KR101763489B1 - 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치 및 이를 이용하는 글래스 연마 설비 - Google Patents

자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치 및 이를 이용하는 글래스 연마 설비 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 자기 유변 유체와 연마 슬러리를 공급하고, 상기 자기 유변 유체에 대하여 자기장을 인가하며 작업 대상물에 대한 연마 작업을 수행하는 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치로서, 상기 작업 대상물에 대한 연마 작업을 수행하는 연마 헤드; 상기 연마 헤드의 둘레를 따라 자기 유변 유체를 공급하는 자기 유변 유체 공급부; 상기 연마 헤드의 둘레를 따라 연마 슬러리를 공급하는 연마 슬러리 공급부; 상기 연마 헤드의 양측에 접하며 상기 연마 헤드로 공급된 상기 자기 유변 유체에 대하여 자기장의 인가 정도를 일정 간격으로 달리하여 인가하는 자기장 공급부; 및 상기 연마 헤드로 상기 작업 대상물을 이동시키거나 작업 완료된 상기 작업 대상물을 복귀시키는 로더; 를 포함하는 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치 및 글래스 연마 장치를 이용하는 글래스 연마 설비를 제공한다.
본 발명은, 자기 유변 유체가 공급된 연마 헤드의 둘레를 따라 일정 간격으로 자기장의 인가정도를 달리하여 연마 헤드의 둘레의 자기 유변 유체층의 높이가 위치에 따라 달라지도록 하여, 이에 따라 연마 헤드와 작업 대상물 사이에서 연마 슬러리가 적체되는 것을 방지할 수 있다.

Description

자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치 및 이를 이용하는 글래스 연마 설비{Glass grinding apparatus by using magneto-rheological fluids and Glass grinding system using the same}
본 발명은 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치 및 이를 이용하는 글래스 연마 설비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 연마 헤드의 둘레로 공급된 자기 유변 유체에 대하여 연마 헤드의 위치에 따라 자기장 인가 정도를 달리하여 작업 대상물과 연마 헤드 사이에 연마 슬러리의 적체가 방지될 수 있도록 하는 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치 및 이를 이용하는 글래스 연마 설비에 관한 것이다.
최근 디스플레이에서 보호용으로 사용되고 있는 커버글라스와 LCD 패널 및 디스플레이 영역 상부에 장착되어 입력장치로 활용되는 터치스크린 패널의 기능을 동시에 수행할 수 있는 일체형 터치 패널의 수요도 증가하고 있다.
일체형 터치 패널은 패널의 완성 후, 사용되는 디스플레이의 크기에 맞게 절단 및 연삭 공정을 수행하여 완성된다.
현재, 패널의 연삭 공정에 주로 사용되는 공정 방법은 연삭 숫돌(grinding wheel)을 이용한 연삭 공정이지만, 이는 글라스 표면 및 엣지 부위에 크랙(crack) 및 칩(chip)이 발생하며, 기계적인 마찰에 의한 미세 입자가 발생하는 문제점이 있다.
상기한 문제점을 해결하기 위하여 자기 유변 유체(Magneto-rheological fluids; MR fluid, 이하 MR유체라 한다)를 이용한 연마시스템에 의하여 터치 패널에 대한 연삭 공정을 수행하는 기술이 개시되었다.
자기 유변 유체 연마시스템은, 전자기적으로 유체의 농도를 조절함으로써 응력과 전단력을 변화시켜 연마 가공력을 제어하며, 공구와 공작물의 접촉을 배제시킴으로써 고품위 연마공정을 구현할 수 있다. 자기 유변 유체 연마시스템의 일 예가 대한민국 등록특허 0793409호에 개시되어 있다.
상기한 기술은 살펴보면, 원판 형상으로서 휠부재의 둘레 상으로 자기 유변 유체와 연마 슬러리를 공급하고, 소정의 자기장을 자기 유변 유체와 연마 슬러리에 인가하여 일정한 두께와 점도를 갖는 소정의 연마층이 형성되도록 한 후, 작업 대상물을 휠부재의 둘레에 형성된 연마층에 접촉시켜 연마가 수행되도록 한다.
상기와 같은 연마 장치는 휠부재와 작업 대상물이 일정 거리만큼 근접한 상태에서 연마가 진행된다. 이때 공급되는 연마 슬러리의 크기가 일정 이상인 경우, 연마 작업의 진행 시 공급된 연마 슬러리가 배출되지 못하고, 휠부재와 작업 대상물의 사이에 적체되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 연마 헤드 둘레의 자기 유변 유체층의 높이가 가변되도록 연마 헤드의 둘레를 따라 일정 간격으로 자기장의 인가정도를 달리하여 자기 유변 유체층의 높이가 위치에 따라 달라지도록 하여 연마 헤드와 작업 대상물 사이에 연마 슬러리가 적체되는 것을 방지할 수 있는 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치 및 이를 이용하는 글래스 연마 설비를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 자기 유변 유체와 연마 슬러리를 공급하고, 상기 자기 유변 유체에 대하여 자기장을 인가하며 작업 대상물에 대한 연마 작업을 수행하는 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치로서, 상기 작업 대상물에 대한 연마 작업을 수행하는 연마 헤드; 상기 연마 헤드의 둘레를 따라 자기 유변 유체를 공급하는 자기 유변 유체 공급부; 상기 연마 헤드의 둘레를 따라 연마 슬러리를 공급하는 연마 슬러리 공급부; 상기 연마 헤드의 양측에 접하며 상기 연마 헤드로 공급된 상기 자기 유변 유체에 대하여 자기장의 인가 정도를 일정 간격으로 달리하여 인가하는 자기장 공급부; 및 상기 연마 헤드로 상기 작업 대상물을 로딩시키고, 작업 완료된 상기 작업 대상물을 언로딩시키는 로더; 를 포함하는 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치를 제공한다.
상기 자기장 공급부는, 상기 연마 헤드의 양측에서 단부가 상기 연마 헤드의 양측에 각각 접하고 타단은 서로 연결되는 자기 코어 암과, 상기 자기 코어 암의 단부에 외주를 따라 일정 간격으로 돌출되어 상기 연마 헤드로 자기장을 인가하는 단위 전극과, 상기 단위 전극을 통해 인가되는 자기장을 발생시키는 자기 코일을 포함할 수 있다.
상기 자기 코어 암의 중심축은 상기 연마 헤드의 중심축과 일치할 수 있다.
상기 자기 코어 암의 중심축 상으로는 상기 연마 헤드의 중심축으로 연결되는 모터의 구동축이 지나는 관통홀이 형성될 수 있다.
상기 단위 전극의 돌출 방향은 상기 자기 코어 암과 평행할 수 있다.
상기 자기 유변 유체 공급부는, 상기 자기 유변 유체를 상기 연마홈의 내측으로 공급하는 자기 유변 유체 공급 노즐과, 상기 자기 유변 유체 공급 노즐보다 낮게 배치되고 상기 연마홈 내측에서 글래스 연마에 사용된 상기 자기 유변 유체를 회수하는 자기 유변 유체 회수 노즐과, 상기 자기 유변 유체 회수 노즐을 통해 회수된 상기 자기 유변 유체를 상기 자기 유변 유체 공급 노즐로 순환시키는 자기 유변 유체 순환 펌프를 포함할 수 있다.
상기 연마 슬러리 공급부는, 상기 연마 슬러리를 상기 연마홈의 내측으로 공급하는 연마 슬러리 공급 노즐과, 상기 연마 슬러리 공급 노즐보다 낮게 배치되고 상기 연마홈 내측의 상기 연마 슬러리를 회수하는 연마 슬러리 회수기와, 상기 연마 슬러리 회수기로 회수된 상기 연마 슬러리를 상기 연마 슬러리 공급 노즐로 순환시키는 연마 슬러리 순환 펌프를 포함할 수 있다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 연마 헤드의 둘레로 자기 유변 유체와 연마 슬러리를 공급하고, 상기 자기 유변 유체에 대하여 자기장을 인가하며 상기 연마 대상물에 대하여 연마 작업을 수행하는 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 설비로서, 상기 연마 헤드에 일정 간격으로 자기장의 인가 정도를 달리하며 연마를 진행하는 연마부; 상기 연마부에 의해 연마되는 상기 연마 대상물의 연마면을 세척하는 세척부; 상기 연마 대상물의 연마면의 형상과 표면 연마 정도를 검사하는 검사부; 및 상기 자기 유변 유체에 잔류하는 자기장을 제거하는 탈자부; 를 포함하는 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 설비를 제공한다.
상기와 같은 본 발명은, 자기 유변 유체가 공급된 연마 헤드의 둘레를 따라 일정 간격으로 자기장의 인가정도를 달리하여 연마 헤드 둘레의 자기 유변 유체층의 높이가 위치에 따라 달라지도록 하여, 연마 헤드와 작업 대상물의 사이에서 연마 슬러리가 적체되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 자기장 공급부와 연마 헤드의 구성을 보다 상세히 나타내는 분해 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 연마 헤드의 둘레를 따라 형성되는 자기 유변 유체와 연마 슬러리의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 설비의 구성을 나타내는 블록도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치(100)는 연마 헤드(110), 자기 유변 유체 공급부(120), 연마 슬러리 공급부(130), 자기장 공급부(140) 및 로더(150)를 포함한다.
연마 헤드(110)는 본 실시예에서 소정의 직경을 갖는 원판 형상으로서, 외부에서 인가되는 동력을 전달받아 소정의 속도로 회전하며, 작업 대상물인 글래스에 대한 연마 작업을 수행한다.
연마 헤드(110)는 작업 대상물인 글래스의 형태, 글래스의 가공 부위(에지와 평면을 포함함) 및 글래스의 가공 형태(비구면 가공, 구면 가공을 포함함)에 따라 다양한 형태로 이루어질 수 있다. 또한, 연마 헤드(110)는 필요에 따라 교체될 수 있다.
본 실시예에서 연마 헤드(110)는 소정의 직경을 갖는 휠(Wheel) 형태인 것으로 상정하여 설명하기로 한다.
연마 헤드(110)의 둘레로는 후술하는 자기 유변 유체 공급부(120)와 연마 슬러리 공급부(130)에 의해 자기 유변 유체와 연마 슬러리가 공급된다.
연마 헤드(110)의 둘레는 사용자의 필요에 따라 볼록 또는 오목 또는 평면 형태의 단면 구조로 이루어질 수 있다.
연마 헤드(110)의 중심축은 모터(M)의 구동축과 연결되어, 소정의 속도로 회전할 수 있다.
로더(150)는 작업 대상물(1)인 글래스를 연마 헤드(110)로 로딩(Loading)시켜 연마가 진행될 수 있도록 하고, 연마가 완료된 후에는 연마 헤드(110)에서 작업 대상물(1)을 언로딩(Unloading)시켜 회수할 수 있도록 한다.
본 실시예에서, 로더(150)는 콘베이어(Conveyor)를 포함하지만, 작업 대상물(1)의 이동 및 회수가 이루어진다면 이외에도 다양한 기구들이 사용될 수 있다.
자기 유변 유체 공급부(120)는 연마 헤드(110)의 둘레로 자기 유변 유체를 공급하고, 연마 작업 후에는 이를 회수한다.
자기 유변 유체는 일반적으로 기름이나 물과 같은 비자성 유체에 철(Iron)과 같은 자기장에 민감한 미세크기의 자성물질이 혼합되어 있는 유체이며, 자기 유변 유체에 포함된 자성물질의 직경은 수 마이크로미터 정도이고, 30 내지 40 퍼센트의 부피 비율로 포함되어 있다. 이러한 자기 유변 유체에 자기장이 부가되면 유동특성이 실시간으로 제어되고, 적절한 자기장이 형성되면 뉴톤 유체(Newtonian fluid) 상태로부터 강한 반고체 상태로 급속하게 변하게 되어 점성과 항복응력이 수 배 정도 상승하게 된다.
자기 유변 유체 공급부(120)는 자기 유변 유체 공급 노즐(122), 자기 유변 유체 회수 용기(124) 및 자기 유변 유체 순환 펌프(P1)를 포함한다.
자기 유변 유체 공급 노즐(122)은 연마 헤드(110)의 표면으로 자기 유변 유체를 공급한다. 자기 유변 유체 공급 노즐(122)의 유체 공급 위치는 사용자의 필요에 따라 다양하게 설정될 수 있다.
자기 유변 유체 회수 용기(124)는 연마 헤드(110)의 표면에서 연마에 사용된 자기 유변 유체를 회수한다. 자기 유변 유체 회수 용기(124)는 소정의 크기를 갖는 용기로서, 연마 헤드(110)의 하부에 위치된다.
자기 유변 유체 순환 펌프(P1)는 자기 유변 유체 회수 용기(124)로 회수된 자기 유변 유체를 순환시켜 자기 유변 유체 공급 노즐(122)을 통해 연마 헤드(110)로 다시 공급될 수 있도록 한다.
연마 슬러리 공급부(130)는 연마 헤드(110) 표면으로 연마 슬러리를 공급하고, 연마에 사용된 연마 슬러리는 회수한다.
연마 슬러리는 일반적으로 연마 장치에 사용되는 연마 입자를 포함하고 있으며, 연마 입자는, 미세연마공정에서 재료제거율 및 연마성능을 향상시키기 위해 세륨 옥사이드(Cerium oxide), 다이아몬드분말(Diamond powder), Al2O3 입자 같은 비자성 연마제를 포함할 수 있다.
연마 슬러리 공급부(130)는 연마 슬러리 공급 노즐(132), 연마 슬러리 회수 용기(134) 및 연마 슬러리 순환 펌프(P2)를 포함한다.
연마 슬러리 공급 노즐(132)은 연마 헤드(110) 표면으로 연마 슬러리를 공급한다. 이때, 연마 슬러리 공급 노즐(132)은 연마 헤드(110) 보다 높은 위치에 배치되는 것이 바람직하다.
연마 슬러리 회수 용기(134)는 소정의 용량을 갖는 용기로서, 연마 헤드(110) 하부에 배치된다. 연마 슬러리 회수 용기(134)는 연마에 사용된 후, 연마 헤드(110)에서 이탈되는 연마 슬러리를 수집하여 회수한다.
연마 슬러리 순환 펌프(P2)는 연마 슬러리 회수 용기(134)를 통해 회수된 연마 슬러리를 연마 슬러리 공급 노즐(132)로 순환시켜 연마 헤드(110)로 다시 공급될 수 있도록 한다.
자기장 공급부(140)는 연마 헤드(110) 표면에 공급된 자기 유변 유체에 대하여 자기장을 인가한다. 자기장 공급부(140)는 연마 헤드(110)에 대하여 자기장을 인가하되, 일정한 간격으로 자기장의 인가 정도를 달리하여 인가한다.
도 2는 도 1에 도시된 자기장 공급부와 연마 헤드의 구성을 보다 상세히 나타내는 분해 사시도이다.
도 2를 참조하면, 자기장 공급부(140)는 자기 코어 암(142), 단위 전극(144), 자기 코일(146)을 포함한다.
자기 코어 암(142)은 소정의 직경과 길이를 갖는 원통 형상으로서, 연마 헤드(110)의 양측으로 각각 배치된다. 자기 코어 암(142)의 일단은 연마 헤드(110)의 양측에서 연마 헤드(110)에 밀접하고, 타단은 서로 연결된다.
여기서, 자기 코어 암(142)은 연마 헤드(110)의 중심축 상에 배치된다.
한편, 자기 코어 암(142)의 중심축상으로는 연마 헤드(110)의 중심축으로 연결되는 모터(M)의 구동축이 지나는 관통홀(143)이 형성될 수 있다.
단위 전극(144)은 자기 코어 암(142)의 단부의 원주면을 따라 복수개가 소정의 간격으로 돌출되어, 연마 헤드(110)의 측면에 접한다. 여기서, 단위 전극(144)의 돌출 방향은 자기 코어 암(142)의 중심축과 평행하다. 단위 전극(144)은 후술하는 자기 코일(146)에서 발생되는 자기장을 연마 헤드(110)로 인가한다.
단위 전극(144)은 소정의 폭과 높이를 갖는 사각형 형태로서, 본 실시예에서는 6개가 돌출된다. 단위 전극(144)의 높이는 모두 동일하다. 단위 전극(144)의 형태와 돌출 높이, 돌출 간격 및 돌출 개수는 사용자의 필요에 따라 다양하게 설정될 수 있다.
자기 코일(146)은 단위 전극(144)을 통해 인가되는 자기장을 발생시킨다. 자기 코일(146)은 자기 코어 암(142)의 중간부에 배치된다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 사용에 대해 살펴보기로 한다.
연마 작업이 시작되면, 로더(150)는 작업 대상물(1)인 글래스를 연마 헤드(110)로 이동시킨다.
자기 유변 유체 공급부(120)와 연마 슬러리 공급부(130)는 자기 유변 유체(2)와 연마 슬러리(3)를 연마 헤드(110)의 둘레로 각각 공급하고, 자기장 공급부(140)는 단위 전극(144)을 통해 연마 헤드(110)의 둘레로 공급된 자기 유변 유체(2)에 대하여 자기장을 인가한다.
도 3은 자기 유변 유체와 연마 슬러리를 공급받은 연마 헤드를 나타내는 도면이다. 도 3에서, 단위 전극(144)은 단위 전극(144)의 단부가 연마 헤드(110)에 접하는 부위만으로 도시하였다.
도 3을 참조하여 설명하기로 한다.
연마 헤드(110)의 중심에서 단위 전극(144)의 이격 공간을 지나는 선상으로 공급된 자기 유변 유체로 인가되는 자기장은 연마 헤드(110)의 중심에서 단위 전극(144)을 지나는 선상으로 공급된 자기 유변 유체로 인가되는 자기장보다 적어, 자기 유변 유체의 점도가 다르게 형성된다. 즉, 연마 헤드(110)의 중심에서 단위 전극(144)의 이격 공간을 지나는 선상의 자기 유변 유체의 점도는 단위 전극(144)을 지나는 선상의 자기 유변 유체보다 점도가 낮게 형성된다.
연마 헤드(110)는 소정의 속도로 회전하므로, 점도가 낮은 부분은 점도가 높은 부분보다 높게 돌출될 수 있다.
따라서, 자기 유변 유체에서 높이가 높은 부분은 작업 대상물(1)에 닿아 연마가 이루어지고, 높이가 낮은 부분을 통해서는 연마 슬러리가 배출될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 설비의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 설비(1000)는 연마부(100), 세척부(200), 검사부(300), 탈자부(400)를 포함한다.
연마부(100)는 연마 헤드(110)에 자기 유변 유체와 연마 슬러리를 공급하고, 동시에 자기장을 인가하며 작업 대상물이 글래스에 대하여 소정의 연마 작업을 진행한다. 이때, 연마 헤드(110)에 인가되는 자기장은 일정한 간격으로 그 인가 정도를 달리한다.
연마부(100)는 도 1에 도시된 연마 장치와 동일한 구성이므로, 구성과 동작에 대한 상세한 설명은 생략한다.
세척부(200)는 연마부(100)에서 연마가 진행된 작업 대상물(1)에 대한 세척을 수행한다.
검사부(300)는 연마 작업이 수행된 작업 대상물(1)의 연마면의 형상과 연마 정도를 검사하여, 연마 예정인 형상과 연마 정도를 이루어냈는지 검사하고 이에 대한 판정 신호를 출력한다.
탈자부(400)는 작업 대상물(1) 상에 잔류할 수 있는 자기장을 제거한다.
본 발명은, 자기 유변 유체가 공급된 연마 헤드의 둘레를 따라 일정 간격으로 자기장의 인가정도를 달리하여 연마 헤드의 둘레의 자기 유변 유체층의 높이가 위치에 따라 달라지도록 하여, 이에 따라 연마 헤드와 작업 대상물 사이에서 연마 슬러리가 적체되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100: 글래스 연마 장치(연마부를 포함함)
110: 연마 헤드 120: 자기 유변 유체 공급부
130: 연마 슬러리 공급부 140: 자기장 공급부
150: 로더
1000: 글래스 연마 설비 200: 세척부
300: 검사부 400: 탈자부

Claims (8)

  1. 자기 유변 유체와 연마 슬러리를 공급하고, 상기 자기 유변 유체에 대하여 자기장을 인가하며 작업 대상물에 대한 연마 작업을 수행하는 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치로서,
    상기 작업 대상물에 대한 연마 작업을 수행하는 연마 헤드와,
    상기 연마 헤드의 둘레를 따라 자기 유변 유체를 공급하는 자기 유변 유체 공급부와,
    상기 연마 헤드의 둘레를 따라 연마 슬러리를 공급하는 연마 슬러리 공급부;
    중심축이 상기 연마 헤드의 중심축과 일치하는 원통 형상으로서, 상기 연마 헤드의 양측에서 단부가 상기 연마 헤드의 양측에 각각 접하고 타단은 서로 연결되는 자기 코어 암과, 상기 자기 코어 암의 단부에 외주를 따라 일정 간격으로 돌출되고 상기 연마 헤드의 측면에 접하여 상기 연마 헤드로 자기장을 인가하는 단위 전극과, 상기 단위 전극을 통해 인가되는 자기장을 발생시키는 자기 코일을 포함하고, 상기 연마 헤드의 양측에 접하며 상기 연마 헤드로 공급된 상기 자기 유변 유체에 대하여 자기장의 인가 정도를 일정 간격으로 달리하여 인가하는 자기장 공급부; 및
    상기 연마 헤드로 상기 작업 대상물을 로딩시키고, 작업 완료된 상기 작업 대상물을 언로딩시키는 로더;
    를 포함하는 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 자기 코어 암의 중심축 상으로는 상기 연마 헤드의 중심축으로 연결되는 모터의 구동축이 지나는 관통홀이 형성되는 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 단위 전극의 돌출 방향은 상기 자기 코어 암과 평행한 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 자기 유변 유체 공급부는,
    상기 자기 유변 유체를 상기 연마헤드로 공급하는 자기 유변 유체 공급 노즐과,
    상기 자기 유변 유체 공급 노즐보다 낮게 배치되고 상기 연마헤드에서 글래스 연마에 사용된 상기 자기 유변 유체를 회수하는 자기 유변 유체 회수 노즐과,
    상기 자기 유변 유체 회수 노즐을 통해 회수된 상기 자기 유변 유체를 상기 자기 유변 유체 공급 노즐로 순환시키는 자기 유변 유체 순환 펌프를 포함하는 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 연마 슬러리 공급부는,
    상기 연마 슬러리를 상기 연마헤드로 공급하는 연마 슬러리 공급 노즐과,
    상기 연마 슬러리 공급 노즐보다 낮게 배치되고 상기 연마헤드의 상기 연마 슬러리를 회수하는 연마 슬러리 회수기와,
    상기 연마 슬러리 회수기로 회수된 상기 연마 슬러리를 상기 연마 슬러리 공급 노즐로 순환시키는 연마 슬러리 순환 펌프를 포함하는 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 장치.
  8. 연마 헤드의 둘레로 자기 유변 유체와 연마 슬러리를 공급하고, 상기 자기 유변 유체에 대하여 자기장을 인가하며 연마 대상물에 대하여 연마 작업을 수행하는 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 설비로서,
    원통 형상으로서, 상기 연마 헤드의 양측에서 단부가 상기 연마 헤드의 양측에 각각 접하고 타단은 서로 연결되는 자기 코어 암과, 상기 자기 코어 암의 단부에 외주를 따라 일정 간격으로 돌출되고 상기 연마 헤드의 측면에 접하여 상기 연마 헤드로 자기장을 인가하는 단위 전극과, 상기 단위 전극을 통해 인가되는 자기장을 발생시키는 자기 코일을 포함하고, 상기 연마 헤드에 일정 간격으로 자기장의 인가 정도를 달리하며 연마를 진행하는 연마부;
    상기 연마부에 의해 연마되는 상기 연마 대상물의 연마면을 세척하는 세척부;
    상기 연마 대상물의 연마면의 형상과 표면 연마 정도를 검사하는 검사부; 및
    상기 자기 유변 유체에 잔류하는 자기장을 제거하는 탈자부; 를 포함하는 자기 유변 유체를 이용한 글래스 연마 설비.
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