CN206755872U - 硅液分凝装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅液分凝装置，包括：顶部开口的竖置炉体，将炉体顶部开口封闭的平置炉盖，设于炉体内的硅料容纳装置，用于加热硅料容纳装置的加热装置，向硅料容纳装置通入保护气体的供气装置，用于排出炉体内废气的排气装置，以及用于冷却硅料容纳装置的冷却装置。本实用新型硅液分凝装置，其结构合理，能实现硅液的分凝，便于提纯高纯硅。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅液分凝装置。
背景技术
国内生产工业硅或高纯硅时，需要通过分凝工艺来提纯硅，需要特别设计适于提纯高纯硅的分凝装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种硅液分凝装置，其结构合理，能实现硅液的分凝，便于提纯高纯硅。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案是设计一种硅液分凝装置，包括：顶部开口的竖置炉体，将炉体顶部开口封闭的平置炉盖，设于炉体内的硅料容纳装置，用于加热硅料容纳装置的加热装置，向硅料容纳装置通入保护气体的供气装置，用于排出炉体内废气的排气装置，以及用于冷却硅料容纳装置的冷却装置；
所述炉体包括：由陶瓷纤维块砌成的炉壳，以及由耐火砖砌成的炉内壁；
所述硅料容纳装置包括：顶部开口的竖置石墨坩埚，以及包裹石墨坩埚外壁的耐火材料打结层；
所述加热装置包括：固定于炉内壁上的若干电阻丝带，以及控制各电阻丝带工作的加热控制模块；各电阻丝带平置且竖向等间隔设置，各电阻丝带环绕石墨坩埚；
所述石墨坩埚底部设有保护气体输入口，该保护气体输入口由透气砖封闭；
所述供气装置包括：贯穿耐火材料打结层后与透气砖连接的输气管，向输气管提供保护气体的混气包，以及设于输气管上的过滤器、减压稳压阀和流量调节阀；
所述排气装置包括：设于炉盖上的排气管；
所述冷却装置包括：与硅料容纳装置底面贴靠的冷却仓，以及与冷却仓连通的冷却气体输入管和冷却气体输出管。
优选的，所述炉盖配有驱动其启闭的驱动装置。
优选的，所述炉盖底面设有用于封闭石墨坩埚顶部开口的下凸块，所述排气管贯穿该下凸块。
本实用新型的优点和有益效果在于：提供一种硅液分凝装置，其结构合理，能实现硅液的分凝，便于提纯高纯硅。
开启炉盖，将硅料投入石墨坩埚，关闭炉盖，供气装置向石墨坩埚通入保护气体，各电阻丝带工作将硅料加热为硅液，加热一定时间后，冷却仓通入冷却气体，且各电阻丝带由下至上依次降低功率直至依次断电，使硅液由下至上依次凝固，实现硅液的分凝，便于提纯高纯硅。
附图说明
图1是本实用新型的示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
本实用新型具体实施的技术方案是：
如图1所示，一种硅液分凝装置，包括：顶部开口的竖置炉体，将炉体顶部开口封闭的平置炉盖21，设于炉体内的硅料容纳装置，用于加热硅料容纳装置的加热装置，向硅料容纳装置通入保护气体的供气装置，用于排出炉体内废气的排气装置，以及用于冷却硅料容纳装置的冷却装置；
所述炉体包括：由陶瓷纤维块砌成的炉壳11，以及由耐火砖砌成的炉内壁12；
所述硅料容纳装置包括：顶部开口的竖置石墨坩埚31，以及包裹石墨坩埚31外壁的耐火材料打结层32；
所述加热装置包括：固定于炉内壁12上的若干电阻丝带4，以及控制各电阻丝带4工作的加热控制模块；各电阻丝带4平置且竖向等间隔设置，各电阻丝带4环绕石墨坩埚31；
所述石墨坩埚31底部设有保护气体输入口，该保护气体输入口由透气砖51封闭；
所述供气装置包括：贯穿耐火材料打结层32后与透气砖51连接的输气管52，向输气管52提供保护气体的混气包，以及设于输气管52上的过滤器、减压稳压阀和流量调节阀；
所述排气装置包括：设于炉盖21上的排气管22；
所述冷却装置包括：与硅料容纳装置底面贴靠的冷却仓6，以及与冷却仓6连通的冷却气体输入管和冷却气体输出管。
所述炉盖21配有驱动其启闭的驱动装置。
所述炉盖21底面设有用于封闭石墨坩埚31顶部开口的下凸块23，所述排气管22贯穿该下凸块23。
开启炉盖21，将硅料投入石墨坩埚31，关闭炉盖21，供气装置向石墨坩埚31通入保护气体，各电阻丝带4工作将硅料加热为硅液，加热一定时间后，冷却仓6通入冷却气体，且各电阻丝带4由下至上依次降低功率直至依次断电，使硅液由下至上依次凝固，实现硅液的分凝，便于提纯高纯硅。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (3)
1.硅液分凝装置，其特征在于，包括：顶部开口的竖置炉体，将炉体顶部开口封闭的平置炉盖，设于炉体内的硅料容纳装置，用于加热硅料容纳装置的加热装置，向硅料容纳装置通入保护气体的供气装置，用于排出炉体内废气的排气装置，以及用于冷却硅料容纳装置的冷却装置；
所述炉体包括：由陶瓷纤维块砌成的炉壳，以及由耐火砖砌成的炉内壁；
所述硅料容纳装置包括：顶部开口的竖置石墨坩埚，以及包裹石墨坩埚外壁的耐火材料打结层；
所述加热装置包括：固定于炉内壁上的若干电阻丝带，以及控制各电阻丝带工作的加热控制模块；各电阻丝带平置且竖向等间隔设置，各电阻丝带环绕石墨坩埚；
所述石墨坩埚底部设有保护气体输入口，该保护气体输入口由透气砖封闭；
所述供气装置包括：贯穿耐火材料打结层后与透气砖连接的输气管，向输气管提供保护气体的混气包，以及设于输气管上的过滤器、减压稳压阀和流量调节阀；
所述排气装置包括：设于炉盖上的排气管；
所述冷却装置包括：与硅料容纳装置底面贴靠的冷却仓，以及与冷却仓连通的冷却气体输入管和冷却气体输出管。
2.根据权利要求1所述的硅液分凝装置，其特征在于，所述炉盖配有驱动其启闭的驱动装置。
3.根据权利要求2所述的硅液分凝装置，其特征在于，所述炉盖底面设有用于封闭石墨坩埚顶部开口的下凸块，所述排气管贯穿该下凸块。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201720386399.0U CN206755872U (zh) | 2017-04-13 | 2017-04-13 | 硅液分凝装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN206755872U true CN206755872U (zh) | 2017-12-15 |
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Family Applications (1)
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| CN201720386399.0U Active CN206755872U (zh) | 2017-04-13 | 2017-04-13 | 硅液分凝装置 |
Country Status (1)
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2017
- 2017-04-13 CN CN201720386399.0U patent/CN206755872U/zh active Active
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