CN113308746A - 一种单晶炉用自动上料车 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种单晶炉用自动上料车，包括：行走小车；机械手，所述机械手安装于所述行走小车上；坩埚吸盘单元，所述坩埚吸盘单元安装于所述机械手前端；视频采集单元，所述视频采集单元安装于所述行走小车上，所述视频采集单元用于采集行走小车行走方向前端的视频信息；真空泵，所述真空泵安装于所述行走小车上，所述真空泵通过网纹管与坩埚吸盘单元连接。

Description

一种单晶炉用自动上料车

技术领域

本发明涉及单晶炉生产领域，具体地说，涉及一种单晶炉用自动上料车。

背景技术

单晶炉第一炉上料时，人工将装满料的坩埚与坩埚吸盘运送至单晶炉旁，寻找合适的抽空网纹管，进行抽空，或抽空后运送至单晶炉旁，利用单晶炉主炉室提升机构，将装满料的坩埚放入热场中，充空气，打开坩埚吸盘，完成单晶炉的装料，此过程费时费力，操作不便。

发明内容

为达到上述目的，本发明公开了一种单晶炉用自动上料车，包括：

行走小车；

机械手，所述机械手安装于所述行走小车上；

坩埚吸盘单元，所述坩埚吸盘单元安装于所述机械手前端；

视频采集单元，所述视频采集单元安装于所述行走小车上，所述视频采集单元用于采集行走小车行走方向前端的视频信息；

真空泵，所述真空泵安装于所述行走小车上，所述真空泵通过网纹管与坩埚吸盘单元连接。

优选的，还包括：

处理单元，所述处理单元安装于所述行走小车上，所述行走小车、机械手、坩埚吸盘单元以及视频采集单元均与处理单元连接，所述处理单元与外部终端连接；

电池单元，所述电池单元安装于所述行走小车上，所述行走小车、机械手、坩埚吸盘单元、视频采集单元、以及处理单元均与电池单元连接。

优选的，所述行走小车为轨道小车。

优选的，所述坩埚吸盘单元包括：

坩埚吸盘，所述坩埚吸盘安装于所述机械手前端，所述坩埚吸盘适配坩埚锅口设置，所述网纹管远离真空泵端连接于所述坩埚吸盘上；

电动球阀，所述电动球阀安装于所述网纹管靠近坩埚吸盘端，所述电动球阀与处理单元连接；

电动放气球阀，所述电动放气球阀安装于所述坩埚吸盘上，所述电动放气球阀与处理单元连接；

压力传感器，所述压力传感器安装于所述坩埚吸盘上，所述压力传感器用于检测坩埚内压力，所述压力传感器与处理单元连接。

优选的，所述坩埚吸盘包括：

固定盘，所述机械手安装于所述固定盘顶端；

安装槽，所述安装槽开设于所述固定盘底端；

卡爪安装盘，所述卡爪安装盘转动安装于所述安装槽内；

进气室，所述进气室设于所述固定盘内，所述电动球阀安装于所述固定盘顶端，并连通于所述进气室内；

出气槽，所述出气槽开设于所述卡爪安装盘底端；

齿轮传动室，所述齿轮传动室设于所述卡爪安装盘内；

出气管，所述出气管一端伸入进气室内，所述出气管另一端穿设齿轮传动室，并伸入出气槽内；

环形传动槽，所述环形传动槽以出气管为中心开设于所述安装槽槽底端，所述电动放气球阀、压力传感器均安装于所述固定盘顶端，并连通于所述环形传动槽内；

转动电机，所述转动电机安装于所述齿轮传动室内，所述转动电机输出端伸入环形传动槽内，所述转动电机与处理单元连接；

啮合的一对齿轮，所述齿轮设于所述齿轮传动室内，其中一个所述齿轮安装于出气管上，其中另一个所述齿轮安装于所述转动电机输出端；

环形齿，所述环形齿安装于所述环形传动槽内壁上；

传动齿轮，所述传动齿轮设于所述环形传动槽内，所述传动齿轮安装于所述转动电机输出端，且所述传动齿轮与环形齿啮合；

滑动槽，两个所述滑动槽以出气槽为中心对称开设于所述卡爪安装盘底端；

出气通道，所述出气通道设于所述卡爪安装盘内，所述出气通道一端与其中一个滑动槽连通，所述出气通道另一端与环形传动槽连通；

第一转轴，所述第一转轴横向安装于所述出气槽内；

啮合的一对斜齿轮，所述斜齿轮设于所述出气槽内，其中一个所述斜齿轮安装于第一转轴上，其中另一个所述斜齿轮安装于所述出气管上；

第一螺杆、第二螺杆，所述第一螺杆安装于其中一个所述滑动槽内，所述第一螺杆伸入出气槽内，并与所述第一转轴一端连接，所述第二螺杆安装于其中另一个所述滑动槽内，所述第二螺杆伸入出气槽内，并与所述第一转轴另一端连接，所述第一螺杆的螺旋方向和第二螺杆的螺旋方向相反；

滑块，所述滑块滑动连接于滑动槽内，并分别套设于所述第一螺杆和第二螺杆上；

卡爪，所述卡爪安装于所述滑块底端，所述卡爪用于卡设于坩埚锅口的内壁上。

优选的，所述坩埚吸盘还包括：

内环槽，所述内环槽周向开设于所述安装槽内壁上；

环形斜齿轮，所述环形斜齿轮设于所述内环槽内，所述环形斜齿轮固定安装于所述卡爪安装盘上；

升降室，两个所述升降室以卡爪安装盘为中心对称开设于所述安装槽内壁靠近槽口位置，所述升降室连通于所述固定盘底端设置；

升降斜齿轮，所述升降斜齿轮设于所述内环槽内，所述升降斜齿轮与环形斜齿轮啮合；

升降螺杆，所述升降螺杆一端伸入内环槽内，并与所述升降斜齿轮连接，所述升降螺杆另一端伸入升降室内；

螺套，所述螺套设于所述升降室内，所述螺套套设于所述升降螺杆上；

升降安装板，所述升降安装板设于所述升降室内，所述升降安装板固定安装于所述螺套底端；

升降座，所述升降座固定安装于所述升降安装板底端；

固定座安装槽，所述固定座安装槽开设于所述升降座侧端靠近卡爪安装盘位置；

升降杆安装槽，两个所述升降杆安装槽以固定安装槽为中心对称开设于所述升降座侧端靠近卡爪安装盘位置；

固定座，所述固定座固定安装于所述固定座安装槽内，所述固定座露出所述固定座安装槽槽口设置；

翻块安装槽，所述翻块安装槽开设于所述固定座靠近卡爪安装盘位置；

翻块，所述翻块通过翻转轴安装于所述翻块安装槽内，所述翻块靠近翻转轴端截面呈半圆状设置，所述翻转轴偏心安装于所述翻块上；

复位扭簧，所述复位扭簧套设于所述翻转轴上，所述复位扭簧一扭臂端固定安装于所述翻块安装槽内壁上，所述复位扭簧另一扭臂端固定安装于所述翻块上；

升降杆，所述升降杆通过第一弹簧安装于所述升降杆安装槽内；

电磁铁装置，所述电磁铁装置固定安装于所述升降杆安装槽槽底端，所述第一弹簧套设于电磁铁装置外，所述电磁铁装置与处理单元连接；

钢性块，所述钢性块安装于所述升降杆靠近第一弹簧端，所述第一弹簧套设于钢性块外；

翻块限位板，所述翻块限位板位于所述升降座靠近卡爪安装盘位置，所述固定座靠近翻块安装槽端穿设翻块限位板，所述升降杆远离钢性块端与翻块限位板固定连接；

顶板传动室，所述顶板传动室设于所述固定座内，并连通翻块安装槽槽底端设置，

顶板，所述顶板设于所述翻块安装槽内，所述翻块靠近翻转轴端抵设顶板设置；

顶块，所述顶块设于所述顶块传动室内，所述顶块与顶板固定连接；

压板安装室，所述压板安装室设于所述固定座内，所述压板安装室位于所述顶板传动室远离翻块安装槽位置；

压板，所述压板位于所述压板安装室内；

压杆，所述压杆一端伸入顶板传动室内，并与所述顶块连接，所述压杆另一端伸入压板安装室内，并与压板连接；

第二弹簧，所述第二弹簧设于所述顶板传动室内，所述第二弹簧套设于所述压杆上；

气囊安装室，所述气囊安装室开设于所述压板安装室内壁远离顶板传动室位置，所述气囊安装室连通于压板安装室内；

环形气囊，所述环形气囊安装于所述气囊安装室内，所述压板贴设于环形气囊设置；

卡杆安装通道，所述卡杆安装通道设于所述固定座内，所述卡杆安装通道连通于固定座安装槽内壁和升降杆安装槽内壁之间；

卡杆，所述卡杆限位滑动连接于卡杆安装通道内，所述升降杆上开设有适配卡杆设置的卡口；

气囊伸出通道，所述气囊伸出通道开设于所述固定座侧端，所述气囊伸出通道连通于气囊安装室内，所述气囊伸出通道正对卡杆安装通道设置；

负压室，所述负压室设于所述翻块内；

负压管，所述负压管设于所述固定盘内，所述负压管一端与进气室连通，所述负压管另一端伸入升降室内、并与负压室连通；

第一吸盘，所述第一吸盘安装于所述翻块侧端靠近卡爪安装盘位置，所述第一吸盘通过管路连通于负压室内；

第二吸盘，所述第二吸盘安装于所述翻块远离翻转轴端；所述第二吸盘通过管路连通于负压室内。

优选的，所述第一吸盘包括：

固定柱，所述固定柱竖直安装于所述翻块侧端靠近卡爪安装盘位置，所述固定柱内穿设有管路；

转套，所述转套套设于所述固定柱外；

转手，所述转手安装于所述转套外；

翻板安装环座，所述翻板安装环座安装于所述固定柱上；

塑胶吸盘，所述塑胶吸盘固定安装于所述固定座远离翻块端，所述翻板安装环座位于所述塑胶吸盘内；

翻板，两个所述翻板对称铰接于所述翻板安装环座上，所述翻板贴设于所述塑胶吸盘内壁上；

绳体，所述绳体一端饶设于所述转套上，所述绳体另一端穿设塑胶吸盘，并与翻板连接。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明控制原理图；

图3为本发明中坩埚吸盘单元结构示意图；

图4为本发明中坩埚吸盘结构示意图一；

图5为本发明种坩埚吸盘结构示意图二；

图6为图5中标号A放大图。

图中：1.行走小车；2.机械手；3.坩埚吸盘单元；4.视频采集单元；5.真空泵；6.网纹管；7.处理单元；8.电池单元；31.坩埚吸盘；32.电动球阀；33.电动放气球阀；34.压力传感器；35.固定盘；36.安装槽；37.卡爪安装盘；38.进气室；39.出气槽；30.齿轮传动室；41.出气管；42.环形传动槽；43.转动电机；44.齿轮；45.环形齿；46.传动齿轮；47.滑动槽；48.出气通道；49.第一转轴；40.斜齿轮；51.第一螺杆；52.第二螺杆；53.滑块；54.卡爪；55.内环槽；56.环形斜齿轮；57.升降室；58.升降斜齿轮；59.升降螺杆；50.螺套；61.升降座；62.固定座安装槽；63.升降杆安装槽；64.固定座；65.翻块安装槽；66.翻块；67.翻转轴；68.复位扭簧；69.升降杆；60.电磁铁装置；71.翻块限位板；73.顶板；74.顶块；75.压板安装室；76.压板；77.压杆；78.环形气囊；79.卡杆安装通道；70.卡杆；81.卡口；82.负压室；83.第二吸盘；84.固定柱；85.转套；86.转手；88.翻板；89.绳体。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例

下面将结合附图对本发明做进一步描述。

如图1、图2所示，本实施例提供的一种单晶炉用自动上料车，包括：

行走小车1；

机械手2，所述机械手2安装于所述行走小车1上；

坩埚吸盘单元3，所述坩埚吸盘单元3安装于所述机械手2前端；

视频采集单元4，所述视频采集单元4安装于所述行走小车1上，所述视频采集单元4用于采集行走小车1行走方向前端的视频信息；

真空泵5，所述真空泵5安装于所述行走小车1上，所述真空泵5通过网纹管6与坩埚吸盘单元3连接。

上述技术方案的工作原理和有益效果为：

本发明公开了一种单晶炉用自动上料车，能够实现自动上料，无须人工操作，减轻人力劳动，提升效率，利用机械手2将坩埚吸盘单元3放置在坩埚锅口位置，坩埚吸盘单元3覆盖坩埚锅口，此时，真空泵5工作，从而通过网纹管6使位于坩埚吸盘单元3下方的坩埚内产生真空，坩埚吸盘单元3对坩埚产生吸力，此时，行走小车1工作，带动坩埚移动的同时，机械手2工作，带动坩埚抬升，当将坩埚位移到单晶炉上料工位时，控制机械手2将坩埚放置于单晶炉内，安装于行走小车1行走方向前端的视频采集单元4实时采集视频信息，从而方便观察机械手2的动作，以及行走小车1的行动轨迹。

在一个实施例中，还包括：

处理单元7，所述处理单元7安装于所述行走小车1上，所述行走小车1、机械手2、坩埚吸盘单元3以及视频采集单元4均与处理单元7连接，所述处理单元7与外部终端连接；

电池单元8，所述电池单元8安装于所述行走小车1上，所述行走小车1、机械手2、坩埚吸盘单元3、视频采集单元4、以及处理单元7均与电池单元8连接。

上述技术方案的有益效果为：

电池单元8的设置，提高了上料车的续航，处理单元7与外部终端连接，外部终端包括了厂区内的计算机，通过计算机可实现对上料车的控制。

在一个实施例中，所述行走小车1为轨道小车。

如图3所示，在一个实施例中，所述坩埚吸盘单元3包括：

坩埚吸盘31，所述坩埚吸盘31安装于所述机械手2前端，所述坩埚吸盘31适配坩埚锅口设置，所述网纹管6远离真空泵5端连接于所述坩埚吸盘31上；

电动球阀32，所述电动球阀32安装于所述网纹管6靠近坩埚吸盘31端，所述电动球阀32与处理单元7连接；

电动放气球阀33，所述电动放气球阀33安装于所述坩埚吸盘31上，所述电动放气球阀33与处理单元7连接；

压力传感器34，所述压力传感器34安装于所述坩埚吸盘31上，所述压力传感器34用于检测坩埚内压力，所述压力传感器34与处理单元7连接。

上述技术方案的工作原理和有益效果为：

真空泵5和电动球阀32工作，从而使坩埚吸盘31底端产生真空吸力，当坩埚吸盘31覆盖坩埚锅口时，压力传感器34实时记录坩埚内负压值，当坩埚放入热场中，打开电动放气球阀33进行放气，冲至常压，提起坩埚吸盘31，上料车回到配料车间，等待下一次上料命令。

如图4所示，在一个实施例中，所述坩埚吸盘31包括：

固定盘35，所述机械手2安装于所述固定盘35顶端；

安装槽36，所述安装槽36开设于所述固定盘35底端；

卡爪安装盘37，所述卡爪安装盘37转动安装于所述安装槽36内；

进气室38，所述进气室38设于所述固定盘35内，所述电动球阀32安装于所述固定盘35顶端，并连通于所述进气室38内；

出气槽39，所述出气槽39开设于所述卡爪安装盘37底端；

齿轮传动室30，所述齿轮传动室30设于所述卡爪安装盘37内；

出气管41，所述出气管41一端伸入进气室38内，所述出气管41另一端穿设齿轮传动室30，并伸入出气槽39内；

环形传动槽42，所述环形传动槽42以出气管41为中心开设于所述安装槽36槽底端，所述电动放气球阀33、压力传感器34均安装于所述固定盘35顶端，并连通于所述环形传动槽42内；

转动电机43，所述转动电机43安装于所述齿轮传动室30内，所述转动电机43输出端伸入环形传动槽42内，所述转动电机43与处理单元7连接；

啮合的一对齿轮44，所述齿轮44设于所述齿轮传动室30内，其中一个所述齿轮44安装于出气管41上，其中另一个所述齿轮44安装于所述转动电机43输出端；

环形齿45，所述环形齿45安装于所述环形传动槽42内壁上；

传动齿轮46，所述传动齿轮46设于所述环形传动槽42内，所述传动齿轮46安装于所述转动电机43输出端，且所述传动齿轮46与环形齿45啮合；

滑动槽47，两个所述滑动槽47以出气槽39为中心对称开设于所述卡爪安装盘37底端；

出气通道48，所述出气通道48设于所述卡爪安装盘37内，所述出气通道48一端与其中一个滑动槽47连通，所述出气通道48另一端与环形传动槽42连通；

第一转轴49，所述第一转轴49横向安装于所述出气槽39内；

啮合的一对斜齿轮40，所述斜齿轮40设于所述出气槽39内，其中一个所述斜齿轮40安装于第一转轴49上，其中另一个所述斜齿轮40安装于所述出气管41上；

第一螺杆51、第二螺杆52，所述第一螺杆51安装于其中一个所述滑动槽47内，所述第一螺杆51伸入出气槽39内，并与所述第一转轴49一端连接，所述第二螺杆52安装于其中另一个所述滑动槽47内，所述第二螺杆52伸入出气槽39内，并与所述第一转轴49另一端连接，所述第一螺杆51的螺旋方向和第二螺杆52的螺旋方向相反；

滑块53，所述滑块53滑动连接于滑动槽47内，并分别套设于所述第一螺杆51和第二螺杆52上；

卡爪54，所述卡爪54安装于所述滑块53底端，所述卡爪54用于卡设于坩埚锅口的内壁上。

上述技术方案的工作原理和有益效果为：

机械手2带动坩埚吸盘31覆盖坩埚锅口时，卡爪安装盘37底端覆盖坩埚锅口，此时，转动电机43工作，进而通过位于齿轮传动室30内的两个齿轮44带动出气管41转动，由于位于环形传动槽42内的传动齿轮46与齿轮44同轴安装于转动电机43输出端，转动电机43工作时，传动齿轮46同步转动，从而在环形传动槽42内围绕环形齿45转动，进而带动卡爪安装盘37在安装槽36内转动，而此时，出气管41通过位于出气槽39内的斜齿轮40带动第一转轴49在出气槽39内转动，从而带动位于滑动槽47内的第一螺杆51和第二螺杆52同步转动，进而带动分别安装于第一螺杆51和第二螺杆52上的滑块53沿滑动槽47的开槽方向同步向靠近或远离彼此的方向移动，进而带动与滑块53连接的卡爪54在卡爪安装盘37底端向靠近或远离彼此的方向运动，当卡爪54向远离彼此方向运动时，卡爪54向靠近坩埚锅口的内壁运动，且在卡爪安装盘37转动时，卡爪54沿着弧形轨迹运动，而非坩埚锅口的直径方向运动，一方便，能使卡爪54在坩埚锅口位置呈弧形划拉位于靠近坩埚锅口的物料，从而使物料上表面均匀铺开，以避免卡爪54沿坩埚锅口的直径方向横向运动时，直接将上表面的物料拨到坩埚锅口位置，从而拨到坩埚外，造成物料的浪费，且当两个卡爪54对向卡在坩埚锅口位置时，电动球阀32打开，进气室38内产生负压环境，同步地，与进气室38通过出气管41连通的出气槽39内同样产生负压环境，进而使坩埚内产生负压，卡爪安装盘37底端吸住坩埚的同时，两个卡爪54对向卡在坩埚锅口，从而使机械手更牢固的带动坩埚抬升。

如图5所示，在一个实施例中，所述坩埚吸盘31还包括：

内环槽55，所述内环槽55周向开设于所述安装槽36内壁上；

环形斜齿轮56，所述环形斜齿轮56设于所述内环槽55内，所述环形斜齿轮56固定安装于所述卡爪安装盘37上；

升降室57，两个所述升降室57以卡爪安装盘37为中心对称开设于所述安装槽36内壁靠近槽口位置，所述升降室57连通于所述固定盘35底端设置；

升降斜齿轮58，所述升降斜齿轮58设于所述内环槽55内，所述升降斜齿轮58与环形斜齿轮56啮合；

升降螺杆59，所述升降螺杆59一端伸入内环槽55内，并与所述升降斜齿轮58连接，所述升降螺杆59另一端伸入升降室57内；

螺套50，所述螺套50设于所述升降室57内，所述螺套50套设于所述升降螺杆59上；

升降安装板，所述升降安装板设于所述升降室57内，所述升降安装板固定安装于所述螺套50底端；

升降座61，所述升降座61固定安装于所述升降安装板底端；

固定座安装槽62，所述固定座安装槽62开设于所述升降座61侧端靠近卡爪安装盘37位置；

升降杆安装槽63，两个所述升降杆安装槽63以固定安装槽62为中心对称开设于所述升降座61侧端靠近卡爪安装盘37位置；

固定座64，所述固定座64固定安装于所述固定座安装槽62内，所述固定座64露出所述固定座安装槽62槽口设置；

翻块安装槽65，所述翻块安装槽65开设于所述固定座64靠近卡爪安装盘37位置；

翻块66，所述翻块66通过翻转轴67安装于所述翻块安装槽65内，所述翻块66靠近翻转轴67端截面呈半圆状设置，所述翻转轴67偏心安装于所述翻块66上；

复位扭簧68，所述复位扭簧68套设于所述翻转轴67上，所述复位扭簧68一扭臂端固定安装于所述翻块安装槽65内壁上，所述复位扭簧68另一扭臂端固定安装于所述翻块66上；

升降杆69，所述升降杆69通过第一弹簧安装于所述升降杆安装槽63内；

电磁铁装置60，所述电磁铁装置60固定安装于所述升降杆安装槽63槽底端，所述第一弹簧套设于电磁铁装置60外，所述电磁铁装置60与处理单元7连接；

钢性块，所述钢性块安装于所述升降杆69靠近第一弹簧端，所述第一弹簧套设于钢性块外；

翻块限位板71，所述翻块限位板71位于所述升降座61靠近卡爪安装盘37位置，所述固定座64靠近翻块安装槽65端穿设翻块限位板71，所述升降杆69远离钢性块端与翻块限位板71固定连接；

顶板传动室，所述顶板传动室设于所述固定座64内，并连通翻块安装槽65槽底端设置，

顶板73，所述顶板73设于所述翻块安装槽65内，所述翻块66靠近翻转轴67端抵设顶板73设置；

顶块74，所述顶块74设于所述顶块传动室72内，所述顶块74与顶板73固定连接；

压板安装室75，所述压板安装室75设于所述固定座64内，所述压板安装室75位于所述顶板传动室远离翻块安装槽65位置；

压板76，所述压板76位于所述压板安装室75内；

压杆77，所述压杆77一端伸入顶板传动室内，并与所述顶块74连接，所述压杆77另一端伸入压板安装室75内，并与压板76连接；

第二弹簧，所述第二弹簧设于所述顶板传动室内，所述第二弹簧套设于所述压杆77上；

气囊安装室，所述气囊安装室开设于所述压板安装室75内壁远离顶板传动室位置，所述气囊安装室连通于压板安装室75内；

环形气囊78，所述环形气囊78安装于所述气囊安装室内，所述压板76贴设于环形气囊78设置；

卡杆安装通道79，所述卡杆安装通道79设于所述固定座64内，所述卡杆安装通道79连通于固定座安装槽62内壁和升降杆安装槽63内壁之间；

卡杆70，所述卡杆70限位滑动连接于卡杆安装通道79内，所述升降杆69上开设有适配卡杆70设置的卡口81；

气囊伸出通道，所述气囊伸出通道开设于所述固定座64侧端，所述气囊伸出通道连通于气囊安装室内，所述气囊伸出通道正对卡杆安装通道79设置；

负压室82，所述负压室82设于所述翻块66内；

负压管，所述负压管设于所述固定盘35内，所述负压管一端与进气室38连通，所述负压管另一端伸入升降室57内、并与负压室82连通；

第一吸盘，所述第一吸盘安装于所述翻块66侧端靠近卡爪安装盘37位置，所述第一吸盘通过管路连通于负压室82内；

第二吸盘83，所述第二吸盘83安装于所述翻块66远离翻转轴67端；所述第二吸盘83通过管路连通于负压室82内。

上述技术方案的工作原理和有益效果为：

卡爪安装盘37转动时，通过环形斜齿轮56带动位于内环槽55内的升降斜齿轮58转动，升降斜齿轮58通过升降螺杆59带动位于升降室57内的螺套50、升降安装板、升降座61做下降运动，升降座61自升降室57内伸出，第一吸盘吸住坩埚外壁，当坩埚直径过小时，此时，电磁铁装置60停止工作，电磁铁装置60失去对钢性块的磁性，在第一弹簧作用下，升降杆69自升降杆安装槽63内伸出，此时人工向上提拉下翻块66，翻块66以翻转轴67为中心向上翻转，复位扭簧68受力，同步地，顶板73和翻块限位板71失去翻块66的约束，翻块限位板71向第一弹簧伸长方向运动，从而卡住翻块66，顶板73带动与其连接的顶块74、与顶块74连接的压杆77、与压杆77连接的压板76向第二弹簧伸长方向运动，位于气囊安装室内的环形气囊78失去压板76的压力，从而恢复原状，卡杆70失去环形气囊78的作用力，从而回位到卡杆安装通道79、气囊伸出通道内，此时第二吸盘83朝向坩埚外壁，且第一吸盘向上翻转并吸住卡爪安装盘37底端，以起到进一步固定翻块66的作用，与进气室38通过负压管连通的负压室82内产生负压环境，第一吸盘和第二吸盘83均通过管路与负压室82内连通，从而使第一吸盘和第二吸盘83产生吸力。

如图6所示，在一个实施例中，所述第一吸盘包括：

固定柱84，所述固定柱84竖直安装于所述翻块66侧端靠近卡爪安装盘37位置，所述固定柱84内穿设有管路；

转套85，所述转套85套设于所述固定柱84外；

转手86，所述转手86安装于所述转套85外；

翻板安装环座，所述翻板安装环座安装于所述固定柱84上；

塑胶吸盘，所述塑胶吸盘固定安装于所述固定座84远离翻块66端，所述翻板安装环座位于所述塑胶吸盘内；

翻板88，两个所述翻板88对称铰接于所述翻板安装环座上，所述翻板88贴设于所述塑胶吸盘内壁上；

绳体89，所述绳体89一端饶设于所述转套85上，所述绳体89另一端穿设塑胶吸盘，并与翻板88连接。

上述技术方案的工作原理和有益效果为：

当塑胶吸盘无法吸住坩埚外壁时，人工通过转手86转动转套65，从而放开饶设于转套65上的绳体89，翻板88的铰接端安装有复位卷簧，在复位卷簧的作用下，两个翻板88夹角变小，从而使第一吸盘的深度变大，带动第一吸盘的盘口贴设于坩埚外壁，以解决由于坩埚直径问题造成第一吸盘无法吸住坩埚外壁的问题。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (7)

1.一种单晶炉用自动上料车，其特征在于，包括：

行走小车(1)；

机械手(2)，所述机械手(2)安装于所述行走小车(1)上；

坩埚吸盘单元(3)，所述坩埚吸盘单元(3)安装于所述机械手(2)前端；

视频采集单元(4)，所述视频采集单元(4)安装于所述行走小车(1)上，所述视频采集单元(4)用于采集行走小车(1)行走方向前端的视频信息；

真空泵(5)，所述真空泵(5)安装于所述行走小车(1)上，所述真空泵(5)通过网纹管(6)与坩埚吸盘单元(3)连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用自动上料车，其特征在于，还包括：

处理单元(7)，所述处理单元(7)安装于所述行走小车(1)上，所述行走小车(1)、机械手(2)、坩埚吸盘单元(3)、视频采集单元(4)以及真空泵(5)均与处理单元(7)连接，所述处理单元(7)与外部终端连接；

电池单元(8)，所述电池单元(8)安装于所述行走小车(1)上，所述行走小车(1)、机械手(2)、坩埚吸盘单元(3)、视频采集单元(4)、真空泵(5)以及处理单元(7)均与电池单元(8)连接。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用自动上料车，其特征在于，所述行走小车(1)为轨道小车。

4.根据权利要求2所述的一种单晶炉用自动上料车，其特征在于，所述坩埚吸盘单元(3)包括：

坩埚吸盘(31)，所述坩埚吸盘(31)安装于所述机械手(2)前端，所述坩埚吸盘(31)适配坩埚锅口设置，所述网纹管(6)远离真空泵(5)端连接于所述坩埚吸盘(31)上；

电动球阀(32)，所述电动球阀(32)安装于所述网纹管(6)靠近坩埚吸盘(31)端，所述电动球阀(32)与处理单元(7)连接；

电动放气球阀(33)，所述电动放气球阀(33)安装于所述坩埚吸盘(31)上，所述电动放气球阀(33)与处理单元(7)连接；

压力传感器(34)，所述压力传感器(34)安装于所述坩埚吸盘(31)上，所述压力传感器(34)用于检测坩埚内压力，所述压力传感器(34)与处理单元(7)连接。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉用自动上料车，其特征在于，所述坩埚吸盘(31)包括：

固定盘(35)，所述机械手(2)安装于所述固定盘(35)顶端；

安装槽(36)，所述安装槽(36)开设于所述固定盘(35)底端；

卡爪安装盘(37)，所述卡爪安装盘(37)转动安装于所述安装槽(36)内；

进气室(38)，所述进气室(38)设于所述固定盘(35)内，所述电动球阀(32)安装于所述固定盘(35)顶端，并连通于所述进气室(38)内；

出气槽(39)，所述出气槽(39)开设于所述卡爪安装盘(37)底端；

齿轮传动室(30)，所述齿轮传动室(30)设于所述卡爪安装盘(37)内；

出气管(41)，所述出气管(41)一端伸入进气室(38)内，所述出气管(41)另一端穿设齿轮传动室(30)，并伸入出气槽(39)内；

环形传动槽(42)，所述环形传动槽(42)以出气管(41)为中心开设于所述安装槽(36)槽底端，所述电动放气球阀(33)、压力传感器(34)均安装于所述固定盘(35)顶端，并连通于所述环形传动槽(42)内；

转动电机(43)，所述转动电机(43)安装于所述齿轮传动室(30)内，所述转动电机(43)输出端伸入环形传动槽(42)内，所述转动电机(43)与处理单元(7)连接；

啮合的一对齿轮(44)，所述齿轮(44)设于所述齿轮传动室(30)内，其中一个所述齿轮(44)安装于出气管(41)上，其中另一个所述齿轮(44)安装于所述转动电机(43)输出端；

环形齿(45)，所述环形齿(45)安装于所述环形传动槽(42)内壁上；

传动齿轮(46)，所述传动齿轮(46)设于所述环形传动槽(42)内，所述传动齿轮(46)安装于所述转动电机(43)输出端，且所述传动齿轮(46)与环形齿(45)啮合；

滑动槽(47)，两个所述滑动槽(47)以出气槽(39)为中心对称开设于所述卡爪安装盘(37)底端；

出气通道(48)，所述出气通道(48)设于所述卡爪安装盘(37)内，所述出气通道(48)一端与其中一个滑动槽(47)连通，所述出气通道(48)另一端与环形传动槽(42)连通；

第一转轴(49)，所述第一转轴(49)横向安装于所述出气槽(39)内；

啮合的一对斜齿轮(40)，所述斜齿轮(40)设于所述出气槽(39)内，其中一个所述斜齿轮(40)安装于第一转轴(49)上，其中另一个所述斜齿轮(40)安装于所述出气管(41)上；

第一螺杆(51)、第二螺杆(52)，所述第一螺杆(51)安装于其中一个所述滑动槽(47)内，所述第一螺杆(51)伸入出气槽(39)内，并与所述第一转轴(49)一端连接，所述第二螺杆(52)安装于其中另一个所述滑动槽(47)内，所述第二螺杆(52)伸入出气槽(39)内，并与所述第一转轴(49)另一端连接，所述第一螺杆(51)的螺旋方向和第二螺杆(52)的螺旋方向相反；

滑块(53)，所述滑块(53)滑动连接于滑动槽(47)内，并分别套设于所述第一螺杆(51)和第二螺杆(52)上；

卡爪(54)，所述卡爪(54)安装于所述滑块(53)底端，所述卡爪(54)用于卡设于坩埚锅口的内壁上。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉用自动上料车，其特征在于，所述坩埚吸盘(31)还包括：

内环槽(55)，所述内环槽(55)周向开设于所述安装槽(36)内壁上；

环形斜齿轮(56)，所述环形斜齿轮(56)设于所述内环槽(55)内，所述环形斜齿轮(56)固定安装于所述卡爪安装盘(37)上；

升降室(57)，两个所述升降室(57)以卡爪安装盘(37)为中心对称开设于所述安装槽(36)内壁靠近槽口位置，所述升降室(57)连通于所述固定盘(35)底端设置；

升降斜齿轮(58)，所述升降斜齿轮(58)设于所述内环槽(55)内，所述升降斜齿轮(58)与环形斜齿轮(56)啮合；

升降螺杆(59)，所述升降螺杆(59)一端伸入内环槽(55)内，并与所述升降斜齿轮(58)连接，所述升降螺杆(59)另一端伸入升降室(57)内；

螺套(50)，所述螺套(50)设于所述升降室(57)内，所述螺套(50)套设于所述升降螺杆(59)上；

升降安装板，所述升降安装板设于所述升降室(57)内，所述升降安装板固定安装于所述螺套(50)底端；

升降座(61)，所述升降座(61)固定安装于所述升降安装板底端；

固定座安装槽(62)，所述固定座安装槽(62)开设于所述升降座(61)侧端靠近卡爪安装盘(37)位置；

升降杆安装槽(63)，两个所述升降杆安装槽(63)以固定安装槽(62)为中心对称开设于所述升降座(61)侧端靠近卡爪安装盘(37)位置；

固定座(64)，所述固定座(64)固定安装于所述固定座安装槽(62)内，所述固定座(64)露出所述固定座安装槽(62)槽口设置；

翻块安装槽(65)，所述翻块安装槽(65)开设于所述固定座(64)靠近卡爪安装盘(37)位置；

翻块(66)，所述翻块(66)通过翻转轴(67)安装于所述翻块安装槽(65)内，所述翻块(66)靠近翻转轴(67)端截面呈半圆状设置，所述翻转轴(67)偏心安装于所述翻块(66)上；

复位扭簧(68)，所述复位扭簧(68)套设于所述翻转轴(67)上，所述复位扭簧(68)一扭臂端固定安装于所述翻块安装槽(65)内壁上，所述复位扭簧(68)另一扭臂端固定安装于所述翻块(66)上；

升降杆(69)，所述升降杆(69)通过第一弹簧安装于所述升降杆安装槽(63)内；

电磁铁装置(60)，所述电磁铁装置(60)固定安装于所述升降杆安装槽(63)槽底端，所述第一弹簧套设于电磁铁装置(60)外，所述电磁铁装置(60)与处理单元(7)连接；

钢性块，所述钢性块安装于所述升降杆(69)靠近第一弹簧端，所述第一弹簧套设于钢性块外；

翻块限位板(71)，所述翻块限位板(71)位于所述升降座(61)靠近卡爪安装盘(37)位置，所述固定座(64)靠近翻块安装槽(65)端穿设翻块限位板(71)，所述升降杆(69)远离钢性块端与翻块限位板(71)固定连接；

顶板传动室，所述顶板传动室设于所述固定座(64)内，并连通翻块安装槽(65)槽底端设置，

顶板(73)，所述顶板(73)设于所述翻块安装槽(65)内，所述翻块(66)靠近翻转轴(67)端抵设顶板(73)设置；

顶块(74)，所述顶块(74)设于所述顶块传动室内，所述顶块(74)与顶板(73)固定连接；

压板安装室(75)，所述压板安装室(75)设于所述固定座(64)内，所述压板安装室(75)位于所述顶板传动室远离翻块安装槽(65)位置；

压板(76)，所述压板(76)位于所述压板安装室(75)内；

压杆(77)，所述压杆(77)一端伸入顶板传动室内，并与所述顶块(74)连接，所述压杆(77)另一端伸入压板安装室(75)内，并与压板(76)连接；

第二弹簧，所述第二弹簧设于所述顶板传动室内，所述第二弹簧套设于所述压杆(77)上；

气囊安装室，所述气囊安装室开设于所述压板安装室(75)内壁远离顶板传动室位置，所述气囊安装室连通于压板安装室(75)内；

环形气囊(78)，所述环形气囊(78)安装于所述气囊安装室内，所述压板(76)贴设于环形气囊(78)设置；

卡杆安装通道(79)，所述卡杆安装通道(79)设于所述固定座(64)内，所述卡杆安装通道(79)连通于固定座安装槽(62)内壁和升降杆安装槽(63)内壁之间；

卡杆(70)，所述卡杆(70)限位滑动连接于卡杆安装通道(79)内，所述升降杆(69)上开设有适配卡杆(70)设置的卡口(81)；

气囊伸出通道，所述气囊伸出通道开设于所述固定座(64)侧端，所述气囊伸出通道连通于气囊安装室内，所述气囊伸出通道正对卡杆安装通道(79)设置；

负压室(82)，所述负压室(82)设于所述翻块(66)内；

负压管，所述负压管设于所述固定盘(35)内，所述负压管一端与进气室(38)连通，所述负压管另一端伸入升降室(57)内、并与负压室(82)连通；

第一吸盘，所述第一吸盘安装于所述翻块(66)侧端靠近卡爪安装盘(37)位置，所述第一吸盘通过管路连通于负压室(82)内；

第二吸盘(83)，所述第二吸盘(83)安装于所述翻块(66)远离翻转轴(67)端；所述第二吸盘(83)通过管路连通于负压室(82)内。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉用自动上料车，其特征在于，所述第一吸盘包括：

固定柱(84)，所述固定柱(84)竖直安装于所述翻块(66)侧端靠近卡爪安装盘(37)位置，所述固定柱(84)内穿设有管路；

转套(85)，所述转套(85)套设于所述固定柱(84)外；

转手(86)，所述转手(86)安装于所述转套(85)外；

翻板安装环座，所述翻板安装环座安装于所述固定柱(84)上；

塑胶吸盘，所述塑胶吸盘固定安装于所述固定座(84)远离翻块(66)端，所述翻板安装环座位于所述塑胶吸盘内；

翻板(88)，两个所述翻板(88)对称铰接于所述翻板安装环座上，所述翻板(88)贴设于所述塑胶吸盘内壁上；

绳体(89)，所述绳体(89)一端饶设于所述转套(85)上，所述绳体(89)另一端穿设塑胶吸盘，并与翻板(88)连接。

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