CN103215636A - 单晶炉二次加料漏斗装置 - Google Patents

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吴学军
周凯平
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Abstract

本发明的单晶炉二次加料漏斗装置属于冶金系统单晶炉冶炼装置，特别涉及单晶炉冶炼加料时二次加料漏斗装置；拉杆通过安装在漏斗上端的定位孔安装在漏斗内，底盖套装在拉杆上并由螺母定位在拉杆下端，拉杆上端连接籽晶绳；活动法兰固定套装在漏斗外侧壁上；漏斗由活动法兰挂装在单晶炉壳体内；单晶炉壳体内漏斗下部安装石英坩埚；漏斗上部为圆柱状，下部为圆锥状，粒状硅料装在漏斗内；可根据颗粒状硅料的加料量和炉体的高低，随时调节它与漏斗的定位，使得拉杆可以自由移动，不会受硅料的挤压而无法上下移动提高了坩埚的利用率，降低了晶棒成长的时间，节约了成本。

Description

单晶炉二次加料漏斗装置
技术领域：
　　本发明属于冶金系统单晶炉冶炼装置，特别涉及单晶炉冶炼加料时二次加料漏斗装置。
背景技术：
冶金行业单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料；单晶炉在硅单晶拉制完成后，使用二次加料装置可向石英坩埚内再次投入颗粒状硅料，实现石英坩埚的再利用，降低第二根硅棒的拉制时间；一般的单晶炉二次加料装置，都是采用紧固的方式来实现的，晶棒拉制过程中装料少、坩埚利用率低，其结构不灵活，没有调节功能，容易造成投料时拉杆卡住等现象。
发明内容：
有鉴于此，有必要提供一种新结构的单晶炉二次加料漏斗装置。
本发明单晶炉二次加料漏斗装置，含有籽晶绳、拉杆、活动法兰、漏斗、底盖、石英坩埚、单晶炉壳体和粒状硅料组成；拉杆通过安装在漏斗上端的定位孔安装在漏斗内，底盖套装在拉杆上并由螺母定位在拉杆下端，拉杆上端连接籽晶绳；活动法兰固定套装在漏斗外侧壁上；漏斗由活动法兰挂装在单晶炉壳体内；单晶炉壳体内漏斗下部安装石英坩埚；漏斗上部为圆柱状，下部为圆锥状，粒状硅料装在漏斗内。
作业时，颗粒状硅料盛放在漏斗内，通过提拉装置带动籽晶绳下降，从而使得拉杆1下降，活动法兰的端面与炉体的法兰接触后，拉杆继续下降，使得漏斗内的颗粒状硅料流入石英坩埚内。
本发明单晶炉二次加料漏斗装置，可根据颗粒状硅料的加料量和炉体的高低，随时调节它与漏斗的定位，使得拉杆可以自由移动，不会受硅料的挤压而无法上下移动提高了坩埚的利用率，降低了晶棒成长的时间，节约了成本。
附图说明：
附图是本发明单晶炉二次加料漏斗装置的结构示意图。
图中：籽晶绳1、拉杆2、活动法兰3、漏斗4、底盖5、石英坩埚6、单晶炉壳体7、粒状硅料8。
具体实施方式：
    本发明单晶炉二次加料漏斗装置，含有籽晶绳1、拉杆2、活动法兰3、漏斗4、底盖5、石英坩埚6、单晶炉壳体7和粒状硅料8组成；拉杆2通过安装在漏斗4上端的定位孔安装在漏斗4内，底盖5套装在拉杆2上并由螺母定位在拉杆2下端，拉杆2上端连接籽晶绳1；活动法兰3固定套装在漏斗4外侧壁上；漏斗4由活动法兰3挂装在单晶炉壳体7内；单晶炉壳体7内漏斗4下部安装石英坩埚6；漏斗4上部为圆柱状，下部为圆锥状，粒状硅料8装在漏斗4内。

Claims (2)

1.单晶炉二次加料漏斗装置,其特征在于：含有籽晶绳（1）、拉杆（2）、活动法兰（3）、漏斗（4）、底盖（5）、石英坩埚（6）、单晶炉壳体（7）和粒状硅料（8）组成；拉杆（2）通过安装在漏斗（4）上端的定位孔安装在漏斗（4）内，底盖（5）套装在拉杆（2）下端，底盖（5）套装在拉杆（2）上并由螺母定位在拉杆（2）下端；活动法兰（3）固定套装在漏斗（4）外侧壁上；漏斗（4）由活动法兰（3）挂装在单晶炉壳体（7）内；单晶炉壳体（7）内漏斗（4）下部安装石英坩埚（6）。
2.根据权利要求1所述单晶炉二次加料漏斗装置，其特征在于：漏斗（4）上部为圆柱状，下部为圆锥状，粒状硅料（8）装在漏斗（4）内。
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