CN202047167U - 一种减小单晶硅拉制过程中晃动的装置 - Google Patents

一种减小单晶硅拉制过程中晃动的装置 Download PDF

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Abstract

本实用新型提供了一种有效减小单晶硅拉制过程中晶体晃动的装置，在导流筒上沿以导流筒中心轴线为中心均分的四个方向各有伸向导流筒中心轴线的横臂，横臂的顶头以活动链接方式链接沿导流筒内壁自然下垂的吊臂，吊臂最下端结构弯向导流筒中心轴线。本装置结构简单，可有效减小晃动幅度，防止硅棒碰到导流筒，可有效降低单晶硅拉制过程中硅棒晃动造成事故的风险。

Description

一种减小单晶硅拉制过程中晃动的装置
技术领域
本发明涉及一种减小单晶硅拉制过程中晃动的装置。
背景技术
单晶硅作为一种半导体材料，一直以来主要应用于集成电路以及电子元件的生产，近年来随着光伏产业的发展，作为太阳能电池的主要原材料，需求量已经远远超过了集成电路以及电子元件生产所需。单晶硅的生长主要有两种方法：直拉法(CZ)和浮融法(FZ)。其中CZ法占了约85％。
直拉法(CZ)单晶硅生长过程中，由于各种原因经常引起单晶硅棒晃动的现象，影响单晶硅的正常生长，同时可能因为晃动导致籽晶断裂。
发明内容
本实用新型的目的是提供了一种有效减小单晶硅拉制过程中晶体晃动的装置，本装置结构简单，可有效减小晃动幅度，防止硅棒碰到导流筒，可有效降低单晶硅拉制过程中硅棒晃动造成事故的风险。
实现本实用新型目的的技术方案是：一种减小单晶硅拉制过程中晃动的装置，包括导流筒，其特征是：导流筒上沿以导流筒中心轴线为中心均分的四个方向各有伸向导流筒中心轴线的横臂，横臂的顶头以活动链接方式链接沿导流筒内壁自然下垂的吊臂，吊臂最下端结构弯向导流筒中心轴线。
其中横臂和吊臂通过销子或活口连接，使自然下垂的吊臂可沿导流筒径向自由摆动。
其中自然下垂的吊臂下沿四个点相对距离大于所拉单晶棒直径15-20mm。
本装置具有以下优点
1、防止了单晶硅棒碰到导流筒的危险。
2、防止给予单晶硅棒反方向力过大，导致晃动幅度更大，甚至籽晶断裂的危险。
3、经过四个方向的缓冲，可以有效减小单晶硅棒的晃动幅度，使之逐渐趋于平稳。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，在导流筒(3)上沿以导流筒中心轴线为中心均分的四个方向上各有伸向导流筒中心轴线的横臂(1)，横臂(1)的顶头以活动链接方式(通过销子或活口)链接沿导流筒内壁自然下垂的吊臂(2)，使自然下垂的吊臂可沿导流筒径向自由摆动，吊臂(2)最下端结构弯向导流筒中心轴线，吊臂下沿四个点相对距离大于所拉单晶棒(4)直径15-20mm。所述装置固定在导流筒上沿或固定放在上保温盖上的固定夹具上。
本装置可以有效减小单晶硅晃动，当单晶硅生长过程中因各种原因引起单晶硅棒(4)晃动时，硅棒(4)因晃动会接触到本装置中自然下垂的吊臂(2)，吊臂(2)会给予单晶硅棒(4)以反方向的力来阻止晃动幅度的增大，但由于吊臂(2)可沿单晶硅棒(4)径向自由活动，因此跟单晶硅棒(4)接触后，只是相互间有缓冲力，不会加剧晶棒晃动，只会有效减小单晶硅棒的晃动幅度，使之逐渐趋于平稳。

Claims (3)

1.一种减小单晶硅拉制过程中晃动的装置，包括导流筒(3)，其特征是，导流筒(3)上沿以导流筒中心轴线为中心均分的四个方向各有伸向导流筒中心轴线的横臂(1)，横臂的顶头以活动链接方式链接沿导流筒内壁自然下垂的吊臂(2)，吊臂最下端结构弯向导流筒中心轴线。
2.如权利要求1所述的一种减小单晶硅拉制过程中晃动的装置，其特征是横臂(1)和吊臂(2)通过销子或活口连接，使自然下垂的吊臂(2)可沿导流筒径向自由摆动。
3.如权利要求1所述的一种减小单晶硅拉制过程中晃动的装置，其特征是自然下垂的吊臂下沿四个点相对距离大于所拉单晶硅棒(4)直径15-20mm。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN106757310A (zh) * 2016-12-19 2017-05-31 洛阳金诺机械工程有限公司 一种硅芯拉制装置
CN109097825A (zh) * 2018-08-29 2018-12-28 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 一种防止直拉单晶生长晃动的工艺方法

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