定时(频率)依次取得一行大小的影像信号的动作为基础，图像处理装置43把从线阵传感器相机41依次输出的影像信号合成，而生成一个帧图像(与面阵相机拍摄的图像同样的预定区域的图像)。

线阵传感器相机41不是对屏衬底1的Y方向的全部进行拍摄，而是限定于关注区域进行拍摄。在此，所谓关注区域是屏衬底1的包含电极组3的区域。电极组3是屏衬底1的边缘部的极狭小的区域，线阵传感器相机41会聚到该区域上进行拍摄。由此，能够减少线阵传感器相机41的光接收元件的数目，取得的信息量小。通过减少线阵传感器相机41的信息量，能够高速地进行图像处理装置43中的图像处理。照明装置42会聚在线阵传感器相机41的拍摄部位而供给照明光。

线阵传感器相机41基本上配置在处理工作台20之间(与前段侧的处理工作台之间或与后段侧的处理工作台之间)，但也可以配置在处理工作台20的内部。这是因为，由于与面阵相机那样的以宽广区域为视野的相机不同，线阵传感器相机41是把光接收元件排列成一列的相机，所以处理工作台20的处理单元20U不会遮挡视野。

利用可动轨32将屏衬底1在X方向上间距传送，线阵传感器相机41依次取入屏衬底1的关注区域的影像信号。然后，通过把依次取入的影像信号合成，生成屏衬底1的关注区域的帧图像。其中，图像处理装置43基于屏衬底1的移动速度进行修正而生成帧图像。这一点在后面描述。

利用控制器50对在各处理工作台20中设置的处理单元20U进行动作控制。在图4的例子中，控制器50对临时压接单元23U进行动作控制，其它的处理单元20U的动作控制也分别由独立设置的控制器50进行。控制器50与图像处理装置43连接，在双方向上进行信息收发。

如图3和图4所示，在可动轨32的某一部位(例如，侧部、下部)以沿X轴方向延伸的方式设置直线状的编码器图案60，在与该编码器图案60对置的位置上设置编码器检测传感器61。编码器图案60是例如凹凸图案、黑白图案等周期性排列的图案，编码器检测传感器61以光学方式进行图案检测。通过由编码器检测传感器61检测在沿X轴方向移动的可动轨32上设置的编码器图案60，能够检测可动轨32的移动速度。

在与可动轨32上升后的位置高度相同的位置上设置编码器检测传感器61，在与编码器检测传感器61对置的位置(例如，可动轨32的侧部)上设置编码器图案60。由于可动轨32在上升后的位置在固定了屏衬底1的状态下沿X方向移动，所以以成为与编码器检测传感器61高度相同的位置的方式进行配置，由此编码器检测传感器61能够利用编码器图案60检测屏衬底1的移动速度。另外，作为编码器检测传感器61的检测方法，也可以是光学方式以外的方式，例如磁检测。由编码器检测传感器61和编码器图案60构成检测屏衬底1的移动速度的移动速度检测单元。

对以上构成中的动作进行说明。在ACF贴附工作台22中进行贴附ACF 7的处理，在临时压接工作台23中进行把电子电路部件2临时压接到屏衬底1上的处理，在真正压接工作台24中进行把临时压接状态的电子电路部件2真正压接到屏衬底1上的处理。在各处理工作台中的处理结束后，利用可动轨32把屏衬底1移动到下一个处理工作台上。

在进行各处理工作台中的处理之前，事先进行部件搭载状况的检查和用来调整屏衬底1的位置偏离的对准。首先，说明部件搭载状况的检查。以下，“部件”不仅指电子电路部件2，还包含ACF 7。在各处理工作台20中的处理之前或之后进行部件搭载状况的检查。例如，在屏衬底1上搭载(形成)有ACF 7吗？或电子电路部件2被临时压接了吗等。是否搭载这些部件或者即使已经搭载但它是良好状态还是不好状态等的检查相当于部件搭载状况的检查。

部件搭载状况的检查利用图像处理装置43的图像处理进行。例如，通过在图像处理装置43中存储作为好坏判断基准的基准图像(以良好状态搭载了部件的图像)，把由来自线阵传感器相机41的影像信号生成的帧图像与基准图像对比，可以进行部件搭载状况的好坏判断。

向控制器50输出图像处理装置43的检查结果。检查结果不好时不再继续进行处理单元20U的处理。于是，此时控制器50立即停止处理单元20U的动作。由此能够防止在部件搭载状况不好的状态下继续进行处理。另外，在一个控制器50停止处理单元20U的动作时，传达给其它处理工作台20中的控制器50，使各处理单元20U的动作停止。由此，能够使全部的处理动作停止。另外，如果图像处理装置43的检查结果良好，就无须使处理单元20U的动作停止。

下面说明对准。在各处理工作台20中通过进行处理单元20U的位置调整而进行对准。在处理单元20U进行对准时，必须获知屏衬底1的位置偏移量。基于图像处理装置43生成的帧图像获知该位置偏移量。例如，在屏衬底1上在一个或者多个位置上设置作为用来进行对准的基准的对准标记，在图像处理装置43中存储在正确的位置上形成有该对准标记的图像(基准图像)。然后，通过由图像处理装置43计算出基准图像与帧图像的对准标记之间的差，能够求出屏衬底1的位置偏移量。把该位置偏移量作为应对准的调整量，向控制器50输出。控制器50基于输入的调整量进行处理单元20U的位置调整，由此进行对准。

因此，部件搭载状况的检查和对准的调整量的检测都是通过图像取得和图像处理进行的。在本发明中，不设置进行图像取得和图像处理的专用的检查工作台，利用线阵传感器相机41取得移动中的屏衬底1的图像。由此，因为能够省略检查工作台，所以能够使生产线10非常短，使装置构成大幅度简化。另外，由于可以在移动中进行图像取得和图像处理，所以可以使移动时间与图像取得时间和图像处理时间重叠，使处理时间大大缩短，大大提高生产率。

另外，像本实施方式那样进行处理单元20U的位置调整而进行对准时，也能够在屏衬底1到达处理工作台20之前结束对准处理。即，能够利用线阵传感器相机41拍摄移动中的屏衬底1，在移动中进行生成帧图像检测位置偏移量的图像处理。而且，还可以通过把该位置偏移量输出到控制器50，在屏衬底1到达处理工作台20之前结束处理单元20U的位置调整。此时，可以在屏衬底1到达处理工作台20后立即开始临时压接处理等的预定的处理。

另外，对屏衬底1在处理工作台20之间进行间距传送。移动屏衬底1的可动轨32在从上游侧(前段侧)的处理工作台20搬出时加速，在搬入下游侧(后段侧)的处理工作台20时减速。图5(a)示出可动轨32的速度。在该图中，在最初的时间T1从速度0加速到V，在下一时间T2以速度V进行匀速移动，在最后的时间T3从速度V减速到0。该图所示的移动速度仅仅是一个例子，但在间距传送中至少伴随有加速和减速。

线阵传感器相机41将以预定的驱动定时(预定的频率)取得一行大小的影像信号的动作作为基础，图像处理装置43把各影像信号合成而生成帧图像。此时，如果屏衬底1匀速运动，则取得被拍摄的屏衬底1的关注区域的等间隔的影像信号。由此，图像处理装置43通过把各影像信号合成，生成一个帧图像，即，通过在屏衬底1的关注区域上依次取得在距离上等间隔的影像信号，能够初次获得正确(真实)的帧图像。

另一方面，屏衬底1被间距传送。因此，至少伴随有加速和减速。如果基于进行加速和减速时取得的影像信号生成帧图像，则获得未正确地表现屏衬底1的帧图像。例如，在线阵传感器相机41以与匀速移动时的速度V对应的频率获得影像信号时，虽然在匀速移动的时间T2中取得等间隔的影像信号，但在加速中的时间T1和减速中的时间T3中由于是比速度V低的速度，所以取得间隔短且变化的影像信号。因此，即使把时间T1～T3的影像信号合成，也会成为把基于在时间T1和T3取得的影像信号的部位延伸了的图像，不能表现正确的图像。因此，作为进行部件搭载状况的检查和对准的调整量的计算等时使用的帧图像是不合适的。

于是，基于屏衬底1的移动速度进行修正而生成帧图像。具体地说，使线阵传感器相机41的驱动定时改变。因此，如图4所示，编码器检测传感器61与线阵传感器相机41连接。编码器检测传感器61向线阵传感器相机41输出屏衬底1的移动速度的信息，线阵传感器相机41基于输入的移动速度进行改变驱动定时的修正。

例如，以匀速移动时的速度V为基准，把对适合于该速度V的线阵传感器相机41的频率(驱动定时)设为F。在时间T1中屏衬底1加速时和在时间T3中屏衬底1减速时，根据屏衬底1的移动速度把线阵传感器相机41的频率设定为比F小的频率。例如，由于在屏衬底1刚刚开始移动时和移动马上要结束时移动速度几乎没有，所以此时线阵传感器相机41的频率也是非常小的值。

这样，通过进行根据屏衬底1的移动速度改变线阵传感器相机41的频率(驱动定时)的修正，能够使在屏衬底1的关注区域上取得影像信号的在距离上的间隔相等。因此，即使在像间距传送那样移动速度变化时，也在关注区域的Y方向上的从前端到后端生成正确的帧图像。

在此，图像处理装置43不是一直进行帧图像的生成。在屏衬底1不移动时等情况下无须生成屏衬底1的帧图像。因此，线阵传感器相机41和图像处理装置43以预定的定时进行影像信号的取得和帧图像的生成。利用控制器50控制该定时。如上所述，控制器50与图像处理装置43以在两个方向上可以传送信息的方式连接，由控制器50进行影像信号的取得和帧图像的生成的开始和结束的定时调整。图5(c)示出控制器50的控制定时，在来自控制器50的控制为接通状态时(上升沿时)进行影像信号的取得和帧图像的生成，为截止状态时(下降沿时)不进行影像信号的取得和帧图像的生成。通过进行以上那样的控制，获得图6所示那样的屏衬底1的边缘部分的正确的帧图像。另外，在图6中，“AM”表示在屏衬底1上形成的对准标记。

像以上说明的那样，由于本发明的衬底处理装置利用线阵传感器相机41取得移动中的屏衬底1的影像信号并生成帧图像，所以能够无须设置独立的专用的检查工作台，通过缩短生产线来实现装置构成的紧凑化和生产率的提高。由于屏衬底1在处理工作台20之间间距传送，所以至少伴随有加速和减速，但是利用编码器检测传感器61检测屏衬底1的移动速度，基于该移动速度改变线阵传感器相机41的驱动定时。因此，即使在像加速和减速那样移动速度变化了时，也在屏衬底1的从前端到后端生成正确的帧图像。

以上，基于编码器检测传感器61检测的屏衬底1的移动速度，改变线阵传感器相机41的驱动定时，但也可以利用图像处理进行与屏衬底1的速度变化对应的修正。因此，编码器检测传感器61的输出不是针对线阵传感器相机41而是针对图像处理装置43进行。从线阵传感器相机41向图像处理装置43依次输入影像信号，但时间T1和时间T3中的影像信号未取得在距离上等间隔的影像信号。即，时间T1和时间T3中的影像信号取得比时间T2中的影像信号间隔短的影像信号。于是，图像处理装置43基于从编码器检测传感器61输入的屏衬底1的移动速度进行基于图像处理的修正。例如，由于时间T1和时间T3的影像信号取得间隔短的影像信号，所以对某些影像信号进行插补等的图像处理、或取平均值等的图像处理。在难以改变线阵传感器相机41的驱动定时时，也可以利用图像处理修正速度变化。

另外，作为衬底移动单元使用了用衬底支撑轨31和可动轨32间距传送屏衬底1的活动梁方式，但只要是向处理工作台间距传送屏衬底1的方式，则可以使用任意的方式。例如，也可以用伺服马达、传输带(带式、螺纹式、链式)等移动屏衬底1，也可以用机械手移动屏衬底1。另外，也可以利用具有把滚珠螺杆单元或进给丝杠单元等的旋转动作变换成直进动作的动作变换单元的移动机构来移动屏衬底1。此时，能够通过在滚珠螺杆单元或进给丝杠单元等的旋转轴上安装旋转编码器等的角度检测单元而检测角度(的变化量)来检测屏衬底1的移动速度。

另外，如图5的例子所示，屏衬底1的移动是加速、匀速移动、减速之类的规则的间距传送，但也可以是例如在加速后立即减速。另外，也可以像图5所示的例子那样加速度不是恒定的，而是变化的。

另外，作为处理工作台20，主要以ACF贴附工作台22、临时压接工作台23和真正压接工作台24为例进行了说明，但只要是对屏衬底1进行预定的处理的处理工作台，也可以使用任意的处理工作台。因此，处理工作台20的数目可以是一个，也可以是多个。

另外，线阵传感器相机41在Y方向上限定为屏衬底1的关注区域而取得影像信号，但也可以取得整个屏衬底1的影像信号。但是，由于关注区域是电极组3的区域，它是极狭小的区域，所以能够削减图像处理的信息量，由此有助于图像处理的高速化，而在是整个屏衬底1时信息量很大，所以图像处理非常复杂。

另外，利用处理单元20U的位置调整进行了屏衬底1的位置偏移的对准，但也可以对屏衬底1侧进行位置调整。此时，在各处理工作台20中设置进行屏衬底1的位置调整的调整机构。

Claims (8)

1.一种衬底处理装置，设置有对衬底进行处理的多个处理工作台，其特征在于包括：

在各处理工作台中进行处理后把上述衬底向下一个处理工作台间距传送的衬底移动单元；

设置在上述处理工作台内或者前后的处理工作台之间、为了对上述衬底进行拍摄而在与上述衬底的传送方向垂直的方向上排列了光接收元件的线阵传感器相机；

检测上述衬底的移动速度的移动速度检测单元；以及

利用上述线阵传感器相机取得的影像信号生成帧图像的图像处理单元，

基于上述移动速度检测单元检测的上述移动速度进行修正以使得上述影像信号的间隔成为等间隔，生成上述帧图像。

2.如权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于：

通过基于上述衬底的移动速度改变上述线阵传感器相机的驱动定时来进行上述修正。

3.如权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于：

上述衬底移动单元包括：

支撑上述衬底的衬底支撑部件；

移动上述衬底以使其在上述处理工作台之间往复动作的可动部件；以及

使上述衬底支撑部件和上述可动部件中的某一个进行升降动作的升降动作部件，

在上述可动部件上设置有直线状的编码器图案，在与该编码器图案对置的位置上设置有编码器检测传感器。

4.如权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于：

上述衬底移动单元包括：把旋转方向的动作变换成直进方向的动作的动作变换单元，

上述移动速度检测单元包括：检测上述旋转方向的动作的角度的角度检测单元。

5.如权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于：

上述线阵传感器相机把视野范围限定在上述衬底的关注区域而进行拍摄。

6.如权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于：

上述图像处理单元基于上述帧图像检查上述衬底的部件搭载状况。

7.如权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于：

上述图像处理单元基于上述帧图像计算上述衬底的位置偏移量。

8.一种平板显示器的制造装置，包括如权利要求1～7中任一项所述的衬底处理装置，其特征在于：

上述处理工作台包括：

在形成在上述衬底上的多个电极组上贴附各向异性导电膜的各向异性导电膜贴附工作台；

在隔着上述各向异性导电膜的状态下把电子电路部件搭载并临时压接到上述衬底上的临时压接工作台；以及

把上述电子电路部件真正压接到上述衬底上的真正压接工作台。

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