CN202610380U - 直拉单晶炉热场升降装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种直拉单晶炉热场升降装置,包括由绞轮、连接装置以及定位器组成的多组,所述的绞轮焊接在炉盖上,绞轮连接连接装置,连接装置穿过炉盖和热场的上沿与热场压环下方的定位器连接。本实用新型结构简单,使用方便,能够使热场在高温下完好提升和下降,从而实现增加初始投料量的目的,提高生产效率。此外,本实用新型提及装置不仅限于硅单晶热场的升降,同时也适用于其他类似材料生长设备的热场升降。
Description
技术领域
本实用新型涉及直拉硅单晶炉的配件设计及制造技术领域,特别是一种直拉硅单晶炉热场升降装置。
背景技术
切氏直拉(Czochralski)法是制备硅单晶的主要方法之一。硅单晶炉设有一套热场来控制炉内的温度。在单晶拉制过程中,热场一般是固定不动的。仅当单晶生长完毕打开炉盖以后才能进行拆卸。在实际生产中,对于相同尺寸的坩埚和固定的热场,初始投料量是一定的。但硅熔化完毕后,硅液的体积比固态硅的体积小,因此还有继续投料的空间。这可以通过在装料时将热场抬起,当硅料完全融化时再将热场放下。但由于热场固定,空间有限,无法增加初始投料量。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:提供一种直拉硅单晶炉热场升降装置,用以解决初始投料量小的问题。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种直拉单晶炉热场升降装置,包括由绞轮、连接装置以及定位器组成的多组,所述的绞轮焊接在炉盖上,绞轮连接连接装置,连接装置穿过炉盖和热场的上沿与热场压环下方的定位器连接。
为了增加钢丝绳运动的流畅性,降低钢丝绳的磨损,本实用新型所述的绞轮由两个以上的滑轮组成,绞轮上缠绕连接装置。
进一步的说,本实用新型所述的连接装置为杆或钢索。
为了能够平稳的调节热场的升降以及水平,甭使用新型所述的绞轮、连接装置以及定位器有3~5组。
本实用新型的有益效果是,解决了背景技术中存在的缺陷,该装置结构简单,使用方便,能够使热场在高温下完好提升和下降,从而实现增加初始投料量的目的,提高生产效率。此外,本实用新型提及装置不仅限于硅单晶热场的升降,同时也适用于其他类似材料生长设备的热场升降。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的优选实施例的结构示意图;
图中:1、铰轮,2、连接杆,3、定位器,4、炉盖,5、热场。
具体实施方式
现在结合附图和优选实施例对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1所示的一种直拉单晶炉热场升降装置,包括由绞轮1、连接杆2以及定位器3组成的3组,所述的绞轮1焊接在炉盖4上,绞轮1连接连接杆2,连接杆2穿过炉盖4和热场5的上沿与热场压环下方的定位器3连接。
绞轮1由两个以上的滑轮组成,绞轮上缠绕连接杆,由于该结构是常规结构,所以图中并没有做出示意。
图中的三个定位器可以用来固定热场,同时调节水平。
在装料前,将热场通过连接杆使用定位器固定并调节水平。当装料完毕,将热场提升到高于硅料上平面,关闭炉盖。当硅料完全熔化时,将热场缓缓下降至与石墨加热器牢固接触。
以上说明书中描述的只是本实用新型的具体实施方式,各种举例说明不对本实用新型的实质内容构成限制,所属技术领域的普通技术人员在阅读了说明书后可以对以前所述的具体实施方式做修改或变形,而不背离实用新型的实质和范围。
Claims (4)
1.一种直拉单晶炉热场升降装置,其特征在于:包括由绞轮、连接装置以及定位器组成的多组,所述的绞轮焊接在炉盖上,绞轮连接连接装置,连接装置穿过炉盖和热场的上沿与热场压环下方的定位器连接。
2.如权利要求1所述的直拉单晶炉热场升降装置,其特征在于:所述的绞轮由两个以上的滑轮组成,绞轮上缠绕连接装置。
3.如权利要求1所述的直拉单晶炉热场升降装置,其特征在于:所述的连接装置为杆或钢索。
4.如权利要求1所述的直拉单晶炉热场升降装置,其特征在于:所述的绞轮、连接装置以及定位器有3~5组。
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Granted publication date: 20121219 Termination date: 20180507 |