CN201785545U - 单晶炉硅料真空装料装置 - Google Patents

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樊治平
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Dalian Linton NC Machine Co Ltd
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DALIAN LIANCHENG NC MACHINERY Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开一种单晶炉硅料真空装料装置，包括坩埚体，坩埚体上安装有坩埚上盖，坩埚上盖上设有坩埚进气口，坩埚体通过管路与真空泵的泵吸气口连接。本实用新型单晶炉硅料真空装料装置，结束了现场单晶炉内人工装料的方式，操作简便，提高了生产效率，增大了单晶炉的开炉利用率。

Description

单晶炉硅料真空装料装置
技术领域
本实用新型涉及一种单晶炉硅料真空装料装置。
背景技术
在单晶硅生产过程中，需要将高纯度多晶硅装入石英坩埚中，由于拉制单晶尺寸越来越大，坩埚尺寸相应增大，装入的多晶硅原料也越来越多，单纯用人工已经无法搬动装满多晶硅料的坩埚，由于单晶炉结构的限制，借助一般机械移动也有困难，目前做法是人工首先将石英坩埚装入单晶炉内，然后再将高纯度多晶硅装入石英坩埚中，因为多晶装料对环境洁净度要求很高，现场装料容易导致多晶硅料的污染，同时，现场装料需要时间，降低了单晶炉的开炉利用率。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种操作简便，生产效率高，大大提高了单晶炉的开炉利用率的单晶炉硅料真空装料装置。
本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：一种单晶炉硅料真空装料装置，包括坩埚体，坩埚体上安装有坩埚上盖，坩埚上盖上设有坩埚进气口，坩埚体通过管路与真空泵的泵吸气口连接。
所述坩埚上盖上设有与坩埚体连通的管接头。
所述坩埚进气口处设有手动阀门。
所述坩埚体与坩埚上盖之间设有密封圈。
本实用新型单晶炉硅料真空装料装置，结束了现场单晶炉内人工装料的方式，操作简便，提高了生产效率，增大了单晶炉的开炉利用率。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。
图1是本实用新型单晶炉硅料真空装料装置整体结构图。
图中：1、坩埚体；2、坩埚上盖；3、坩埚进气口；4、手动阀门；5、管路；6、管接头；7、真空泵；8、泵吸气口；9、密封圈；10、晶硅粉；11、空气。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型单晶炉硅料真空装料装置，包括坩埚体1、坩埚上盖2、坩埚进气口3、手动阀门4、管路5、管接头6、真空泵7、泵吸气口8、密封圈9，坩埚上盖2安装在坩埚体1上，坩埚上盖2与坩埚体1结合为一个整体，坩埚进气口3设置在坩埚上盖2上，坩埚体1通过管路5与真空泵7的泵吸气口8连接，管接头6设置在坩埚上盖2上，并与坩埚体1相连通，手动阀门4设置在坩埚进气口3处，密封圈9设置在坩埚体1与坩埚上盖2之间，工作时，可在洁净室或者专用装料空间，将晶硅粉10装入坩埚体1中，将专用的坩埚上盖2盖在坩埚体1上，然后用真空泵7抽掉坩埚体1内的空气11形成真空，利用大气压力，使坩埚上盖2和坩埚体1结合为一个整体，通过坩埚盖上2的吊环将坩埚体吊起，移动入单晶炉内，将石英坩埚的位置安放合适后，手动阀门4使坩埚体内与大气连通，同时将坩埚上盖2调出单晶炉，即完成硅材料及坩埚装入单晶炉的工作。

Claims (4)

1.一种单晶炉硅料真空装料装置，其特征在于：包括坩埚体，坩埚体上安装有坩埚上盖，坩埚上盖上设有坩埚进气口，坩埚体通过管路与真空泵的泵吸气口连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉硅料真空装料装置，其特征在于：所述坩埚上盖上设有与坩埚体连通的管接头。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉硅料真空装料装置，其特征在于：所述坩埚进气口处设有手动阀门。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉硅料真空装料装置，其特征在于：所述坩埚体与坩埚上盖之间设有密封圈。
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Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C56 Change in the name or address of the patentee

Owner name: DALIAN LINTON PV + SEMI MACHINE CO., LTD.

Free format text: FORMER NAME: DALIAN LIANCHENG NC MACHINERY CO., LTD.

CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: 116036, 29, Ying Cheng Road, Ying Cheng Industrial Park, Ganjingzi District, Liaoning, Dalian

Patentee after: Dalian Linton PV & Semi. Machine Co., Ltd.

Address before: 116036, 29, Ying Cheng Road, Ying Cheng Industrial Park, Ganjingzi District, Liaoning, Dalian

Patentee before: Dalian Liancheng NC Machinery Co., Ltd.

CX01 Expiry of patent term
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