CN113611648A - 一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，属于硅片生产技术领域，包括基座，所述基座内腔底部固定安装有输料机构用于输送硅片主体，所述基座内腔顶部固定安装有直线模组，所述直线模组底部固定安装有抓取机构用于抓取硅片主体并传输运料，所述基座顶部一侧固定连接有插片机构。本发明中，进料槽内的硅片主体通过一侧增压喷嘴通过喷出液体流转作用进行移动，介质流转的冲击力能够带动落入的硅片主体通过一侧引导板导入并插置在插片夹具槽体内，能够在流体作用下实现硅片主体的插片处理时，一方面能够保证插片效率，另一方面同步提高插片安全性，避免因插片机构接触摩擦导致硅片主体表面的磨损，满足插片处理需要。

Description

一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机
技术领域
本发明属于硅片生产技术领域，尤其涉及一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机。
背景技术
为了可持续发展的需要，太阳能的利用已经被逐渐重视起来，硅片作为太阳能电池的重要组成，而在硅片加工时需要进行切割堆叠处理，将切割堆叠好的硅片插入篮具中一般采用人工取放或吸盘抓取的方式。
但在实际加工使用时，人工取放或抓取插片效率较低，同时影响到插置定位准确性，贴合面杂质无法很好地去除，容易在抓取时因杂质气流冲击划伤硅片表面，同时在插置时容易因放料冲击力导致与篮具触碰导致损坏，给后续的生产加工带来不利的影响，不能很好地满足硅片插片处理需要。
发明内容
本发明的目的在于：为了解决容易在抓取时划伤硅片主体表面，影响到插置定位准确，并且在抓取时容易因贴合面杂质影响到硅片主体表面准精度的问题，而提出的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，包括基座，所述基座内腔底部固定安装有输料机构用于输送硅片主体，所述基座内腔顶部固定安装有直线模组，所述直线模组底部固定安装有抓取机构用于抓取硅片主体并传输运料，所述基座顶部一侧固定连接有插片机构，所述插片机构一侧活动连接有插片夹具；
所述插片机构包括进料槽，所述进料槽内腔底部固定安装有支撑喷嘴，且支撑喷嘴底部通过管路连通有支撑液泵，且支撑液泵另一侧与进料槽内腔顶部相连通，所述进料槽一侧连通有进液槽座，且进液槽座内腔可调节连接有若干增压喷嘴，且若干增压喷嘴之间通过泵液管连通有调节液泵用于供液，所述进料槽另一侧连通有调节液箱，所述调节液箱内可偏转连接有多个引导板，且引导板用于通过一侧增压喷嘴喷液压力带动硅片主体插入一侧插片夹具内，所述调节液泵一侧通过管路连通有回液箱，所述回液箱顶部通过回液管与插片夹具相连通。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述插片机构还包括固设于相邻增压喷嘴之间的充气罩体用于调节增压喷嘴之间相互间距，且多个充气罩体之间通过充气管连通有气泵，且气泵固定安装在进液槽座顶部，所述充气罩体两侧均固定连接有滑套，且滑套一侧与增压喷嘴一侧固定连接，且多个滑套之间滑动连接有滑杆，且滑杆两端分别与进液槽座内腔两侧对应位置固定连接。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述调节液箱内腔固定安装有支撑滑道，且支撑滑道一侧通过滑动连接的调向球与一侧引导板传动连接。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述调节液箱两端均固定连接有卡板，且卡板内卡接有卡座，且卡座固定连接在插片夹具一侧，且卡座和卡板的横截面形状均为L形。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述输料机构包括输料传送带，所述输料传送带外壁固定安装有多个输料座，且输料座内腔可偏转放置有硅片主体。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述输料座内腔两侧均通过电动推杆固定连接有连接块，所述连接块顶部一侧固定连接有夹板，且两侧夹板之间通过可转动的夹持盘吸附有硅片主体，且一侧夹持盘一侧传动连接有驱动电机。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述连接块底部一侧贴合有负压囊，且两侧负压囊之间连通有连通气管，且连通气管顶部连通有输料吸盘，且输料吸盘与一侧硅片主体相贴合。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述抓取机构包括抓料伸缩轴，所述抓料伸缩轴顶端与直线模组底部传动块固定连接，且抓料伸缩轴底部通过弹力垫罩连接有真空吸盘，且真空吸盘内腔抽真空管路与外部抽真空设备相连通，所述抓料伸缩轴外侧壁套设有抓取底板，所述抓取底板顶部两侧均嵌设有滑套，且滑套内滑动连接有滑杆，所述滑杆顶端固定连接有顶块，且滑杆底端与真空吸盘顶部固定连接。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述抓取底板底部固定连接有除尘罩，所述除尘罩外壁壁固定连接有集尘槽，且除尘罩内腔与集尘槽一侧对应位置开设有溢尘孔。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述除尘罩为弹力塑胶罩，且除尘罩横截面形状为梯形。
综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：
1、本发明中，通过设计的插片机构，当抓取机构将硅片主体双片叠加送至进料槽后，底部支撑液泵喷出的介质液能够通过自身冲击力吸收硅片主体落下的冲击力，同时实现对硅片主体表面杂质的清理避免影响到对插片夹具的插片处理，进料槽内的硅片主体通过一侧增压喷嘴通过喷出液体流转作用进行移动，介质流转的冲击力能够带动落入的硅片主体通过一侧引导板导入并插置在插片夹具槽体内，能够在流体作用下实现硅片主体的插片处理时，一方面能够保证插片效率，另一方面同步提高插片安全性，避免因插片机构接触摩擦导致硅片主体表面的磨损，满足插片处理需要。
2、本发明中，通过设计的输料机构，当硅片主体加工并送料至输料座顶部时，两侧电动推杆工作伸长带动连接块和顶部夹板和夹持盘与硅片主体两侧进行夹持限位，位移作用下对硅片主体的夹持限位处理，并且夹持盘能够通过一侧驱动电机的转动作用下自转带动相夹持的硅片主体发生翻转，从而能够实现双片加工中硅片主体背底面相对设置的双层插置需要，提高插片输料相适性，并且电动推杆在初始阶段时一侧连接块夹持负压囊使其排出内部气体，在电动推杆推动夹持硅片主体时，负压囊不被限位而通过弹力复位展开并吸气带动一侧输料吸盘通过负压吸取硅片主体，从而能够实现对硅片主体的输料吸附固定，避免发生轴向量的偏移影响到输料稳定性，能够提高硅片主体的运送支撑相适性，并且实现输料吸盘的自吸附放开效果，提高夹持吸附联动能力，有效降低输料成本。
3、本发明中，在输料座将硅片主体运送至抓取机构底部时，抓取机构能够通过抓取底板带动底部除尘罩实现与输料座的预接触，除尘罩能够通过底部除尘罩的挤压实现除尘罩内部的加压使得内部气体带动灰尘通过溢尘孔进入一侧集尘槽内除尘过滤后，抓料伸缩轴伸长压动底部真空吸盘抽真空实现硅片主体的抓取，进而能够在抓取吸附前对硅片主体表面进行预除尘处理，并且通过真空吸盘实现硅片主体吸附的稳定性增强，避免抓取过程中灰尘对硅片主体表面光洁性的影响。
4、本发明中，充气罩体能够通过一侧气泵的充气实现膨胀展开，继而能够推动两侧滑套在拉动对应位置的增压喷嘴调节相对间距，从而能够调节喷液流体动力液道，在增压喷嘴调节相对间距后，流体动力能够通过冲击力带动一侧引导板通过后侧调向球在支撑滑道表面滑动调节相对入料引导间距，在引导板的作用下硅片主体调节出料插置的朝向与相应间距，从而能够适配对插片夹具夹持数量和间距的调整处理，提高对硅片主体插片处理的相适性，满足不同规格硅片主体的插片引导需要。
附图说明
图1为本发明提出的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的立体结构示意图；
图2为本发明提出的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的正视结构示意图；
图3为本发明提出的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的插片机构立体结构示意图；
图4为本发明提出的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的A部分放大的结构示意图；
图5为本发明提出的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的插片机构正视结构示意图；
图6为本发明提出的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的抓取机正视剖面结构示意图；
图7为本发明提出的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的输料座立体结构示意图；
图8为本发明提出的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机的输料机构立体结构示意图。
图例说明：
1、基座；2、输料机构；201、输料传送带；202、输料座；203、夹板；204、连接块；205、负压囊；206、连通气管；207、输料吸盘；208、硅片主体；209、夹持盘；210、电动推杆；3、直线模组；4、抓取机构；401、抓取底板；402、除尘罩；403、抓料伸缩轴；404、滑杆；405、弹力垫罩；406、真空吸盘；407、集尘槽；408、溢尘孔；5、插片机构；501、进料槽；502、支撑喷嘴；503、支撑液泵；504、调节液泵；505、泵液管；506、增压喷嘴；507、滑套；508、充气罩体；509、气泵；510、调节液箱；511、卡板；512、引导板；513、支撑滑道；6、插片夹具；7、卡座；8、回液管；9、回液箱。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-8，本发明提供一种技术方案：一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，包括基座1，所述基座1内腔底部固定安装有输料机构2用于输送硅片主体208，所述基座1内腔顶部固定安装有直线模组3，所述直线模组3底部固定安装有抓取机构4用于抓取硅片主体208并传输运料，所述基座1顶部一侧固定连接有插片机构5，所述插片机构5一侧活动连接有插片夹具6；
所述插片机构5包括进料槽501，所述进料槽501内腔底部固定安装有支撑喷嘴502，且支撑喷嘴502底部通过管路连通有支撑液泵503，且支撑液泵503另一侧与进料槽501内腔顶部相连通，所述进料槽501一侧连通有进液槽座，且进液槽座内腔可调节连接有若干增压喷嘴506，且若干增压喷嘴506之间通过泵液管505连通有调节液泵504用于供液，所述进料槽501另一侧连通有调节液箱510，所述调节液箱510内可偏转连接有多个引导板512，且引导板512用于通过一侧增压喷嘴506喷液压力带动硅片主体208插入一侧插片夹具6内，所述调节液泵504一侧通过管路连通有回液箱9，所述回液箱9顶部通过回液管8与插片夹具6相连通，且回液管8活动封闭连接在插片夹具6底部；
所述插片机构5还包括固设于相邻增压喷嘴506之间的充气罩体508用于调节增压喷嘴506之间相互间距，且多个充气罩体508之间通过充气管连通有气泵509，且气泵509固定安装在进液槽座顶部，所述充气罩体508两侧均固定连接有滑套507，且滑套507一侧与增压喷嘴506一侧固定连接，且多个滑套507之间滑动连接有滑杆404，且滑杆404两端分别与进液槽座内腔两侧对应位置固定连接，所述调节液箱510内腔固定安装有支撑滑道513，且支撑滑道513一侧通过滑动连接的调向球与一侧引导板512传动连接，所述调节液箱510两端均固定连接有卡板511，且卡板511内卡接有卡座7，且卡座7固定连接在插片夹具6一侧，且卡座7和卡板511的横截面形状均为L形。
实施方式具体为：当抓取机构4将硅片主体208双片叠加送至进料槽501后，进料槽501内填充的介质液能够实现掉落硅片主体208的冲击吸收，优选的介质液为去离子水，降低循环水路内水垢的产生，并且在底部支撑液泵503抽取进料槽501顶部介质液并通过底部支撑喷嘴502喷出后，底部轴向喷出的介质液能够通过自身冲击力有效吸收硅片主体208落下的冲击力，避免硅片主体208表面杂质影响到插片处理，在进料槽501内的硅片主体208通过底部泵液的支撑漂浮在进料槽501内，此时一侧调节液泵504通过抽取回液箱9内介质液并通过泵液管505泵入多个增压喷嘴506内，增压喷嘴506通过喷出液体实现对介质流体流转作用，介质流转的冲击力能够带动落入的硅片主体208通过一侧引导板512导入并插置入一侧插片夹具6内，能够在流体作用下实现硅片主体208的插片处理，同时介质流体在进入一侧插片夹具6完成插片处理后，能够通过底部回液管8进入回液箱9内，从而能够实现介质的循环利用，优选的，能够在回液管8内添加颗粒捕捉设备实现介质内杂志的过滤处理，并且插片夹具6通过一侧卡座7在卡板511内的卡接固定能够实现插片夹具6的快速更换满足对不同插片夹具6的更换调整，插片夹具6为篮具底部优选地通过卡箍实现与回液管8的密封活动连通。
所述输料机构2包括输料传送带201，所述输料传送带201外壁固定安装有多个输料座202，且输料座202内腔可偏转放置有硅片主体208，所述输料座202内腔两侧均通过电动推杆210固定连接有连接块204，所述连接块204顶部一侧固定连接有夹板203，且两侧夹板203之间通过可转动的夹持盘209吸附有硅片主体208，且一侧夹持盘209一侧传动连接有驱动电机，所述连接块204底部一侧贴合有负压囊205，且两侧负压囊205之间连通有连通气管206，且连通气管206顶部连通有输料吸盘207，且输料吸盘207与一侧硅片主体208相贴合。
如图2、4和7-8所示，实施方式具体为：输料传动带外部的多个输料座202能够在硅片主体208后实现对硅片主体208的承接输料至一侧抓取机构4底部，当输料座202内设有的承重元件在感应到加工完成后硅片主体208置入后，能够通过PLC联动控制两侧电动推杆210工作伸长带动连接块204和顶部夹板203和夹持盘209与硅片主体208两侧进行夹持限位，进而能够保证在位移作用下对硅片主体208的夹持限位处理，并且夹持盘209能够通过一侧驱动电机的转动作用下自转带动相夹持的硅片主体发生翻转，调节双片加工中硅片主体208背底面相对设置，并且电动推杆210推动一侧连接块204推动负压囊205时，负压囊205能够受力排出内部气体，并且在电动推杆210推动夹持硅片主体208时，负压囊205此时不被限位而受力吸气带动一侧输料吸盘207通过负压吸取硅片主体208，并且在到达既定位置后控制电动推杆210复位负压囊205能够受力鼓气降低输料吸盘207负压吸力实现硅片主体208的脱离，从而能够提高硅片主体208的运送支撑相适性。
所述抓取机构4包括抓料伸缩轴403，所述抓料伸缩轴403顶端与直线模组3底部传动块固定连接，且抓料伸缩轴403底部通过弹力垫罩405连接有真空吸盘406，且真空吸盘406内腔抽真空管路与外部抽真空设备相连通，所述抓取底板401顶部两侧均嵌设有滑套507，且滑套507内滑动连接有滑杆404，所述滑杆404顶端固定连接有顶块，且滑杆404底端与真空吸盘406顶部固定连接，所述抓料伸缩轴403外侧壁套设有抓取底板401，所述抓取底板401底部固定连接有除尘罩402，所述除尘罩402外壁壁固定连接有集尘槽407，且除尘罩402内腔与集尘槽407一侧对应位置开设有溢尘孔408，所述除尘罩402为弹力塑胶罩，且除尘罩402横截面形状为梯形。
如图2和6所示，实施方式具体为：在输料座202将硅片主体208运送至抓取机构4底部时，抓取机构4能够通过抓取底板401带动底部除尘罩402实现与输料座202的预接触，除尘罩402能够通过底部除尘罩402的挤压实现除尘罩402内部的加压，除尘罩402内部压力增大使得内部气体通过溢尘孔408进入一侧集尘槽407内除尘过滤，并且通过抓料伸缩轴403伸长并通过弹力罩垫压动底部真空吸盘406与硅片主体208充分接触，并通过抽真空实现硅片主体208的抓取，并通过顶部直线模组3直线抓料送料处理，进而能够在抓取吸附前对硅片主体208表面进行预除尘处理，避免灰尘粘附，并且真空吸盘406通过顶部滑杆404在滑套507内的滑动更加稳定，能够有效避免真空吸盘406和弹力罩垫偏移晃动，提高轴向移动吸附吸盘的稳定性，并且能够通过调节弹力罩垫的膨胀系数实现对吸附硅片主体208数量的控制调整满足整体抓取需要，并且能够配合输料座202对硅片主体208的翻转增强双片翻转叠加送料插片处理能力。
工作原理：使用时，输料传动带外部的多个输料座202在硅片主体切割后对硅片主体208的承接输料至一侧抓取机构4底部，当输料座202内设有的承重元件在感应到加工完成后硅片主体208置入后，PLC联动控制两侧电动推杆210工作伸长带动连接块204和顶部夹板203和夹持盘209与硅片主体208两侧进行夹持限位，步进驱动电机的转动作用下带动夹持盘209转动带动相夹持的硅片主体发生翻转，电动推杆210在行程末端推动一侧连接块204夹持负压囊205时，负压囊205受力排出内部气体，电动推杆210推动夹持硅片主体208时，负压囊205此时不被限位而受力吸气带动一侧输料吸盘207通过负压吸取硅片主体208，并在运动抓取机构4底部后，电动推杆210复位带动夹持板与硅片主体208分离，负压囊205被挤压鼓气带动输料吸盘207与硅片主体208分离，在输料座202将硅片主体208运送至抓取机构4底部时，抓取机构4通过抓取底板401带动底部除尘罩402与输料座202的预接触，除尘罩402通过底部除尘罩402的挤压除尘罩402内部的加压，除尘罩402内部压力增大使得内部气体通过溢尘孔408进入一侧集尘槽407内除尘过滤，抓料伸缩轴403伸长并带动弹力罩垫压动底部真空吸盘406与硅片主体208充分接触吸附，一侧直线模组3工作移动带动其至进料槽501顶部停止抽真空将硅片主体208送入进料槽501内，当抓取机构4将硅片主体208双片叠加送至进料槽501后，进料槽501内填充的介质液掉落硅片主体的冲击吸收，在底部支撑液泵503抽取进料槽501顶部介质液并通过底部支撑喷嘴502喷出后，底部轴向喷出的介质液通过自身冲击力有效吸收硅片主体208落下的冲击力，在进料槽501内的硅片主体208通过底部泵液的支撑漂浮在进料槽501内，此时一侧调节液泵504通过抽取回液箱9内介质液并通过泵液管505泵入多个增压喷嘴506内，增压喷嘴506通过喷出液体对介质流体流转作用，介质流转的冲击力带动落入的硅片主体208通过一侧引导板512导入并插置入一侧插片夹具6内，充气罩体508由一侧气泵509的充气膨胀展开，推动两侧滑套507在滑杆404外的滑动拉动一侧对应位置的增压喷嘴506调节相对间距，介质流体在进入一侧插片夹具6完成插片处理后，通过压力用下经底部回液管8进入回液箱9内。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，包括基座（1），其特征在于，所述基座（1）内腔底部固定安装有输料机构（2）用于输送硅片主体（208），所述基座（1）内腔顶部固定安装有直线模组（3），所述直线模组（3）底部固定安装有抓取机构（4）用于抓取硅片主体并传输运料，所述基座（1）顶部一侧固定连接有插片机构（5），所述插片机构（5）一侧活动连接有插片夹具（6）；
所述插片机构（5）包括进料槽（501），所述进料槽（501）内腔底部固定安装有支撑喷嘴（502），且支撑喷嘴（502）底部通过管路连通有支撑液泵（503），且支撑液泵（503）另一侧与进料槽（501）内腔顶部相连通，所述进料槽（501）一侧连通有进液槽座，且进液槽座内腔可调节连接有若干增压喷嘴（506），且若干增压喷嘴（506）之间通过泵液管（505）连通有调节液泵（504）用于供液，所述进料槽（501）另一侧连通有调节液箱（510），所述调节液箱（510）内可偏转连接有多个引导板（512），且引导板（512）用于通过一侧增压喷嘴（506）喷液压力带动硅片主体（208）插入一侧插片夹具（6）内，所述调节液泵（504）一侧通过管路连通有回液箱（9），所述回液箱（9）顶部通过回液管（8）与插片夹具（6）相连通。
2.根据权利要求1所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于，所述插片机构（5）还包括固设于相邻增压喷嘴（506）之间的充气罩体（508）用于调节增压喷嘴（506）之间相互间距，且多个充气罩体（508）之间通过充气管连通有气泵（509），且气泵（509）固定安装在进液槽座顶部，所述充气罩体（508）两侧均固定连接有滑套（507），且滑套（507）一侧与增压喷嘴（506）一侧固定连接，且多个滑套（507）之间滑动连接有滑杆（404），且滑杆（404）两端分别与进液槽座内腔两侧对应位置固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于，所述调节液箱（510）内腔固定安装有支撑滑道（513），且支撑滑道（513）一侧通过滑动连接的调向球与一侧引导板（512）传动连接。
4.根据权利要求1所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于，所述调节液箱（510）两端均固定连接有卡板（511），且卡板（511）内卡接有卡座（7），且卡座（7）固定连接在插片夹具（6）一侧，且卡座（7）和卡板（511）的横截面形状均为L形。
5.根据权利要求1所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于，所述输料机构（2）包括输料传送带（201），所述输料传送带（201）外壁固定安装有多个输料座（202），且输料座（202）内腔可偏转放置有硅片主体（208）。
6.根据权利要求5所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于，所述输料座（202）内腔两侧均通过电动推杆（210）固定连接有连接块（204），所述连接块（204）顶部一侧固定连接有夹板（203），且两侧夹板（203）之间通过可转动的夹持盘（209）吸附有硅片主体（208），且一侧夹持盘（209）一侧传动连接有驱动电机。
7.根据权利要求6所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于，所述连接块（204）底部一侧贴合有负压囊（205），且两侧负压囊（205）之间连通有连通气管（206），且连通气管（206）顶部连通有输料吸盘（207），且输料吸盘（207）与一侧硅片主体（208）相贴合。
8.根据权利要求1所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于，所述抓取机构（4）包括抓料伸缩轴（403），所述抓料伸缩轴（403）顶端与直线模组（3）底部传动块固定连接，且抓料伸缩轴（403）底部通过弹力垫罩（405）连接有真空吸盘（406），且真空吸盘（406）内腔抽真空管路与外部抽真空设备相连通，所述抓料伸缩轴（403）外侧壁套设有抓取底板（401），所述抓取底板（401）顶部两侧均嵌设有滑套（507），且滑套（507）内滑动连接有滑杆（404），所述滑杆（404）顶端固定连接有顶块，且滑杆（404）底端与真空吸盘（406）顶部固定连接。
9.根据权利要求8所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于，所述抓取底板（401）底部固定连接有除尘罩（402），所述除尘罩（402）外壁壁固定连接有集尘槽（407），且除尘罩（402）内腔与集尘槽（407）一侧对应位置开设有溢尘孔（408）。
10.根据权利要求9所述的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机，其特征在于，所述除尘罩（402）为弹力塑胶罩，且除尘罩（402）横截面形状为梯形。
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