CN102618918A - 一种坩埚吊装装置 - Google Patents
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Abstract
一种坩埚吊装装置,包括不锈钢壳体、吊环、压力表、真空管、真空阀、真空泵和密封胶圈,所述的不锈钢体上侧固定有吊环,不锈钢体上部固定有压力表,不锈钢壳体一侧设有真空管,真空管上设有真空阀,真空阀和真空泵通过真空管连接,不锈钢壳体下端设有密封胶圈。本发明的有益效果在于:能更为便捷、安全地进行单晶炉坩埚吊装工作,为单晶炉坩埚吊装提供了一种新的吊装方法。
Description
技术领域
本发明涉及一种坩埚吊装装置,尤其是涉及一种单晶炉领域的坩埚吊装装置。
背景技术
单晶炉用石英坩埚装载硅料放置在炉腔的热场中溶化后提制晶体,为了节省装炉时间,常常需要在炉腔外把硅料装好后,再把坩埚放入炉腔中熔化装料越多的坩埚越需要如此。一般坩埚在装好料后,要几十公斤到几百公斤,搬动困难,因此需要特殊的吊装工具。
发明内容
本发明主要是解决上述现有技术所存在的技术问题,提供了一种便于吊装的坩埚吊装装置。
本发明的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:
一种坩埚吊装装置,包括不锈钢壳体、吊环、压力表、真空管、真空阀、真空泵和密封胶圈,所述的不锈钢体上侧固定有吊环,不锈钢体上部固定有压力表,不锈钢壳体一侧设有真空管,真空管上设有真空阀,真空阀和真空泵通过真空管连接,不锈钢壳体下端设有密封胶圈。
本发明的有益效果在于:通过将石英坩埚内抽真空,形成坩埚内外压力差的方法,更为便捷、安全地进行单晶炉坩埚吊装工作,为单晶炉坩埚吊装提供了一种新的吊装工具。
附图说明
图1是本发明的整体结构示意图。
具体实施方式
下面通过实施例,并结合附图,对发明的技术方案作进一步具体的说明。
实施例1
如图1所示,一种坩埚吊装装置,包括不锈钢壳体1、吊环2、压力表3、真空管5、真空阀6、真空泵7和密封胶圈8,所述的不锈钢体1上侧固定有吊环2,不锈钢体1上部固定有压力表3,不锈钢壳体1一侧设有真空管5,真空管5上设有真空阀6,真空阀6和真空泵7通过真空管连接,锈钢壳体1下端设有密封胶圈8,真空管分为两段,之间设有一个快装接头9。
一种坩埚吊装装置的使用方法,包括下述顺序步骤:
1、将坩埚吊装装置的下部固定于单晶炉坩埚上;
2、打开真空阀,用真空泵对坩埚进行抽真空操作;
3、观察压力表,当压力低于0.5kg/cm2,关闭真空阀,脱开快装接头,开始进行吊装工作。
Claims (1)
1.一种坩埚吊装装置,其特征在于:包括不锈钢壳体、吊环、压力表、真空管、真空阀、真空泵和密封胶圈,所述的不锈钢体上侧固定有吊环,不锈钢体上部固定有压力表,不锈钢壳体一侧设有真空管,真空管上设有真空阀,真空阀和真空泵通过真空管连接,不锈钢壳体下端设有密封胶圈。
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CN113308746A (zh) * | 2021-05-28 | 2021-08-27 | 曲靖阳光能源硅材料有限公司 | 一种单晶炉用自动上料车 |
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2012
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