CN116913853B - 一种半导体切筋设备的送料机构 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种半导体切筋设备的送料机构，涉及送料机构领域，包括底板；所述底板上端面右侧安装有半导体切筋设备，且底板上端面左侧安装有送料机构；所述送料机构上部安装有遮挡罩，且遮挡罩顶部设有吸尘机构；所述送料机构上呈环形阵列状安装有十个旋转框；本发明通过吸尘机构与吹尘机构的配合，使得送料机构在送料过程中，不仅能够进行送料，且还能对半导体芯片上的粉尘等杂物进行提前去除，而提高了送料机构的功能性；解决送料机构在输送切割后的单个芯片时，由于只能实现对切割后芯片的输送工作，难以对输送过程中的芯片上的粉尘等杂物进行提前去除，从而降低送料机构功能性的问题。

Description

一种半导体切筋设备的送料机构
技术领域
本发明涉及送料机构技术领域，特别涉及一种半导体切筋设备的送料机构。
背景技术
半导体切筋工艺的主要目的是将半导体晶圆切割成单个芯片，以便进行后续的加工和封装。在切筋这个过程中，需要用到半导体切筋设备，而在将切割后的单个芯片进行输送时往往通过送料机构来完成。
目前的送料机构在输送切割后的单个芯片时，由于只能实现对切割后芯片的输送工作，难以对输送过程中的芯片上的粉尘等杂物进行提前去除（由于切割后的芯片表面容易出现大量杂物，为了避免影响芯片的性能，所以切割后的芯片还需要送往单独的半导体清洗设备处进行清洁工作），从而降低了送料机构的功能性，并且若直接将芯片送往半导体清洗设备上进行清洗，还会损耗大量清洗液，从而不够节能。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种半导体切筋设备的送料机构，以解决目前的送料机构在输送切割后的单个芯片时，由于只能实现对切割后芯片的输送工作，难以对输送过程中的芯片上的粉尘等杂物进行提前去除，从而降低了送料机构的功能性的问题。
本发明提供了一种半导体切筋设备的送料机构，具体包括：底板；所述底板上端面右侧安装有半导体切筋设备，且底板上端面左侧安装有送料机构；所述送料机构上部安装有遮挡罩，且遮挡罩顶部设有吸尘机构；所述送料机构上呈环形阵列状安装有十个旋转框，且每个旋转框内侧均设有一个夹持机构，并且夹持机构上夹持有半导体芯片。
进一步的，所述送料机构包括输送机机架、输送辊、输送网带、固定齿条、驱动电机、主动带轮、带轮A和被动带轮，所述输送机机架固定安装在底板上端面左侧，且输送机机架内侧上部呈均匀状转动连接有六根输送辊，并且六根输送辊外部传动连接有输送网带；所述固定齿条固定安装在输送机机架前侧上部；所述驱动电机固定安装在输送机机架右侧后部，且驱动电机的转轴上固定安装有主动带轮；右侧一根所述输送辊的转轴后端固定安装有带轮A和被动带轮，且被动带轮通过皮带与主动带轮传动连接。
进一步的，所述吸尘机构包括吸尘风机、输送管件和吸尘罩，所述吸尘风机固定安装在遮挡罩上端面，且吸尘风机的出风口连接有输送管件；所述吸尘罩固定安装在遮挡罩内部顶端面，且吸尘罩的出风口贯穿遮挡罩上端面，并且吸尘罩的出风口与吸尘风机的吸风口连接。
进一步的，所述旋转框前后两端面中部均固定连接有一根支撑转轴，且两根支撑转轴分别转动连接在输送网带外周面前后两侧；前侧一根所述支撑转轴的前端固定安装有驱动齿轮。
进一步的，当所述旋转框处在送料机构上方时，驱动齿轮与固定齿条啮合；所述旋转框内侧左右两侧面均开设有条形滑槽。
进一步的，所述夹持机构包括夹板、夹持螺杆、同步链轮和同步链条，所述夹板的数量为两个，且两个夹板均滑动连接在旋转框内侧，每个夹板左右两端均设有一个矩形滑块，且夹板左右两端的两个矩形滑块分别与旋转框内侧左右两侧面开设的两个条形滑槽滑动连接；所述夹持螺杆的数量为两根，且两根夹持螺杆分别转动连接在旋转框左右两侧；每根所述夹持螺杆外部均呈前后对称状设有两处反向螺纹，且两处反向螺纹分别与两个夹板连接；每根所述夹持螺杆外部前侧均固定安装有一个同步链轮，且两个同步链轮通过同步链条传动连接。
进一步的，两个所述夹板相对面均设有一个防滑垫，且当夹持机构处于夹持状态时，两个夹板上的防滑垫相对面与半导体芯片前后两端紧密接触。
进一步的，还包括有吹尘机构，所述吹尘机构设置在输送机机架内侧，所述吹尘机构包括吹尘罩、进风筒、吹风扇、转动轴、输风管件、带轮B和橡胶防护片，所述吹尘罩安装在输送机机架内侧，且吹尘罩前端进风口连接有输风管件，并且输风管件贯穿输送机机架后侧壁；所述输风管件后端连接有进风筒，且进风筒为喇叭状结构，所述进风筒内部转动连接有转动轴，且转动轴前端安装有吹风扇，所述转动轴后端固定安装有带轮B，且带轮B通过皮带与带轮A传动连接；所述吹尘罩上部呈均匀状设有吹风头，且每个吹风头上端面边缘处均呈环形阵列状设有四片橡胶防护片。
进一步的，四片所述橡胶防护片共同组成一个完整圆形片状结构，且当吹尘罩处于停止吹风状态时，每片橡胶防护片均处于水平状态。
有益效果是：1.本发明通过吸尘机构与吹尘机构的配合，能够在半导体芯片完成切割工作后，将切割的半导体芯片夹持固定至右侧上部的夹持机构上，然后通过送料机构向左运送，然后送料机构在送料过程中，不仅能够进行送料，且还能对半导体芯片上的粉尘等杂物进行提前去除，而提高了送料机构的功能性，而由于此时半导体芯片上的大部分粉尘等杂物被吹吸掉，从而在清洗时更加高效，从而无需再损耗大量清洗液，从而更加节能。
2.本发明通过吹尘机构与送料机构的配合，能够在右侧一根输送辊转动同时，带轮A通过皮带带着带轮B转动，从而带着转动轴和吹风扇转动，从而使进风筒内部产生气流，然后气流再经输风管件进入到吹尘罩内部，然后通过气流的冲击力将吹尘罩上部吹风头上的橡胶防护片吹开，然后气流再经输送网带上的网孔吹散至旋转框和夹持机构底部，从而能够使半导体芯片下方得到向上吹风作用，从而提高了对半导体芯片上粉尘的清理效果，而且吹尘机构运作时，无需另配电机单独驱动，从而更加节能。
3.本发明通过固定齿条、驱动齿轮、支撑转轴和旋转框的配合，能够在送料机构送料过程中，由于右侧上部的旋转框前端的驱动齿轮与固定齿条处于啮合状态，从而使驱动齿轮在固定齿条作用下带着支撑转轴和旋转框转动，从而使夹持机构带着半导体芯片在向左直线移动的同时进行旋转运动，从而提高了半导体芯片与气流的接触效果，从而进一步提高了对半导体芯片的除尘效果。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍。
在附图中：
图1是本发明的实施例的第一视角结构示意图；
图2是本发明的实施例的第二视角结构示意图；
图3是本发明的实施例的拆分状态下结构示意图；
图4是本发明的实施例的遮挡罩局部剖视结构示意图；
图5是本发明的实施例的图4中A处局部放大结构示意图；
图6是本发明的实施例的送料机构和吹尘机构结构示意图；
图7是本发明的实施例的吹尘机构结构示意图。
附图标记列表
1、底板；2、半导体切筋设备；3、送料机构；301、输送机机架；302、输送辊；303、输送网带；304、固定齿条；305、驱动电机；306、主动带轮；307、带轮A；308、被动带轮；4、遮挡罩；5、吸尘机构；501、吸尘风机；502、输送管件；503、吸尘罩；6、旋转框；601、驱动齿轮；602、支撑转轴；7、夹持机构；701、夹板；702、夹持螺杆；703、同步链轮；704、同步链条；8、吹尘机构；801、吹尘罩；802、进风筒；803、吹风扇；804、转动轴；805、输风管件；806、带轮B；807、橡胶防护片；9、半导体芯片。
具体实施方式
为了使得本发明的技术方案的目的、方案和优点更加清楚，下文中将结合本发明的具体实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。
实施例1：如图1至图7所示：
本发明提供一种半导体切筋设备的送料机构，包括底板1；底板1上端面右侧安装有半导体切筋设备2，且底板1上端面左侧安装有送料机构3；送料机构3上部安装有遮挡罩4，且遮挡罩4顶部设有吸尘机构5；送料机构3上呈环形阵列状安装有十个旋转框6，且每个旋转框6内侧均设有一个夹持机构7，并且夹持机构7上夹持有半导体芯片9。
送料机构3包括输送机机架301、输送辊302、输送网带303、固定齿条304、驱动电机305、主动带轮306、带轮A307和被动带轮308，输送机机架301固定安装在底板1上端面左侧，且输送机机架301内侧上部呈均匀状转动连接有六根输送辊302，并且六根输送辊302外部传动连接有输送网带303；固定齿条304固定安装在输送机机架301前侧上部；驱动电机305固定安装在输送机机架301右侧后部，且驱动电机305的转轴上固定安装有主动带轮306；右侧一根输送辊302的转轴后端固定安装有带轮A307和被动带轮308，且被动带轮308通过皮带与主动带轮306传动连接。
吸尘机构5包括吸尘风机501、输送管件502和吸尘罩503，吸尘风机501固定安装在遮挡罩4上端面，且吸尘风机501的出风口连接有输送管件502；吸尘罩503固定安装在遮挡罩4内部顶端面，且吸尘罩503的出风口贯穿遮挡罩4上端面，并且吸尘罩503的出风口与吸尘风机501的吸风口连接；通过吸尘机构5的设置，用于将半导体芯片9上的粉尘等杂物进行吸取。
旋转框6前后两端面中部均固定连接有一根支撑转轴602，且两根支撑转轴602分别转动连接在输送网带303外周面前后两侧；前侧一根支撑转轴602的前端固定安装有驱动齿轮601；当旋转框6处在送料机构3上方时，驱动齿轮601与固定齿条304啮合；旋转框6内侧左右两侧面均开设有条形滑槽；通过旋转框6的设置，用于对夹持机构7和半导体芯片9进行支撑。
夹持机构7包括夹板701、夹持螺杆702、同步链轮703和同步链条704，夹板701的数量为两个，且两个夹板701均滑动连接在旋转框6内侧，每个夹板701左右两端均设有一个矩形滑块，且夹板701左右两端的两个矩形滑块分别与旋转框6内侧左右两侧面开设的两个条形滑槽滑动连接；夹持螺杆702的数量为两根，且两根夹持螺杆702分别转动连接在旋转框6左右两侧；每根夹持螺杆702外部均呈前后对称状设有两处反向螺纹，且两处反向螺纹分别与两个夹板701连接；每根夹持螺杆702外部前侧均固定安装有一个同步链轮703，且两个同步链轮703通过同步链条704传动连接；两个夹板701相对面均设有一个防滑垫，且当夹持机构7处于夹持状态时，两个夹板701上的防滑垫相对面与半导体芯片9前后两端紧密接触；通过夹持机构7的设置，用于对半导体芯片9进行定位。
实施例2：在实施例1的基础之上，如图2、图6和图7所示：还包括有吹尘机构8，吹尘机构8设置在输送机机架301内侧，吹尘机构8包括吹尘罩801、进风筒802、吹风扇803、转动轴804、输风管件805、带轮B806和橡胶防护片807，吹尘罩801安装在输送机机架301内侧，且吹尘罩801前端进风口连接有输风管件805，并且输风管件805贯穿输送机机架301后侧壁；输风管件805后端连接有进风筒802，且进风筒802为喇叭状结构，进风筒802内部转动连接有转动轴804，且转动轴804前端安装有吹风扇803，转动轴804后端固定安装有带轮B806，且带轮B806通过皮带与带轮A307传动连接；吹尘罩801上部呈均匀状设有吹风头，且每个吹风头上端面边缘处均呈环形阵列状设有四片橡胶防护片807；四片橡胶防护片807共同组成一个完整圆形片状结构，且当吹尘罩801处于停止吹风状态时，每片橡胶防护片807均处于水平状态，从而使吹尘罩801在处于停止吹风状态时，吹尘罩801上的吹风头处能够得到有效的防护作用，避免灰尘的进入；
通过吹尘机构8与送料机构3的配合，能够在右侧一根输送辊302转动同时，带轮A307通过皮带带着带轮B806转动，从而带着转动轴804和吹风扇803转动，从而能够使半导体芯片9下方得到向上吹风作用，从而提高了对半导体芯片9上粉尘的清理效果，而且吹尘机构8运作时，无需另配电机单独驱动，从而更加节能。
本实施例的具体使用方式与作用：本发明中，半导体芯片9在需要进行切筋工作时，首先将半导体芯片9通过半导体切筋设备2进行切割处理，然后将切割的半导体芯片9夹持固定至右侧上部的夹持机构7上，夹持时，将半导体芯片9放置到两个夹板701之间，然后另一只手转动其中一根夹持螺杆702，使同步链轮703通过同步链条704带着另一个同步链条704同步转动，从而使两根夹持螺杆702同步转动，然后两个夹板701在夹持螺杆702外部两处反向螺纹作用下同时向相对方向移动，从而将半导体芯片9夹持固定住；
然后通过驱动电机305带着主动带轮306逆时针转动，从而使主动带轮306通过皮带带着带轮A307和右侧一根输送辊302逆时针转动，然后通过右侧一根输送辊302带着输送网带303逆时针传动，从而带着右侧上部的旋转框6和夹持机构7向左移动，从而带着半导体芯片9进入到遮挡罩4内部，然后将吸尘风机501启动，从而能够将半导体芯片9表面的粉尘等杂物进行吸取，且在右侧一根输送辊302转动同时，带轮A307通过皮带带着带轮B806转动，从而带着转动轴804和吹风扇803转动，从而使进风筒802内部产生气流，然后气流再经输风管件805进入到吹尘罩801内部，然后通过气流的冲击力将吹尘罩801上部吹风头上的橡胶防护片807吹开，然后气流再经输送网带303上的网孔吹散至旋转框6和夹持机构7底部，从而能够使半导体芯片9下方得到向上吹风作用，从而提高了对半导体芯片9上粉尘的清理效果，而且吹尘机构8运作时，无需另配电机单独驱动，从而更加节能；
当半导体芯片9向左移动至送料机构3上部左端时，可将半导体芯片9取下，最后送往半导体清洗设备进行进一步的清洗工作即可，而由于此时半导体芯片9上的大部分粉尘等杂物被吹吸掉，从而在清洗时更加高效，从而无需再损耗大量清洗液，从而更加节能，并且送料机构3不仅能够进行送料，且还能对半导体芯片9上的粉尘等杂物进行提前去除，而提高了送料机构3的功能性。
由于右侧上部的旋转框6前端的驱动齿轮601与固定齿条304处于啮合状态，从而使驱动齿轮601在固定齿条304作用下带着支撑转轴602和旋转框6转动，从而使夹持机构7带着半导体芯片9在向左直线移动的同时进行旋转运动，从而提高了半导体芯片9与气流的接触效果，从而进一步提高了对半导体芯片9的除尘效果。

Claims (3)

1.一种半导体切筋设备的送料机构，其特征在于，包括底板（1）；所述底板（1）上端面右侧安装有半导体切筋设备（2），且底板（1）上端面左侧安装有送料机构（3）；所述送料机构（3）上部安装有遮挡罩（4），且遮挡罩（4）顶部设有吸尘机构（5）；所述送料机构（3）上呈环形阵列状安装有十个旋转框（6），且每个旋转框（6）内侧均设有一个夹持机构（7），并且夹持机构（7）上夹持有半导体芯片（9）；所述送料机构（3）包括输送机机架（301）、输送辊（302）、输送网带（303）、固定齿条（304）、驱动电机（305）、主动带轮（306）、带轮A（307）和被动带轮（308），所述输送机机架（301）固定安装在底板（1）上端面左侧，且输送机机架（301）内侧上部呈均匀状转动连接有六根输送辊（302），并且六根输送辊（302）外部传动连接有输送网带（303）；所述固定齿条（304）固定安装在输送机机架（301）前侧上部；所述驱动电机（305）固定安装在输送机机架（301）右侧后部，且驱动电机（305）的转轴上固定安装有主动带轮（306）；右侧一根所述输送辊（302）的转轴后端固定安装有带轮A（307）和被动带轮（308），且被动带轮（308）通过皮带与主动带轮（306）传动连接；所述吸尘机构（5）包括吸尘风机（501）、输送管件（502）和吸尘罩（503），所述吸尘风机（501）固定安装在遮挡罩（4）上端面，且吸尘风机（501）的出风口连接有输送管件（502）；所述吸尘罩（503）固定安装在遮挡罩（4）内部顶端面，且吸尘罩（503）的出风口贯穿遮挡罩（4）上端面，并且吸尘罩（503）的出风口与吸尘风机（501）的吸风口连接；所述旋转框（6）前后两端面中部均固定连接有一根支撑转轴（602），且两根支撑转轴（602）分别转动连接在输送网带（303）外周面前后两侧；前侧一根所述支撑转轴（602）的前端固定安装有驱动齿轮（601）；当所述旋转框（6）处在送料机构（3）上方时，驱动齿轮（601）与固定齿条（304）啮合；所述旋转框（6）内侧左右两侧面均开设有条形滑槽；所述夹持机构（7）包括夹板（701）、夹持螺杆（702）、同步链轮（703）和同步链条（704），所述夹板（701）的数量为两个，且两个夹板（701）均滑动连接在旋转框（6）内侧，每个夹板（701）左右两端均设有一个矩形滑块，且夹板（701）左右两端的两个矩形滑块分别与旋转框（6）内侧左右两侧面开设的两个条形滑槽滑动连接；所述夹持螺杆（702）的数量为两根，且两根夹持螺杆（702）分别转动连接在旋转框（6）左右两侧；每根所述夹持螺杆（702）外部均呈前后对称状设有两处反向螺纹，且两处反向螺纹分别与两个夹板（701）连接；每根所述夹持螺杆（702）外部前侧均固定安装有一个同步链轮（703），且两个同步链轮（703）通过同步链条（704）传动连接；两个所述夹板（701）相对面均设有一个防滑垫，且当夹持机构（7）处于夹持状态时，两个夹板（701）上的防滑垫相对面与半导体芯片（9）前后两端紧密接触。
2.如权利要求1所述一种半导体切筋设备的送料机构，其特征在于：还包括有吹尘机构（8），所述吹尘机构（8）设置在输送机机架（301）内侧，所述吹尘机构（8）包括吹尘罩（801）、进风筒（802）、吹风扇（803）、转动轴（804）、输风管件（805）、带轮B（806）和橡胶防护片（807），所述吹尘罩（801）安装在输送机机架（301）内侧，且吹尘罩（801）前端进风口连接有输风管件（805），并且输风管件（805）贯穿输送机机架（301）后侧壁；所述输风管件（805）后端连接有进风筒（802），且进风筒（802）为喇叭状结构，所述进风筒（802）内部转动连接有转动轴（804），且转动轴（804）前端安装有吹风扇（803），所述转动轴（804）后端固定安装有带轮B（806），且带轮B（806）通过皮带与带轮A（307）传动连接；所述吹尘罩（801）上部呈均匀状设有吹风头，且每个吹风头上端面边缘处均呈环形阵列状设有四片橡胶防护片（807）。
3.如权利要求2所述一种半导体切筋设备的送料机构，其特征在于：四片所述橡胶防护片（807）共同组成一个完整圆形片状结构，且当吹尘罩（801）处于停止吹风状态时，每片橡胶防护片（807）均处于水平状态。
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