CN113352152B - 一种基于机械臂的磁流变抛光加工系统 - Google Patents

一种基于机械臂的磁流变抛光加工系统 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种基于机械臂的磁流变抛光加工系统，包括多关节串联的机械臂以及分布于机械臂上的磁流变液循环系统；磁流变液循环系统包括：设于第一关节上的回收泵、设于第二关节上的储液罐和供给泵、设于末端关节上的磁场发生装置、抛光轮、喷嘴、阻尼器以及回收器；还包括连接储液罐与供给泵头的第一供给管、连接供给泵与阻尼器的第二供给管、连接阻尼器与喷嘴的第三供给管，连接回收器与回收泵的第一回收管，连接回收泵与储液罐的第二回收管。将磁流变液循环系统拆分为各个子部件，并结合机械臂与磁流变液循环系统的特点，将磁流变液循环系统的各个子部件采用分布式布局的方式布置在机械臂。

Description

一种基于机械臂的磁流变抛光加工系统
技术领域
本发明涉及磁流变抛光技术领域，更具体地说，涉及一种基于机械臂的磁流变抛光加工系统。
背景技术
磁流变抛光(Magnetorheological Finishing，MRF)是近年来发展起来的一种先进光学制造技术，其具有去除函数稳定、边缘效应可控、下表面破坏层小、无复印效应、修形能力强及加工精度高等诸多优点。因此，磁流变抛光技术在高精度光学加工中，尤其是非球面及自由曲面加工中得到了广泛的关注和应用。
目前国内外的磁流变抛光设备或加工系统的运动载体主要是基于多轴联动的数控加工中心或数控加工机床，由于机床负载能力较大等原因，磁流变液循环系统等部件以高集成度安装到机床上。但是当运动载体更换为机械臂时，机械臂运动与磁流变抛光模块发生机械干涉，影响了机械手的运动速度、加速度及运动精度等，因此磁流变液循环系统的集成模块便不再适用机械臂。
这种不适用主要如下：磁流变液循环系统的集成模块部件的重量较大，安装在机械臂的某一位置时影响机械臂的速度、加速度及运动精度等运行性能，无法进行精确的光学加工。同时，机械臂的运动会与磁流变液循环系统的集成模块发生机械干涉。另外，如果磁流变液循环系统的集成模块随意布局在机械臂上，会导致磁流变液循环系统参数波动较大，无法有效地进行参数监控，进而无法长周期稳定地进行磁流变液循环，即供给、搅拌、参数监控及回收等。
因此，如何解决磁流变模块的布局不适用机械臂的问题，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的是提供一种基于机械臂的磁流变抛光加工系统，通过优化磁流变液循环系统在机械臂上的分布方式，以使磁流变液循环系统适用于多关节串联的机械臂。
为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种基于机械臂的磁流变抛光加工系统，包括多关节串联的机械臂以及分布于所述机械臂上的磁流变液循环系统；
所述机械臂包括：固定在地基上的底座、转动连接于所述底座上的主臂、末端关节以及设于所述主臂与所述末端关节之间的若干个中间关节，所述中间关节包括靠近所述末端关节为第一关节、靠近所述主臂的第二关节；
所述磁流变液循环系统包括：设于所述第一关节上的回收泵、设于所述第二关节上的储液罐和供给泵、设于所述末端关节上的磁场发生装置、抛光轮、喷嘴、阻尼器以及回收器；
还包括连接所述储液罐与所述供给泵头的第一供给管、连接所述供给泵与所述阻尼器的第二供给管、连接所述阻尼器与所述喷嘴的第三供给管，连接所述回收器与所述回收泵的第一回收管，连接所述回收泵与所述储液罐的第二回收管。
优选的，所述喷嘴的喷射方向沿所述抛光轮的切线方向设置。
优选的，所述阻尼器通过支架安装在靠近所述喷嘴的一侧，并使所述阻尼器和所述喷嘴之间形成沿重力方向的上下关系。
优选的，所述第一供给管、第二供给管、第三供给管、第一回收管以及第二回收管通过卡具固定所述机械臂上。
优选的，所述第三供给管安装有粘度传感器与流量传感器。
优选的，所述储液罐内设有搅拌器与温度传感器。
优选的，所述储液罐与所述供给泵设于所述第二关节靠近所述主臂的一侧，且所述储液罐与所述供给泵沿所述第二关节的径向分布于所述第二关节的两侧。
优选的，所述回收泵设于所述第一关节靠近所述抛光轮的一侧。
本发明所提供的基于机械臂的磁流变抛光加工系统，采用分布式的布置方式，即将磁流变液循环系统拆分为各个子部件，并结合机械臂与磁流变液循环系统的特点，将磁流变液循环系统的各个子部件采用分布式布局的方式布置在机械臂，且能够实现磁流变液的有效稳定循环，形成稳定高效的磁流变抛光“磨头”，从而实现了将磁流变液循环系统布置在多关节串联的机械臂上。
因此，本发明通过分布式布局的方式解决了磁流变液循环系统在多关节串联的机械臂上无法适用的问题，在机械臂运动的带动下，磁流变液循环系统能够实现真正意义的六自由度运动，具有运动性能好，速度和加速度大，运动灵活的特点，能够有效提高磁流变加工的效率及精度，可实现对平面、球面及复杂曲面光学元件的高效高精度加工，另外，对于同样加工范围，基于机械臂的磁流变抛光系统的造价远低于基于多轴数控加工机床的设备，而且占地面积小，适合建设生产线进行批量化复杂曲面光学元件的高精度加工。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本发明所提供基于机械臂的磁流变抛光加工系统具体实施例的结构正视示意图；
图2为本发明所提供基于机械臂的磁流变抛光加工系统具体实施例的结构俯视示意图。
其中，1-底座、2-主臂、3-第二关节、4-第一供给管、5-储液罐、6-供给泵、7-第二供给管、8-第二回收管、9-回收泵、10-阻尼器、11-第三供给管、12-喷嘴、13-抛光轮、14-第一关节、15-末端关节、16-第一回收管、17-磁场发生装置、18-被加工工件、19-回收器19。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明的核心是提供一种基于机械臂的磁流变抛光加工系统，通过优化磁流变液循环系统在机械臂上的分布方式，以使磁流变液循环系统适用于多关节串联的机械臂。
请参考图1和图2，图1为本发明所提供基于机械臂的磁流变抛光加工系统具体实施例的结构正视示意图；图2为本发明所提供基于机械臂的磁流变抛光加工系统具体实施例的结构俯视示意图。
本发明所提供的基于机械臂的磁流变抛光加工系统，包括多关节串联的机械臂以及分布于机械臂上的磁流变液循环系统；
机械臂包括：用于固定在地基上的底座1、转动连接于底座1上的主臂2、末端关节15以及设于主臂2与末端关节15之间的若干个中间关节，中间关节包括靠近末端关节15为第一关节14、靠近主臂2的第二关节3；
磁流变液循环系统包括：设于第一关节14上的回收泵9、设于第二关节3上的储液罐5和供给泵6、设于末端关节15上的磁场发生装置17、抛光轮13、喷嘴12、阻尼器10以及回收器19；
还包括连接储液罐5与供给泵6头的第一供给管4、连接供给泵6与阻尼器10的第二供给管7、连接阻尼器10与喷嘴12的第三供给管11，连接回收器19与回收泵9的第一回收管16，连接回收泵9与储液罐5的第二回收管8。
其中，磁流变液循环系统由以下部分组成：喷嘴12、阻尼器10、回收泵9、储液罐5、供给泵6、连接储液罐5与供给泵6头的第一供给管4、连接供给泵6与阻尼器10的第二供给管7、连接阻尼器10与喷嘴12的第三供给管11、连接回收器19与回收泵9的第一回收管16、连接回收泵9与储液罐5的第二回收管8以及回收器19等。
抛光轮13以及磁场发生装置17安装到末端关节15的末端，抛光轮13与被加工元件相对应，应当满足光学加工条件，喷嘴12及回收器19应当安装在靠近抛光轮13的附近区域，且喷嘴12与抛光轮13成一定角度，以便使喷嘴12喷出的磁流变液能够进入抛光轮13的磁场作用区域，有利于磁流变液在磁场中缎带凸起的形成，进而去除函数形状规则，以保证去除的高效率。
阻尼器10安装在抛光轮13附件，阻尼器10用于降低供给泵6产生的脉动效应，使磁流变液的供给更加平稳，从而使从喷嘴12喷出的磁流变液更加均匀，保证抛光的精确性。回收器19用于回收抛光轮13上的磁流变液，回收器19也安装在靠近抛光轮13的附近，以有利于回收抛光轮13上的磁流变液。
回收泵9安装在靠近末端关节15的中间关节上，即回收泵9安装在第一关节14上，具体的，回收泵9可安装在第一关节14靠近抛光轮13的一侧，以使回收泵9尽量靠近回收器19，一方面，能够保证回收泵9与回收器19的距离较近，进而回收动力足、回收效果好，另一方面，将回收泵9设置在第一关节14上可减轻末端关节15的重力负担，又能够保证回收泵9不影响末端关节15的运行，同时，第一回收管16也能够进行正常工作，不发生机械干涉。
储液罐5和供给泵6可通过支架安装在第二关节3上，即储液罐5与供给泵6安装在靠近主臂2的中间关节上，首先，相对于设在末端关节15上的喷嘴12，靠近主臂2的第二关节3的位置更加接近机械臂的底座1，从而，将重量较重的储液罐5及供给泵6布局在此位置对机械臂的运动精度、运动速度及加速度等影响较小；其次，由于储液罐5和供给泵6设在靠近主臂2的第二关节3上，因此，储液罐5与供给泵6总能处于重力方向上相对较高的位置，如此，有利于磁流变液的供给及磁流变液在第二供给管7中的流动。
本发明所提供的基于机械臂的磁流变抛光加工系统中磁流变液的循环过程如下：磁流变液存储在储液罐5中，供给泵6提供动力通过第一供给管4将磁流变液从储液罐5中吸出，并提供动力通过第二供给管7将磁流变液输送到阻尼器10中，磁流变液经过阻尼器10的缓冲，再经过第三供给管11进入喷嘴12。
喷嘴12将磁流变液喷出，以一定的角度喷射到抛光轮13表面，同时，磁流变液受到磁场发生装置17的磁场作用，被转动的抛光轮13带入有效磁场作用区域，形成有一定硬度的缎带凸起，这一“缎带凸起”相当于一个磨头与被加工工件18表面接触，实现材料去除。
随着抛光轮13的转动，磁流变液离开有效磁场作用区域，又再次变为无硬度的液体，并被抛光轮13带到回收器19中，回收器19中的磁流变液被回收泵9通过回收管吸入，然后通过回收管再次输送到储液罐5中，重复上述过程,形成磁流变液完整的循环。
综上所述，本发明所提供的基于机械臂的磁流变抛光加工系统，采用分布式的布置方式，即将磁流变液循环系统拆分为各个子部件，并结合机械臂与磁流变液循环系统的特点，将磁流变液循环系统的各个子部件采用分布式布局的方式布置在机械臂，且能够实现磁流变液的有效稳定循环，形成稳定高效的磁流变抛光“磨头”，从而实现了将磁流变液循环系统布置在多关节串联的机械臂上。
因此，本发明通过分布式布局的方式解决了磁流变液循环系统在多关节串联的机械臂上无法适用的问题，在机械臂运动的带动下，磁流变液循环系统能够实现真正意义的六自由度运动，具有运动性能好，速度和加速度大，运动灵活的特点，能够有效提高磁流变加工的效率及精度，可实现对平面、球面及复杂曲面光学元件的高效高精度加工，另外，对于同样加工范围，基于机械臂的磁流变抛光系统的造价远低于基于多轴数控加工机床的设备，而且占地面积小，适合建设生产线进行批量化复杂曲面光学元件的高精度加工。
在上述实施例的基础之上，考虑到喷嘴12的具体布置方式，作为一种优选，喷嘴12沿抛光轮13的切线方向设置。即本实施例中，通过优化喷嘴12的布置方式，将喷嘴12的喷射磁流变液的防线沿抛光轮13的切向方向布置，从而提高喷嘴12向抛光轮13喷射磁流变液的高效性。
在上述实施例的基础之上，考虑到阻尼器10的具体设置方式，作为一种优选，阻尼器10通过支架安装在靠近喷嘴12的一侧，并使阻尼器10和喷嘴12之间形成重力上的上下关系。即本实施例中，阻尼器10和喷嘴12之间形成重力上的上下关系，如此，有利于阻尼器10降低供给泵6产生的脉动效应，从而使磁流变液的供给更加平稳。
在上述实施例的基础之上，第一供给管4、第二供给管7、第三供给管11、第一回收管16以及第二回收管8的固定方式，作为一种优选，第一供给管4、第二供给管7、第三供给管11、第一回收管16以及第二回收管8通过卡具固定机械臂上。即本实施例中，第一供给管4、第二供给管7、第三供给管11、第一回收管16以及第二回收管8通过卡具固定在机械臂上，以避免机械臂在运动的过程，各个管道之间产生缠绕。
需要指出的是，第一供给管4、第二供给管7、第三供给管11、第一回收管16以及第二回收管8的长度应该设置应当设置的长一些，以防止在机械臂运动的过程中，管道产生弯折而影响磁流变液在管道中的流动。
在上述实施例的基础之上，为便于对磁流变液输送的实时检测，作为一种优选，第三供给管11安装有粘度传感器与流量传感器。以便于检测从喷嘴12喷出的磁流变液的粘度与流量是否满足加工需求，从而便于在出现问题时及时调整，另外，还可在储液罐5内设有搅拌器与温度传感器，以利用搅拌器持续搅拌储液罐5内的磁流变液，保证磁流变液的均匀性，利用温度传感器实时检测储液罐5内的磁流变液的温度，以保证磁流变液的粘度满足要求。
在上述任意实施例的基础之上，为进一步降低储液罐5与供给泵6对机械臂运动的影响，作为一种优选，储液罐5与供给泵6设于第二关节3靠近主臂2的一侧，且储液罐5与供给泵6沿第二关节3的径向分布于第二关节3的两侧。即本实施中，将重量较重的储液罐5与供给泵6进一步设置在第二关节3靠近主臂2的一侧，且储液罐5与供给泵6沿第二关节3的径向分布于第二关节3的两侧，从而使储液罐5与供给泵6进一步靠近底座1，进一步降低对机械臂运动的影响。
在上述实施例的基础之上，为进一步降低对机械臂运动影响，作为一种优选，回收泵9可安装在第一关节14靠近抛光轮13的一侧，以使回收泵9尽量靠近回收器19，一方面，能够保证回收泵9与回收器19的距离较近，进一步保证回收动力足、回收效果好，又能够保证回收泵9不影响末端关节15的运行，同时，第一回收管16也能够进行正常工作，不发生机械干涉。
以上对本发明所提供的基于机械臂的磁流变抛光加工系统进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。

Claims (7)

1.一种基于机械臂的磁流变抛光加工系统，其特征在于，包括多关节串联的机械臂以及分布于所述机械臂上的磁流变液循环系统；
所述机械臂包括：用于固定在地基上的底座(1)、转动连接于所述底座(1)上的主臂(2)、末端关节(15)以及设于所述主臂(2)与所述末端关节(15)之间的若干个中间关节，所述中间关节包括靠近所述末端关节(15)为第一关节(14)和靠近所述主臂(2)的第二关节(3)；
所述磁流变液循环系统包括：设于所述第一关节(14)上的回收泵(9)、设于所述第二关节(3)上的储液罐(5)和供给泵(6)、设于所述末端关节(15)上的磁场发生装置(17)、抛光轮(13)、喷嘴(12)、阻尼器(10)以及回收器(19)；
还包括连接所述储液罐(5)与所述供给泵(6)头的第一供给管(4)、连接所述供给泵(6)与所述阻尼器(10)的第二供给管(7)、连接所述阻尼器(10)与所述喷嘴(12)的第三供给管(11)，连接所述回收器(19)与所述回收泵(9)的第一回收管(16)，连接所述回收泵(9)与所述储液罐(5)的第二回收管(8)；
所述储液罐(5)与所述供给泵(6)设于所述第二关节(3)靠近所述主臂(2)的一侧，且所述储液罐(5)与所述供给泵(6)沿所述第二关节(3)的径向分布于所述第二关节(3)的两侧。
2.根据权利要求1所述的基于机械臂的磁流变抛光加工系统，其特征在于，所述喷嘴(12)的喷射方向沿所述抛光轮(13)的切线方向设置。
3.根据权利要求2所述的基于机械臂的磁流变抛光加工系统，其特征在于，所述阻尼器(10)通过支架安装在靠近所述喷嘴(12)的一侧，并使所述阻尼器(10)和所述喷嘴(12)之间形成沿重力方向的上下关系。
4.根据权利要求1所述的基于机械臂的磁流变抛光加工系统，其特征在于，所述第一供给管(4)、第二供给管(7)、第三供给管(11)、第一回收管(16)以及第二回收管(8)通过卡具固定所述机械臂上。
5.根据权利要求4所述的基于机械臂的磁流变抛光加工系统，其特征在于，所述第三供给管(11)安装有粘度传感器与流量传感器。
6.根据权利要求5所述的基于机械臂的磁流变抛光加工系统，其特征在于，所述储液罐(5)内设有搅拌器与温度传感器。
7.根据权利要求1至6任一项所述的基于机械臂的磁流变抛光加工系统，其特征在于，所述回收泵(9)设于所述第一关节(14)靠近所述抛光轮(13)的一侧。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114523408B (zh) * 2022-03-10 2022-12-27 浙江师范大学 一种基于纺锤式抛光头的机器人抛光装置及方法
CN115042022B (zh) * 2022-07-05 2023-08-18 湖南锐健科技有限公司 基于超声空化液态镓浸润增补的机械手视觉透镜磨削装置
CN115106850B (zh) * 2022-08-24 2022-12-06 湖南工匠实创智能机器有限责任公司 磁性液体抛光装置及其公转模块的清洗方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102501146A (zh) * 2011-12-30 2012-06-20 清华大学 一种在公自转磁流变抛光中实现回转供液与回收的装置
CN102689246A (zh) * 2012-05-24 2012-09-26 东华大学 大尺度超精密光学玻璃可控式混合磨料射流抛光装备
CN105666287A (zh) * 2016-02-23 2016-06-15 武汉大学 一种基于cmp的机器人磨抛系统
CN207387243U (zh) * 2017-11-03 2018-05-22 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种磁流变抛光加工系统
CN110125734A (zh) * 2019-06-11 2019-08-16 广东工业大学 一种机械臂辅助电解质等离子抛光装置及抛光方法
CN110625629A (zh) * 2019-10-29 2019-12-31 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种大口径光学复杂曲面的立式加工检测集成方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030060020A1 (en) * 2000-10-12 2003-03-27 Silicon Evolution, Inc. Method and apparatus for finishing substrates for wafer to wafer bonding
US6506102B2 (en) * 2001-02-01 2003-01-14 William Kordonski System for magnetorheological finishing of substrates
US7557566B2 (en) * 2007-03-02 2009-07-07 Qed Technologies International, Inc. Method and apparatus for measurement of magnetic permeability of a material
CN103302557B (zh) * 2013-07-10 2015-05-27 厦门大学 一种可持续进动的磁流变抛光装置
CN103302556B (zh) * 2013-07-10 2016-03-02 厦门大学 一种凹形曲面抛光工具
KR101763489B1 (ko) * 2015-12-04 2017-08-04 인하대학교 산학협력단 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치 및 이를 이용하는 글래스 연마 설비
CN107009274B (zh) * 2017-05-12 2023-07-07 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种重力驱动传送磁流变抛光液的循环装置
CN109746769A (zh) * 2017-11-03 2019-05-14 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种磁流变抛光加工系统
CN109746814A (zh) * 2017-11-03 2019-05-14 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种磁流变抛光加工系统
CN109759905A (zh) * 2017-11-03 2019-05-17 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种磁流变抛光加工系统

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102501146A (zh) * 2011-12-30 2012-06-20 清华大学 一种在公自转磁流变抛光中实现回转供液与回收的装置
CN102689246A (zh) * 2012-05-24 2012-09-26 东华大学 大尺度超精密光学玻璃可控式混合磨料射流抛光装备
CN105666287A (zh) * 2016-02-23 2016-06-15 武汉大学 一种基于cmp的机器人磨抛系统
CN207387243U (zh) * 2017-11-03 2018-05-22 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种磁流变抛光加工系统
CN110125734A (zh) * 2019-06-11 2019-08-16 广东工业大学 一种机械臂辅助电解质等离子抛光装置及抛光方法
CN110625629A (zh) * 2019-10-29 2019-12-31 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种大口径光学复杂曲面的立式加工检测集成方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
国际磨粒技术研究进展趋势;华侨大学制造工程研究院;《中国超硬材料》;20180131;第82-85页 *
磁流变抛光系统去除函数的原点位置标定;郑立功;《光学精密工程》;20170115;第8-14页 *

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